CN215219330U - 一种通用空间光消像散光束整形系统 - Google Patents
一种通用空间光消像散光束整形系统 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种通用空间光消像散光束整形系统,该方案包括柱面镜组调节工装和准直光学系统;所述准直光学系统包括沿光路依次设置的氦氖工装、第一可校准光阑工装、第一高精度二维可调镜架、第二高精度二维可调镜架、第二可校准光阑工装、镜片粘结工装及指示靶工装;所述镜片粘结工装用于固定柱面镜并调节柱面镜的空间位置,使柱面镜的轴心与光路同轴;所述柱面镜组调节工装通过与镜片粘结工装配合实现多个柱面镜的组装调试功能,且所述柱面镜组调节工装用于多个柱面镜旋转时,保持每个柱面镜的轴心均与光路同轴,且通过所述柱面镜组调节工装可调节相邻两个柱面镜的相对距离,该方案具有可靠性高、消除像散、提升光束质量的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学技术领域,具体涉及一种通用空间光消像散光束整形系统。
背景技术
伴随激光技术的不断进步,以及激光加工设备和加工工艺的成熟和应用的普及,超快激光器在工业加工、材料处理、3D打印、国防安全等领域均发挥着不可替代的作用。为了更好地加工质量和更高的加工速度,激光器生产商不断追求和挑战着更高的功率、更优的光束质量、更高的脉冲能量以及更便捷的操作控制方式。高功率的超快激光光束功率密度非常高,在增益介质中放大和柱面镜传输中不仅容易产生损伤。而且由于能量集中,在传输过程中,由于柱面镜本身加工工艺或者组装过程中产生的一些缺陷如面型应力,或者元器件吸热产生的热透镜效应,使得激光光束不同程度地降低,其中最突出的就是激光光束的像散问题,使得子午面和弧矢面上的束腰直径和焦点位置不同,严重影响精密加工质量。
因此亟待一种可解决上述问题的通用空间光消像散光束整形系统。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术中存在的上述问题,提供了一种通用空间光消像散光束整形系统。
为了实现上述实用新型目的,本实用新型采用了以下技术方案:一种通用空间光消像散光束整形系统包括柱面镜组调节工装和准直光学系统;所述准直光学系统包括沿光路依次设置的氦氖工装、第一可校准光阑工装、第一高精度二维可调镜架、第二高精度二维可调镜架、第二可校准光阑工装、镜片粘结工装及指示靶工装;所述镜片粘结工装用于固定柱面镜并调节柱面镜的空间位置,使柱面镜的轴心与光路同轴;所述柱面镜组调节工装通过与镜片粘结工装配合实现多个柱面镜的组装调试功能,且所述柱面镜组调节工装用于多个柱面镜旋转时,保持每个柱面镜的轴心均与光路同轴,且通过所述柱面镜组调节工装可调节相邻两个柱面镜的相对距离。
工作原理:通过氦氖工装发出氦氖光,使其按照准直光学系统调试好的光路前进,通过将镜片粘结工装固定柱面镜并调节柱面镜的空间位置,使柱面镜的轴心与光路同轴,然后通过柱面镜组调节工装进行柱面镜的粘结操作,通过柱面镜组调节工装在粘结时保持每个柱面镜的轴心均与光路同轴,使得柱面镜可方便地粘结在柱面镜组调节工装上,重复上述步骤可安装另一个柱面镜。
有益效果:1、通过本系统可批量生产组装柱面镜组,大大提高其生产效率;
2、通过M2测量仪测得氦氖光的光束质量,可方便地得到像散值,也能够通过计算得到像散补偿所需两个柱面镜的相对距离,因此通过柱面镜组调节工装可方便地调节两个柱面镜的相对距离,从而消除像散问题;
3、同时,通过柱面镜组调节工装可方便柱面镜旋转,从而根据测得像散值旋转柱面镜的空间角度,至激光光束像散最小,光束质量最优。
进一步地,所述柱面镜组调节工装包括柱面镜固定工装、柱面镜组旋转工装、旋转定位工装、锁紧工装、左准直定位光阑工装及右准直定位光阑工装,所述柱面镜固定工装用于安装柱面镜,通过所述柱面镜组旋转工装调节柱面镜固定工装的旋转角度,所述柱面镜组旋转工装与旋转定位工装旋转连接,所述旋转定位工装用于与镜片粘结工装配合实现柱面镜的轴心始终保持与光路同轴,且供柱面镜组旋转工装在旋转定位工装上任意转动,所述锁紧工装用于固定柱面镜组旋转工装,使其无法转动,所述左准直定位光阑工装和右准直定位光阑工装均与柱面镜的轴心同轴。通过上述结构,不仅可以方便柱面镜的旋转调节并进行定位,还能够时刻保持柱面镜的轴心与光路同轴,操作方便。
进一步地,所述柱面镜固定工装包括主体、与主体通过销钉定位固定的移动支架,所述主体上设有供移动支架沿主体长度方向来回移动的移动槽,所述柱面镜分别粘结于主体和移动支架上,通过主体和移动支架保持两个柱面镜的轴心同轴。通过上述结构,不仅可以方便两个柱面镜的相对距离调节,还能够保证在调节时两个柱面镜的轴心始终与光路同轴,调节难度低,操作方便。
进一步地,还包括用于通过连接件安装和定位柱面镜组调节工装以及准直光学系统的水平测试板,所述水平测试板上设有多个均匀间隔设置的安装孔位。通过水平测试板可极大地方便柱面镜组调节工装以及准直光学系统的安装和定位,使得最终得到的产品质量好。
进一步地,所述旋转定位工装上设有V型槽,所述柱面镜组旋转工装设于V型槽内并通过锁紧工装固定,所述锁紧工装柱面镜组旋转工装。利用V型槽精确定位,根据测得像散值旋转旋转定位工装的空间角度,至激光光束像散最小,光束质量最优,然后通过连接件锁住锁紧工装以固定柱面镜组旋转工装即可,操作方便。
进一步地,所述镜片粘结工装包括仰俯调节、X-Y面旋转调节、Z轴调节、Y轴调节、X轴调节及X-Z面旋转调节,且所述镜片粘结工装上可拆卸设有一通用柱面镜夹持工装。通过上述方案,能够给予柱面镜多达六个维度的空间调节,从而能够很好地保证柱面镜的轴心与光路同轴,极大地方便柱面镜的粘结操作。
进一步地,所述镜片粘结工装包括第一转接工装、第二转接工装及第三转接工装,所述第一转接工装与通过柱面镜夹持工装通过顶丝和螺丝连接,通过第一转接工装实现对柱面镜的仰俯调节和X-Z面旋转调节以及X-Y面旋转调节,所述第二转接工装与第一转接工装通过Z轴调节螺纹副连接,实现对柱面镜的Z轴调节,所述第三转接工装与第二转接工装通过X轴调节螺纹副和Y轴调节螺纹副连接,实现对柱面镜的X轴调节和Y轴调节,所述第二转接工装上设有多个沿Z轴方向设置的调节孔,通过Z轴调节螺纹副固定在不同调节孔上实现对柱面镜的Z轴调节。此设置,使得镜片粘结工装分为三个单独的部分,分别调节三个部分或调节相邻两个部分的位置关系即可实现对柱面镜的调节,操作方便,不容易造成混淆,基本都是靠松开或拧紧螺纹件来实现松开和固定操作,结构简单,操作方便。
进一步地,X轴调节螺纹副和Y轴调节螺纹副均包括一导轨和锁紧件,通过导轨实现第三转接工装和第二转接工装的X轴和Y轴方向滑动调节功能,通过锁紧件实现第三转接工装和第二转接工装之间的X轴和Y轴方向的自由度限制。此方案通过导轨实现第三转接工装的X轴和Y轴方向的精确位置调节,通过锁紧件来进行固定,操作方便,调节精度高。
进一步地,所述第一高精度二维可调镜架和第二高精度二维可调镜架均分别安装有一镀铝膜反射镜,其镜片中心高度为120mm,所述第一可校准光阑工装和第二可校准光阑工装的光阑孔高度为120mm。
进一步地,所述柱面镜包括焦距为-50mm的平凹柱面镜和焦距为60mm的平凸柱面镜。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1中柱面镜组调节工装的结构示意图;
图3是图1中柱面镜组调节工装的立体图;
图4是图1中镜片粘结工装的结构示意图;
图5是图4的侧视图;
图6是图4的俯视图;
图7是图4中真空吸附式夹持工装的结构示意图。
图中,1、第一柱面镜;2、第二柱面镜;3、柱面镜固定工装;4、柱面镜组旋转工装;5、旋转定位工装;6、锁紧工装;7、左准直定位光阑工装;8、右准直定位光阑工装;9、氦氖工装;10、第一可校准光阑工装;11、第一高精度二维可调镜架;12、第二高精度二维可调镜架;13、第二可校准光阑工装;14、指示靶工装;15、镜片粘结工装;16、测试板;31、主体;32、移动支架;321、移动槽;151、镜夹转接工装;152、俯仰调节螺纹副;153、水平旋转调节螺纹副;154、Z轴调节螺纹副;155、Y轴调节螺纹副;156、X轴调节螺纹副;157、第一转接工装;158、第二转接工装;159、第三转接工装;160、顶丝;17、真空固定板;18、真空气嘴。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本领域技术人员应理解的是,在本实用新型的披露中,术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系,其仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此上述术语不能理解为对本实用新型的限制。
如图1所示,本通用空间光消像散光束整形系统包括柱面镜组调节工装和准直光学系统以及水平测试板16,通过水平测试板16可极大地方便柱面镜组调节工装以及准直光学系统的安装和定位,使得最终得到的产品质量好。
具体地,准直光学系统包括沿光路依次设置的氦氖工装9、第一可校准光阑工装10、第一高精度二维可调镜架11、第二高精度二维可调镜架12、第二可校准光阑工装13、镜片粘结工装15及指示靶工装14,其中除了镜片粘结工装15,其余部件均是市面上可购买到的成品,在第一高精度二维可调镜架11和第二高精度二维可调镜架12均分别安装有一镀铝膜反射镜,其镜片中心高度为120mm,第一可校准光阑工装10和第二可校准光阑工装13的光阑孔高度为120mm,在本实施例中不再对其结构进行赘述。
请参阅图4-6,具体地,镜片粘结工装15用于固定柱面镜并调节柱面镜的空间位置,使柱面镜的轴心与光路同轴,镜片粘结工装15的六个调节自由度包括仰俯调节、X-Y面旋转调节、Z轴调节、Y轴调节、X轴调节及X-Z面旋转调节,镜片粘结工装15包括第一转接工装157、第二转接工装158及第三转接工装159,所述第一转接工装157与柱面镜夹持工装通过顶丝160和螺丝连接,通过第一转接工装157实现对柱面镜的仰俯调节和X-Z面旋转调节以及X-Y面旋转调节,第二转接工装158与第一转接工装157通过Z轴调节螺纹副154连接,实现对柱面镜的Z轴调节,所述第三转接工装159与第二转接工装158通过X轴调节螺纹副156和Y轴调节螺纹副155连接,实现对柱面镜的X轴调节和Y轴调节。此设置,使得镜片粘结工装15分为三个单独的部分,分别调节三个部分或调节相邻两个部分的位置关系即可实现对柱面镜的调节,操作方便,不容易造成混淆,基本都是靠松开或拧紧螺纹件来实现松开和固定操作,结构简单,因此不存在本领域技术人员不清楚如何实现的问题,操作方便。
柱面镜夹持工装包括真空吸附式夹持工装、平面夹紧式夹持工装及侧边顶紧式夹持工装,在本实施例中展示的是真空吸附式夹持工装,请参阅图7,真空吸附式夹持工装包括真空固定板17和真空气嘴18,所述真空固定板17上设有真空通道,通过真空气嘴18对真空通道抽真空实现对柱面镜的吸附操作,且所述真空固定板17上设有多个与镜夹转接工装151配合的第一通孔。此方案,通过负压吸附的原理实现对一些具有平整边缘的柱面镜的吸附操作,操作方便,其他夹持工装也是常规技术手段,因此不再对其结构进行赘述。
镜夹转接工装151为常规技术手段,只要是将柱面镜夹持工装安装在镜片粘结工装15上。
优选地,第二转接工装158上设有多个沿Z轴方向设置的调节孔,通过Z轴调节螺纹副154固定在不同调节孔上实现对柱面镜的Z轴调节。此方案,利用最为简单的螺丝锁在调节孔的结构,操作极为方便,可按照实际生成需求设定好调节孔的间距,从而根据需求调节即可。
其中,X轴调节螺纹副156和Y轴调节螺纹副155均包括一导轨和锁紧件,通过导轨实现第三转接工装159和第二转接工装158的X轴和Y轴方向滑动调节功能,通过锁紧件实现第三转接工装159和第二转接工装158之间的X轴和Y轴方向的自由度限制。此方案通过导轨实现第三转接工装159的X轴和Y轴方向的精确位置调节,通过锁紧件来进行固定,操作方便,调节精度高。其中导轨的安装和调节方式均为常规技术手段,因此不再对其进行赘述。优选地,可通过丝杠传动方式来移动第三转接工装159和第二转接工装158的X轴和Y轴方向滑动调节功能,可提供更加精确的位置调节功能,具体结构为常规技术手段,这里不再对其进行赘述。
当然X轴调节螺纹副156和Y轴调节螺纹副155还可以是常见的导轨加丝杆传动结构,通过摇动手柄来移动,操作更加方便,具体可见附图。
优选地,第三转接工装159底部设有腰孔,可方便地安装在测试板16上,可参见图6,且所述腰孔沿X轴方向设置或Y轴方向设置。此设置,可方便第三转接工装159在X轴和Y轴方向上的调节和固定。
优选地,第一转接工装157、第二转接工装158及第三转接工装159组成7字形,使得通用柱面镜夹持工装悬空设置。此方案,可始终保证柱面镜能够在光路上,使其不受本粘结装置的干涉影响。
组装步骤为:
步骤一、将选好对应的夹紧工装通过螺丝与镜夹转接工装151固定,并将其作为整体用顶丝160固定于俯仰调节螺纹副152、水平旋转调节螺纹副153上,其中水平旋转调节螺纹副153也就是实现X-Y面旋转调节。
值得一提的是,此部分的结构还可以通过现有的二维镜架来实现,如MTMSO的二维精密透镜反射镜支架,或者是Thorlabs的二维镜架,这部分结构为现有技术,本方案的改进点不在于此,因此不再对其详细进行赘述。
步骤二、通过螺钉将第三转接工装159与X轴调节螺纹副156固定后,再将第二转接工装158固定于X轴调节螺纹副156对应孔位,根据被粘接柱面镜的高低,将Z轴调节螺纹副154固定与第二转接工装158上。再将第一转接工装157和Z轴调节螺纹副154固定。
步骤三、步骤一组装的部分固定于第一转接工装157上,至此柱面镜粘接装置完成组装。
通过本装置可快速调节柱面镜的空间位置,并将其通过工装附带的锁紧装置锁紧固定,然后将其粘接固定于对应机械座上,柱面镜粘接装置适用于批量生产调试,可大大提高生产效率。
具体地,所述柱面镜组调节工装通过安装在测试板16上与镜片粘结工装15配合实现多个柱面镜的组装调试功能,且所述柱面镜组调节工装用于多个柱面镜旋转时,保持每个柱面镜的轴心均与光路同轴,且通过所述柱面镜组调节工装可调节相邻两个柱面镜的相对距离。
请参阅图2-3,具体地,柱面镜组调节工装包括柱面镜固定工装3、柱面镜组旋转工装4、旋转定位工装5、锁紧工装6、左准直定位光阑工装7及右准直定位光阑工装8,所述柱面镜固定工装3用于安装柱面镜,通过柱面镜组旋转工装4调节柱面镜固定工装3的旋转角度,所述柱面镜组旋转工装4与旋转定位工装5旋转连接,旋转定位工装5用于与镜片粘结工装15配合实现柱面镜的轴心始终保持与光路同轴,且供柱面镜组旋转工装4在旋转定位工装5上任意转动,所述锁紧工装6用于固定柱面镜组旋转工装4,使其无法转动,左准直定位光阑工装7和右准直定位光阑工装8均与柱面镜的轴心同轴,柱面镜固定工装3包括主体31、与主体31通过销钉定位固定的移动支架32,所述主体31上设有供移动支架32沿主体31长度方向来回移动的移动槽321,所述柱面镜分别粘结于主体31和移动支架32上,通过主体31和移动支架32保持两个柱面镜的轴心同轴。通过上述结构,不仅可以方便两个柱面镜的相对距离调节以及方便柱面镜的旋转调节并进行定位,还能够保证在调节时两个柱面镜的轴心始终与光路同轴。
优选地,旋转定位工装5上设有V型槽,所述柱面镜组旋转工装4设于V型槽内并通过锁紧工装6固定,所述锁紧工装6柱面镜组旋转工装4。利用V型槽精确定位,根据测得像散值旋转旋转定位工装5的空间角度,至激光光束像散最小,光束质量最优,然后通过连接件锁住锁紧工装6以固定柱面镜组旋转工装4即可,操作方便。
本系统的具体步骤包括:
步骤一、在测试板16上按照设定光路安装好氦氖工装9、第一可校准光阑工装10、第一高精度二维可调镜架11、第二高精度二维可调镜架12、第二可校准光阑工装13、镜片粘结工装15及指示靶工装14;
步骤二、在第一高精度二维可调镜架11、第二高精度二维可调镜架12上安装1英寸镀铝膜反射镜,调整其高度和位置,使其固定的镜片中心高度约为120mm;
步骤三、校准第一可校准光阑工装10和第二可校准光阑工装13的光阑孔的高度为120mm,固定锁死;
步骤四、调整第一高精度二维可调镜架11俯仰和水平旋钮使氦氖光按划线(也就是设定光路方向)所示方向前进,然后将第二可校准光阑工装13放置在第二高精度二维可调镜架12之后,前后移动第二可校准光阑工装13确认经第二高精度二维可调镜架12反射的氦氖光沿图1所示划线所示方向前进,且标高为120mm;
步骤五、在图示位置固定指示靶工装14,氦氖光打在其零点刻线位置,校准其刻线为水平,每次操作前确认光路未变;
步骤六、将柱面镜组调节工装安装于镜片粘结工装15的位置,通过手动调节柱面镜组调节工装空间位置使氦氖光从其两侧工装孔中心通过并锁紧;
步骤七、将第一柱面镜1用镜片粘接工装上的夹紧工装固定,将第一柱面镜1放置于氦氖光路里,调整第一柱面镜1空间位置使从柱面镜返回氦氖光经过第一可校准光阑工装10,微调第一柱面镜1左右位置和侧轴俯仰使穿过其从准直变为发散的氦氖光打在指示靶工装14零刻线上并且左右对称,然后点胶固定;
步骤八、重复步骤七粘结第二柱面镜2,至此柱面镜组调节工装完成组装。柱面镜组装调节工装可利用该系统批量生产,大大提高其生产效率。
对待优化激光光束用M2仪测量其光束质量,得到其像散值,通过计算可得像散补偿所需透镜相对距离,柱面镜组调节工装自带销钉定位,可精准调节透镜组相对位置。
在本实施例中,巧妙利用柱面镜可对单轴校准的特性,设计一款平凹柱面镜焦距为-50mm,一款平凸柱面镜焦距为60mm,通过公式F=F1*F2/(F1+F2-D)计算两者焦心距离D在7mm-23mm变化时,透镜组焦距在:230mm~+∞,-1000~-∞范围内任意可调。
准直调试方法要用到包括准直工装、镜片粘接工装和准直粘接工艺三部分,准直工装利用氦氖激光的高准直性和两个可校准高度的直径100um小孔光阑保证了准直工装的可靠性。光学镜片粘接工装,利用进给丝杠的精密微调能力精密调节光学镜片六维空间位置。准直粘接工艺巧妙利用准直工装和镜片粘接工装保证了柱面镜粘接调试,有效保障了光束质量测试重复一致性。
将柱面镜组调节工装安装于待优化光路中,利用V型槽精确定位,根据测得像散值旋转其空间角度,至激光光束像散最小,光束质量最优。
本实用新型未详述部分为现有技术,故本实用新型未对其进行详述。
可以理解的是,术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”,即在一个实施例中,一个元件的数量可以为一个,而在另外的实施例中,该元件的数量可以为多个,术语“一”不能理解为对数量的限制。
尽管本文较多地使用了第一柱面镜1、第二柱面镜2、柱面镜固定工装3、柱面镜组旋转工装4、旋转定位工装5、锁紧工装6、左准直定位光阑工装7、右准直定位光阑工装8、氦氖工装9、第一可校准光阑工装10、第一高精度二维可调镜架11、第二高精度二维可调镜架12、第二可校准光阑工装13、指示靶工装14、镜片粘结工装15、测试板16、主体31、移动支架32、移动槽321、镜夹转接工装151、俯仰调节螺纹副152、水平旋转调节螺纹副153、Z轴调节螺纹副154、Y轴调节螺纹副155、X轴调节螺纹副156、第一转接工装157、第二转接工装158、第三转接工装159、顶丝160、真空固定板17、真空气嘴18等术语,但并不排除使用其他术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质;把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。
本实用新型不局限于上述最佳实施方式,任何人在本实用新型的启示下都可得出其他各种形式的产品,但不论在其形状或结构上做任何变化,凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案,均落在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,包括柱面镜组调节工装和准直光学系统;所述准直光学系统包括沿光路依次设置的氦氖工装、第一可校准光阑工装、第一高精度二维可调镜架、第二高精度二维可调镜架、第二可校准光阑工装、镜片粘结工装及指示靶工装;所述镜片粘结工装用于固定柱面镜并调节柱面镜的空间位置,使柱面镜的轴心与光路同轴;所述柱面镜组调节工装通过与镜片粘结工装配合实现多个柱面镜的组装调试功能,且所述柱面镜组调节工装用于多个柱面镜旋转时,保持每个柱面镜的轴心均与光路同轴,且通过所述柱面镜组调节工装可调节相邻两个柱面镜的相对距离。
2.根据权利要求1所述的一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,所述柱面镜组调节工装包括柱面镜固定工装、柱面镜组旋转工装、旋转定位工装、锁紧工装、左准直定位光阑工装及右准直定位光阑工装,所述柱面镜固定工装用于安装柱面镜,通过所述柱面镜组旋转工装调节柱面镜固定工装的旋转角度,所述柱面镜组旋转工装与旋转定位工装旋转连接,所述旋转定位工装用于与镜片粘结工装配合实现柱面镜的轴心始终保持与光路同轴,且供柱面镜组旋转工装在旋转定位工装上任意转动,所述锁紧工装用于固定柱面镜组旋转工装,使其无法转动,所述左准直定位光阑工装和右准直定位光阑工装均与柱面镜的轴心同轴。
3.根据权利要求2所述的一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,所述柱面镜固定工装包括主体、与主体通过销钉定位固定的移动支架,所述主体上设有供移动支架沿主体长度方向来回移动的移动槽,所述柱面镜分别粘结于主体和移动支架上,通过主体和移动支架保持两个柱面镜的轴心同轴。
4.根据权利要求3所述的一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,还包括用于通过连接件安装和定位柱面镜组调节工装以及准直光学系统的水平测试板,所述水平测试板上设有多个均匀间隔设置的安装孔位。
5.根据权利要求2所述的一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,所述旋转定位工装上设有V型槽,所述柱面镜组旋转工装设于V型槽内并通过锁紧工装固定,所述锁紧工装柱面镜组旋转工装。
6.根据权利要求1所述的一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,所述镜片粘结工装包括仰俯调节、X-Y面旋转调节、Z轴调节、Y轴调节、X轴调节及X-Z面旋转调节,且所述镜片粘结工装上可拆卸设有一通用柱面镜夹持工装。
7.根据权利要求6所述的一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,所述镜片粘结工装包括第一转接工装、第二转接工装及第三转接工装,所述第一转接工装与通过柱面镜夹持工装通过顶丝和螺丝连接,通过第一转接工装实现对柱面镜的仰俯调节和X-Z面旋转调节以及X-Y面旋转调节,所述第二转接工装与第一转接工装通过Z轴调节螺纹副连接,实现对柱面镜的Z轴调节,所述第三转接工装与第二转接工装通过X轴调节螺纹副和Y轴调节螺纹副连接,实现对柱面镜的X轴调节和Y轴调节,所述第二转接工装上设有多个沿Z轴方向设置的调节孔,通过Z轴调节螺纹副固定在不同调节孔上实现对柱面镜的Z轴调节。
8.根据权利要求7所述的一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,X轴调节螺纹副和Y轴调节螺纹副均包括一导轨和锁紧件,通过导轨实现第三转接工装和第二转接工装的X轴和Y轴方向滑动调节功能,通过锁紧件实现第三转接工装和第二转接工装之间的X轴和Y轴方向的自由度限制。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,所述第一高精度二维可调镜架和第二高精度二维可调镜架均分别安装有一镀铝膜反射镜,其镜片中心高度为120mm,所述第一可校准光阑工装和第二可校准光阑工装的光阑孔高度为120mm。
10.根据权利要求9所述的一种通用空间光消像散光束整形系统,其特征在于,所述柱面镜包括焦距为-50mm的平凹柱面镜和焦距为60mm的平凸柱面镜。
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CN202121404991.1U CN215219330U (zh) | 2021-06-23 | 2021-06-23 | 一种通用空间光消像散光束整形系统 |
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