KR960043053A - 열 처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 피처리체를 재치하는 재치대와, 이 재치대를 통하여 피처리체를 가열하는 가열수단과, 재치대를 관통하여 피처리체를 지지하는 지지핀을 포함하며, 재치대는 지지핀의 수평이동을 허용하는 크기의 관통공을 가지며, 지지핀은 관통공 내에 수평 이동 가능한 열 처리 장치이다.

또한, 본 발명은 처리실 내에 배치되며 피처리체를 재치하는 재치대와, 이 재치대를 통하여 피처리체를 가열 하는 가열 수단과, 재치대와의 사이에 처리 공간을 형성하도록 처리실에 배치된 커버 부재와, 처리 공간을 구획하고 개폐가능한 셔터 부재와, 커버 부재와 셔터 부재와의 사이에 설치된 간격 설정용 부재를 포함하는 열 처리 장치이다.

Description

열 처리 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명의 열 처리 장치를 적용한 LCD 기판의 도포. 현상 처리 시스템의 사시도, 제3도는 본 발명의 열 처리 장치의 일예를 나타내는 개략도.

Claims (20)

1. 피처리체를 재치하는 재치대와, 상기 재치대를 통하여 상기 피처리체를 가열하는 가열수단과, 상기 재치대를 관통하여 상기 피처리체를 지지하는 지지핀을 구비하며, 상기 재치대는 상기 지지핀의 수평이동을 허용하는 크기의 관통공을 가지며, 상기 지지핀은 상기 관통공 내에 있어서 수평 이동 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 열 처리 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 지지핀은, 핀 본체와, 상기 핀 본체의 단부에 장착되는 내식성을 가지는 핀 보조체에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 열 처리 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 핀 본체는 스텐레스 강철로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
4. 제2항에 있어서, 상기 핀 보조체는, PEEK, 불소 고무, 및 불소 수지로 이루어지는 군으로부터 선택된 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 재치대상에 설치된 상기 관통공의 적어도 내주면에 코팅 막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 코팅 막은 불소 수지, 및 그 소결체로 이루어지는 군으로부터 선택된 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 지지핀은, 상기 지지핀을 지지하는 지지 부재와의 사이에 슬라이딩 가능하게 설치 된 다리부재를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 지지핀 및 상기 다리 부재의 길이에 대한 상기 다리 부재의 폭의 비가 0.2 이상인 것을 특징으로 하는 장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 재치대는, 상기 피처리체와 접촉하는 면 위에 스페이서 부재를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
10. 제1항에 있어서, 상기 지지핀을 승강시키는 핀 승강 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
11. 처리실 내에 배치되어 피처리체를 재치하는 재치대와, 상기 재치대를 통하여 상기 피처리체를 가열하는 가열 수단과, 상기 재치대와의 사이에 처리 공간을 형성하도록 상기 처리실에 배치된 커버 부재와, 상기 처리 공간을 구획하고 개폐가능한 셔터 부재와 상기 커버 부재와 상기 셔터 부재와의 사이에 설치된 간격 설정용 부재를 구비하는 열 처리 장치.
12. 제1항에 있어서, 상기 셔터 부재를 승강시키는 셔터 부재 승강 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
13. 제11항에 있어서, 상기 간격 설정용 부재가 복수의 돌기인 것을 특징으로 하는 장치.
14. 피처리체를 재치하는 재치대와, 상기 재치대를 통하여 상기 피처리체를 가열하는 가열수단과, 상기 재치대를 관통하여 상기 피처리체를 지지하는 지지핀과, 상기 재치대와의 사이에 처리 공간을 형성하도록 상기 처리실에 배치된 커버 부재와, 상기 처리 공간을 구획하고 개폐가능한 셔터 부재와, 상기 커버 부재와 상기 셔터 부재와의 사이에 설치된 간격 설정용 부재를 구비하고, 상기 재치대는 상기 지지핀의 수평이동을 허용하는 크기의 관통공을 가지며, 상기 지지핀은 상기 관통공 내에 있어서 수평 이동 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 열 처리 장치.
15. 제14항에 있어서, 상기 지지핀은, 핀 본체와, 상기 핀 본체의 단부에 장착되는 내식성을 가지는 핀 보조체에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
16. 제14항에 있어서, 상기 재치대상에 설치된 상기 관통공의 적어도 내주면에 코팅 막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
17. 제1항에 있어서, 상기 지지핀은, 상기 지지핀을 지지하는 지지 부재와의 사이에 슬라이딩 가능하게 설치된 다리부재를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
18. 제7항에 있어서, 상기 지지핀 및 상기 다리 부재의 길이에 대한 상기 다리 부재의 폭의 비가 0.2 이상인 것을 특징으로 하는 장치.
19. 제14항에 있어서, 상기 지지핀을 승강시키는 핀 승강 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
20. 제14항에 있어서, 상기 셔터 부재를 승강시키는 셔터 부재 승강 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.