CN213876155U - 一种可调节移动反射镜支架连接件 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种可调节移动反射镜支架连接件，包括连接件本体，连接件本体包括顶端面、侧端面、底端面和倾斜侧端面，顶端面上的两端均开设有铣槽，倾斜侧端面上的两端均开设有螺纹孔。本实用新型改变反射镜的位置来使激光光斑照射到反射镜的中心，从而使光斑能量得到充分利用，延长激光器气体的使用寿命，降低成本。

Description

一种可调节移动反射镜支架连接件

技术领域

本实用新型涉及反射镜支架连接件相关技术领域，尤其涉及一种可调节移动反射镜支架连接件。

背景技术

支架连接件是激光脉冲镀膜机台的关键组成部分，激光由激光器发出，光路经过几个反射镜的反射以及最后的聚焦镜的聚焦到达机台制程腔室的靶材上，而连接件用于连接反射镜和固定背板，是光路组成的不可缺少的一部分，支架连接件用于调节激光光斑相对于反射镜的位置，激光脉冲镀膜机要求激光光斑能量尽可能完全被利用以获得良好的制程品质，所以连接件是决定芯片最后品质是否合格的关键因素。

现有技术如附图1所示，该现有技术的缺点是无法根据外界条件因素的改变而改变光斑进入初始光路到达反射镜的位置，从而导致激光能量的大大损失以及对后续产品的品质影响，同时会对反射镜的使用寿命大打折扣，增加了成本。如果按照现有技术，则使用的是激光光斑的边缘能量，最后达到沉积靶材的激光会影响靶材的使用寿命，同样会增加了使用成本。因为光斑的反射是环环相扣的，所以对于光路初始光斑位置的要求极其严格，每次光斑相对于反射镜的位置必须位于反射镜的中心(以达到光斑能量的最大利用率)。而此技术正是用于光路的起始端来获得激光能量的最大利用率。在整个激光脉冲镀膜机台的系统中，激光器产生的激光的位置会根据现场的实际情况以及场地位置的改变而频繁变化，所以此发明用于针对现场的不确定变化的各种因素。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种可调节移动反射镜支架连接件，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种可调节移动反射镜支架连接件。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种可调节移动反射镜支架连接件，包括连接件本体，连接件本体包括顶端面、侧端面、底端面和倾斜侧端面，连接件本体的顶部设置有顶端面，连接件本体的底部设置有底端面，连接件本体的两侧端分别设置有侧端面和倾斜侧端面，侧端面分别与顶端面和底端面相垂直设置，倾斜侧端面的顶部与顶端面相连接，倾斜侧端面的底部与底端面相连接，顶端面上的两端均开设有铣槽，倾斜侧端面上的两端均开设有螺纹孔。

作为本实用新型的进一步改进，铣槽由顶端面延伸至倾斜侧端面上。

作为本实用新型的进一步改进，铣槽的内侧底部设置有台阶，台阶两侧的圆弧直径为6mm，台阶中间的宽度为6mm，台阶的高度为2mm。

作为本实用新型的进一步改进，铣槽一侧的顶端面上设置有刻度层。

作为本实用新型的进一步改进，连接件本体为铝合金块结构设置。

作为本实用新型的进一步改进，螺纹孔的直径为4mm。

作为本实用新型的进一步改进，倾斜侧端面的倾斜角度为45度。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

1、改变反射镜的位置来使激光光斑照射到反射镜的中心，从而使光斑能量得到充分利用，延长激光器气体的使用寿命，降低成本。

2、针对现场因素的变化可以适当性调节出所需要的激光光斑位置。

3、延长了反射镜以及沉积靶材的使用寿命，降低机台的使用和维护保养成本。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是现有技术中的结构示意图；

图2是本实用新型一种可调节移动反射镜支架连接件的结构示意图。

其中，图中各附图标记的含义如下。

1 顶端面 2 侧端面

3 底端面 4 铣槽

5 倾斜侧端面 6 螺纹孔

7 刻度层

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1～图2所示，

一种可调节移动反射镜支架连接件，包括连接件本体，连接件本体包括顶端面1、侧端面2、底端面3和倾斜侧端面5，连接件本体的顶部设置有顶端面1，连接件本体的底部设置有底端面3，连接件本体的两侧端分别设置有侧端面2和倾斜侧端面5，侧端面2分别与顶端面1和底端面3相垂直设置，倾斜侧端面5的顶部与顶端面1相连接，倾斜侧端面5的底部与底端面3相连接，顶端面1上的两端均开设有铣槽4，倾斜侧端面5上的两端均开设有螺纹孔6。

优选的，铣槽4由顶端面1延伸至倾斜侧端面5上。

优选的，铣槽4的内侧底部设置有台阶，台阶两侧的圆弧直径为6mm，台阶中间的宽度为6mm，台阶的高度为2mm。

优选的，铣槽4一侧的顶端面1上设置有刻度层7。

优选的，连接件本体为铝合金块结构设置。

优选的，螺纹孔6的直径为4mm。

优选的，倾斜侧端面5的倾斜角度为45度。

下面结合附图2对本实用新型的原理、结构作进一步的解释说明：

附图2为本实用新型的实物图。连接件本体右边斜面上的两个螺纹孔6使用M4的六角螺丝用于连接装载反射镜的支架，上下平行的铣槽4用于连接在固定装置的支撑板上，而铣槽4的目的正是为了让此连接件有一个水平的移动空间，通过左右调节连接件的位置从而改变反射镜的位置从而使得激光光斑照射在反射镜的中心以获得激光的最大有效使用率。

本实用新型的制作方法为：

加工一个40mm x 30mm x 60mm的铝合金块；

借助铣床铣出一个45度的斜面，使得顶端面1的宽度为30mm；

在斜面上根据反射镜支架的螺纹孔位置钻出两个相匹配的(M4)的螺孔并攻打螺纹

根据固定装置的螺纹孔的位置确定上下螺孔的垂直方向上的位置，并且铣出一个M6的台阶，螺孔的大小为M4，台阶深度为2mm；

在上下台阶的边缘作出刻度线，保证此连接件竖直安装在固定支撑板上，保证光斑的位置精确。

本实用新型的使用方法如下：

如附图2所示，将此连接件通过螺丝连接至固定装置的支撑板上。

如附图2所示，将装载反射镜的支架通过斜面上螺孔与此连接件相连。

安装时保证连接件上下安装在同一个刻度线上，避免倾斜。

可以左右调节此连接件获得所需要的激光光斑相对于反射镜的位置。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种可调节移动反射镜支架连接件，其特征在于，包括连接件本体，所述连接件本体包括顶端面(1)、侧端面(2)、底端面(3)和倾斜侧端面(5)，所述连接件本体的顶部设置有顶端面(1)，所述连接件本体的底部设置有底端面(3)，所述连接件本体的两侧端分别设置有侧端面(2)和倾斜侧端面(5)，所述侧端面(2)分别与顶端面(1)和底端面(3)相垂直设置，所述倾斜侧端面(5)的顶部与顶端面(1)相连接，所述倾斜侧端面(5)的底部与底端面(3)相连接，所述顶端面(1)上的两端均开设有铣槽(4)，所述倾斜侧端面(5)上的两端均开设有螺纹孔(6)。

2.如权利要求1所述的一种可调节移动反射镜支架连接件，其特征在于，所述铣槽(4)由顶端面(1)延伸至倾斜侧端面(5)上。

3.如权利要求1所述的一种可调节移动反射镜支架连接件，其特征在于，所述铣槽(4)的内侧底部设置有台阶，所述台阶两侧的圆弧直径为6mm，所述台阶中间的宽度为6mm，所述台阶的高度为2mm。

4.如权利要求1所述的一种可调节移动反射镜支架连接件，其特征在于，所述铣槽(4)一侧的顶端面(1)上设置有刻度层(7)。

5.如权利要求1所述的一种可调节移动反射镜支架连接件，其特征在于，所述连接件本体为铝合金块结构设置。

6.如权利要求1所述的一种可调节移动反射镜支架连接件，其特征在于，所述螺纹孔(6)的直径为4mm。

7.如权利要求1所述的一种可调节移动反射镜支架连接件，其特征在于，所述倾斜侧端面(5)的倾斜角度为45度。

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