CN216398391U - 同轴调节装置及激光加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种同轴调节装置及包括该同轴调节装置的激光加工设备。该同轴调节装置包括调节参考件和透镜安装座，调节参考件具有通孔，通孔的边缘设置有沿第三方向延伸的第一刻度线及沿第二方向延伸的第二刻度线；透镜安装座的两端分别间隔设置有调节参考件；透镜安装座用于安装透镜组，透镜组的外壁设置有长度沿自身轴向延伸的第三刻度线和第四刻度线，且二者周向间隔。以两侧的调节参考件的刻度线为基准，通过调节透镜组相对调节参考件的角度，使得透镜组的刻度线与调节参考件上的刻度线共线，实现透镜组与通孔同轴。由于光束直接穿过通孔的轴心，从而保证光束与透镜组同轴，解决现有技术中加工装存在的调节不便的问题。

Description

同轴调节装置及激光加工设备

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，特别是涉及一种同轴调节装置及激光加工设备。

背景技术

激光加工是利用光的能量经过透镜组聚焦后在焦点上达到很高的能量密度，靠光热效应来加工的。激光加工不需要工具、加工速度快、表面变形小，可加工各种材料。用激光束对材料进行各种加工，如打孔、切割、划片、焊接、热处理等。

激光加工设备中的光路中通常有很多光学器件，例如光学波片、扩束镜、整形器等，光学器件需要与激光光束同轴心才能达到最佳的加工效果。

现有的调节光束与光学器件同心的方式是在光学器件的入口加装小孔工装，在出口观察光束的衍射环，调节光学器件，使小孔工装的中心与光束同轴。调节完入口后，取下入口小孔工装装在出口，再调节出口小孔工装与光束同轴。由于在调节入口时，出口的位置会受到影响，调节出口时，入口的位置会受到影响，因此需要反复多次调节出入口位置，最终调节出来的效果可能也不理想，可见，现有上述的方式存在使用调节不便的问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的同轴调节方式存在使用不便的问题，提供一种解决上述问题的同轴调节装置。

一种同轴调节装置，包括调节参考件和透镜安装座；所述调节参考件具有通孔，所述通孔的边缘设置有沿第三方向延伸的第一刻度线及沿第二方向延伸的第二刻度线，所述第二方向和所述第三方向呈角度；所述透镜安装座的两端分别间隔设置有至少一个所述调节参考件；所述透镜安装座用于安装透镜组，所述透镜组的外壁设置有长度沿自身轴向延伸的第三刻度线和第四刻度线，且二者沿所述透镜组的周向间隔设置；通过调节所述透镜组相对所述调节参考件的角度，以使所述第一刻度线与所述第三刻度线之间、所述第二刻度线与所述第四刻度线之间均能够沿第一方向共线，所述通孔与所述透镜组同轴。

在其中一个实施例中，所述同轴调节装置还包括第一支架和安装于所述第一支架的第一指示器；所述第一指示器与所述透镜组沿第三方向间隔设置，所述第一指示器用于发射第一平面光，所述第一平面光能够与所述第一刻度线和所述第三刻度线均重合。

在其中一个实施例中，所述同轴调节装置还包括第二支架和安装于所述第二支架的第二指示器；所述第二指示器与所述透镜组沿第二方向间隔设置，所述第二指示器用于发射第二平面光，所述第二平面光能够与所述第二刻度线和所述第四刻度线均重合。

在其中一个实施例中，所述同轴调节装置还包括第一连接件，所述第一连接件穿过所述第一指示器沿第三方向的一端并连接于所述第一支架；所述同轴调节装置还包括与所述第一连接件间隔设置的第二连接件，所述第二连接件穿过所述第一指示器沿第一方向的一端并连接于所述第一支架。

在其中一个实施例中，所述第一连接件和所述第二连接件均包括头部和连接于所述头部的杆部，且所述杆部背离所述头部的一端穿过所述第一指示器连接于所述第一支架，且所述杆部活动连接于所述第一指示器；所述杆部套设有弹性件，且所述弹性件抵接于所述头部与所述第一指示器之间，以将所述第一指示器相对所述第一支架压紧。

在其中一个实施例中，所述同轴调节装置还包括滚珠，所述滚珠设置于所述第一支架和所述第一指示器之间，且与二者转动连接；所述第一支架设置有长度沿第一方向延伸的第一滑槽、及长度沿第三方向延伸的第二滑槽；所述同轴调节装置还包括间隔设置的第一球头柱和第二球头柱，所述第一球头柱的一端穿过所述第一指示器滑动连接于所述第一滑槽，所述第二球头柱的一端穿过所述第一指示器滑动连接于所述第二滑槽，且所述第一球头柱和所述第二球头柱均螺纹旋接于所述第一指示器；所述滚珠和所述第二球头柱共同形成第二转轴，所述第一球头柱绕自身轴线转动，能够带动所述第一指示器沿所述第一方向的一端相对所述第一支架绕所述第二转轴偏转；所述滚珠和所述第一球头柱共同形成第一转轴，所述第二球头柱绕自身轴线转动，能够带动所述第一指示器沿所述第三方向的一端相对所述第一支架绕所述第一转轴偏转。

在其中一个实施例中，所述透镜安装座包括连接于所述透镜组的活动板、连接于所述活动板的固定板、及多个第一调节柱，所述第一调节柱的一端连接于所述固定板，另一端抵接于所述活动板，所述第一调节柱用于调节所述活动板与所述固定板沿第二方向的间距。

在其中一个实施例中，所述透镜安装座还包括多个第二调节柱，所述第二调节柱的一端连接于所述活动板，另一端抵接于所述固定板，所述第二调节柱用于调节所述活动板与所述固定板沿第三方向的间距。

在其中一个实施例中，所述调节参考件包括用于安装镜架的底座和连接于所述底座的通光板，所述通孔设置于所述通光板。

在其中一个实施例中，所述同轴调节装置还包括透镜组。

本实用新型还提供一种激光加工设备，能够解决上述至少一个技术问题。

一种激光加工设备，包括如上所述的同轴调节装置。

本技术方案具有以下有益效果：上述同轴调节装置，包括调节参考件和透镜安装座，调节参考件具有通孔，通孔的边缘设置有沿第三方向延伸的第一刻度线及沿第二方向延伸的第二刻度线；透镜安装座的两端分别间隔设置有至少一个调节参考件；透镜安装座用于安装透镜组，透镜组的外壁设置有长度沿自身轴向延伸的第三刻度线和第四刻度线，且二者周向间隔。通过在透镜组和调节参考件上分别设置指向第二方向的刻度线和指向第三方向的刻度线，由于两个刻度线的交汇处分别对应透镜组和通孔的轴心，因此以两侧的调节参考件的刻度线为基准，调节透镜组相对调节参考件的角度，使得透镜组的刻度线与调节参考件上的刻度线共线，从而实现透镜组与通孔同轴。由于光束直接穿过通孔的轴心，从而保证光束与透镜组同轴，解决现有技术中加工装存在的调节不便的问题。

本实用新型提供的一种激光加工设备，包括上述的同轴调节装置，因而便于通过同轴调节装置调节光束与透镜组同轴，以满足实际的加工需求，提高了实际加工的灵活性。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的同轴调节装置的结构示意图；

图2为图1所示的同轴调节装置在另一视角的示意图；

图3为图1所示的A处的局部放大图；

图4为图1所示的B处的局部放大图；

图5为增加了平面光的同轴调节装置的结构示意图。

附图标号：10-同轴调节装置；110-调节参考件；111-底座；112-通光板；1121-通孔；120-反射镜；

210-透镜安装座；220-透镜组；

310-第一支架；320-第二支架；

410-第一指示器；420-第二指示器；

510-第一球头柱；520-第二球头柱；530-滚珠；540-第一连接件；550-第二连接件；560-弹性件；

610-活动板；620-固定板；630-第一调节柱；640-第二调节柱；2000-光束。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

现有的一个应用场景中，调节光束与光学器件同心的方式通常为在光学器件的入口加装小孔工装，通过在出口观察光束的衍射环，并调节光学器件，使小孔工装的中心与光束同轴。调节完入口后，取下入口小孔工装装在出口，再调节出口小孔工装与光束同轴。在此过程中，发明人发现，由于在调节入口时，出口的位置会受到影响，调节出口时，入口的位置会受到影响，因此需要反复多次调节出入口位置，最终调节出来的效果可能也不理想，而且加装工装会遮挡光束，无法直接观察透镜组之后的光束效果，需要取下工装后才能观察到光束效果，为了解决上述技术问题，于是有了本申请的发明构思，具体将通过下述实施例进行说明。

图1为本实用新型一实施例提供的同轴调节装置的结构示意图；图2为图1所示的同轴调节装置在另一视角的示意图。

在一个应用场景中，下述实施例的第一方向可以为X方向，第二方向可以为Y方向，第三方向可以为Z方向。如图1和图2所示，本实用新型一实施例提供的同轴调节装置10包括调节参考件110和透镜安装座210；调节参考件110具有通孔1121，通孔1121的边缘设置有沿Z方向延伸的第一刻度线及沿Y方向延伸的第二刻度线；透镜安装座210的两端分别间隔设置有至少一个调节参考件110；透镜安装座210用于安装透镜组220，透镜组220的外壁设置有长度沿自身轴向延伸的第三刻度线和第四刻度线，且第三刻度线和第四刻度线沿周向间隔；调节透镜组220相对调节参考件110的角度，第一刻度线与第三刻度线之间，以及第二刻度线与第四刻度线之间均能够沿X方向共线，以使通孔1121与透镜组220同轴。

如图1所示，具体地，第一刻度线与第二刻度线之间形成的第一夹角、第三刻度线和第四刻度线之间形成的第二夹角的大小一致，且第一刻度线和第二刻度线的交汇处对应通孔1121的轴心，第三刻度线和第四刻度线的交汇处对应透镜组220的轴心。因此，具体调节时，可以两侧的调节参考件110上设置的刻度线为基准，调节透镜组220相对调节参考件110的角度，使得透镜组220的刻度线与调节参考件110上的刻度线共线，实现透镜组220与调节参考件110上的通孔1121同轴。由于光束2000直接穿过通孔1121的轴心，从而保证光束2000与透镜组220同轴，解决现有技术中加工装存在的调节不便的问题，从而提高同轴调节的便捷性。

图5为增加了平面光的同轴调节装置的结构示意图。如图1和图5所示，在一实施例中，同轴调节装置10还包括第一支架310和安装于第一支架310的第一指示器410。第一指示器410与透镜组220沿Z方向间隔设置，第一指示器410用于发射第一平面光，第一平面光与XOZ平面平行。当第一刻度线和第三刻度线共线时，第一指示器410发射出的第一平面光能够与第一刻度线和第三刻度线重合。如此，能够方便的通过第一指示器410判断出第一刻度线和第三刻度线是否处于共线状态。在其他实施方式中，也可通过丝线等条状物判断两个刻度线是否共线，丝线的两端分别与调节参考件110上的刻度共线，将丝线拉直，判断丝线与透镜组220接触的位置是否与透镜组220上的刻度线共线即可。

如图1和图5所示，在又一实施例中，同轴调节装置10还包括第二支架320和安装于第二支架320的第二指示器420，第二指示器420与透镜组220沿Y方向间隔设置，第二指示器420用于发射第二平面光，第二平面光与XOY平面平行。当第二刻度线和第四刻度线共线时，第二指示器420发射出的第二平面光能够与第二刻度线和第四刻度线重合。如此，能够方便的通过第二指示器420判断出第二刻度线和第四刻度线是否处于共线状态。

在安装调试时，可先将第一平面光与两侧调节参考件110上的第一刻度线重合，确定第一基准面。其次，使得第二平面光与两侧调节参考件110上的第二刻度线重合，从而确定第二基准面。然后调节透镜组220相对调节参考件110的角度，使得透镜组220的两条刻度线分别与第一平面光和第二平面光重合，从而定位透镜组220的准确位置，实现光束2000与透镜组220同轴。

图3为图1所示的A处的局部放大图。如图1和图3所示，在其中一个实施例中，同轴调节装置10还包括第一连接件540，第一连接件540穿过第一指示器410沿Z方向的一端并连接于第一支架310；同轴调节装置10还包括与第一连接件540间隔设置的第二连接件550，第二连接件550穿过第一指示器410沿X方向的一端并连接于第一支架310。通过设置第一连接件540和第二连接件550，将第一指示器410固定于第一支架310上，提高第一指示器410的安装稳定性，进而保证第一指示器410发出的第一平面光的稳定性，降低第一指示器410晃动对光束2000与透镜组220的调节精度的影响。第一连接件540和第二连接件550均可以为螺杆，螺杆的一端穿过第一指示器410螺纹连接于支架。第二指示器420连接于第二支架320的方式与第一指示器410连接于第一支架310的方式一致，此处不再赘述。

如图3所示，在一个具体的实施例中，第一连接件540和第二连接件550均包括头部和连接于头部的杆部，且杆部背离头部的一端穿过第一指示器410连接于第一支架310，且杆部活动连接于第一指示器410；杆部套设有弹性件560，且弹性件560抵接于头部与第一指示器410之间，以将第一指示器410相对第一支架310压紧。弹性件560抵接于第一指示器410和头部之间时，处于压缩状态，因此能够将第一指示器410压紧于第一支架310，保证第一指示器410和第一支架310的连接效果。另外，由于第一指示器410和头部之间设置有弹性件560，从而能够减小二者之间的接触磨损，提高使用寿命。

如图3所示，在又一个实施例中，同轴调节装置10还包括滚珠530，滚珠530设置于第一支架310和第一指示器410之间，且与二者转动连接。第一支架310设置有长度沿X方向延伸的第一滑槽、及长度沿Z方向延伸的第二滑槽。同轴调节装置10还包括间隔设置的第一球头柱510和第二球头柱520，第一球头柱510的一端穿过第一指示器410滑动连接于第一滑槽，第二球头柱520的一端穿过第一指示器410滑动连接于第二滑槽，且第一球头柱510和第二球头柱520均螺纹旋接于第一指示器410。滚珠530和第二球头柱520共同形成第二转轴，滚珠530和第一球头柱510共同形成第一转轴。

在滚珠530、第一滑槽以及第一连接件540的配合下，限制第一支架310绕滚珠530转动，保证第一支架310的安装稳定性。由于第一球头柱510和第二球头柱520均与第一支架310螺纹连接，因此当第一球头柱510绕自身轴线转动时，能够带动第一指示器410沿X方向的一端相对第一支架310绕第二转轴偏转；第二球头柱520绕自身轴线转动，能够带动第一指示器410沿Z方向的一端相对第一支架310绕第一转轴偏转。也就是说，第一指示器410的一端能够相对第一支架310沿Y方向微微翘起，使得二者之间的角度和间距发生改变，实现微调。如此，当调节参考件110或者是第一支架310存在安装误差，导致第一平面光与第一刻度线无法重合时，则可以通过调节第一指示器410相对第一支架310的角度，从而改变第一平面光的出光位置，使得第一平面光与两侧调节参考件110的第一刻度线重合，便于后续的同轴调节操作。另外，由于转动第一球头柱510和第二球头柱520实现的微调幅度有限，可通过第一球头柱510和第二球头柱520分别沿第一滑槽和第二滑槽移动，改变第一球头柱510和第二球头柱520对应端的第一指示器410相对第一支架310的角度和间距，满足实际的调节需求。

图4为图1所示的B处的局部放大图。如图1和图4所示，在一个具体的实施例中，透镜安装座210包括连接于透镜组220的活动板610、连接于活动板610的固定板620、及多个第一调节柱630，第一调节柱630的一端连接于固定板620，另一端抵接于活动板610，第一调节柱630用于调节活动板610与固定板620沿Y方向的间距。具体而言，固定板620呈现为L型，包括竖板和横板。活动板610上沿X方向的两端设置有安装板，安装板上设置有安装孔，用于安装透镜组220。第一调节柱630设置有两个，两个第一调节柱630分别螺纹连接于竖板沿X方向的两端。只调节单侧的第一调节柱630时，对应侧的活动板610相对固定板620沿Y方向偏转，使得活动板610与固定板620之间的角度发生改变。同时调节两侧的第一调节柱630，且两侧的旋进量或旋出量相同时，活动板610相对固定板620沿Y方向靠近或远离，使得二者之间的间距发生改变。如此，通过调节第一调节柱630相对固定板620的伸出长度，改变固定板620与活动板610沿Y方向的间距和角度。第一调节柱630具体可为螺栓等。在其他实施方式中，第一调节柱630也可为伸缩杆的结构。

如图1所示，在又一个具体的实施例中，透镜安装座210还包括多个第二调节柱640，第二调节柱640的一端连接于活动板610，另一端抵接于固定板620，第二调节柱640用于调节活动板610与固定板620沿Z方向的间距。具体而言，多个第二调节柱640分别螺纹连接于活动板610沿X方向的两端。调节单侧的第二调节柱640时，对应侧的活动板610相对固定板620沿Z方向偏转。同时调节两侧的第二调节柱640时，活动板610相对固定板620沿Z方向的间距发生改变。在第一调节柱630和第二调节柱640的共同作用下，改变活动板610的位置，使得安装于活动板610上的透镜组220相对调节参考件110的角度和位置发生改变，使得透镜组220上的刻度线与调节参考件110上的刻度线共线，进而实现透镜组220与光束2000同轴。

如图1所示，在其中一个实施例中，调节参考件110具体可以为镜架安装座，包括用于安装镜架的底座111和连接于底座111的通光板112，通孔1121设置于通光板112。在实际使用过程中，可能还需要用到光学器件，例如光阑和光学波片等。因此，通过设置通光板112，通过通光板112上的通孔1121直接安装光学器件，光束2000通过通孔1121中的光学器件射向调节参考件110上安装的镜架，提高使用便利性。

需要说明的是，上述的调节参考件110具体还可以仅例如为通光板112的结构，该通光板可以为例如圆环结构(图中未示出)，该圆环结构的外侧边缘上设置有上述实施例的刻度线，为避免累赘，此处便不展开描述。

如图5所示，在其中一个实施例中，底座111上开设有安装孔，安装孔用于安装透镜或反射镜120。通过设置镜架安装孔，将反射镜120或透镜通过螺栓等固定件固定安装在底座111上。每组镜架安装孔至少设置有两个，两点确定一条直线，以确定反射镜架的安装方向，反射镜架的反射镜120面朝向通光板112，以对入射光束进行反射。若需改变反射光束2000的方向，只需改变反射镜架的安装方向即可，不用更换调节参考件110，还可以照常安装光学器件。

进一步地，本实用新型还提供一种激光加工设备，包括如上所述的同轴调节装置10。该激光加工设备可以为激光切割设备或激光钻孔设备等。该激光加工设备，包括上述的同轴调节装置10，因而能够以两侧的调节参考件110的刻度线为基准，使得透镜组220的刻度线与调节参考件110上的刻度线共线，实现透镜组220与调节参考件110上的通孔1121同轴。由于光束2000直接穿过通孔1121的轴心，从而保证光束2000与透镜组220同轴，解决现有技术中存在的调节不便的问题。且还通过同轴调节装置调节光束与透镜组同轴，以满足实际的加工需求，提高了实际加工的灵活性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (11)

1.一种同轴调节装置，其特征在于，包括：

调节参考件，所述调节参考件具有通孔，所述通孔的外侧边缘设置有沿第三方向延伸的第一刻度线及沿第二方向延伸的第二刻度线，所述第二方向和所述第三方向呈角度；

透镜安装座，所述透镜安装座的两端分别间隔设置有至少一个所述调节参考件；所述透镜安装座用于安装透镜组，所述透镜组的外壁设置有长度沿自身轴向延伸的第三刻度线和第四刻度线，且二者沿所述透镜组的周向间隔设置；

通过调节所述透镜组相对所述调节参考件的角度，以使所述第一刻度线与所述第三刻度线之间、所述第二刻度线与所述第四刻度线之间均能够沿第一方向共线，所述通孔与所述透镜组同轴。

2.根据权利要求1所述的同轴调节装置，其特征在于，所述同轴调节装置还包括第一支架和安装于所述第一支架的第一指示器；

所述第一指示器与所述透镜组沿第三方向间隔设置，所述第一指示器用于发射第一平面光，所述第一平面光能够与所述第一刻度线和所述第三刻度线均重合。

3.根据权利要求2所述的同轴调节装置，其特征在于，所述同轴调节装置还包括第二支架和安装于所述第二支架的第二指示器；

所述第二指示器与所述透镜组沿第二方向间隔设置，所述第二指示器用于发射第二平面光，所述第二平面光能够与所述第二刻度线和所述第四刻度线均重合。

4.根据权利要求2所述的同轴调节装置，其特征在于，所述同轴调节装置还包括第一连接件，所述第一连接件穿过所述第一指示器沿第三方向的一端并连接于所述第一支架；

所述同轴调节装置还包括与所述第一连接件间隔设置的第二连接件，所述第二连接件穿过所述第一指示器沿第一方向的一端并连接于所述第一支架。

5.根据权利要求4所述的同轴调节装置，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件均包括头部和连接于所述头部的杆部，且所述杆部背离所述头部的一端穿过所述第一指示器连接于所述第一支架，且所述杆部活动连接于所述第一指示器；

所述杆部套设有弹性件，且所述弹性件抵接于所述头部与所述第一指示器之间，以将所述第一指示器相对所述第一支架压紧。

6.根据权利要求5所述的同轴调节装置，其特征在于，所述同轴调节装置还包括滚珠，所述滚珠设置于所述第一支架和所述第一指示器之间，且与二者转动连接；

所述第一支架设置有长度沿第一方向延伸的第一滑槽、及长度沿第三方向延伸的第二滑槽；所述同轴调节装置还包括间隔设置的第一球头柱和第二球头柱，所述第一球头柱的一端穿过所述第一指示器滑动连接于所述第一滑槽，所述第二球头柱的一端穿过所述第一指示器滑动连接于所述第二滑槽，且所述第一球头柱和所述第二球头柱均螺纹旋接于所述第一指示器；

所述滚珠和所述第二球头柱共同形成第二转轴，所述第一球头柱绕自身轴线转动，能够带动所述第一指示器沿所述第一方向的一端相对所述第一支架绕所述第二转轴偏转；

所述滚珠和所述第一球头柱共同形成第一转轴，所述第二球头柱绕自身轴线转动，能够带动所述第一指示器沿所述第三方向的一端相对所述第一支架绕所述第一转轴偏转。

7.根据权利要求1所述的同轴调节装置，其特征在于，所述透镜安装座包括连接于所述透镜组的活动板、连接于所述活动板的固定板、及多个第一调节柱，所述第一调节柱的一端连接于所述固定板，另一端抵接于所述活动板，所述第一调节柱用于调节所述活动板与所述固定板沿第二方向的间距。

8.根据权利要求7所述的同轴调节装置，其特征在于，所述透镜安装座还包括多个第二调节柱，所述第二调节柱的一端连接于所述活动板，另一端抵接于所述固定板，所述第二调节柱用于调节所述活动板与所述固定板沿第三方向的间距。

9.根据权利要求1所述的同轴调节装置，其特征在于，所述调节参考件包括用于安装镜架的底座和连接于所述底座的通光板，所述通孔设置于所述通光板。

10.根据权利要求1-9任一项所述的同轴调节装置，其特征在于，所述同轴调节装置还包括透镜组。

11.一种激光加工设备，其特征在于，包括权利要求1-10中任一项所述的同轴调节装置。

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