CN218450757U - 一种集成电路加工用刻蚀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种集成电路加工用刻蚀装置，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体的顶部设置有Y轴移动机构，所述Y轴移动机构包括驱动电机，所述Y轴移动机构的左侧设置有X轴移动机构，所述X轴移动机构包括机箱，所述机箱的正面设置有夹持机构，所述夹持机构包括夹持箱，所述刻蚀机本体正面的右侧设置有控制面板，刻蚀机本体正面的底部设置有翻转门。本实用新型通过Y轴移动机构、X轴移动机构和夹持机构的配合，Y轴移动机构、X轴移动机构可以实现集成电路板在水平面方向的精准定位，夹持机构可以对集成电路板进行夹持固定，操作简单，解决现有装置定位和固定效果较差，且在集成电路板移动过程中其会产生微小位移的问题。

Description

一种集成电路加工用刻蚀装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路加工技术领域，具体地说，涉及一种集成电路加工用刻蚀装置。

背景技术

集成电路是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构，集成电路需要用到刻蚀机，传动的刻蚀工艺为对所需刻蚀材料进行曝光显影后进行等离子刻蚀，日常生产中等离子刻蚀一般都是采用干法刻蚀机；

但现有的装置其对集成电路板的定位和固定效果较差，且在集成电路板移动过程中其会产生微小位移，影响其刻蚀效果。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种集成电路加工用刻蚀装置，定位精准，且固定效果好，避免其移动过程中其会产生微小位移的情况。

(二)技术方案

本为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种集成电路加工用刻蚀装置，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体的顶部设置有Y轴移动机构，所述Y轴移动机构包括驱动电机，所述Y轴移动机构的左侧设置有X轴移动机构，所述X轴移动机构包括机箱，所述机箱的正面设置有夹持机构，所述夹持机构包括夹持箱，所述刻蚀机本体正面的右侧设置有控制面板，所述刻蚀机本体正面的底部设置有翻转门。

作为优选方案，所述驱动电机的输出轴固定连接有齿轮，所述齿轮的表面啮合有齿牙板，所述齿牙板的一侧固定连接有滑动板。

作为优选方案，所述滑动板的底部固定连接有限位块，所述限位块的底部固定连接有滑轮，所述滑轮的底部滑动连接有滑槽。

作为优选方案，所述机箱的内腔固定连接有旋转电机，所述旋转电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的表面固定连接有限位杆。

作为优选方案，所述限位杆贯穿机箱并延伸机箱的外侧，所述机箱的正面设置有与限位杆相适配的限位槽。

作为优选方案，所述夹持箱的内腔固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出轴固定连接有第一移动板，所述第一移动板的一侧活动连接有支撑杆，所述支撑杆的另一端活动连接有第二移动板，所述第一移动板和第二移动板的一侧设置有夹块，所述夹持箱的顶部设置有定位槽。

作为优选方案，所述第二移动板的数量为两个，所述第二移动板的一侧固定连接有弹簧，所述弹簧的另一端与夹持箱的内腔固定连接，所述夹块的材质为橡胶。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种集成电路加工用刻蚀装置，具备以下有益效果。

1、本实用新型通过Y轴移动机构、X轴移动机构和夹持机构的配合，Y轴移动机构、X轴移动机构可以实现集成电路板在水平面方向的精准定位，夹持机构可以对集成电路板进行夹持固定，操作简单，解决现有装置定位和固定效果较差，且在集成电路板移动过程中其会产生微小位移的问题。

2、本实用新型通过驱动电机、齿轮、齿牙板和滑动板的配合，驱动电机的输出轴通过齿轮和齿牙板带动滑动板前后移动，实现其Y轴方向的位移，通过限位块、滑轮、滑槽的配合，便于对滑动板进行限位，滑轮可以提高滑动板前后移动的流畅性，通过机箱、旋转电机、螺纹杆、螺纹套和限位杆的配合，旋转电机的输出轴通过螺纹杆和螺纹套带动限位杆左右移动，实现其X轴方向的位移，通过限位杆和限位槽的配合，便于对螺纹套进行限位，提高装置的安全性，通过夹持箱、电动推杆、第一移动板、支撑杆、第二移动板、夹块和定位槽的配合，将工件放置在定位槽中，电动推杆带动第一移动板移动，第一移动板通过支撑杆带动第二移动板移动，从而带动夹块移动，对工件进行夹持固定，避免其晃动。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型夹持机构示意图；

图3为本实用新型X轴移动机构示意图；

图4为本实用新型限位块结构主视剖面图。

图中：1、刻蚀机本体；2、Y轴移动机构；21、驱动电机；22、齿轮；23、齿牙板；24、滑动板；3、X轴移动机构；31、机箱；32、旋转电机；33、螺纹杆；34、螺纹套；35、限位杆；4、夹持机构；41、夹持箱；42、电动推杆；43、第一移动板；44、支撑杆；45、第二移动板；46、夹块；47、定位槽；5、弹簧；6、控制面板；7、翻转门；8、限位块；9、滑轮；10、滑槽；11、限位槽。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-4，本实用新型：一种集成电路加工用刻蚀装置，包括刻蚀机本体1，刻蚀机本体1的顶部设置有Y轴移动机构2，Y轴移动机构2包括驱动电机21，Y轴移动机构2的左侧设置有X轴移动机构3，X轴移动机构3包括机箱31，机箱31的正面设置有夹持机构4，夹持机构4包括夹持箱41，刻蚀机本体1正面的右侧设置有控制面板6，刻蚀机本体1正面的底部设置有翻转门7。

驱动电机21的输出轴固定连接有齿轮22，齿轮22的表面啮合有齿牙板23，齿牙板23的一侧固定连接有滑动板24。

滑动板24的底部固定连接有限位块8，限位块8的底部固定连接有滑轮9，滑轮9的底部滑动连接有滑槽10。

根据上述方案，通过驱动电机21、齿轮22、齿牙板23和滑动板24的配合，驱动电机21的输出轴通过齿轮22和齿牙板23带动滑动板24前后移动，实现其Y轴方向的位移，通过限位块8、滑轮9、滑槽10的配合，便于对滑动板24进行限位，滑轮9可以提高滑动板24前后移动的流畅性。

机箱31的内腔固定连接有旋转电机32，旋转电机32的输出轴固定连接有螺纹杆33，螺纹杆33的表面套设有螺纹套34，螺纹套34的表面固定连接有限位杆35。

限位杆35贯穿机箱31并延伸机箱31的外侧，机箱31的正面设置有与限位杆35相适配的限位槽11。

根据上述方案，通过机箱31、旋转电机32、螺纹杆33、螺纹套34和限位杆35的配合，旋转电机32的输出轴通过螺纹杆33和螺纹套34带动限位杆35左右移动，实现其X轴方向的位移，通过限位杆35和限位槽11的配合，便于对螺纹套34进行限位，提高装置的安全性。

夹持箱41的内腔固定连接有电动推杆42，电动推杆42的输出轴固定连接有第一移动板43，第一移动板43的一侧活动连接有支撑杆44，支撑杆44的另一端活动连接有第二移动板45，第一移动板43和第二移动板45的一侧设置有夹块46，夹持箱41的顶部设置有定位槽47。

第二移动板45的数量为两个，第二移动板45的一侧固定连接有弹簧5，弹簧5的另一端与夹持箱41的内腔固定连接，夹块46的材质为橡胶。

根据上述方案，通过夹持箱41、电动推杆42、第一移动板43、支撑杆44、第二移动板45、夹块46和定位槽47的配合，将工件放置在定位槽47中，电动推杆42带动第一移动板43移动，第一移动板43通过支撑杆44带动第二移动板45移动，从而带动夹块46移动，对工件进行夹持固定，避免其晃动。

本实用新型的工作原理是；将工件放置在定位槽47中，电动推杆42带动第一移动板43移动，第一移动板43通过支撑杆44带动第二移动板45移动，从而带动夹块46移动，对工件进行夹持固定，避免其晃动，驱动电机21的输出轴通过齿轮22和齿牙板23带动滑动板24前后移动，实现其Y轴方向的位移，旋转电机32的输出轴通过螺纹杆33和螺纹套34带动限位杆35左右移动，实现其X轴方向的位移，可以实现集成电路板在水平面方向的精准定位，解决现有装置定位和固定效果较差，且在集成电路板移动过程中其会产生微小位移的问题。

最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细地说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。

Claims (7)

1.一种集成电路加工用刻蚀装置，包括刻蚀机本体(1)，其特征在于：所述刻蚀机本体(1)的顶部设置有Y轴移动机构(2)，所述Y轴移动机构(2)包括驱动电机(21)，所述Y轴移动机构(2)的左侧设置有X轴移动机构(3)，所述X轴移动机构(3)包括机箱(31)，所述机箱(31)的正面设置有夹持机构(4)，所述夹持机构(4)包括夹持箱(41)，所述刻蚀机本体(1)正面的右侧设置有控制面板(6)，所述刻蚀机本体(1)正面的底部设置有翻转门(7)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路加工用刻蚀装置，其特征在于：所述驱动电机(21)的输出轴固定连接有齿轮(22)，所述齿轮(22)的表面啮合有齿牙板(23)，所述齿牙板(23)的一侧固定连接有滑动板(24)。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路加工用刻蚀装置，其特征在于：所述滑动板(24)的底部固定连接有限位块(8)，所述限位块(8)的底部固定连接有滑轮(9)，所述滑轮(9)的底部滑动连接有滑槽(10)。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路加工用刻蚀装置，其特征在于：所述机箱(31)的内腔固定连接有旋转电机(32)，所述旋转电机(32)的输出轴固定连接有螺纹杆(33)，所述螺纹杆(33)的表面套设有螺纹套(34)，所述螺纹套(34)的表面固定连接有限位杆(35)。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路加工用刻蚀装置，其特征在于：所述限位杆(35)贯穿机箱(31)并延伸机箱(31)的外侧，所述机箱(31)的正面设置有与限位杆(35)相适配的限位槽(11)。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路加工用刻蚀装置，其特征在于：所述夹持箱(41)的内腔固定连接有电动推杆(42)，所述电动推杆(42)的输出轴固定连接有第一移动板(43)，所述第一移动板(43)的一侧活动连接有支撑杆(44)，所述支撑杆(44)的另一端活动连接有第二移动板(45)，所述第一移动板(43)和第二移动板(45)的一侧设置有夹块(46)，所述夹持箱(41)的顶部设置有定位槽(47)。

7.根据权利要求6所述的一种集成电路加工用刻蚀装置，其特征在于：所述第二移动板(45)的数量为两个，所述第二移动板(45)的一侧固定连接有弹簧(5)，所述弹簧(5)的另一端与夹持箱(41)的内腔固定连接，所述夹块(46)的材质为橡胶。

Images