CN105895524B - 一种热板加热装置及控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及显示技术领域，公开一种热板加热装置及控制方法，热板加热装置包括腔体，腔体内至少包括一个加热腔室，加热腔室内包括一基板支撑面，其特征在于，每一个加热腔室中，底壁朝向顶壁的一面形成基板支撑面，且沿垂直于基板支撑面的方向，加热腔室的顶壁和底壁上均设有加热装置，在上述加热装置中，基板放置在基板支撑面上，在对加热腔室进行加热时，顶壁和底壁上的加热装置同时进行加热，一方面能够提高加热效果，使得基板上光刻胶中的物质较快挥发，另一方面能够保证腔体内的温度均匀，挥发的气体在腔体的顶壁上不会遇冷凝结，达到更好的自洁效果，能够减少对基板造成二次污染，能够提高产品良率。

Description

一种热板加热装置及控制方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种热板加热装置及控制方法。
背景技术
在显示技术领域，由于光刻胶(PR胶)具有加热易挥发的特性，而热板加热(HP)能够快速升温将光刻胶加热挥发以进行光刻胶膜层固化继续后续刻蚀工艺，因此，热板加热常用于对显影后具有图形的光刻胶膜层进行烘烤固化。
现在的HP设备采用密闭腔体加热，在腔体的底部设置加热装置，通过加热装置产生高温，基板上涂覆的PR胶内含有的有机溶剂添加剂等在高温下挥发后在腔体的顶部形成凝结，而凝结的易挥发物质会易对基板造成二次污染，因此，设计一种能够减少对基板造成二次污染的热板加热装置，提高产品良率显得尤为重要。
发明内容
本发明提供一种热板加热装置及控制方法，该热板加热装置能够减少对基板造成二次污染，能够提高产品良率。
为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：
一种热板加热装置，包括腔体，所述腔体内至少包括一个加热腔室，所述加热腔室内包括一基板支撑面，每一个所述加热腔室中，底壁朝向顶壁的一面形成所述基板支撑面，且沿垂直于所述基板支撑面的方向，所述加热腔室的顶壁和底壁上均设有加热装置。
在上述加热装置中，基板放置在基板支撑面上，在对加热腔室进行加热时，顶壁和底壁上的加热装置同时进行加热，一方面能够提高加热效果，使得基板上光刻胶中的物质较快挥发，另一方面能够保证腔体内的温度均匀，挥发的气体在腔体的顶壁上不会遇冷凝结，达到更好的自洁效果，能够减少对基板造成二次污染，能够提高产品良率。
优选地，所述腔体内还具有进风通道和排风通道，且每一个所述加热腔室具有进风口和排风口，所述进风口用于连通所述加热腔室和所述进风通道，且所述排风口用于连通所述加热腔室和所述排风通道。
优选地，所述进风通道为热风通道。
优选地，所述进风通道为冷风通道，且在所述加热腔室进风口处设有加热单元。
优选地，所述加热单元为电加热丝。
优选地，每一个所述加热腔室中，所述顶壁设有的加热装置为加热线圈，和/或，所述底壁设有的加热装置为加热线圈。
优选地，每一个所述加热腔室中，所述顶壁设有的加热装置为嵌设在所述顶壁的加热板，和/或，所述底壁设有的加热装置为嵌设在所述底壁的加热板。
一种热板加热装置的控制方法，包括：
通过加热加热腔室的顶壁和底壁对位于加热腔室基板支撑面上的基板进行加热。
优选地，当腔体具有进风通道和排风通道时，所述进风通道与冷却装置相连通。
附图说明
图1为本发明提供的一种热板加热装置的结构示意图；
图2为本发明提供的一种热板加热装置的另一结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供的一种热板加热装置，如图1以及图2所示，包括腔体，腔体内至少包括一个加热腔室2，每一个加热腔室2内形成一基板支撑面，每一个加热腔室2中，底壁22朝向顶壁21的一面形成基板支撑面，且沿垂直于基板支撑面的方向，加热腔室2的顶壁21和底壁22上均设有加热装置。
在上述加热装置中，基板5放置在基板支撑面上，在对加热腔室2进行加热时，顶壁21和底壁22上的加热装置同时进行加热，一方面能够提高加热效果，使得基板5上光刻胶6中的物质较快挥发，另一方面能够保证腔体内的温度均匀，挥发的气体在腔体的顶壁21上不会遇冷凝结，达到更好的自洁效果，能够减少对基板造成二次污染，能够提高产品良率。
一种优选实施方式中，如图1以及图2所述，腔体内还具有进风通道1和排风通道4，且每一个加热腔室2具有进风口和排风口，进风口用于连通加热腔室2和进风通道1，且排风口用于连通加热腔室2和排风通道4。
进风通道1的气流通过进风口进入加热腔室2，并通过排风口流向排风通道4，当加热腔室2加热涂覆有光刻胶6的基板5时，光刻胶6内含有的有机溶剂、添加剂等在高温下挥发并随从进风口流向出风口的气流一起排出加热腔室2，减少了高温挥发的气体在加热腔室2内的凝结，保证了加热腔室2的清洁，延长加热腔室2的使用时间，并且减少对基板5造成二次污染的可能，提高了产品良率；并且当加热腔室2内凝结有光刻胶6内高温挥发的物质需要进行清洁时，对加热腔室2进行加热，所凝结的物质挥发并随从进风口流向出风口的气流一起排出加热腔室2，相比人工清洁，清洁效果较好，节省人力物力。
为了避免气流对加热腔室2内高温挥发物质的影响，减少对基板5造成污染，一种优选实施方式中，如图1所示，进风通道1为热风通道，当对加热腔室2进行加热时，光刻胶6内含有的有机溶剂、添加剂等受高温挥发，凝结在加热腔室2内壁上的物质受高温挥发，从进风通道1的热气流通过进风口进入加热腔室2，并使挥发的气体一起流向出风口进而一起排出加热腔室2，由于进风通道1为热风通道，通过进风口进入加热腔室2的气流为热气流，因而能够避免气流对高温挥发物质的影响，减少对基板5造成污染，提高产品良率。
为了实现上述实施方式中的清洁效果，需要保证从进风口进入加热腔室2的气流为热气流，另一种优选实施方式中，如图2所示，进风通道1为冷风通道，且在加热腔室2进风口处设有加热单元3，虽然进风通道1为冷风通道，但是气体在加热腔室2进风口处经过加热单元3的加热形成热气流，保证了从进风口进入加热腔室2的气流为热气流，能够实现进风通道1为热风通道时相同的清洁效果，而且，进风通道1为冷风通道相对于热风通道也减少了对设备以及工艺的要求。
具体地，加热单元3为电加热丝，电加热丝将电能转化为热能，加热经过进风口的气体以形成热气流，由于电加热丝具有电阻率高、耐高温且在高温状态下形状稳定等特点，使其使用寿命较长且加热效果较好，保证了热板加热装置较长的使用寿命。
具体地，每一个加热腔室2中，顶壁21设有的加热装置为加热线圈，和/或，底壁22设有的加热装置为加热线圈，加热线圈将电能转化为热能，具有热效率高、升温快等特点，能够获得较高的温度、易于实现温度的自动控制，且能够保证加热腔体的清洁，不会污染加热腔体。
具体地，每一个加热腔室2中，顶壁21设有的加热装置为嵌设在顶壁21的加热板，和/或，底壁22设有的加热装置为嵌设在底壁22的加热板，加热板将电能转化为热能，能够加快地获得较高的温度、实现温度的自动控制，且能够保证加热腔体的清洁，不会污染加热腔体。
一种热板加热装置的控制方法，包括：
通过加热加热腔室的顶壁21和底壁22对位于加热腔室基板支撑面上的基板进行加热。
在上述热板加热装置的控制方法中，通过加热腔室的顶壁21和底壁22同时加热，保证腔体内的温度均匀，挥发的气体在腔体的顶壁21上不会遇冷凝结，达到更好的自洁效果，能够减少对基板造成二次污染，能够提高产品良率。
一种优选实施方式中，当腔体具有进风通道和排风通道时，所述进风通道与冷却装置相连通。进风通道1以及排风通道4与冷却装置相连，排风通道4内的气体中携带有基板5上光刻胶6中高温挥发的物质在经过在冷却装置时冷却，凝结在冷却装置中，便于重新利用；而冷却装置排出的压缩气体可以继续作为输入进风通道的气体，在热板装置中进行二次使用，提高压缩气体的利用率，节约成本。
显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种热板加热装置，包括腔体，所述腔体内至少包括一个加热腔室，所述加热腔室内包括一基板支撑面，其特征在于，每一个所述加热腔室中，底壁朝向顶壁的一面形成所述基板支撑面，且沿垂直于所述基板支撑面的方向，所述加热腔室的顶壁和底壁上均设有加热装置，且，当所述腔体包括两个加热腔室时，两个所述加热腔室沿垂直于所述基板支撑面的方向排列，且位于下方的加热腔室的顶壁形成位于上方的加热腔室的底壁。
2.根据权利要求1所述的热板加热装置，其特征在于，所述腔体内还具有进风通道和排风通道，且每一个所述加热腔室具有进风口和排风口，所述进风口用于连通所述加热腔室和所述进风通道，且所述排风口用于连通所述加热腔室和所述排风通道。
3.根据权利要求2所述的热板加热装置，其特征在于，所述进风通道为热风通道。
4.根据权利要求2所述的热板加热装置，其特征在于，所述进风通道为冷风通道，且在所述加热腔室进风口处设有加热单元。
5.根据权利要求4所述的热板加热装置，其特征在于，所述加热单元为电加热丝。
6.根据权利要求1所述的热板加热装置，其特征在于，每一个所述加热腔室中，所述顶壁设有的加热装置为加热线圈，和/或，所述底壁设有的加热装置为加热线圈。
7.根据权利要求1所述的热板加热装置，其特征在于，每一个所述加热腔室中，所述顶壁设有的加热装置为嵌设在所述顶壁的加热板，和/或，所述底壁设有的加热装置为嵌设在所述底壁的加热板。
8.一种如权利要求1～7任一项所述的热板加热装置的控制方法，其特征在于，包括：
通过加热加热腔室的顶壁和底壁对位于加热腔室基板支撑面上的基板进行加热。
9.根据权利要求8所述的控制方法，其特征在于，当腔体具有进风通道和排风通道时，所述进风通道与冷却装置相连通。
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