JP5031459B2 - 粗微移動装置及びそれを備えた液体供給装置 - Google Patents

Description

この発明は、大ストロークにより移動させる粗移動と、微少ストロークにより移動させる微少移動とより移動体を所定位置に正確に移動させるための粗微移動装置、及びその粗微移動装置を備えた液体供給装置に関するものである。

例えばワークとしての基板上に供給ヘッドから液体を供給して、所定パターンの液体塗布部を形成する液体供給装置では、均一な液体塗布部を形成するために、供給ヘッドを搭載する移動体を基板の表面に対して、常に所定の距離を隔てた位置に対応配置させる必要がある。このような要求に対応するために、例えば特許文献１に開示される粗微移動装置が従来から提案されている。

この従来装置においては、ベース上に一対のレールが敷設され、そのレールには第１移動体及び第２移動体が移動可能に支持されている。ベース上には送りスクリューが配置され、その送りスクリューと螺合するように、第１移動体にはナットが固定されている。第１移動体と第２移動体との間には、圧電素子が介在されるとともに、一対のコイルスプリングが掛装されている。そして、送りスクリューが駆動モータにて回転されることにより、第１移動体及び第２移動体が大ストロークにより粗移動される。また、この粗移動位置において、圧電素子に電圧が印加されることにより、その圧電素子が伸縮されて、第２移動体が微少ストロークにより微少移動される。これらの移動により、第２移動体上に支持された被移動部材が所定位置に微調整をともないながら位置決めされる。
実開平５−６６５９２号公報

ところが、この種の粗微移動装置では、例えば、送りスクリューの低レベルの加工精度や組み付け精度の影響が、第１移動体から圧電素子を介して第２移動体に伝達されるおそれがある。このような場合は、レールの精度が確保されていても、第２移動体を所要の位置へ高精度に移動させることができない。前記特許文献１の粗微移動装置においては、このような問題に対する対策が施されていないため、所要の位置への移動精度を得ることは困難である。

この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その主たる目的は、第２移動体を所要位置へ高精度で移動させることができる粗微移動装置を提供することにある。

また、この発明のその上の目的は、ワーク上に液体塗布部を高精度に形成することができる液体供給装置を提供することにある。

上記の目的を達成するために、粗微移動装置に係る発明は、案内手段に沿って移動可能な第１移動体及び第２移動体と、前記第１移動体と第２移動体とを相対移動可能に連結する連結手段と、前記第１移動体を大ストロークにより粗移動させるための第１駆動手段と、第１移動体と第２移動体との間に介在され、第２移動体を第１移動体に対して微少ストロークにより相対的に微移動させるための第２駆動手段とを備えた粗微移動装置において、前記案内手段を、平行に配置された一対のレールにより構成するとともに、前記第１及び第２移動体にそれぞれ対向状態で配置した被案内体が前記両レールによって案内され、前記第１駆動手段は、モータと、前記モータによって回転されるとともに両端部が定位置に支持されて前記一対のレール間に配置される送りスクリューと、前記第１移動体に固定され、前記送りスクリューに螺合するナットと、前記ナットに接続されて該ナットを前記送りスクリューの軸線方向に沿って一方向に付勢する第１スプリングと、を備え、前記第２駆動手段は、前記第１移動体と第２移動体とのいずれか一方に設けられるとともに、他方に当接可能な球面が形成された当接子を備えたアクチュエータと、前記第１移動体と第２移動体とのいずれか他方に設けられるとともに、前記当接子に当接可能な当接面と、を備え、前記連結手段を第２スプリングにより構成し、前記第２スプリングは、第１移動体及び第２移動体を互いに接近する方向に付勢して、前記当接子と前記当接面とを互いに点接触状態で当接させ、前記第２スプリングの付勢力を、前記ナットを付勢する前記第１スプリングの付勢力より強くしたことを特徴としている。

従って、この粗微移動装置においては、前記のように、アクチュエータの当接子が第１または第２移動体に対して、球面当たりの点接触状態におかれている。このため、例えば、第１駆動手段の加工精度が低い場合であっても、その悪影響が、第２移動体に伝達されることを抑制することができる。よって、第２移動体を所要位置へ高い移動精度をもって位置させることができる。

また、第１，第２移動体の幅を狭くできて、全体の小形化を図ることができるばかりでなく、前記両レールの案内面を研削盤により高精度で加工できる。また、第１，第２移動体が門型形状になってその剛性を高くすることが可能となる。
さらに、モータの停止時に第１移動体が自然落下等の妄動するおそれを抑制することができるとともに、送りスクリューとナットとの螺合状態におけるバックラッシを解消することができる。

前記の構成において、前記レールを、装置のベースに対向状態で形成された基準面に対して位置決めすることが好ましい。このようにすれば、例えば、レールに形成されたボルト挿通孔とレールを固定するためのボルトとの間の僅かな隙間を利用して、レールの取付角度等を微調節することができる。

さらに、前記の構成において、前記アクチュエータは、圧電素子を備え、その圧電素子の伸縮によって前記当接子が移動されて、前記第２移動体が第１移動体に対して相対的に微移動されるように構成するとよい。このように構成した場合には、圧電素子の伸縮により第２移動体を所要位置へ正確に移動させることができる。

また、液体供給装置に係る発明は、前記のような構成の粗微移動装置を備えるとともに、前記第１及び第２移動体の移動方向を上下方向とし、第２移動体には下方のワークに対して液体を供給するための供給ヘッドを搭載したことを特徴としている。

従って、この液体供給装置においては、第２移動体上に搭載された供給ヘッドをワークに対してその所要位置へ高精度に移動させて対向させることができる。よって、供給ヘッドからワークに液体を供給して、そのワーク上に正確な位置精度をともなって液体塗布部を形成することができる。

さらに、前記の液体供給装置において、前記のような構成の粗微移動装置を備えるとともに、前記第１及び第２移動体の移動方向を上下方向とし、第２移動体には下方のワークに対して液体を供給するための供給ヘッドを搭載し、前記ナットは前記スプリングにより上方へ付勢されるように構成するとよい。このように構成した場合には、第１駆動手段のモータの停止時に、第１移動体が自重にて落下するおそれを抑制することができるとともに、送りスクリューとナットとの螺合状態におけるバックラッシを解消することができる。

さらに、前記の液体供給装置において、前記供給ヘッドの先端と前記ワークとの間の距離を検出する検出手段を備え、その検出手段の検出結果に従って前記アクチュエータの動作を制御する制御手段を設けるとよい。このように構成した場合には、供給ヘッドの先端とワークとの間の距離検出に基づいて、供給ヘッドを搭載した第２移動体を移動させることができる。よって、例えば、ワークの表面に撓みが生じている場合でも、そのワークの表面と供給ヘッドの先端との距離を常に一定に保つことができて、より正確に液体塗布部を形成することができる。

以上のように、この発明においては、微移動される第２移動体を所要位置へ高い位置精度をもって移動させることができるという効果を発揮する。

（第１実施形態）
以下、この発明を基板製造装置等における液体供給装置に具体化した第１実施形態を、図１〜図７に基づいて説明する。

図１に示すように、この実施形態の液体供給装置においては、基台１１上にテーブル１２が配置され、そのテーブル１２の上面には基板等のワークＷが図示しない真空吸着装置により着脱可能に吸着保持される。基台１１上には門型のガントリ１３がテーブル１２を跨いだ状態で、Ｙ軸方向（図１において紙面と直交する方向）へ移動可能に支持されている。ガントリ１３にはモータよりなるＹ軸アクチュエータ１４が付設され、このＹ軸アクチュエータ１４によりガントリ１３が前記Ｙ軸方向に移動される。

前記ガントリ１３の水平支持部１３ａには、Ｘ軸サドル１５がＸ軸方向（図１において左右方向）へ移動可能に支持されている。Ｘ軸サドル１５にはＸ軸アクチュエータ１６が付設され、このＸ軸アクチュエータ１６によりＸ軸サドル１５が前記Ｘ軸方向に移動される。Ｘ軸サドル１５の前面には粗微移動装置１７が装設され、その粗微移動装置１７の前部には後述する第２移動体３３がＺ軸方向（図１において上下方向）へ粗移動及び微調整移動（微少移動）可能に配置されている。なお、ここで、粗移動は、例えば、数１０ｍｍ程度の大きなストロークの移動を指す。また、微調整移動とは、数μｍ〜数１０μｍ程度の微少ストロークの移動を指す。

前記粗微移動装置１７における第２移動体３３の下部前面には、シール材等の液体を充填するためのシリンジタンク１８及びそのシリンジタンク１８を加温して前記液体の軟化状態を維持するためのヒータブロック１９が搭載されている。シリンジタンク１８の下端には、シリンジタンク１８内の液体を下方のワークＷに対して供給するための供給ヘッド２０が突設されている。そして、粗微移動装置１７により供給ヘッド２０が図１に実線で示す上方の待機位置Ｐ１から鎖線で示す下方の供給位置Ｐ２に粗微移動された後、供給ヘッド２０からワークＷ上に液体が供給されることにより、そのワークＷ上に所定パターンの液体塗布部Ｗａが形成される。

前記粗微移動装置１７における第２移動体３３の下部には、検出手段としての距離センサ２１が配置されている。この距離センサ２１は、供給ヘッド２０の一側に位置する発光部２１ａと、他側に位置する受光部２１ｂとから構成されている。そして、供給ヘッド２０が粗移動により供給位置Ｐ２に移動された状態で、距離センサ２１の発光部２１ａからワークＷに向かってレーザ光が照射されるとともに、そのワークＷ上からの反射光が受光部２１ｂによって受光される。この投受光の動作により、供給ヘッド２０の先端とワークＷとの間の距離が検出されて、その検出結果が制御手段としての制御装置２２に出力される。

前記制御装置２２は、所定のプログラムに基づいて、前記Ｙ軸アクチュエータ１４、Ｘ軸アクチュエータ１６及び粗微移動装置１７に作動信号を出力して、前記供給ヘッド２０をワークＷ上の所要の液体供給部分と対応する位置に移動させる。この移動の場合、制御装置２２は、粗微移動装置１７を作動制御して、供給ヘッド２０を待機位置Ｐ１から供給位置Ｐ２まで粗移動させる。その後、前記距離センサ２１からの検出結果に従って、後述する粗微移動装置１７の微移動アクチュエータ５０を作動制御して、供給ヘッド２０の先端とワークＷとの間の距離が常に一定値となるように、供給ヘッド２０を供給位置Ｐ２において微調整移動させる。そして、制御装置２２は、シリンジタンク１８内の液体をワークＷに対して供給させる。

次に、前記粗微移動装置１７の構成について詳細に説明する。
図２及び図３に示すように、粗微移動装置１７のベースプレート２５は縦長形状に形成され、図４（ａ）（ｂ）及び図５（ａ）（ｂ）に示すように、そのベースプレート２５の前面には上下方向（Ｚ軸方向）へ互いに平行に延びる左右一対の取付壁部２５ａが突設されている。その両取付壁部２５ａの左右方向の外側面にはそれぞれ基準面２５ｃが対向状態で形成されている。この基準面２５ｃには案内手段としての一対のレール２６が複数のボルト２７により位置決め状態で取り付けられ、それらのレール２６の前記基準面２５ｃに接する内側面を位置決め面２６ａとしている。

図２〜図４に示すように、前記ベースプレート２５の前面には平板状の第１移動体２８が前記両レール２６に沿って上下方向へ移動可能に支持されている。すなわち、第１移動体２８の後面両側部には、左右一対の支持板２９が複数のボルト３０により取り付けられている。各支持板２９の内側面にはそれぞれ被案内体３１が複数のボルト３２により互いに対向した状態で取り付けられ、それらの被案内体３１の対向する内側面には溝３１ａが形成されている。そして、各被案内体３１がその溝３１ａにおいて両レール２６によって複数のボール２４を介して案内されている。

図２、図３及び図５（ａ）（ｂ）に示すように、前記第１移動体２８の上方において、ベースプレート２５の前面には第２移動体３３が前記両レール２６に沿って上下方向へ移動可能に支持されている。すなわち、この第２移動体３３側においても、前記第１移動体２８側の案内構成と同様に、第２移動体３３の後面両側部に一対の支持板３４が複数のボルト３５により取り付けられている。各支持板３４の内側面には各一対の被案内体３６が複数のボルト３７により互いに対向した状態で取り付けられ、それらの被案内体３６の対向面には溝３６ａが形成されている。そして、この第２移動体３３側の各被案内体３６がその溝３６ａにおいて第１移動体２８側の被案内体３１よりも上方位置において、両レール２６によって複数のボール２４を介して案内されている。

第２移動体３３の前面下部には、第１移動体２８の前方を覆う延長壁部３３ａが形成されている。そして、この第２移動体３３の延長壁部３３ａの前面には前記シリンジタンク１８及びヒータブロック１９が取り付けられるとともに、延長壁部３３ａの下端には前記距離センサ２１が取り付けられている。

図２及び図６に示すように、前記ベースプレート２５の前面には、第１移動体２８を上下方向へ粗移動させるための第１駆動手段としての第１駆動機構３８が配置されている。すなわち、前記ベースプレート２５の前面において、両レール２６間における中央部の上下両端には支持壁２５ｂが一体形成されている。この支持壁２５ｂには、送りスクリュー３９がその両端部において一対のボールベアリング４０を介して回転可能に支持されている。ベースプレート２５の上端にはモータ４１がブラケット４２を介して装着され、そのモータ軸４１ａがカップリング４３を介して送りスクリュー３９の上端部に連結されている。

前記第１移動体２８の後面には、送りスクリュー３９に螺合するナット４４がナット受け４５を介して固定されている。ナット受け４５の後面には掛止ピン４６が突設されるともに、ベースプレート２５の後面上部には掛止ピン４６に対応して掛止金具４７が取り付けられている。掛止ピン４６と掛止金具４７との間にはスプリング４８が掛装され、このスプリング４８によりナット４４が送りスクリュー３９の軸線方向の上方に向かって付勢されている。

そして、前記モータ４１にて送りスクリュー３９が左右いずれかに回転されることにより、ナット４４を介して第１移動体２８がレール２６に沿って上下方向に粗移動される。このとき、スプリング４８によりナット４４が上方に付勢されているため、送りスクリュー３９とナット４４との間のバックラッシが解消される。また、モータ４１の停止状態においては、スプリング４８にてナット４４が上方に付勢されることにより、第１移動体２８が自重にて自然落下するおそれが防止される。

図２、図３、図５及び図６に示すように、前記第１移動体２８と第２移動体３３との間には、第２駆動手段としての第２駆動機構４９が介在されている。そして、第１駆動機構３８の停止状態では、この第２駆動機構４９により、第２移動体３３が第１移動体２８に対して相対的に微調整移動される。

すなわち、図３及び図６に示すように、前記第２移動体３３の後面中央部には、微移動アクチュエータ５０がその上端部において支持台５１を介して固定されている。この微移動アクチュエータ５０は、電圧の印加にともなって伸縮可能なピエゾ素子等の圧電素子の集合体により構成されている。微移動アクチュエータ５０の圧電素子の下端部には金属材料よりなるほぼ円柱状の当接子５２が連結され、その当接子５２の下端に位置する先端には球面部５２ａが形成されている。この球面部５２ａは半球状をなしている。第１移動体２８の上端縁には金属材料よりなるパッド５３が埋設され、そのパッド５３の上面には当接子５２の球面部５２ａに当接可能な平面よりなる当接面５３ａが形成されている。前記当接子５２及びパッド５３は、クロムモリブデン鋼等の硬質で、かつ耐磨耗性に優れたものが用いられる。

図２、図４、図５及び図７に示すように、前記第１移動体２８及び第２移動体３３の前面における左右位置には、各一対の掛止ピン５４，５５が上下に対応して突設されている。各掛止ピン５４，５５間には、連結手段としての一対のスプリング５６が掛装されている。このスプリング５６は、前記スプリング４８よりも強い付勢力を有している。そして、これらのスプリング５６により第１移動体２８及び第２移動体３３が互いに接近する方向へ付勢されて、当接子５２の球面部５２ａがパッド５３の当接面５３ａに対して、球面当たりの点接触状態で当接されている。従って、このスプリング５６により、第１移動体２８と第２移動体３３とが相対移動可能に連結されている。そして、この状態で微移動アクチュエータ５０が膨張または収縮されることにより、当接子５２が軸線方向に移動されて、第２移動体３３が第１移動体２８に対して相対的に微調整移動される。

次に、前記のように構成された粗微移動装置１７を備える液体供給装置について動作を説明する。
さて、この液体供給装置の運転時には、テーブル１２上に基板等のワークＷが載置されて、図示しない真空吸着装置により吸着保持される。この状態で、制御装置２２からＹ軸アクチュエータ１４及びＸ軸アクチュエータ１６に作動信号が出力されると、ガントリ１３及びＸ軸サドル１５がＹ軸及びＸ軸方向に移動される。これらの移動により、粗微移動装置１７の第２移動体３３上に搭載された供給ヘッド２０が、ワークＷ上の所定の液体塗布位置と対向する待機位置Ｐ１に移動される。

その後、制御装置２２から粗微移動装置１７における第１駆動機構３８のモータ４１に対して作動信号が出力されると、送りスクリュー３９が回転されて、ナット４４を介して第１移動体２８及び第２移動体３３が下方へ粗移動される。この粗移動により、第２移動体３３上の供給ヘッド２０が上方の待機位置Ｐ１から下方の供給位置Ｐ２に向かって大ストロークで移動されて、停止される。

この状態で、距離センサ２１により供給ヘッド２０の先端とワークＷとの間の距離が検出される。そして、その検出結果に応じて、制御装置２２の制御により、粗微移動装置１７における第２駆動機構４９の微移動アクチュエータ５０に正または負の電圧が印加されて、その微移動アクチュエータ５０の圧電素子が膨張または収縮される。この膨張または収縮により、第２移動体３３が第１移動体２８に対して相対的に微少ストロークで移動され、供給ヘッド２０の先端とワークＷとの間の距離が所定値となるように、供給ヘッド２０の位置が微調整される。そして、この状態で、ワークＷに対して液体が供給される。

この場合、この実施形態の粗微移動装置１７においては、以下に列挙する効果を得ることができる。
（１） 第２移動体３３側の微移動アクチュエータ５０の下端に設けられた当接子５２の球面部５２ａが、第１移動体２８側に設けられたパッド５３の当接面５３ａに対して、常に球面当たりの点接触状態で当接されている。このため、例えば、第１駆動機構３８における送りスクリュー３９が偏心回転された場合であっても、あるいはその送りスクリュー３９の加工精度や組み付け精度が低い場合であっても、微移動アクチュエータ５０を介して第２移動体３３に対してそれらの悪影響が伝達されるおそれはない。

よって、第２移動体３３をベースプレート２５の取付壁部２５ａの基準面２５ｃ及び両レール２６の位置決め面２６ａの精度に基づいて所定位置へ高精度に微調整移動させることができる。このため、供給ヘッド２０をワークＷの表面から所定距離を隔てた供給位置Ｐ２において正しい向きで正確に対向配置させることができる。従って、この状態で供給ヘッド２０からワークＷ上にシール材等の液体が供給されることにより、そのワークＷ上に正確な所要パターンの液体塗布部Ｗａを形成することができ、ワークＷに対して高いレベルの加工精度を得ることができる。

（２） この粗微移動装置１７においては、図４（ａ）（ｂ）及び図５（ａ）（ｂ）に示すように、一対のレール２６がその位置決め面２６ａにおいて複数のボルト２７によりベースプレート２５の基準面２５ｃに取付けられている。このため、レール２６に形成された各ボルト挿通孔２６ｂとボルト２７との間の僅かな隙間を利用して、あらかじめベースプレート２５に対するレール２６の取付位置や、取付角度を微調節することにより、スペーサ等の別部品を設けることなく、レール２６の取付精度を容易に確保しておくことができる。従って、第１，第２移動体２８，３３の高い移動精度を得ることができる。よって、レール２６と第１，第２移動体２８，３３との間にこじれ等が生じることはなく、第１，第２移動体２８，３３を低負荷で、かつ振動を生じることなく移動させることができる。

（３） この粗微移動装置１７においては、第１，第２移動体２８，３３を案内するためのレール２６がベースプレート２５の基準面２５ｃに固定されている。そして、この基準面２５ｃは、横方向の外向きに形成されている。このため、基準面２５ｃをフライス盤や研削盤の移動テーブル上において仕上げる場合、その基準面２５ｃをフライス盤や研削盤のカッタの側面で加工できる。従って、前記移動テーブルの送り時のピッチングを無視できて、基準面２５ｃを高精度に仕上げることができる。このため、レール２６の取付けにおいて、高い精度を得ることができる。

（４） この粗微移動装置１７においては、図４（ａ）（ｂ）及び図５（ａ）（ｂ）に示すように、第１移動体２８及び第２移動体３３の後面両側部に支持板２９，３４が取り付けられ、それらの支持板２９，３４の内側面に被案内体３１，３６が複数のボルト３２，３７により互いに対向した状態で取り付けられている。そして、各被案内体３１，３６に形成された溝３１ａ，３６ａがボール２４を介して前記レール２６の位置決め面２６ａに案内可能に係合されている。このため、支持板２９，３４に形成された各ボルト挿通孔２９ａ，３４ａとボルト３２，３７との間の僅かな隙間を利用して、あらかじめ被案内体３１，３６に対する支持板２９，３４の取付角度や位置を微調節することにより、レール２６の位置決め面２６ａと各被案内体３１，３６とを良好な位置関係に保つことができる。このため、前記レール２６と同様に、支持板２９，３４の位置や傾斜角度の調整を、スペーサ等を用いることなく簡単に行うことができる。

（５） この粗微移動装置１７においては、スプリング４８により第１駆動機構３８のナット４４が送りスクリュー３９の軸線方向の上方に向かって付勢されている。このため、送りスクリュー３９とナット４４との螺合関係におけるバックラッシを解消することができる。

また、モータ４１の停止状態において、第１移動体２８が自重にて自然落下するおそれを抑制することができて、第１移動体２８は定位置を保持することができる。このため、シリンジタンク１８の供給ヘッド２０がワークＷに衝突したりすることを防止できる。

（６） この粗微移動装置１７においては、第１，第２移動体２８，３３の左右両側に支持板３４が固定されるとともに、その支持板３４に、レール２６に係合される被案内体３１が固定されている。このため、第１，第２移動体２８，３３全体が門型になって剛性及び強度が向上し、ワークＷに対する加工精度の向上に寄与できるばかりでなく、第１，第２移動体２８，３３の左右幅を小さくして、装置１７全体の小型化を達成できる。

（７） この粗微移動装置１７においては、供給ヘッド２０の先端とワークＷとの間の距離を検出する距離センサ２１が備えられている。また、この距離センサ２１の検出結果に従って第２移動体３３の微少移動を制御する制御装置２２が設けられている。従って、距離センサ２１による距離検出に基づいて、供給ヘッド２０が搭載された第２移動体３３を移動させることができる。よって、例えば、ワークＷの表面に撓みが生じている場合でも、そのワークＷの表面と供給ヘッド２０の先端との距離を常に一定に保つことができて、より正確に液体塗布部を形成することができる。

（第２実施形態）
次に、この発明の第２実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
さて、この第２実施形態においては、図８に示すように、第１移動体２８の上端に埋設されたパッド５３の上面に、球面凹状の当接面５３ａが形成されている。そして、微移動アクチュエータ５０の下端に設けられた当接子５２の球面部５２ａが、このパッド５３の当接面５３ａに対して当接されている。

従って、この第２実施形態においても、前記第１実施形態に記載の効果とほぼ同様の効果を得ることができる。
特に、この第２実施形態において、球面当たりのほぼ点接触状態を維持しながら、当接子５２の球面部５２ａとパッド５３の当接面５３ａとの接触面積を広くできるため、球面部５２ａ及び当接面５３ａの耐久性を向上できる。

（第３実施形態）
次に、この発明の第３実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
さて、この第３実施形態においては、図９に示すように、微移動アクチュエータ５０の下端に硬質金属材料の球体よりなる当接子６１が止め具６２により離脱不能に、かつ全方向に対して回転可能に取り付けられている。そして、この当接子６１の外周下端縁が第１移動体２８側のパッド５３の当接面５３ａに対して、球面当たりの点接触状態で当接されている。

従って、この第３実施形態においても、前記第１実施形態に記載の効果とほぼ同様な効果を得ることができる。
特に、この第３実施形態においては、当接子６１が回転されるため、当接子６１の磨耗を抑制できる。加えて、当接子６１の回転により、同当接子６１とパッド５３の当接面５３ａとの相対移動が円滑になり、両者間のわずかな精度誤差を適切に吸収できる。

（第４実施形態）
次に、この発明の第４実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
さて、この第４実施形態においては、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、ベースプレート２５の前面に一対の基準面２５ｃが形成されている。この基準面２５ｃにはレール２６が複数のボルト２７によって取り付けられている。第１移動体２８及び第２移動体３３の後面には複数の被案内体３１，３６が後向き状態で直接取り付けられ、これらの被案内体３１，３６がレール２６の位置決め面２６ａに対して案内可能に係合されている。

この第４実施形態においては、被案内体３１，３６が支持板等を介装することなく、第１移動体２８及び第２移動体３３の後面に直接取り付けられているため、第１実施形態と比較して、部品点数を少なくすることができて、構造が簡単で部品点数を削減することができる。

（変更例）
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・ 前記実施形態の粗微移動装置においては、第２移動体３３側に微移動アクチュエータ５０が取り付けられ、その微移動アクチュエータ５０の先端の当接子５２が第１移動体２８側のパッド５３と球面当たりで当接するように構成されている。これとは逆に、第１移動体２８側に微移動アクチュエータ５０を設けて、その微移動アクチュエータ５０の先端の当接子５２を第２移動体３３側のパッド５３と球面当たりで当接させるように構成すること。

・ 前記実施形態の粗微移動装置においては、微移動アクチュエータ５０の先端の当接子５２が球面状に、パッド５３が平面状に形成されているが、これとは逆に、微移動アクチュエータ５０の先端の当接子５２を平面状に、パッド５３を球面状に形成すること。

・ 前記実施形態の液体供給装置においては、ワークＷを支持するテーブル１２が基台１１上に固定配置されるとともに、ガントリ１３が基台１１上にＹ軸方向へ移動可能に配置されている。これとは逆に、ガントリ１３を基台１１上に立設固定するとともに、テーブル１２を基台１１上にＹ軸方向へ移動可能に配置すること。

・ 前記実施形態においては、粗微移動装置１７を液体供給装置に装備して、供給ヘッド２０を所要位置に移動させるようにしているが、粗微移動装置１７を液体供給装置とは異なった装置，例えばレーザ加工機のレーザ光の照射ヘッドの支持用に装備してもよい。この場合、前記照射ヘッドは第２移動体３３に搭載される。

第１実施形態の粗微移動装置を備えた液体供給装置を示す概略正面図。 図１の粗微移動装置を拡大して示す正面図。 同じく粗微移動装置の側面図。 （ａ）は図２の４−４線における拡大断面図、（ｂ）はさらに一部を拡大した断面図。 （ａ）は図２の５−５線における拡大断面図、（ｂ）はさらに一部を拡大した断面図。 図２の６−６線における断面図。 図２の７−７線における部分断面図。 第２実施形態の粗微移動装置の部分断面図。 第３実施形態の粗微移動装置の部分断面図。 （ａ）は第４実施形態の粗微移動装置の断面図、（ｂ）はさらに一部を拡大した断面図。

符号の説明

１１…基台、１２…テーブル、１３…ガントリ、１５…Ｘ軸サドル、１７…粗微移動装置、１８…バレル、２０…供給ヘッド、２１…検出手段としての距離センサ、２１ａ…発光部、２１ｂ…受光部、２２…制御手段としての制御装置、２５…ベース、２５ｃ…基準面、２６…案内手段としてのレール、２６ａ…位置決め面、２８…第１移動体、３１…被案内体、３３…第２移動体、３６…被案内体、３８…第１駆動手段としての第１駆動機構、３９…送りスクリュー、４０…軸受装置、４１…モータ、４４…ナット、４８…スプリング、４９…第２駆動手段としての第２駆動機構、５０…微移動アクチュエータ、５２…当接子、５２ａ…球面部、５３…パッド、５３ａ…当接面、５６…スプリング、６１…当接子、Ｗ…ワーク、Ｗａ…液体塗布部。

Claims (6)

1. 案内手段に沿って移動可能な第１移動体及び第２移動体と、
   前記第１移動体と第２移動体とを相対移動可能に連結する連結手段と、
   前記第１移動体を大ストロークにより粗移動させるための第１駆動手段と、
   第１移動体と第２移動体との間に介在され、第２移動体を第１移動体に対して微少ストロークにより相対的に微移動させるための第２駆動手段と
   を備えた粗微移動装置において、
   前記案内手段を、平行に配置された一対のレールにより構成するとともに、前記第１及び第２移動体にそれぞれ対向状態で配置した被案内体が前記両レールによって案内され、
   前記第１駆動手段は、
   モータと、
   前記モータによって回転されるとともに両端部が定位置に支持されて前記一対のレール間に配置される送りスクリューと、
   前記第１移動体に固定され、前記送りスクリューに螺合するナットと、
   前記ナットに接続されて該ナットを前記送りスクリューの軸線方向に沿って一方向に付勢する第１スプリングと、
   を備え、
   前記第２駆動手段は、
   前記第１移動体と第２移動体とのいずれか一方に設けられるとともに、他方に当接可能な球面が形成された当接子を備えたアクチュエータと、
   前記第１移動体と第２移動体とのいずれか他方に設けられるとともに、前記当接子に当接可能な当接面と、
   を備え、
   前記連結手段を第２スプリングにより構成し、
   前記第２スプリングは、第１移動体及び第２移動体を互いに接近する方向に付勢して、前記当接子と前記当接面とを互いに点接触状態で当接させ、
   前記第２スプリングの付勢力を、前記ナットを付勢する前記第１スプリングの付勢力より強くしたことを特徴とする粗微移動装置。
2. 前記レールを、装置のベースに対向状態で形成された基準面に対して位置決めしたことを特徴とする請求項１に記載の粗微移動装置。
3. 前記アクチュエータは、圧電素子を備え、その圧電素子の伸縮によって前記当接子が移動されて、前記第２移動体が第１移動体に対して相対的に微移動されることを特徴とする請求項１または２に記載の粗微移動装置。
4. 請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の粗微移動装置を備えるとともに、前記第１及び第２移動体の移動方向を上下方向とし、第２移動体には下方のワークに対して液体を供給するための供給ヘッドを搭載したことを特徴とする液体供給装置。
5. 請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の粗微移動装置を備えるとともに、前記第１及び第２移動体の移動方向を上下方向とし、第２移動体には下方のワークに対して液体を供給するための供給ヘッドを搭載し、前記ナットは前記スプリングにより上方へ付勢されるようにしたことを特徴とする液体供給装置。
6. 前記供給ヘッドの先端と前記ワークとの間の距離を検出する検出手段を備え、その検出手段の検出結果に従って前記アクチュエータの動作を制御する制御手段を設けたことを特徴とする請求項４または５に記載の液体供給装置。

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