CN109534686A - 烘烤箱 - Google Patents

烘烤箱 Download PDF

Info

Publication number
CN109534686A
CN109534686A CN201811475329.8A CN201811475329A CN109534686A CN 109534686 A CN109534686 A CN 109534686A CN 201811475329 A CN201811475329 A CN 201811475329A CN 109534686 A CN109534686 A CN 109534686A
Authority
CN
China
Prior art keywords
baking box
film
baking
compressed gas
box cavity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811475329.8A
Other languages
English (en)
Inventor
徐毕龙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Original Assignee
Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd filed Critical Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority to CN201811475329.8A priority Critical patent/CN109534686A/zh
Priority to PCT/CN2019/075999 priority patent/WO2020113828A1/zh
Publication of CN109534686A publication Critical patent/CN109534686A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/02Details
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/30Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32After-treatment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

一种烘烤箱,其包括烘烤箱腔体、加热器、压缩气体产生器和气体导引装置。所述烘烤箱腔体用于放置所述基板。所述加热器用于对所述烘烤箱腔体内的空气进行加热,以对放置于所述烘烤箱腔体其中的所述基板进行烘烤。所述压缩气体产生器用于产生压缩气体。所述气体导引装置连接于所述压缩气体产生器,用来于所述加热器停止加热时,加快所述压缩气体导引至所述烘烤箱腔体,加速所述烘烤箱腔体的气体循环,以快速降低所述烘烤箱腔体的温度。

Description

烘烤箱
技术领域
本发明涉及液晶显示领域,特别涉及一种用于液晶显示装置的制作工艺过程的烘烤箱。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用,如:移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。在液晶显示器的彩膜基板的制作工艺中,玻璃基板经过清洗机的清洗后,涂布机将彩膜光阻涂布至玻璃基板上,并使用干燥系统将大部分溶剂抽除,然后进行预烘烤、曝光、显影及后烘烤。
彩膜后烘烤机(Oven)的工作原理如下:电阻丝将空气加热至230 0C,加热后的空气经风机进入烘烤箱室内对显影后的玻璃基板进行烘烤。光阻剂主要由树脂(Resin)、感光剂(Sensitizer)以及溶剂(Solvent)等不同的成分混合而成。烘烤最大的目的就是:将经过显影后的光阻,由热能蒸发的方式,将光阻内残留的溶剂降至最低状态,以达成彩膜成膜之目的。
在进行烘烤过程中会产生大量烟雾附着在烘烤机腔体内壁,因此需定期清洁烘烤机腔体。因为彩膜基板所采用的烘烤机的烘烤温度大多为230℃,清洁时需降至常温(23℃),这段降温时间耗时较长(4小时左右)。同时烟雾(fume)挥发产生的杂质会附着在烘烤机的开关门(shutter)上。因为开关门的材质不易清洁,因此会增加保养的时间,从而影响彩膜基板的产能。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种彩膜基板烘烤箱,以解决现有技术中,需要耗时较长的降温时间以及开关门不易清洁的问题。
本发明的技术方案提供一种烘烤箱,其包括烘烤箱腔体、加热器、压缩气体产生器和气体导引装置。所述烘烤箱腔体用于放置彩膜基板。所述加热器用于对所述烘烤箱腔体内的空气进行加热,以对放置于所述烘烤箱腔体其中的所述彩膜基板进行烘烤。所述压缩气体产生器用于产生压缩气体。所述气体导引装置连接于所述压缩气体产生器,用来于所述加热器停止加热时,加快所述压缩气体导引至所述烘烤箱腔体,加速所述烘烤箱腔体的气体循环,以快速降低所述烘烤箱腔体的温度。
根据本发明的实施例,所述烘烤箱另包含开关门和薄膜。所述开关门装设于所述烘烤箱腔体的一侧。所述薄膜贴覆于所述开关门上,用于黏附烘烤后所形成的烟雾杂质。
根据本发明的实施例,所述薄膜为可替换薄膜。
根据本发明的实施例,所述薄膜为聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜或聚酯薄膜。
根据本发明的实施例,所述烘烤箱另包含烟雾排导机构,所述烘烤箱腔体内的烟雾通过所述烟雾排导机构排出。
根据本发明的实施例,所述加热器为加热丝。
本发明的技术方案还提供一种烘烤箱,其包括烘烤箱腔体、加热器、压缩气体产生器、气体导引装置、开关门和薄膜。所述烘烤箱腔体用于放置彩膜基板。所述加热器用于对所述烘烤箱腔体内的空气进行加热,以对放置于所述烘烤箱腔体其中的所述彩膜基板进行烘烤。所述压缩气体产生器用于产生压缩气体。所述气体导引装置连接于所述压缩气体产生器,用来于所述加热器停止加热时,加快所述压缩气体导引至所述烘烤箱腔体,加速所述烘烤箱腔体的气体循环,以快速降低所述烘烤箱腔体的温度。所述开关门装设于所述烘烤箱腔体的一侧。所述薄膜贴覆于所述开关门上,用于黏附烘烤后所形成的烟雾杂质,其中所述薄膜为可替换薄膜。
根据本发明的实施例,所述薄膜为聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜或聚酯薄膜。
根据本发明的实施例,所述烘烤箱另包含烟雾排导机构,所述烘烤箱腔体内的烟雾通过所述烟雾排导机构排出。
根据本发明的实施例,所述加热器为加热丝。
相较于现有技术,本发明的烘烤箱通过气体导引装置于加热器停止加热时,将压缩气体产生器产生的压缩气体快速导引至烘烤箱腔体,以加速烘烤箱腔体的气体循环,以达到快速降低烘烤箱腔体温度的有益效果。此外,本发明的烘烤箱在开关门上贴覆薄膜,所述薄膜用于黏附烘烤后所形成的烟雾杂质。因为所述薄膜便于替换,因此即使烟雾杂质黏附在所述薄膜,保养人员也可以迅速地替换薄膜,节省保养烘烤箱的时间。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容,请参阅以下有关本发明的详细说明与附图,然而附图仅提供参考与说明用,并非用来对本发明加以限制。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例的烘烤箱的示意图。
图2是本发明实施例的烘烤箱的框图。
图3是本发明实施例的烘烤箱的压缩气体产生器和气体导引装置运作时,烘烤箱腔体内气体循环的示意图。
图4为本发明实施例的烘烤箱的开关门贴覆薄膜的正视图。
图5为本发明实施例的烘烤箱的开关门贴覆薄膜的侧视图。
具体实施方式
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或组件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个组件内部的连通或两个组件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
请参阅图1以及图2,图1是本发明实施例的烘烤箱10的示意图,图2是本发明实施例的烘烤箱10的框图。所述烘烤箱10用于液晶显示面板的制程中,对在基板上涂布的光阻进行干燥和固化。例如,烘烤箱10用于烘烤多个彩膜基板30,但是本发明并不因此限定用于烘烤彩膜基板30。烘烤箱10包括烘烤箱腔体12、加热器14、压缩气体产生器16、开关门(shutter)18和气体导引装置20。烘烤箱腔体12用于放置彩膜基板30。加热器14用于对烘烤箱腔体12内的空气进行加热,以对放置于烘烤箱腔体12其中的彩膜基板30进行烘烤。加热器14可以为加热丝。加热器14通过导线连接与电源连接,当加热器14收到电力时,加热器14对烘烤箱腔体10内的空气进行加热,以对放置在其中的彩膜基板进行烘烤。压缩气体产生器16用于产生压缩气体。气体导引装置20连接于压缩气体产生器16。
请一并参阅图1至图3,图3是本发明实施例的烘烤箱10的压缩气体产生器16和气体导引装置20运作时,烘烤箱腔体12内气体循环的示意图。当操作员控制烘烤箱10停止烘烤时,加热器14会停止加热。此时烘烤箱腔体12内的温度会达到230度以上,但是烘烤箱10外面的室温可能仅有20-25度。这时彩膜基板30上还会有一些升腾的烟雾60,当烘烤箱10外的冷空气流入烘烤箱腔体12,这些烟雾60遇到冷空气就会凝结成水珠滴落在彩膜基板30上,对彩膜基板30造成污染。因此,本实施例在加热器14停止加热之后,会同时启动压缩气体产生器16用以产生压缩气体。气体导引装置20则用来加快压缩气体导引至烘烤箱腔体12,加速烘烤箱腔体12的气体循环(如图3的箭头所示方向),以快速降低烘烤箱腔体12的温度。在本实施例中,气体导引装置20包含风扇,通过控制风扇的转速,可以加快压缩气体的流速。烘烤箱10的外表面均连接有烟雾排导机构22,所述烘烤箱腔体12内的烟雾60由压缩气体带动下,通过烟雾排导机构22排出。烟雾排导机构22包括抽风机和抽风管道,所述抽风机用于将烘烤箱腔体12内的气体抽出,而后通过抽风管道排出到室外。
请参阅图4和图5,图4为本发明实施例的烘烤箱10的开关门18贴覆薄膜181的正视图,图5为本发明实施例的烘烤箱10的开关门18贴覆薄膜181的侧视图。烘烤箱10另包括开关门(shutter)18,位于烘烤箱腔体12的一侧。开关门18上贴覆薄膜181。薄膜181用于黏附烘烤后所形成的烟雾16杂质。薄膜181可以为耐高温的塑料薄膜,例如聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜或聚酯薄膜等。使用薄膜181便于贴覆于开关门18上,也易于从开关门18撕下,因此便于替换。因此保养人员定期维护保养烘烤箱10时,可以轻易地将黏附烟雾16杂质的薄膜181撕下,并更换另一薄膜181,毋须费力刷洗清洁开关门18,节省保养时间和成本。
相较于现有技术,本发明的烘烤箱通过气体导引装置于加热器停止加热时,将压缩气体产生器产生的压缩气体快速导引至烘烤箱腔体,以加速烘烤箱腔体的气体循环,以达到快速降低烘烤箱腔体温度的有益效果。此外,本发明的烘烤箱在开关门上贴覆薄膜,所述薄膜用于黏附烘烤后所形成的烟雾杂质。因为所述薄膜便于替换,因此即使烟雾杂质黏附在所述薄膜,保养人员也可以迅速地替换薄膜,节省保养烘烤箱的时间。
综上所述,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,但该较佳实施例并非用以限制本发明,该领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与润饰,因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种烘烤箱,其特征在于,包括:
烘烤箱腔体,用于放置彩膜基板;
加热器,用于对所述烘烤箱腔体内的空气进行加热,以对放置于所述烘烤箱腔体其中的所述彩膜基板进行烘烤;
压缩气体产生器,用于产生压缩气体;及
气体导引装置,连接于所述压缩气体产生器,用来于所述加热器停止加热时,加快所述压缩气体导引至所述烘烤箱腔体,加速所述烘烤箱腔体的气体循环,以快速降低所述烘烤箱腔体的温度。
2.如权利要求1所述的烘烤箱,其特征在于,其另包含:
开关门,装设于所述烘烤箱腔体的一侧;
薄膜,贴覆于所述开关门上,用于黏附烘烤后所形成的烟雾杂质。
3.如权利要求2所述的烘烤箱,其特征在于,所述薄膜为可替换薄膜。
4.如权利要求2所述的烘烤箱,其特征在于,所述薄膜为聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜或聚酯薄膜。
5.如权利要求1所述的烘烤箱,其特征在于,其另包含烟雾排导机构,所述烘烤箱腔体内的烟雾通过所述烟雾排导机构排出。
6.如权利要求1所述的烘烤箱,其特征在于,所述加热器为加热丝。
7.一种烘烤箱,其特征在于,包括:
烘烤箱腔体,用于放置彩膜基板;
加热器,用于对所述烘烤箱腔体内的空气进行加热,以对放置于所述烘烤箱腔体其中的所述彩膜基板进行烘烤;
压缩气体产生器,用于产生压缩气体;
气体导引装置,连接于所述压缩气体产生器,用来于所述加热器停止加热时,加快所述压缩气体导引至所述烘烤箱腔体,加速所述烘烤箱腔体的气体循环,以快速降低所述烘烤箱腔体的温度;
开关门,装设于所述烘烤箱腔体的一侧;及
薄膜,贴覆于所述开关门上,用于黏附烘烤后所形成的烟雾杂质,其中所述薄膜为可替换薄膜。
8.如权利要求7所述的烘烤箱,其特征在于,所述薄膜为聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜或聚酯薄膜。
9.如权利要求7所述的烘烤箱,其特征在于,其另包含烟雾排导机构,所述烘烤箱腔体内的烟雾通过所述烟雾排导机构排出。
10.如权利要求7所述的烘烤箱,其特征在于,所述加热器为加热丝。
CN201811475329.8A 2018-12-04 2018-12-04 烘烤箱 Pending CN109534686A (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811475329.8A CN109534686A (zh) 2018-12-04 2018-12-04 烘烤箱
PCT/CN2019/075999 WO2020113828A1 (zh) 2018-12-04 2019-02-25 烘烤箱

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811475329.8A CN109534686A (zh) 2018-12-04 2018-12-04 烘烤箱

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109534686A true CN109534686A (zh) 2019-03-29

Family

ID=65853774

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811475329.8A Pending CN109534686A (zh) 2018-12-04 2018-12-04 烘烤箱

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN109534686A (zh)
WO (1) WO2020113828A1 (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104460072A (zh) * 2014-12-31 2015-03-25 深圳市华星光电技术有限公司 基板烘烤装置
CN105116570A (zh) * 2015-09-15 2015-12-02 武汉华星光电技术有限公司 玻璃基板烘烤装置
CN106783684A (zh) * 2016-12-19 2017-05-31 惠科股份有限公司 基板烘烤机台及其烘烤作业方法
CN107560335A (zh) * 2017-08-18 2018-01-09 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 烘制设备
CN108196430A (zh) * 2017-12-26 2018-06-22 武汉华星光电技术有限公司 一种光刻胶软烘装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3028462B2 (ja) * 1995-05-12 2000-04-04 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置
KR101035850B1 (ko) * 2003-11-17 2011-05-19 삼성전자주식회사 박막 형성용 프린팅 설비
CN201210223Y (zh) * 2008-04-18 2009-03-18 志圣工业股份有限公司 烘烤设备降温装置
CN202372758U (zh) * 2011-11-21 2012-08-08 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 烘烤设备
CN105895524B (zh) * 2016-05-17 2018-06-05 成都京东方光电科技有限公司 一种热板加热装置及控制方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104460072A (zh) * 2014-12-31 2015-03-25 深圳市华星光电技术有限公司 基板烘烤装置
CN105116570A (zh) * 2015-09-15 2015-12-02 武汉华星光电技术有限公司 玻璃基板烘烤装置
CN106783684A (zh) * 2016-12-19 2017-05-31 惠科股份有限公司 基板烘烤机台及其烘烤作业方法
CN107560335A (zh) * 2017-08-18 2018-01-09 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 烘制设备
CN108196430A (zh) * 2017-12-26 2018-06-22 武汉华星光电技术有限公司 一种光刻胶软烘装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020113828A1 (zh) 2020-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3783366B2 (ja) 焼成炉
CN102132102B (zh) 加热烹调器
CN106783684A (zh) 基板烘烤机台及其烘烤作业方法
CN108227411B (zh) 光阻预烘烤冷却系统
CN106102189A (zh) 加热器单元和热处理装置
WO2015024339A1 (zh) 基板干燥装置及基板清洗系统
CN109534686A (zh) 烘烤箱
CN207688525U (zh) 一种热风回收再利用的烘干设备
CN209279564U (zh) 一种枸杞加工生产用干燥装置
CN102024678A (zh) 热处理装置
CN213454543U (zh) 一种双循环高真空烤箱
WO2020220897A1 (zh) 微波真空热风干燥一体机
WO2020062428A1 (zh) 一种烘烤设备
CN106865994B (zh) 一种彩膜基板烘烤箱
CN212538653U (zh) 一种pet离型膜生产在线烘干装置
CN104997150B (zh) 采用平行流烘烤的烤房
CN207318884U (zh) 一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统
CN107462025A (zh) 一种新型耐火材料砖的干燥装置
CN221288581U (zh) 一种用于基膜涂覆上料的预热烘箱
CN216601568U (zh) 一种模块化滚筒式的隧道烘炉
CN205784316U (zh) 一种可三百六十度循环出风的烘箱
CN104492671A (zh) 墙纸直燃式烘干装置及其烘干方法
CN220119578U (zh) 一种集成热风输出装置
CN218676611U (zh) 一种双循环型卧式漆包机烘炉
CN218238218U (zh) 一种带有翻转机构的喷胶棉烘房

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190329