JPH10156774A - 基板移載機のティーチング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】基板移載機の正確なティーチングを容易且つ迅
速に行うことができる方法を提供する。 【解決手段】基板搬送用の操作アーム３及びその操作ア
ーム３の先端に取り付けた基板載置用のプレート５を操
作し、プレート５を反応室２０内の所定位置まで移動さ
せる間に、操作アーム３及びプレート５の各軸６，７，
８に連繋したエンコーダ９，１０，１１から操作アーム
３及びプレート５の移動量に応じたパルスをコントロー
ラ１３に出力し、そのパルス数の合計を操作アーム３及
びプレート５の位置データとしてコントローラ１３に記
憶させる。プレート５に形成した位置決め部５ｂを、反
応室２０内の所定位置に着脱可能に取り付けた位置決め
ジグ２２に手動で当接させると、反応室２０内の所定位
置にプレート５を位置決めすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
使用され、ウェーハや液晶ガラス基板等の基板を搬送す
る基板移載機のティーチング方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来は、基板搬送用の操作アームをモー
タで駆動し、その操作アームの先端に取り付けた基板載
置用のプレートを作業者が目視又は勘によって定めた反
応室内の所定位置まで移動させると、前記モータに連繋
されたパルス発生器からモータの回転に対応するパルス
がコントローラに出力され、そのパルス数の合計が操作
アーム（プレート）の位置データとしてコントローラに
記憶されることにより、基板移載機のティーチングが完
了するようになっていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板移載機のティーチングは、上記したように、操作ア
ームをモータで駆動し、操作アーム先端のプレートを動
かしつつ、基板を載置すべき反応室内の位置、即ちプレ
ートを移動させるべき反応室内の所定位置を、作業者の
目視又は勘によって決定し、ティーチングするようにな
っていたため、作業者の経験や力量の差により、ティー
チング時間及びティーチング誤差に大きなばらつきを生
じるという問題があった。

【０００４】そこで、本発明は、上記従来技術の問題点
を解消し、ティーチング作業を容易化し得る基板移載機
のティーチング方法を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、基板搬送用の
操作アームを手動で操作し、その操作アームの先端に取
り付けた基板載置用のプレートを反応室内の所定位置ま
で移動させる。ここで、反応室内の所定位置は、前記プ
レートに形成した位置決め部を、前記反応室内に着脱可
能に取り付けた位置決めジグに当接させることにより決
定される。即ち、プレートの位置決め部を位置決めジグ
に当接させるだけで、反応室内の所定位置にプレートを
位置決めすることができる。そして、このプレート（操
作アーム）の移動の間に、操作アームに連繋したパルス
発生器から操作アームの移動量に応じた量のパルスがコ
ントローラに出力され、そのパルス数の合計が操作アー
ムの位置データとしてコントローラに記憶されるように
なっている。

【０００６】このような構成の本発明によれば、プレー
トを移動させるべき反応室内の所定位置を作業者の目視
や勘によって決定する必要がないので、短時間でもって
正確にティーチング作業が終了する。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき詳述する。

【０００８】図１は、本発明の実施の形態に係る基板移
載機の構成図である。

【０００９】（基板移載機の構成）この図１に示すよう
に、基板移載機１は、モータ２によって駆動される操作
アーム３の先端に、ウェーハ等の基板４を載せるプレー
ト５を取り付けてある。操作アーム３は、モータ２の駆
動軸６に取り付けられた第１のアーム３ａと、この第１
のアーム３ａの先端に軸７を介して回動可能に取り付け
られた第２のアーム３ｂとからなっている。このうち、
第１のアーム３ａは、モータ２の駆動軸６と一体となっ
て回動する。又、第２のアーム３ｂは、モータ２によっ
て駆動される軸７と一体になって回動するようになって
いる。

【００１０】プレート５は、上記第２のアーム３ｂの先
端に軸８を介して回動可能に取り付けてあり、モータ２
によって駆動される軸８と一体になって回動するように
なっている。このプレート５は、軸８に取り付けるアー
ム部５ａと、このアーム部５ａの先端に形成した逆コ字
状の位置決め部５ｂとからなっており、この位置決め部
５ｂ上に基板４が載せられるようになっている。

【００１１】そして、上記駆動軸６や各軸７，８には、
軸の回転に対応したパルスを発生するエンコーダ（パル
ス発生器）９，１０，１１を連繋してある。このエンコ
ーダ９，１０，１１が発生したパルスは、モータ２を駆
動するドライバ１２を介してコントローラ１３に入力さ
れる。尚、図２に示すように、モータ２は、スイッチ１
４を介してドライバ１２に電気的に接続してある。一
方、エンコーダ９，１０，１１は、スイッチ１４を介す
ることなく、ドライバ１２に直接的に接続してある。そ
して、ドライバ１２をコントローラ１３に接続してあ
る。

【００１２】コントローラ１３は、ハンディーターミナ
ル１５からの入力信号に基づいて、制御信号をドライバ
１２に出力するようになっている。又、コントローラ１
３は、プレート５の現在位置を示すエンコーダデータを
ハンディーターミナル１５の表示部（図示せず）に表示
させるため、エンコーダデータ表示信号をハンディータ
ーミナル１５に出力するようになっている。

【００１３】（反応室の構成）前記基板移載機１によっ
て搬送された基板２を収容し、基板２に所望の表面処理
を施すために使用される反応室２０は、図１に示すよう
に、基板２を出し入れするための開口部２１を備えた断
面矩形状の有底筒状体である。この反応室２０は、プレ
ート５の位置決め部５ｂに係合する円柱状の位置決めジ
グ２２を着脱可能に取り付けることができるように、位
置決めジグ収容溝２３をその内部下面２４に形成してあ
る（図３（ｂ）参照）。この反応室２０に取り付けられ
る位置決めジグ２２は、基板２が反応室２０内の所定位
置に載置されるように、プレート５の反応室２０内の位
置決めを行う（図３（ａ）、図３（ｂ）参照）。

【００１４】（基板移載機のティーチング）次に、図１
乃至図３に基づき、基板移載機１のティーチングについ
て説明する。

【００１５】先ず、図２において示したスイッチ１４を
オフにし、モータ２への通電を遮断して、操作アーム３
及びプレート５を手動操作できるようにする。この際、
エンコーダ９，１０，１１は通電されており、各軸６，
７，８の回転に対応するパルスがドライバ１２を介して
コントローラ１３に入力されるようになっている。

【００１６】又、反応室２０の位置決めジグ収容溝２３
には位置決めジグ２２を取り付ける。尚、この際、プレ
ート５には基板４を載せず、プレート５の位置決め部５
ｂを位置決めジグ２２に係合できるようにしておく。

【００１７】次いで、作業者が、操作アーム３及びプレ
ート５を操作して、図３（ｂ）〜図３（ｄ）に示すよう
に、プレート５の位置決め部５ｂを反応室２０内の位置
決めジグ２２に係合させ、更に位置決め部５ｂの根本部
分５ｃを位置決めジグ２２に当接させる。これによっ
て、プレート５を反応室２０内の所定位置に位置決めす
ることができる。

【００１８】そして、この作業者による操作アーム３及
びプレート５の手動操作の間、エンコーダ９，１０，１
１から軸６，７，８の回転（即ち、操作アーム３及びプ
レート５の移動量）に対応するパルスがドライバ１２を
介してコントローラ１３に出力される。コントローラ１
３は、入力されたパルスをカウントし、そのカウントし
たパルス数の合計を操作アーム３及びプレート５の位置
データとして記憶する。これによって、基板移載機１の
ティーチング作業が終了する。

【００１９】そして、基板移載機１のコントローラ１３
は、このティーチングによって記憶したデータに基づい
て、ドライバ１２に制御信号を出力し、ドライバ１２に
よってモータ２を駆動させ、操作アーム３及びプレート
５を所定位置まで移動させて、プレート５に載せた基板
４を反応室２０内の所定位置まで搬送させる（図３
（ａ）参照）。

【００２０】以上のような本実施の形態によれば、作業
者が操作アーム３及びプレート５を手動で操作し、プレ
ート５の位置決め部５ｂを反応室２０内に取り付けた位
置決めジグ２２に係合・当接させることにより、プレー
ト５を反応室２０内の所定位置に位置決めすることがで
きるので、基板移載機１のティーチングを容易且つ迅速
に行うことができる。しかも本実施の形態は、プレート
５を反応室２０内に位置決めする際に目測や勘に頼らな
いので、プレート５の位置決めを正確に行うことができ
る。この結果、本実施の形態による基板移載機１のティ
ーチング方法によれば、基板移載機１の反応室２０への
基板４の搬送が正確且つ安定して行われる。

【００２１】尚、上記実施の形態において、プレート５
の位置決め部５ｂを逆コ字状に形成する態様を示した
が、これに限られず、プレート５の移動平面内での位置
決め（水平方向の位置決め）ができればよく、例えば、
位置決めジグ２２に係合・当接ができるように半円弧状
に形成されたものでもよい。

【００２２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、基板搬送用の操作アーム及びその操作アームの先端
に取り付けた基板載置用のプレートを手動で操作し、そ
のプレートの位置決め部を反応室内に着脱可能に取り付
けた位置決めジグに当接させることにより、プレートを
反応室内の所定位置に位置決めすることができるので、
プレートを目視や勘によって位置決めする必要がなくな
り、基板移載機のティーチング作業を容易且つ迅速に行
うことができると共に、正確なティーチングを行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る基板移載機の構成
図。

【図２】同基板移載機の要部回路図。

【図３】同移載機の作動状態図。図３（ａ）は移載機の
基板搬送状態を示す図、図３（ｂ）は移載機のティーチ
ング作業状態を示す図、図３（ｃ）は移載機のプレート
位置決め状態を示す平面図（図３（ｄ）のＡ−Ａ線に沿
う断面図）、図３（ｄ）は移載機のプレート位置決め状
態を示す側面図（図３（ｃ）のＢ−Ｂ線に沿う断面
図）。

【符号の説明】

１ 基板移載機 ３ 操作アーム ４ 基板 ５ プレート ５ｂ 位置決め部 ９，１０，１１ エンコーダ（パルス発生器） １３ コントローラ ２０ 反応室 ２２ 位置決めジグ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 油谷 幸則 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板搬送用の操作アーム及びその操作ア
   ームの先端に取り付けた基板載置用のプレートを操作
   し、プレートを反応室内の所定位置まで移動させる間
   に、操作アーム及びプレートに連繋したパルス発生器か
   ら操作アーム及びプレートの移動量に応じたパルスをコ
   ントローラに出力し、そのパルス数の合計を操作アーム
   及びプレートの位置データとしてコントローラに記憶さ
   せる基板移載機のティーチング方法において、 前記プレートに位置決め部を形成し、前記反応室内の所
   定位置に位置決めジグを着脱可能に取り付けて、この位
   置決めジグに前記プレートの位置決め部を手動によって
   当接させることにより、前記反応室内の所定位置に前記
   プレートを位置決めすることを特徴とする基板移載機の
   ティーチング方法。