JP2022029975A - 産業機械 - Google Patents

Abstract

【課題】移動体の運動誤差等の空間精度補正を正確かつ高精度に行なうことができる産業機械を提供する。
【解決手段】産業機械は、定盤２１０と、定盤２１０上を第１駆動軸に沿って移動するように設けられた第１移動体２５１と、を有する。定盤において第２軸と交差する側の側面側にあって、第１駆動軸と平行に配置された支持板３５０が設けられている。支持板３５０は、第１軸に平行な方向では定盤２１０に拘束されないように設けられている。角度誤差検出手段４００は、支持板に設置される参照側角度計４２０と、第１移動体２５１に設置される測定側角度計４１０と、を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は産業機械に関する。
例えば、三次元測定機、工作機械、ロボット等、移動機構を有する産業機械において、移動機構の運動誤差を正確かつ高精度に空間補正する技術に関する。

三次元測定機や工作機械は、基準面（定盤）上を移動体が移動する構成を有する。このような産業機械では、移動体の駆動誤差を補正する機能が付加されている。例えば特許文献１（特開２００２－２５７５３５）では、三次元測定機の幾何学誤差をキネマティックモデルで分離し、各幾何学誤差を補正パラメータを用いて補正することが開示されている。この際、基準面自体の経年変化等を捉えるため、基準面１０に参照側角度計２０を設置し、移動体４０側に測定側角度計３０を設置し、移動体４０が往復するときの角度誤差を２つの角度計２０，３０によって捉え、これをもとに空間補正することも開示されている（図６、図７参照）。その他、特許文献２（特開２０１２－２７１５）にも同趣旨の技術（この文献では特に真直度誤差の補正）が開示されている。

特開２００２－２５７５３５ 特開２０１２－２７１５

しかしながら、上記２文献では、参照側角度計２０を基準面（定盤）１０上あるいはガイド上に設置している。
このような従来構成では、少なくとも次のような問題が生じ得る。
定盤１０にワーク（測定対象物や加工対象物）Ｗを載置したとき、定盤１０あるいはガイドが僅かながら変形する。参照側角度計２０が定盤１０あるいはガイドに設置されていると、参照側角度計２０の設置姿勢自体が定盤の歪みに伴って傾くことになってしまう。図６の例では、定盤１０の中央にワークＷを置いたので、定盤１０の中央を底として定盤１０が撓んでいる。すると、定盤１０の端寄りに設置された参照側角度計２０の姿勢が変化してしまい、角度検出の測定軸自体が傾いてしまう。これでは、角度補正の基準となる基準値（参照値）自体が変化してしまっていることになる。また、定盤１０上においてワークＷやワークＷのなかの最も重量がある部位が定盤１０の中央付近にくるとは限らないのであって、例えば図７のように参照側角度計２０の設置位置を定盤１０の中央付近にしたとしても、定盤１０の変形によって参照側角度計２０の姿勢は変化し、やはり、角度補正の基準となる基準値（参照値）自体が変化する。

ここで、参照側角度計を定盤ではなく、例えば床面に設置するという考え方もあるかもしれない。しかしながら、前述のように三次元測定機は防振ゴムまたは除振台の上に設置されるので、定盤がワークに載置されたときに定盤が沈んだりするのであるから、三次元測定機（定盤）の姿勢は床面に対して一定とはならない。そして、定盤上でワークがどこに載置されるかによって定盤の傾きの方向もその都度変わってくる。

このような問題があり、これまで、空間補正の基準値（参照値）となる参照側角度値を適切に得ることができなかった。そのため、空間補正の精度には限界があり、測定誤差や加工誤差の解消にとって大きな障害となっていた。

本発明の目的は、移動体の運動誤差等の空間精度補正を正確かつ高精度に行なうことができる産業機械を提供することにある。

本発明の産業機械は、
上面が基準面を構成する定盤と、
前記定盤上において、前記基準面に平行な第１軸に沿った第１駆動軸に沿って移動するように設けられた第１移動体と、
前記第１軸と直交しかつ前記基準面に平行な第２軸の軸回りにおける前記第１移動体の角度誤差を検出する角度誤差検出手段と、を備え、
前記第１移動体が移動するときに前記角度誤差検出手段にて検出される角度に基づいて、前記第１移動体の駆動性能誤差を補正する産業機械であって、
前記定盤において前記第２軸と交差する側の側面側にあって、前記第１駆動軸と平行に配置された支持板が設けられており、
前記支持板は、前記支持板の前記第１軸に平行な方向では前記定盤に拘束されないように設けられており、
前記角度誤差検出手段は、前記支持板に設置される参照側角度計と、前記第１移動体に設置される測定側角度計と、を有する
ことを特徴とする。

本発明の一実施形態では、
前記定盤において前記第２軸と交差する側の側面から前記第２軸の方向に突起するように第１支承部と第２支承部とが設けられ、
前記第１軸に沿う方向において前記第１支承部と第２支承部との間は所定の間隔があり、
前記支持板は、前記第１支承部と前記第２支承部とに架設されている
ことが好ましい。

本発明の一実施形態では、
前記第１支承部と前記支持板とは、前記基準面に平行な方向では互いに相対移動しないように係合または連結されており、
前記第２支承部と前記支持板とは、前記第１軸に沿った方向の相対移動を許容するように係合している
ことが好ましい。

本発明の一実施形態では、
前記第１支承部および前記支持板の一方に凹状の穴が設けられ、前記第１支承部および前記支持板の他方に前記穴に嵌入する第１凸部が設けられ、前記穴に前記第１凸部が嵌まることで前記第１支承部と前記支持板とは係合または連結されており、
前記第２支承部および前記支持板の一方には、前記第１軸に平行な長溝が設けられ、前記第２支承部および前記支持板の他方には前記長溝をスライドする第２凸部が設けられ、前記長溝と前記第２凸部が係合することで前記第２支承部と前記支持板とは前記第１軸に沿った方向の相対移動を許容するように係合している
ことが好ましい。

本発明の一実施形態では、
前記定盤の下面側に除振用の弾性体が２つ以上設置されていて、
前記第１支承部から前記第２軸に平行な第１仮想線を引くと、第１仮想線上に１つの弾性体があり、
前記第２支承部から前記第２軸に平行な第２仮想線を引くと、第２仮想線上に他の弾性体がある
ことが好ましい。

第１実施形態において、ブロック図である。 定盤を裏面から見た図である。 台座部の分解図である。 支持板の可動方向を説明するための図である。 定盤の変形を例示する図である。 定盤の変形を例示する図である（背景技術）。 定盤の変形を例示する図である（背景技術）。

本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。
第１実施形態は、産業機械としての三次元測定機１００である。
図１は、三次元測定機１００の外観図である。
説明のため、図１中、定盤２１０の左右方向の辺に沿ってＹ軸（第１軸）をとり、定盤２１０の面内においてＹ軸（第１軸）に直交する方向にＸ軸（第２軸）をとり、Ｘ軸およびＹ軸に直交する方向（高さ方向）にＺ軸（第３軸）をとる。

本実施形態の三次元測定機１００は、測定機本体部２００と、台座部３００と、角度誤差検出手段４００と、を備える。

測定機本体部２００の構成自体は、既存の三次元測定機と基本的に同じであるが、簡単に説明しておく。
測定機本体部２００は、定盤２１０と、移動機構２５０と、プローブ２５５と、を備える。

定盤２１０は、石または合金で製作されており、定盤２１０の上面は高精度に平坦に仕上げられている。ここでは、定盤２１０は、上面が矩形の直方体形状であり、各辺がＹ軸、Ｘ軸、Ｚ軸に平行であるとする。（言い換えると、定盤２１０を基準に（マシン座標系の）直交三軸座標系をとる。）
なお、防振（除振）のため、定盤２１０は、防振ゴム２１１または除振台の上に設置される。したがって、定盤２１０（の上面）は、建物や建物の床面（あるいは地面）に対して固定されているわけではない。
定盤２１０の上面は、ワーク（測定対象物や加工対象物）を載置する載置面となるとともに、定盤２１０の上面は移動機構２５０の移動をガイドするレール２２０ともなる。

また、例えば、マシン座標系を設定する場合、マシン座標系は定盤２１０の上面をＸＹ平面とする。すなわち、定盤２１０の上面が基準面となる。定盤２１０は、その材質や構造から剛性を十分に高く保つように製作されているものではあるが、例えば重量物が載置されたような場合、例えば図５に例示のように、極僅かに変形（例えば湾曲）してしまうことはやむを得ないことである。

移動機構２５０は、定盤２１０上をＹ方向にスライド可能に設けられた門型のＹスライダ（第１移動体）２５１と、Ｙスライダ２５１のＸ方向のビームに沿ってスライドするＸスライダ２５２と、Ｘスライダ２５２に固定されたＺ軸コラム２５３と、Ｚ軸コラム２５３内をＺ方向に昇降するＺスピンドル２５４と、を備える。

定盤２１０の＋Ｘ方向側の端部において、Ｙ軸に平行な方向に、Ｙスライダ（第１移動体）２５１のＹ方向移動をガイドするガイドレール２２０（例えばガイド溝）が設けられている。
Ｙスライダ２５１は定盤２１０のガイドレール２２０で案内されるので、Ｙスライダ２５１の駆動性能は定盤２１０の平面度に影響を受けることになる。例えば、定盤２１０が図５に例示のように湾曲すると、Ｙスライダ２５１がＹ方向に移動するときＹスライダ２５１自体がＸ軸回りにわずかに回転することになる。
また、定盤２１０（ガイドレール２２０）の変形（湾曲、撓み）により、Ｙスライダ２５１の軌道は直線から誤差をもつことになる。このＹスライダ２５１の運動誤差は測定値に測定誤差として乗ってくるため、この誤差分を角度誤差検出手段４００で検出して補正することになる。

Ｙスライダ２５１、Ｘスライダ２５２およびＺスピンドル２５４には、それぞれ駆動モータ（不図示）とエンコーダ（不図示）とが付設されている。内蔵または外部の制御器（モーションコントローラ）からの駆動制御信号によって各駆動モータが駆動制御される。エンコーダは、Ｙスライダ２５１、Ｘスライダ２５２およびＺスピンドル２５４それぞれの移動量を検出し、検出値を外部の制御器（モーションコントローラ）に出力する。

Ｚスピンドル２５４の下端にプローブ２５５が取り付けられている。プローブ２５５は、その先端に球状の測定子を有し、測定子はワーク（測定対象物）Ｗに接触する。

台座部３００は、定盤２１０の脇に付設され、角度誤差検出手段４００に角度検出の参照面を提供する。台座部３００は、第１支承部３１０と、第２支承部３２０と、支持板３５０と、を備える。定盤２１０の＋Ｘ方向側のＹＺ面に平行な側端面を台座付設面２３０と称することにする。

台座付設面２３０から＋Ｘ方向に突起するように第１支承部３１０および第２支承部３２０が取り付けられている。ここでは、台座付設面２３０において－Ｙ方向寄りに第１支承部３１０が設けられ、台座付設面２３０において＋Ｙ方向寄りに第２支承部３２０が設けられている。

いま、定盤２１０の下に除振用の防振ゴム２１１を設置する場合、平面視したときに、防振ゴム２１１と第１、第２支承部３１０，３２０とがＸ軸に平行な仮想線上に乗っていることが好ましい。
例えば、図２は、定盤２１０を裏面から見た図である。
３つの防振ゴム２１１Ａ－２１１Ｃを定盤２１０の裏面に配置し、第１、第２、第３防振ゴム２１１Ａ，２１１Ｂ，２１１Ｃとする。ここでは３点支持の場合を例示する。第１防振ゴム２１１Ａと第２防振ゴム２１１Ｂとを＋Ｘ方向寄りのコーナー寄りに配置する。第３防振ゴム２１１Ｃを－Ｘ方向寄りの辺の中央付近に配置するとする。平面視したとき、第２支承部３２０と第１防振ゴム２１１ＡとはＸ軸に平行な一直線（第１仮想線）上にあり、第１支承部３１０と第２防振ゴム２１１ＢとはＸ軸に平行な一直線（第２仮想線）上にある。

このように設けられた第１支承部３１０と第２支承部３２０との上に、支持板３５０が第１支承部３１０と第２支承部３２０とに跨がるように載せられて保持されている。
図３は、台座部３００の分解図である。
支持板３５０は、横からみたときに偏平で、平面視したときに細幅で長尺の長板であって、できる限り平坦に形成されている。支持板３５０の材質としては、樹脂、アルミニウム（アルミニウム合金）、ガラスなどでもよく、特段限定されるものではないが、長期にわたって劣化せず、真直性を保つものがよい。

いま、第１支承部３１０と支持板３５０とは、固定側係合手段３３０で係合しており、第２支承部３２０と支持板３５０とは、可動側係合手段３４０で係合している。すなわち、第１支承部３１０と支持板３５０とは、基準面（ＸＹ平面）に平行な方向では互いに相対移動しないように固定的に係合または連結されている。第２支承部３２０と支持板３５０とは、第１軸（Ｙ軸）に沿った方向の相対移動を許容するように係合している。

固定側係合手段３３０を説明する。
固定側係合手段３３０は、第１支承部３１０の上面に設けられた第１凹部３３１と、支持板３５０の下面に設けられた第１凸部３３２と、を有する。
第１支承部３１０の上面に凹状の穴が設けられている。
この凹状の穴を第１凹部３３１と称することにする。
第１凹部３３１は、球（できれば真球）の一部である。第１凹部３３１は、１つでもよいし、複数（２以上）でもよい。ただし、第１凹部３３１を複数（２以上）設ける場合、第１凹部３３１は第２軸（Ｘ軸）に平行に配列されている必要がある。図３では、第１支承部３１０の上面に第１凹部３３１を１つ設け、その他の領域はただの平坦面としている。

支持板３５０の下面において、－Ｙ方向寄りの位置に球状の突起が設けられている。
この球状突起を第１凸部３３２と称することにする。
第１凸部３３２は、球（できれば真球）の一部である。
図３では、支持板３５０の下面において、第１凹部３３１にちょうど嵌まる比較的径大の第１凸部３３２が１つと、その隣に比較的径小の補助凸部３３３が１つ設けられている。第１凸部３３２と補助凸部３３３とは、第２軸（Ｘ軸）に平行に配列されている。第１凸部３３２は第１凹部３３１に嵌まる。これに対し、補助凸部３３３は、第１支承部３１０の上面の平坦面に点接触する。（補助凸部３３３は、先端が尖った錐形の凸部でもよい。）

これにより、支持板３５０の下面と第１支承部３１０の上面との間に少しギャップができる。もちろん、第１凸部３３２と補助凸部３３３のそれぞれの高さ（径）は、第１凸部３３２が第１凹部３３１に嵌まったときに支持板３５０の上面が水平になるように設計されている。また、横からみたとき、第１凸部３３２および第１凹部３３１の球の中心と補助凸部３３３の頂点（最下点）とが同じ高さになっているとよい。

この構成により、図４に例示のように、第１支承部３１０と支持板３５０とは、基準面（ＸＹ平面）に平行な方向では互いに相対移動しないのであるが、第１支承部３１０と支持板３５０とは、第１凸部３３２、第１凹部３３１の球の中心を回転中心としてわずかに相対的に回動できるようになっている。

次に、可動側係合手段３４０を説明する。
可動側係合手段３４０は、第２支承部３２０の上面に設けられた第１軸（Ｙ軸）に平行な長溝３４１と、支持板３５０の下面に設けられた第２凸部３４２と、を有する。第２凸部３４２が長溝３４１に沿って第１軸（Ｙ軸）の方向にスライドできるようになっている。これにより、支持板３５０の＋Ｙ側の端部は、定盤２１０に対して第１軸（Ｙ軸）の方向にスライド変位が許容されている。なお、第２凸部３４２は、球の一部であることが好ましい。これは、第２支承部３２０と支持板３５０とが、第２凸部３４２の中心を回転中心としてわずかに相対的に回動することを許容するためである。

いま、例えば、定盤２１０上にワークを載置したとする。すると、定盤２１０といえども、わずかであるが変形して撓む。（なお、図５中では、説明のために誇張して描画している。）
定盤２１０は、Ｙスライダ２５１のレールも兼ねているため、定盤２１０の変形（撓み）はＹスライダ２５１の運動性能誤差に繋がることになる。
ここで、本実施形態において支持板３５０は第１支承部３１０と第２支承部３２０とに載せられて保持されており、定盤２１０とは別体である。そして、支持板３５０と第１支承部３１０との間は固定側係合手段３３０によりＸ軸と平行な回転軸回りの回転だけが許容され、支持板３５０と第２支承部３２０との間は可動側係合手段３４０によりＹ軸方向への相対変位とＸ軸と平行な回転軸回りの回転とだけが許容されている。したがって、支持板３５０は定盤２１０の撓み変形とは分離され、定盤２１０の撓みがあっても、支持板３５０はもとの形状（真直性）を維持する。

一方、定盤２１０の下面には防振ゴム２１１が配置されているので、定盤２１０上にワークが載置されたときに定盤２１０が沈む（Ｚ軸方向に下がる）。このとき、もちろん、支持板３５０は、定盤２１０のＺ軸方向変位には追従して同じように下がる。さらに、定盤２１０が全体としてわずかに傾いたとする。例えば、ワークが定盤２１０の端寄りに載置された場合、重量が掛かる側が沈んで傾斜することになる。（例えばＹ軸回りの回転や、Ｘ軸回りの回転や、これらのＸ軸回りおよびＹ軸回りの回転の合成で傾斜する。）このとき、支持板３５０は、定盤２１０の全体的な傾斜には追従して、定盤２１０と同じ傾斜（姿勢）になる。

また、定盤２１０は、Ｙスライダ２５１と直に接しているとともに、防振ゴム２１１上に載っている。したがって、Ｙスライダ２５１が移動するとき、定盤２１０には微小な振動が発生する。ただし、支持板３５０は、定盤２１０と直結されているわけではないので、支持板３５０に定盤２１０の微小振動は伝わりにくく、Ｙスライダ２５１の移動時でも支持板３５０は振動せずに安定している。

角度誤差検出手段４００は、測定側角度計４１０と参照側角度計４２０とを有する。
測定側角度計４１０と参照側角度計４２０とは、いわゆる二軸角度水準器（二軸角度計）である。
測定側角度計４１０は、Ｙスライダ（第１移動体）２５１に取り付けられている。測定側角度計４１０は、Ｙスライダ（第１移動体）２５１のＸ軸回りの回転（ピッチング）と、Ｙスライダ（第１移動体）２５１のＹ軸回りの回転（ローリング）と、を検出できるように設けられている。もちろん、測定側角度計４１０が、さらに、Ｙスライダ（第１移動体）２５１のＺ軸回りの回転（ヨーイング）も検出できるようになっていてもよい。

ここで、Ｙスライダ（第１移動体）２５１をＹ方向の一端から他端へ移動させたとする。このとき、Ｙスライダ２５１の移動の真直誤差によりＹスライダ２５１には運動誤差（幾何学誤差）として回転の要素が加わる。（Ｙスライダ２５１の移動の真直誤差は、例えば、定盤２１０の撓み等に起因する。）したがって、Ｙスライダ２５１の位置（Ｙ座標位置）ごとに測定側角度計４１０はＹスライダ２５１の傾斜角度（θｘｍ、θｙｍ）を取得する。

θｘｍは、測定側角度計４１０で計測されるＹスライダ２５１のＸ軸回り回転角（ピッチング角）とする。
θｙｍは、測定側角度計４１０で計測されるＹスライダ２５１のＹ軸回り回転角（ヨーイング角）とする。
取得された傾斜角度値（θｘｍ、θｙｍ）により、各Ｙ座標位置におけるＹスライダ２５１の姿勢の傾斜角がわかる。また、傾斜角度値（θｘｍ、θｙｍ）をＹ座標位置で積分すれば、各Ｙ座標位置での定盤２１０の撓み量がわかる。

参照側角度計４２０は、支持板３５０の上に設置されている。
参照側角度計４２０は、支持板３５０に設置されていれば、支持板３５０の端か中央かは問わないが、できれば、支持板３５０のＹ方向（第１軸方向）の中央に設置されているとよい。参照側角度計４２０は、測定側角度計４１０と同じく、Ｘ軸回りの回転（ピッチング）およびＹ軸回りの回転（ローリング）を検出するように設けられている。（もちろん、参照側角度計４２０が、さらに、Ｚ軸回りの回転（ヨーイング）を検出できるようになっていてもよい。）

参照側角度計４２０は、測定側角度計４１０の角度計測値の基準値（参照値）を与えるものである。前述したように、定盤２１０にワークを載置すると、定盤２１０は撓んで変形する。これに対し、支持板３５０は、定盤２１０の全体的な傾斜には追従するが、定盤２１０の変形（撓み）とは分離される。したがって、参照側角度計４２０の計測値（θｘｒ、θｙｒ）は、定盤２１０の姿勢を示す基準値（参照値）を与えることになる。

測定側角度計４１０の計測値（θｘｍ、θｙｍ）から参照側角度計４２０の計測値（θｘｒ、θｙｒ）を減算すれば、定盤２１０上の平坦な仮想平面を基準としたＹスライダ２５１の運動誤差が求められることになる。すなわち、各Ｙ座標位置におけるＹスライダ２５１の姿勢の傾斜角（（θｘｍ－θｘｒ）、（θｙｍ－θｙｒ））が得られる。さらに、定盤２１０の撓み量は、積分すればよい。
δｙ＝∫（θｘｍ－θｘｒ）ｄｙ
δｘ＝∫（θｙｍ－θｙｒ）ｄｙ

ワークを定盤２１０に載置した後、ワークを実際に測定する前にＹスライダ２５１を何度か往復させて、各Ｙ座標位置におけるＹスライダ２５１の姿勢の傾斜角を得て、これをもとに各Ｙ座標位置における補正パラメータを求めておく。ワークを測定して得た測定値をこの補正パラメータで補正することにより、測定機（測定値）の空間精度補正が施された正確な測定値が得られる。

上記構成を備える本実施形態によれば次の効果を奏することができる。すなわち、支持板３５０は定盤２１０の変形（撓み）とは分離されており、ワークが定盤２１０に載ったときに定盤２１０が変形（例えば湾曲）したとしても支持板３５０には影響しない。したがって、参照側角度計４２０は定盤２１０の変形（例えば湾曲）の影響を受けない。一方、ワークが定盤２１０に載ったときの定盤２１０の大きな変化（傾斜や沈み）等は支持板３５０も一緒に追随するから、その分の角度変化は参照側角度計４２０に反映され得る。

また、Ｙスライダ２５１の移動時に定盤２１０が細かく揺れる（振動する）としても、支持板３５０は定盤２１０とは分離したものになっているので、細かな振動は支持板３５０には伝わらず、参照側角度計４２０が細かな振動を拾うことがなくなる。
これにより、参照側角度計４２０は、正確かつ適切な角度参照値を与え、測定機（測定値）の空間精度補正の精度、正確さを格段に向上させることができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
例えば、産業機械１００としては三次元測定機１００に限らず、バイト等を具備する工作機械でもよい。
上記実施形態では、固定側係合手段３３０として、第１凹部３３１を第１支承部３１０に設け、第１凸部３３２を支持板３５０に設けたが、これを逆にして、第１凹部３３１を支持板３５０に設け、第１凸部３３２を第１支承部３１０に設けてもよい。同じく、可動側係合手段３４０として、長溝３４１を支持板３５０に設け、第２凸部を第２支承部３２０に設けるようにしてもよい。

１００ 三次元測定機（産業機械）
２００ 測定機本体部
２１０ 定盤
２１１Ａ－２１１Ｃ 防振ゴム
２２０ ガイドレール
２３０ 台座付設面
２５０ 移動機構
２５１ Ｙスライダ（第１移動体）
２５２ Ｘスライダ
２５３ Ｚ軸コラム
２５４ Ｚスピンドル
２５５ プローブ
３００ 台座部
３１０ 第１支承部
３２０ 第２支承部
３３０ 固定側係合手段
３３１ 第１凹部
３３２ 第１凸部
３３３ 補助凸部
３４０ 可動側係合手段
３４１ 長溝
３５０ 支持板
４００ 角度誤差検出手段
４１０ 測定側角度計
４２０ 参照側角度計。

Claims (5)

1. 上面が基準面を構成する定盤と、
   前記定盤上において、前記基準面に平行な第１軸に沿った第１駆動軸に沿って移動するように設けられた第１移動体と、
   前記第１軸と直交しかつ前記基準面に平行な第２軸の軸回りにおける前記第１移動体の角度誤差を検出する角度誤差検出手段と、を備え、
   前記第１移動体が移動するときに前記角度誤差検出手段にて検出される角度に基づいて、前記第１移動体の駆動性能誤差を補正する産業機械であって、
   前記定盤において前記第２軸と交差する側の側面側にあって、前記第１駆動軸と平行に配置された支持板が設けられており、
   前記支持板は、前記支持板の前記第１軸に平行な方向では前記定盤に拘束されないように設けられており、
   前記角度誤差検出手段は、前記支持板に設置される参照側角度計と、前記第１移動体に設置される測定側角度計と、を有する
   ことを特徴とする産業機械。
2. 請求項１に記載の産業機械において、
   前記定盤において前記第２軸と交差する側の側面から前記第２軸の方向に突起するように第１支承部と第２支承部とが設けられ、
   前記第１軸に沿う方向において前記第１支承部と第２支承部との間は所定の間隔があり、
   前記支持板は、前記第１支承部と前記第２支承部とに架設されている
   ことを特徴とする産業機械。
3. 請求項２に記載の産業機械において、
   前記第１支承部と前記支持板とは、前記基準面に平行な方向では互いに相対移動しないように係合または連結されており、
   前記第２支承部と前記支持板とは、前記第１軸に沿った方向の相対移動を許容するように係合している
   ことを特徴とする産業機械。
4. 請求項３に記載の産業機械において、
   前記第１支承部および前記支持板の一方に凹状の穴が設けられ、前記第１支承部および前記支持板の他方に前記穴に嵌入する第１凸部が設けられ、前記穴に前記第１凸部が嵌まることで前記第１支承部と前記支持板とは係合または連結されており、
   前記第２支承部および前記支持板の一方には、前記第１軸に平行な長溝が設けられ、前記第２支承部および前記支持板の他方には前記長溝をスライドする第２凸部が設けられ、前記長溝と前記第２凸部が係合することで前記第２支承部と前記支持板とは前記第１軸に沿った方向の相対移動を許容するように係合している
   ことを特徴とする産業機械。
5. 請求項２から請求項４のいずれかに記載の産業機械において、
   前記定盤の下面側に除振用の弾性体が２つ以上設置されていて、
   前記第１支承部から前記第２軸に平行な第１仮想線を引くと、第１仮想線上に１つの弾性体があり、
   前記第２支承部から前記第２軸に平行な第２仮想線を引くと、第２仮想線上に他の弾性体がある
   ことを特徴とする産業機械。

Images