JP2003270609A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 処理室内にて対向して配置された第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
   前記第１及び第２の保持板に保持する２枚の基板のうち上側の基板を吸着し、該吸着した基板をその下方から所定の気体を噴出しながら水平方向に保持する保持部を備えること
   を特徴とする貼合せ基板製造装置。
2. 処理室内にて対向して配置された第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
   前記処理室内に搬送する２枚の基板から選択的に１枚を吸着保持する保持部を備え、該保持部は基板の外面を吸着して水平方向に保持すること
   を特徴とする貼合せ基板製造装置。
3. 前記保持部を有する２本の搬送アームが更に設けられ、該２本の搬送アームのうち少なくとも一方には前記２枚の基板及び貼り合わせた後の基板の何れかを保持可能としたこと
   を特徴とする請求項２記載の貼合せ基板製造装置。
4. 前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板には、該保持板とは独立して上下動可能に設けられ前記保持部に保持された基板の外面を吸引吸着して保持する吸着機構が備えられ、
   該保持板は前記吸着機構に保持された基板に対し吸引吸着力及び静電吸着力のうち少なくとも一方を作用させて該基板を保持すること
   を特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
5. 前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の吸着面には、該吸着面の端面まで延びるように複数の吸着溝が形成されていること
   を特徴とする請求項１乃至４の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
6. 前記複数の吸着溝には、ポーラス部材が前記吸着溝を平面化する状態で設けられていること
   を特徴とする請求項５記載の貼合せ基板製造装置。
7. 前記処理室内への前記２枚の基板の搬入に先立って、前記第１及び第２の保持板に付着している不純物を除去するための不純物除去手段を備えていること
   を特徴とする請求項１乃至６の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
8. 前記２枚の基板間に封入する液体を、前記２枚の基板のうち何れか一方の基板上に滴下する液体滴下装置と、
   前記２枚の基板のうち少なくとも一方の基板に形成されて前記２枚の基板同士の間隔を規制する柱の高さを測定する柱高さ測定装置とを備え、
   前記柱高さ測定装置は前記柱の高さを測定した基板の識別情報と該基板の柱高さデータとを対応付けて第１の記憶装置に記憶し、前記液体滴下装置は前記識別情報に基づいて前記第１の記憶装置から抽出した前記柱高さデータ及び予め定められた点滴量の補正値に応じた量の液体を前記基板上に滴下すること
   を特徴とする請求項１乃至７の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
9. 前記処理室内への前記２枚の基板の搬入に先立って、前記第１及び第２の保持板にそれぞれ保持される前記２枚の基板の位置決めを該基板毎に行う位置決め装置を備え、
   前記位置決め装置は、前記基板の外面を吸着して水平方向に移動可能に吊下保持する吸着機構と、その吸着機構により吊下保持された基板の辺及び角のうち少なくとも一箇所を押して位置決めを行う位置決め機構とを備えること
   を特徴とする請求項１乃至８の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
10. 前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板は、前記処理室内が大気圧下では前記基板を吸引吸着して保持し、前記処理室内の減圧に際しては、前記吸引吸着を停止した後に前記基板の背圧を前記処理室内の圧力と略等圧とする状態にて前記基板を静電吸着して保持すること
    を特徴とする請求項１乃至９の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
11. 前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板は、前記処理室内が大気圧下では前記基板を吸引吸着して保持し、前記処理室内の減圧に際しては、該処理圧内の圧力を大気圧に対し所定の圧力まで揚圧して前記吸引吸着を停止した後に前記基板を静電吸着して保持すること
    を特徴とする請求項１乃至１０の何れか一項記載の貼合せ基板製造装置。
12. 処理室内にて対向して配置された第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
    前記処理室内に搬送する２枚の基板から選択的に１枚を吸着保持する保持部を備え、該保持部は基板の外面を吸着して水平方向に保持することと、
    前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板は、前記保持部との間で関連する基板を受け渡しするときに、前記保持部を収容する溝を有することと
    を特徴とする貼合せ基板製造装置。
13. 前記溝は、関連する前記保持板と前記保持部とが互いに干渉し合わないように該保持部が移動する経路に沿って形成されること
    を特徴とする請求項１２記載の貼合せ基板製造装置。
14. 処理室内にて対向して配置された第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
    前記第１及び第２の保持板のうち少なくとも一方の保持板には、該保持板とは独立して上下動可能に設けられ前記基板の外面を吸引吸着して保持する吸着機構が備えられ、該保持板は前記吸着機構に保持された基板に対し吸引吸着力及び静電吸着力のうち少なくとも一方を作用させて該基板を保持すること
    を特徴とする貼合せ基板製造装置。
15. 前記吸着機構を備える保持板には該保持板を貫通する複数の貫通経路が上下方向に形成され、前記吸着機構は前記複数の貫通経路内を上下動可能とする複数の吸着部を備えること
    を特徴とする請求項１４記載の貼合せ基板製造装置。
16. 前記吸着機構は複数の吸着部を備え、関連する前記基板に対して個別に吸着可能であること
    を特徴とする請求項１４又は請求項１５記載の貼合せ基板製造装置。