JP2011109084A5 - 半導体装置、中央演算処理装置 - Google Patents

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  1. チャネル形成領域が設けられた酸化物半導体層と、
    ゲート絶縁層と、
    前記ゲート絶縁層を介して、前記酸化物半導体層の前記チャネル形成領域と重畳して設けられたゲート電極層と、
    前記酸化物半導体層に電気的に接続されたソース電極層及びドレイン電極層と、を有するトランジスタが少なくとも一つ設けられている記憶素子を含み、
    前記酸化物半導体層におけるキャリア濃度は5×10 14 cm −3 以下であり、
    前記トランジスタのオフ電流値は、1×10 −13 A以下であることを特徴とする半導体装置。
  2. 請求項1において、
    前記酸化物半導体層における水素濃度は5×1019cm−3以下であることを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項1または請求項2に記載の半導体装置がDRAMであることを特徴とする半導体装置。
  4. タイミングコントロール回路、命令解析デコーダー、レジスタアレイ、アドレスロジックバッファ回路、データバスインターフェイス、演算論理装置、及び命令レジスタを有し、
    前記レジスタアレイ及び前記命令レジスタは、請求項1乃至3のいずれか一に記載の記憶素子を有することを特徴とする中央演算処理装置。
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