CN217112855U - 光学组件及激光加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及激光加工领域，具体涉及一种光学组件及激光加工装置，光学组件包括多个反射镜和多个调节组件。其中，第一反射镜与第二反射镜用于将激光发生器发出的光束反射至振镜，以使振镜将光束进行投射加工。当反射至振镜的光束与振镜入口存在Z方向的误差时，通过第一调节组件驱动第一反射镜沿Z方向移动，改变光束投射至第二反射镜沿Z方向的位置，进而使得光束与振镜入口对准；当光束与振镜中心存在X方向的误差时，通过第二调节组件驱动第二反射镜沿X方向移动，使得光束经过第二反射镜反射至振镜时，振镜的入口与光束对准。通过保证光束进入到振镜入口的准确性，进而保证加工位置的精确性，从而保证加工精度。

Description

光学组件及激光加工装置

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，特别是涉及一种光学组件及激光加工装置。

背景技术

激光加工设备是采用激光对工件进行加工的一种设备，近年来，激光加工设备逐渐被运用于各种制造工业中。

例如激光切割设备，激光切割时将从激光器发射出的激光，经光路系统，聚焦成高功率密度的激光束，激光束照射到工件表面，使工件达到熔点或者沸点，同时与激光束同轴的高压气体将熔化或气化金属吹走，随着激光束与工件相对位置的移动，最终使材料形成切缝，从而达到切割的目的。其中，在光路系统中，激光束通常需要通过固定在反射镜座上的反射镜进行路径的改变以到达目标工件，从而对目标工件进行加工。

现有的激光加工设备中，因为激光束需要经过多种不同的光学器件，并且加上零件的加工误差和装配误差，最后会导致激光束在传导过程中出现位置误差，使得激光束无法准确到达工件的待加工位置，从而影响工件的加工精度。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的激光加工装置存在加工精度问题，提供一种解决上述问题的光学组件及激光加工装置。

一种光学组件，所述光学组件用于激光加工，包括第一反射镜、第一调节组件、第二调节组件，与所述第一反射镜间隔设置的第二反射镜，及与所述第二反射镜间隔设置的振镜；

所述第一反射镜连接于所述第一调节组件，所述第一调节组件用于驱动所述第一反射镜至少沿Z方向移动；

所述第二反射镜连接于所述第二调节组件，所述第二调节组件用于驱动所述第二反射镜至少沿X方向移动；

所述第一反射镜与所述第二反射镜分别用于将激光发生器发出的光束进行反射至所述振镜，以使所述振镜将所述光束进行投射加工。

在其中一个实施例中，所述第一调节组件包括第一调节杆和第一调节座，所述第一调节杆连接于所述第一调节座，所述第一反射镜连接于所述第一调节座；所述第一调节杆绕自身轴线转动，用于带动所述第一调节座沿所述第一调节杆的轴向升降，所述第一调节座用于带动所述第一反射镜同步移动。

在其中一个实施例中，所述光学组件还包括第一纠偏组件，所述第一纠偏组件包括第一安装座、第一连接杆和第一弹性件，所述第一安装座与所述第一调节座连接；所述第一安装座包括第一连接板和第二连接板，所述第一反射镜安装于所述第二连接板，所述第一连接杆穿过所述第一连接板，且所述第二连接板沿自身长度方向的一端与所述第一连接杆螺纹连接，所述第一弹性件连接于所述第一连接板和所述第二连接板之间，并位于所述第二连接板沿自身长度方向的另一端，且所述第一连接杆与所述第一弹性件沿第二连接板的长度方向共线；

所述第一连接杆绕自身轴线转动，能够驱动所述第二连接板连接于所述第一连接杆的一端相对所述第一连接板偏转。

在其中一个实施例中，所述第一纠偏组件还包括第二连接杆，所述第二连接杆穿过所述第一连接板，且所述第二连接板沿自身宽度方向的一端与所述第二连接杆螺纹连接，所述第二连接杆与所述第一弹性件沿所述第二连接板的宽度方向共线；

所述第二连接杆绕自身轴线转动，能够驱动所述第二连接板连接于所述第二连接杆的一端相对所述第一连接板偏转。

在其中一个实施例中，所述第二调节组件包括第二调节座、第二调节板和第二调节杆，所述第二反射镜连接于所述第二调节座；所述第二调节座上开设有第一安装孔，所述第二调节板上开设有多个沿所述X方向间隔的第二安装孔，所述第二调节杆穿过所述第一安装孔并择一连接于所述第二安装孔的孔壁。

在其中一个实施例中，所述第一安装孔为长条孔，所述长条孔沿所述X方向延伸。

在其中一个实施例中，所述光学组件还包括场镜，所述场镜与所述振镜沿所述Z方向间隔设置；

所述场镜用于将经过所述振镜的光束聚焦于工件。

在其中一个实施例中，所述光学组件还包括第三反射镜和扩束镜；

所述第三反射镜设置于所述第一反射镜的上方；

所述扩束镜设置于所述激光发生器和所述第三反射镜之间，所述第三反射镜用于将经过所述扩束镜的光束投射至所述第一反射镜。

一种激光加工装置，包括激光发生器和如上所述的光学组件。

在其中一个实施例中，所述激光发生器和所述光学组件均设置有两组，每一所述激光发生器分别对应一组光学组件，各所述光学组件间隔设置；

所述激光加工装置还包括第一直线模组，所述振镜连接于所述第一直线模组，所述第一直线模组用于驱动所述振镜沿Y方向移动；

所述激光加工装置还包括第二直线模组，所述第二直线模组与所述第一直线模组连接，所述第二直线模组用于驱动所述第一直线模组沿X方向移动。

本技术方案具有以下有益效果：上述光学组件，包括第一反射镜、第一调节组件、第二反射镜、第二调节组件和振镜，激光发生器发出的光束经过第一反射镜到达第二反射镜，并经第二反射镜反射至振镜入口，经振镜投射至工件的待加工位置。当第二反射镜反射至振镜的光束与振镜入口存在位置偏差时，例如，光束与振镜入口存在Z方向的位置误差时，可以通过第一调节组件驱动第一反射镜沿Z方向移动，改变光束投射至第二反射镜沿Z方向的位置，进而使得光束与振镜入口对准；当光束与振镜中心存在X方向的位置误差时，可以通过第二调节组件驱动第二反射镜沿X方向移动，使得光束经过第二反射镜反射至振镜时，振镜的入口与光束对准。通常来说，当光束能够从振镜的入口进入时，则光束能够从振镜的出口投射至工件的待加工位置，因此通过保证光束进入到振镜入口的准确性，进而保证加工位置的精确性，从而保证加工精度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一实施例提供的激光加工装置的结构示意图；

图2为图1所示的第一反射镜和第一调节组件的示意图；

图3为图2所示的第一反射镜和第一调节组件水平翻转一定角度的示意图；

图4为图1所示的第二反射镜和第二调节组件的示意图。

附图标号：

10-激光加工装置；100-光学组件；110-第一反射镜；

131-第一调节杆；132-第一调节座；

141-第一连接杆；142-第二连接杆；143-第一弹性件；

144-第一连接板；145-第二连接板；

210-第二反射镜；

221-第二调节杆；

222-第二调节座；2221-长条孔；

223-第二调节板；310-第一直线模组；

320-第二直线模组；

410-扩束镜；420-第三反射镜；430-振镜；440-场镜；

500-工件；600-光束。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

正如背景技术中所言，现有的激光加工设备中，激光束需要经过多种不同的光学器件，才能到达工件表面。例如光束从多个反射镜到达振镜入口的过程中，由于零件的加工误差和装配误差，最后会导致激光束传导至振镜入口的过程中出现位置误差，光束无法准确进入振镜入口位置，也就无法从振镜出口准确投射至工件的待加工位置，从而影响工件的加工精度和加工效率。为了解决上述技术问题，于是有了本申请的发明构思，具体将通过下面的实施例进行说明。

图1为本实用新型一实施例提供的激光加工装置10的结构示意图。如图1所示，本申请一实施例提供的激光加工装置10包括激光发生器(图中未视出)和光学组件100，其中，激光发生器用于发出光束600，光学组件100与激光发生器配合实现激光加工。具体地，光学组件100包括第一反射镜110和第一调节组件，第一反射镜110与第一调节组件连接，第一调节组件用于驱动第一反射镜110可以至少沿Z方向移动；光学组件100还包括第二反射镜210和第二调节组件，第二反射镜210与第一反射镜110间隔设置，具体地，第二反射镜210与第一反射镜110可以沿X方向间隔设置；第二反射镜210连接于第二调节组件，第二调节组件用于驱动第二反射镜210可以至少沿X方向移动；光学组件100还包括振镜430，振镜430与第二反射镜210间隔设置，具体地，振镜430与第二反射镜210可以沿Y方向间隔设置；激光发生器发出的光束600经第一反射镜110与第二反射镜210反射之后，投射至振镜430，并经振镜430投射至工件500。

具体地，激光发生器发射出的光束600先后经过第一反射镜110和第二反射镜210进行方向的改变，再经第二反射镜210投射至振镜430入口。第一反射镜110的中心和第二反射镜210的中心无需对准，只要第二反射镜210能够接收到来自第一反射镜110的反射光束600即可。由于第二反射镜210与振镜430是沿Y方向间隔设置，因此投射至第二反射镜210的光束600指向振镜时，光束投射至振镜的位置与振镜430入口可能存在X方向或Z方向的位置误差，使得光束600无法经过振镜430出口射出，从而影响激光加工。

当光束600与振镜430入口存在Z方向的位置偏差时，由于第一反射镜110上连接有第一调节组件，因此能够通过第一调节组件驱动第一反射镜110沿Z方向移动，从而改变第一反射镜110和振镜430入口沿Z方向的间距。由于第一反射镜110和第二反射镜210是沿X方向间隔，因此通过第一调节组件驱动第一反射镜110沿Z方向移动时，第一反射镜110反射至第二反射镜210的光束600沿Z方向的位置随之发生改变，从而调节了光束600投射至振镜入口沿Z方向的位置，进而使得光束600与振镜入口沿Z方向对准。

当光束600与振镜430中心存在X方向的位置偏差时，由于第二反射镜210上连接有第二调节组件，因此能够通过第二调节组件驱动第二反射镜210沿X方向移动，从而改变第二反射镜210和振镜430入口沿X方向的间距，使得投射至第二反射镜210的光束600投射至振镜430位置时，光束600与振镜430的入口沿X方向对准。由于光束600从振镜430入口进入时，能够对应从振镜430的出口投射至工件500的待加工位置，因此通过保证光束600进入到振镜430入口的准确性，进而保证加工位置的精确性，从而保证加工精度。在本实施例中，第一调节组件和第二调节组件分别与第一反射镜和第二反射镜连接，使得整体的布局更为紧凑合理。在其他实施方式中，也可以是两个调节组件均与第一反射镜或第二反射镜连接，实现位置调节，或者是两个反射镜上都安装有两个调节组件，则调节范围也能够对应增加。

如图2和图3所示，在一实施例中，第一调节组件包括第一调节杆131和第一调节座132，第一调节杆131螺纹连接于第一调节座132，第一调节座132滑动连接于一固定座，该固定座仅用于对第一调节座132起到限位作用，固定座可以设置在激光加工装置的机架上，可以理解地，也可采用其他部件对第一调节座的转动进行限位；第一反射镜110与第一调节座132连接。当需要调节第一反射镜110沿Z方向的位置时，通过转动第一调节杆131，在固定座的限位作用下，第一调节座132不会随第一调节杆131转动，而是沿着第一调节杆131的轴向升降，由于第一反射镜110安装于第一调节座132上，从而实现第一反射镜110沿Z方向的位置变化，实现光束600与振镜430入口沿Z方向的位置偏差调节。在其他实施方式中，第一调节杆远离自身头部的一端抵接于第一调节座，通过向上或向下旋第一调节杆，使得第一调节杆沿自身轴向移动，进而带动与其抵接的第一调节座同步移动，实现第一反射镜沿Z方向的位置移动。第一调节杆具体可以为螺杆等。

请继续参阅图2和图3，在又一实施例中，光学组件100还包括第一纠偏组件，第一纠偏组件用于调节第一反射镜110的偏转角度。其中，第一纠偏组件包括第一安装座、第一连接杆141和第一弹性件143，第一安装座与第一调节座132连接。第一安装座具体包括第一连接板144和第二连接板145，第一连接杆141穿过第一连接板144的一端与第二连接板145螺纹连接，第一弹性件143连接于第一连接板144和第二连接板145之间，第一连接杆141与第一弹性件143分布于第二连接板145沿长度方向即L方向的两端，且沿第二连接板145的L方向共线。当调节第一连接杆141绕自身轴线转动时，带动第二连接板145沿第一连接杆141的轴向移动。例如，第一调节杆131推动第二连接板145沿远离第一连接板144的方向移动时，弹性件被拉伸，以适应两个连接板之间的间距变化，由于第二连接板145沿宽度方向即W方向的另一端即图2中的左端相对第二连接板145固定，使得第二连接板145沿W方向的一端即图2中的右端相对第一连接板144呈现出微微抬升的状态即偏转一定角度。由于第一反射镜110是安装于第二连接板145上，因此第一反射镜110的偏转角度发生改变，从而能够适应第一反射镜110的安装角度误差，使得第一反射镜110反射的光束600与水平面平行。

如图2和图3所示，在一可选的实施例中，第一纠偏组件还包括第二连接杆142，第二连接杆142穿过第一连接板144并螺纹连接于第二连接板145沿W方向的另一端，且第二连接杆142与第一弹性件143沿第二连接板145的W方向共线。如此，转动第二连接杆142时，与第一连接杆141类似的调节原理，第二连接板145沿L方向的后端即图2中第二连接杆142和第一弹性件143所处的一端相对第一连接板144发生偏转，使得第一反射镜110的偏转角度改变，保证第一反射镜110反射的光束600与水平面平行，保证光路的准确性。如图3所示，第一连接板144具体可以为L型板，减少第一连接板144的重量，两个连接杆分别连接于L型板的两个端部。

如图4所示，在其中一个实施例中，第二调节组件包括第二调节座222、第二调节板223和第二调节杆221，第二调节座222上开设有第一安装孔，第二调节板223上开设有多个沿X方向间隔的第二安装孔，第二调节杆221穿过第一安装孔并连接于其中一个第二安装孔的孔壁。第二调节板可以为L形板，包括沿Y方向延伸的第一板和沿Z方向延伸的第二板，第二安装孔开设于第二板上。当需要改变第二反射镜210沿X方向的位置时，可先将第二调节杆221从当前的第二安装孔旋出，然后移动至与另一个第二安装孔对准并旋入，使得第二调节座222相对第二调节板223沿X方向的位置发生改变。由于第二调节板223与振镜430之间的相对位置不变，从而调节第二调节座222与振镜之间的相对位置，而第二反射镜210与第二调节座222连接，从而调节第二反射镜210沿X方向的位置，使其与振镜430入口沿X方向对准。

如图4所示，在一个具体的实施例中，第一安装孔为沿X方向延伸的长条孔2221。在调节时，可以根据实际需要调节的幅度大小，确定调节方式。例如，长条孔相对第二调节杆沿X方向向后移动的同时，第二调节杆221相对第二调节板223沿X方向向前移动，并旋入对应位置的第二安装孔，因此具有较大的调节幅度。当然在调节时，第二调节杆221旋入第二安装孔的位置也可保持不变，只需第二调节杆221相对长条孔2221移动即可。通过第二调节杆221在长条孔2221内进行微量移动，带动第二调节座222相对第二调节板223移动，实现第二反射镜210的位置调节，使其沿X方向移动的调节精度更高。

如图1所示，在其中一个实施例中，光学组件100还包括场镜440，场镜440与振镜430沿Z方向间隔设置，光束600经过振镜430投射至场镜440，场镜440能够在不改变光学特性的前提下，将激光束600在整个加工平面内形成均匀大小的聚焦光斑，用于实现不同幅面的加工。

如图1所示，在其中一个实施例中，光学组件100还包括第三反射镜420，第三反射镜420设置于第一反射镜110的上方，且与激光发生器沿X方向间隔，通过设置多个反射镜，控制光束的方向。激光发生器发出的光束600指向X方向，经过第三反射镜420反射后指向Z方向，再经过第一反射镜110反射后指向X方向，进而在第二反射镜210的作用投射至振镜430入口，并通过场镜440聚焦于工件500表面。进一步地，激光发生器和第三反射镜420之间还设置有扩束镜410，通过扩束镜410将激光发生器发出的光束600放大，得到不同口径的聚焦光斑，从而适应实际的加工需求。

如图1所示，在一实施例中，扩束镜410、振镜430、场镜440和多个反射镜等光学组件100以及激光发生器均设置有两组，每一激光发生器分别对应一组光学组件100，两组光学组件100沿Y方向间隔设置，彼此工作时互不干扰，场镜440下方对应设置有两个加工工位，因此能够实现同时加工两组工件500，进而提高加工效率。

请参阅图1，在其中一个实施例中，激光加工装置10还包括第一直线模组310，振镜430连接于第一直线模组310的动力输出端，第二调节组件固定安装于第一直线模组310上，第一直线模组310动作时，驱动振镜430沿Y方向移动，从而对工件500沿Y方向分布的多个加工位置进行加工。进一步地，激光加工装置10还包括第二直线模组320，第二直线模组320与第一直线模组310连接，二者呈十字形分布，相较于现有技术中二者为龙门结构的分布，整体布局更为紧凑。第二直线模组320动作时，带动第一直线模组310及第一直线模组310上连接的光学组件100整体一起沿X方向移动，从而对工件500沿X方向分布的多个加工位置进行加工。通过两个直线模组对振镜430进行运动控制，实现XY平面上的轨迹平移，进而对同一工件500的不同位置进行加工或者是对不同工件500进行加工。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种光学组件，其特征在于，所述光学组件用于激光加工，包括第一反射镜、第一调节组件、第二调节组件，与所述第一反射镜间隔设置的第二反射镜，及与所述第二反射镜间隔设置的振镜；

所述第一反射镜连接于所述第一调节组件，所述第一调节组件用于驱动所述第一反射镜至少沿Z方向移动；

所述第二反射镜连接于所述第二调节组件，所述第二调节组件用于驱动所述第二反射镜至少沿X方向移动；

所述第一反射镜与所述第二反射镜分别用于将激光发生器发出的光束进行反射至所述振镜，以使所述振镜将所述光束进行投射加工。

2.根据权利要求1所述的光学组件，其特征在于，所述第一调节组件包括第一调节杆和第一调节座，所述第一调节杆连接于所述第一调节座，所述第一反射镜连接于所述第一调节座；所述第一调节杆绕自身轴线转动，用于带动所述第一调节座沿所述第一调节杆的轴向升降，所述第一调节座用于带动所述第一反射镜同步移动。

3.根据权利要求2所述的光学组件，其特征在于，所述光学组件还包括第一纠偏组件，所述第一纠偏组件包括第一安装座、第一连接杆和第一弹性件，所述第一安装座与所述第一调节座连接；所述第一安装座包括第一连接板和第二连接板，所述第一反射镜安装于所述第二连接板，所述第一连接杆穿过所述第一连接板，且所述第二连接板沿自身长度方向的一端与所述第一连接杆螺纹连接，所述第一弹性件连接于所述第一连接板和所述第二连接板之间，并位于所述第二连接板沿自身长度方向的另一端，且所述第一连接杆与所述第一弹性件沿第二连接板的长度方向共线；

所述第一连接杆绕自身轴线转动，能够驱动所述第二连接板连接于所述第一连接杆的一端相对所述第一连接板偏转。

4.根据权利要求3所述的光学组件，其特征在于，所述第一纠偏组件还包括第二连接杆，所述第二连接杆穿过所述第一连接板，且所述第二连接板沿自身宽度方向的一端与所述第二连接杆螺纹连接，所述第二连接杆与所述第一弹性件沿所述第二连接板的宽度方向共线；

所述第二连接杆绕自身轴线转动，能够驱动所述第二连接板连接于所述第二连接杆的一端相对所述第一连接板偏转。

5.根据权利要求1所述的光学组件，其特征在于，所述第二调节组件包括第二调节座、第二调节板和第二调节杆，所述第二反射镜连接于所述第二调节座；所述第二调节座上开设有第一安装孔，所述第二调节板上开设有多个沿所述X方向间隔的第二安装孔，所述第二调节杆穿过所述第一安装孔并择一连接于所述第二安装孔的孔壁。

6.根据权利要求5所述的光学组件，其特征在于，所述第一安装孔为长条孔，所述长条孔沿所述X方向延伸。

7.根据权利要求1-6任一项所述的光学组件，其特征在于，所述光学组件还包括场镜，所述场镜与所述振镜沿所述Z方向间隔设置；

所述场镜用于将经过所述振镜的光束聚焦于工件。

8.根据权利要求1-6任一项所述的光学组件，其特征在于，所述光学组件还包括第三反射镜和扩束镜；

所述第三反射镜设置于所述第一反射镜的上方；

所述扩束镜设置于所述激光发生器和所述第三反射镜之间，所述第三反射镜用于将经过所述扩束镜的光束投射至所述第一反射镜。

9.一种激光加工装置，其特征在于，包括激光发生器和权利要求1-8任一项所述的光学组件。

10.根据权利要求9所述的激光加工装置，其特征在于，所述激光发生器和所述光学组件均设置有两组，每一所述激光发生器分别对应一组光学组件，各所述光学组件间隔设置；

所述激光加工装置还包括第一直线模组，所述振镜连接于所述第一直线模组，所述第一直线模组用于驱动所述振镜沿Y方向移动；

所述激光加工装置还包括第二直线模组，所述第二直线模组与所述第一直线模组连接，所述第二直线模组用于驱动所述第一直线模组沿X方向移动。

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