TWI226303B

TWI226303B - Substrate carrying device

Info

Publication number: TWI226303B
Application number: TW092108745A
Authority: TW
Inventors: Mamoru Yasuda; Nobuo Fujisaki
Original assignee: Olympus Corp
Priority date: 2002-04-18
Filing date: 2003-04-15
Publication date: 2005-01-11
Also published as: CN101407283A; JP4633161B2; KR20060080246A; WO2003086917B1; JPWO2003086917A1; WO2003086917A1; JP2009051672A; KR100848229B1; CN101407283B; KR100633970B1; JP4384504B2; CN101407284A; CN1646400A; CN101407284B; CN1646400B; KR20040099319A; JP2009033214A; JP4896112B2; KR20060081423A; CN101412472A

Description

1226303

發明所屬之技術領域本歸有關於，讓例如大型液晶榮幕（以下 LCD」）、或電漿螢幕（以下簡稱為「ρ]) 牟面板、=簡稱為「FPD」）帽基板浮起於搬送寺二面上面以進行搬送的一種基板搬送裝置。先前技術

近年來，為了因應大型晝面、削減成本等要求，而 FPD領域上用FPD製程所處〗里的玻璃基板尺寸，已呈現日益偏向大型化發展的傾向；在FPD製程上，搬送大型玻璃基皿板的方法則以，採用滾輪的滾動搬送機構最廣為人知。搬送大型玻璃基板的技術，已被記載於例如特開 20 0 0- 1 936 04號公報、及特開20 00- 9 66 1號公報上；前者屬於僅用一對支樓滾輪機構，接觸位於被檢查基板（相當於 $璃基板）下方的左右兩側，再予以支撐，且透過接觸玻埚基板左右端邊緣的一對限制滾輪機構，以限制左右方向；此外，由於玻璃基板的中間部，會因自重而朝下彎曲’因此為了限制此玻璃基板的彎曲，而對玻璃基板的下方吹入空壓。

後者屬於，藉由滾動搬送部，將玻璃基板搬送到缺陷檢查部，定位玻璃基板後，便透過支撐機構以支撐玻璃基板的端部，再執行缺陷檢查；執行缺陷檢查時，為了'以非接觸友式支撐玻璃基板，因而從被設置於空氣浮起台的吹出口吹出高壓空氣，以便將玻璃基板的高度保持在一定狀

1226303

jL 發明說明（2) 態下。輪機;Γ及ΐ = 璃基板時、:.，採用1支撐滚後，接觸滚輪的玻璃心=而因此當高速搬送破璃基板跡。玻璃基板滾動面，便會產生滾輪的摩擦痕後者因藉由滾動搬前者一樣，當高速|^ ^ 板，因此便同於滾動面，也會產生滾輪的摩擦痕跡。輪的破璃基板本發明目的在於提供（，用、對玻璃基板留下傷痕的情況下，，板搬送裝置。、氣适的一種基内容根據本，明的主要觀點來看，所提供之基板搬送裝置已具備’沿著搬送路線而設置且得二 “ . *叩口又直且侍以讓基板洋起於搬送路線的基板浮起機構、及拉山其此、=啊傅及猎由基板汙起機構以支撐浮起基板兩端，再沿著搬送路線進行搬送之搬送機構。土實施方式以下將參>閱圖示的同時，說明本發明第一實施型態。圖1表不讓基板搬送裝置，適用於大型LCD或PDP等fpd 製私之串聯（in-line)檢查時的平面構成圖，圖2表示該裝置之側面構成圖。搬送用基板載物台i，被設置於除振台2上；此基板載

第7頁 1226303 五、發明說明（3) 物台1古則裝載了已搬入的玻璃基板3，該 .呈垂直方向）僅略點於破璃基《的寬幅；此方向C 的上面，則設有兼具吹起空氣及吸^功能的數土板/丄物=】再者，這些空氣孔4，只要有㈣的全 1上即可；此基板載物台1JL，則形成出m載物台方向C呈平行方向、且右賴—必„ ps .Ή條溝槽5對搬送上則設有搬入破璃美板3 ± ^ Γ 4在外，基板载物台1 6(1m p⑷肖基板心用以執行升降的數個升降插梢 ;對基板載物台1的搬ά方向c呈垂直方向的入則設有搬入用搬送機械手臂7 ;此搬而， ‘是”圖示上未標示之多關節手臂，讓轉、月ίΐ進及後退，同時從卡厘（ ^·疋璃基板3，再搬入基板载物卡=aSSette)取出未檢查的玻 '、，加if.載物台1的出口端上’則沿著搬送方向C併設了搬 Ϊ" ^ 2 ^ & ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ’该搬运架台9則被裝設於除振台1〇上。攸祕送架台9的搬入端到搬出端端與搬出端的全長，而設置浮 j /口者攻&搬入厂搬送方向。呈垂直方幅 -幅；此浮起塊U的上面玻璃基板3的見的數個空氣孔12 ;再者，i ^ ^兼/、〇人起空氣及吸引功能設置於浮起J上；；；：；：=，只要均等的全面起塊π的表面^/，千則订幾方工向、且有規定的間隔；此外，，浮问度則幾乎同於基板載物台i的表面高度。 1226303 五、發明說明（4) 搬送架台9之搬送方向C的略中央位置上，則設有可對以一定速度進行搬送的玻璃基板3 ’執行各種 E ;此檢查部E屬於’例如在門型手臂15上，搭載一了線性—/ 測器（line sensor)或CCD攝影機等各種檢查機例，說，檢查用機器U是藉由複數排列的線性感二器，二^ 侍破璃基板3的影像資料，接下來再執行例如： g樣檢查、缺陷檢查等，以便對此影像資料執行^^ 搬送架台9的出口端上，貝沿著搬送方向c並設了

】= = 二此基板載物台16 ’則被裝設於除振台17 I 上，此基板載物台16是為了搬出來自於浮起塊⑽ i 板3而暫時設置的’其寬幅（對搬送方向c呈垂直土 2二功能的數個空氣孔18 ;再者，這些 m: 有規則的全面設置於基板載物台16上即一 C呈平行^方勿D 1 6上，則形成出讓2條溝槽1 9對搬送方向有=玻璃二規定的間隔；此外，基板載物台16則設板載二t =乙，用以執行升降的數個升降插梢2 〇 ;基度載口16的表面南度，則幾乎同於浮起塊㈣表面高則設台16的搬送方向C呈垂直方向的出口端上，1 21，:是藉^ Q 3械手臂21 ;此搬出用搬送機械手臂旋轉、前進示之多關節手臂’讓2根手臂22得以及後退，同時將已檢查的玻璃基板3收納於卡匡第9頁 1226303 五、發明說明（5) 内。搬送架台9及除振台1 7上，目lf P + 物台16的方式，沿著數個組裝^住^起塊丨1及基板載對各滑塊(Sllder)23〜28 ; 向C，平行設置了- 對滑塊23、24及27、28，則被設置於一對滑塊25、26的外伽·兄& U ^ 則 1调，另外，這此潛掄Μ〜？只的設置高度位置幾乎相同。 k二α塊Zd -對滑塊23、24被設置於搬送架台9入準 (alignment )A ;這些滑塊23、24上則执皁邛各搬送端部29、3。； “搬逆二貝 '有，移動的各-對朝上下方向伸縮，且可。；^二0則被設置於’可些手臂29a、30a的前端，在备主β ^ ° 及廷< ^ , 在負貝吸附支撐的各吸盤29b、 'Γ λτ2γ9；〇30^ ^,.. 的二 9出。iC.25」26被設置於，對準部A出口端及搬送架台送炉邻I 廷些滑塊25、26上則設有可移動的一對各搬 2q W 一# ，這些搬送端部31、32則同於各搬送端部一…’擁有各手臂31a、32b及各吸盤31b、32b 〇物台1::227、28被設置於，搬送架台9出口端及基板载搬送端部33、34 :這些搬送端部33、34則同於各搬送，部29、30 ~樣，擁有各手臂33a、34b及各吸盤33b、 3 4b ? 再者對滑塊2 3、2 4及2 7、2 8 ’則被設置於一對滑

第10頁 1226303 五、發明說明（6) 塊2 5、2 6的外侧’因此各滑塊2 3、2 4及2 7、2 8的各吸盤 29b、30b、33b、34b的位置，為了同於各滑塊25、26之各吸盤31b、32b的位置，而設定了各手臂29a、3〇a、33a、 34a的長度。再者，這些搬送端部29、30、31、32、33、34，只要具有支撐玻璃基板3 ’且得以讓各手臂29a、3〇a、31a ' 32b、3 3a、34a朝XY向微動的機構，不管屬於何種構成方皆可。浮起塊1 1上的對準部A，則設有3個定位感測器u〜 45，攻些疋位感測器43〜45，負責檢測出與玻璃基板3呈直丨交的2邊（縱、橫）各稜邊後，再輸出表示該稜邊位置的各檢測信號；這些定位感測器43〜45是將各數個檢測元件列成線狀的線性感測器。定位感測器43在浮起塊丨丨寬幅方向的中間位置上，向設置成同於搬送方向°的方向；這種定位感 4 /、彳出，以對準部Α停止浮起之玻璃基板3搬送方向c的刖端稜邊。心各疋位感測器44、45，則在浮起塊11的側面設右的間隔，這些定位感測器44、45，則將、疋出，同於以對進邱Η古u 4 U4ΰ員貝檢測邊。 f皁°以知止净起之玻璃基板3搬送方向C的稜另一方面，壓入用基板载物台j 縮空氣供應部46則貫通了透過接管的搬洋起塊π、搬出用基板载物台16的各空 1226303 五、發明說明（7) 隙部，再以選擇性的方式供應壓縮空氣，再從各空氣孔4、 1 2、1 8吹起壓縮字氣，讓玻璃基板3浮起於搬入用基板載物台1、浮起塊1 1友搬出用基板载物台1 6上；此外，屢縮*广供應部46則有針對各空氣孔4、12、18發揮除電效果的=乳氣’以吹起例如陽離子或陰離子之離子化空氣。真空吸附部4 7則貫通了透過接管的搬入用基板載物台 1、浮起塊11、搬出用基板載物台〗6的各空隙部，再以選^擇性的方式吸引真空，並，過各空氣孔4、12、18，在搬入用 ^板載物台1或搬出用基板載物台16上，吸附與支樓玻璃基

Mh't ’乃空吸附部47則貫通了透過接管的各吸盤29b、、、b、33b、34b，真空吸引這些各吸娜、移動栌制邱4U3b、34b ’以吸附與支撐玻璃基板3。 34，二動:二貝將各搬送端部29、30、31、32、33、 34 ’移動到各滑塊23、2 姿勢辨識部49，則負責二,26、27、28以進行控制。輸出的夂&、目ϊ h咕、輸出來自於3個定位感測器43〜45所號，以便基於這些檢測信號所表示之玻璃基板30的姿勢視為^ ^彳由安勢辨識部49，將已辨識的玻璃向C及搬送方向c朝;备=置再執行對準，因此便對搬送方 32。㈣朝垂直方向移動控制-對搬送端部3卜以下：：明上述構成的裝置動作。各搬适端部29、3〇,移動到各滑塊23、24上的搬入端五、發明說明（8)

後便停止，以推λ β M IΛ Μ 待機狀態。 ’入用搬送機械丰替 ^ 後退動作，從卡匣中’則讓手臂8執行旋轉、前進及棊板载物台〗的上方，欢查的玻璃基板3後，再搬送到會上升；搬入用搬送機械才手"$載=台1的各升降插梢6 ,則基板3裝载於各升降插梢6上久則夂降低手臂8，再將玻璃玻璃基板3裝載於各升降插’:升降插梢6則藉由下降，將基板載物台1的寬巾5，，破璃基板3的寬幅，長於的兩端。 4因(此會從基板載物台^突出玻璃基板3 接下來’各搬送端部2 g ^ 升，讓各吸盤29b、30b吸附自基板ί手臂293、3〇3上 3的内面，·這些吸盤29b、3Qb的·"吸台:突出的玻璃基板基板3形成出電路圖樣的内面端部，^位於’未在玻璃向C，而讓玻璃基板3形成前方端的+彳來祝’朝向搬送方吸盤29b、30b在吸附玻璃基板3内面狀能力而部’此時’各於基板載物台i的表面高度。的狀恶了 ’僅上升略高板載ΞΙ空上'應部46，是透過配管將壓縮空氣供應到基，則使用具除電效果的離子空氣，中和玻璃的奸電，以阻止玻璃基板3帶有靜電。枚' 壓縮空氣，而在基板載物台1與玻璃基板3之 =空氣層，玻璃基板3則如圖3所示，會從基板起；此時，從各空氣孔4所吹起的空氣，則透過來自表工氣層的各溝槽5 ’而在基板载物w與玻璃基板3之間 1226303 五、發明說明（9) 流動；換言之，空氣在不羈留於基板載物台丨與破璃基板3 之間的情況下進行流通，因此玻璃基板3會保持浮起於基板載物台1上。又 r 接下來’移動控制部48則如圖4所示，會以相同吸附於玻璃基板3内面，而擁有各吸盤29b、30b之夂| :二部29、3〇(手臂29a、30a)同步，再朝搬送方塊23、24。秒勒谷/月玻璃基板3，則藉^這種方式，讓浮起的基板載物台工亡=、及浮起塊11上方‘全處於非接觸狀態，再透過各3搬运鈿部29、30拉伸，再高速搬送到搬送方向c ;透過這種速搬送的玻璃基板3，會在浮起塊丨丨上到達對準部A。％ ^到達對準部A的玻璃基板3則如圖5所示，會傾二於搬送方，位於對準部A的定位感測器43則負責檢測出，在對準 4A停止浮起之玻璃基板3搬送方向c的前端一個稜出該檢測信號。輸重心此/卜’各定位感測器44、45則負責檢測出，同於在對 m止浮起之玻璃基板3搬送方向c方向的其他棱邊，再输出该檢測信號。姿勢辨識部49，則輸入三個定位感測器“〜“所輸的/檢^則信號’再藉由這些檢測信號’而基於玻璃基板3 3 3處巧邊位置資料’以辨識玻璃基板3的姿勢；此時，玻璃，之對搬送方向C呈前端的右端部，則自左端部突出到刖^ ’再針對搬送方向c而偏向於左側。 .接T來，姿勢控制部50則透過姿勢辨識部49的玻璃基

1226303 五、發明說明（10) 板3姿勢辨識結果中，以如圖5所示的方式，讓一端搬送端部3 0對搬送方向呈逆向（後侧）微動；玻璃基板3則藉由這種方式，將吸盤29a視為中心軸，再旋轉到箭頭F方向，再對搬送方向C進行平行配置。姿勢辨識部49，則再度輸入三個定位感測器43〜45所輸出的各檢測信號，以辨識玻璃基板3的姿勢；其辨識結果則為’玻璃基板3則如圖6所示，讓左端部靠往滑塊2 3。姿勢控制部5 0則如同(6所示，驅動一端搬^端部2 9的活塞’讓手臂29a往箭頭Η向（對搬送方向c呈垂直方向）伸直，同時也同步驅動其他搬送端部3〇活塞，再讓手臂3〇a縮· 到刖頭Η方向，將玻璃基板3移動到箭頭η向後，讓玻璃基板 3的中心位置對準彳般送路線的中心位置。姿勢控制部50，為了讓玻璃基板3前端符合定位感測器 43的中〜，而讓各搬送端部2g、同步，再移動到前端；此時，各搬送端部29、30，則如圖7所示朝箭頭^進行微其結果為，玻璃基板3則如圖7所示，就是搬送方向C)呈平行，且.了嗖诎々故位置〔也、、，@ 為了桌玻㈣基板3的中心與搬 ::〜位置互為-致’因而執行對準、；再者，三個定 :ί: Γ。3〜45則以感測器中心’檢測出各玻璃基板3之各當玻璃基板3完成對準後，移動不，以相同速度，讓各搬送端丨則如圖4所方向C的逆向狀態下進行兀王不同於搬送 .仃j步，再移動到各滑塊、25、26

1226303___ 五、發明說明（11) 上。當這些搬送端部31、32到達玻璃.棊板3的下方後，會在各滑塊2 5、2 6上的基板交付標準位置上停止，讓各手臂 31a、32a上升，再讓各吸盤31b、32b吸附於玻璃基板3的内面；這些吸盤31b、32b的吸附位置則為，玻璃基板3朝搬送方向C而形成前端内面的兩端部。這些吸盤31b、32b吸附玻璃基板3後，便解除各搬送端部29、30之各吸盤2 9b、3|0b的吸附，而降低各手臂29a、 3Oa 〇 1 玻璃基板3的吸附與支撐 —，則仉谷搬达端部29，ου，父付給各搬送端部31、32 ;各各搬送端部29、3〇，則將各滑彳2 3、24移動到不同於搬送方向c的逆向（後側）位置σ /並停止於搬入用基板載物台丨的基板交付標準位置，以進機；當玻璃基板3完成交付後’各搬送端部31、32 、 :示’以相同速度同步，並將各滑塊25，移動到搬送方 3°卜32予進起於Λ起塊^上的玻璃基板3，則藉由各搬送端部 32進仃拉伸，再商速運往搬送方向ε，再到達檢查部位於檢查部Ε的壓縮空氣供應部46，則停止蔣> 供應到浮起塊11之各空氣孔4。、τ .、&細工氣二：J ’則從壓縮空氣供應部4“ Ο，该真空吸附部47 ’則透過配管直：附4 空氣孔1 2，讓玻璃基板3吸附與支及引斤起塊11的各時則解除吸附支撐玻璃基板3内^夂=二塊11，再者，此円面的各吸盤31b、32b，再降

第16頁 1226303

、32a 0 五、發明說明（12) 低各手臂3 1 a w檢查部E負責執灯’例扣错由採用了具備線位感刿哭之私查用機器1 4的玻璃基板3各種檢查而取得的影像j时之執行玻璃基板3的圖樣檢查、缺陷檢查；此時，瓖已以查用機器14的圓形手臂15，針對搬送方向c，朝前檢 :移動，再用檢查機則4 ’對整個破璃基板3進行全：二進

虽檢查部Ε完成檢查彳_ ’各搬送端部3丨、3 2則瓖久 31a、32a上升’讓各吸盤31)3、32b吸附於，玻璃基板达方向C形成前端内面的兩端部上。朝I

真空吸附部47，則停止對浮起塊i丨各空氣孔丨2執空吸引；接下來，則從真空吸附部47變換成壓縮空氣雇部46 ;該壓縮空氣供應部46，則將壓縮空氣供應到浮起：的各空氣孔12，再從這些空氣孔12吹起離子化的壓2 氣’以浮起玻璃基板3。 '、、二 ^ 再者，檢查部E也可讓玻璃基板3浮起於浮起塊u的狀態下，在搬送方向裡以一定速度讓各搬送端部31、32同步，再移動到各滑塊23、24的同時，以執行檢查。上述所示，浮起塊11上的玻璃基板3，則藉由吹起壓縮工氣勺I力，處於元全浮起的狀態下，各搬送端部3 1、 32，則移動各滑塊25、26，再高速將玻璃基板3運往搬送方當玻吸附支撙璃基板3到達浮起塊11的出口端後，玻璃基板3的 ’便從各搬送端部31、32交往各搬送端部33、

第17頁 1226303 五、發明說明（13) 3 4，壓縮空氣供應部4 6，則將壓縮空氣供應到基板載物台 1 6的各空氣孔8 ;從這些搬送端部3 1、32，交付到各搬送端部33、34的玻璃基板3，則同於上述從各搬送端部29、30交付到各搬送端部3 1、3 2。完成玻璃基板3的交付作業後，各搬送端部3 3、3 4便移動各滑27、28，再將玻璃基板3搬送到搬送方向c ;接下 '來，玻璃基板3到達搬出用基板載物台丨6的上方後，各搬送端部33、34便停止於基板交付標準位置。位於基板載物台1 6的(各升降插梢則上升；壓縮空氣供應部46，則停止將壓縮空氣供應到基板載物台16的各空氣孔18，同時各吸盤33b、34b則解除對玻璃基板3内面的吸附動作，而下降各手臂33a、34a ;玻璃基板3則藉由這種方式，被裝載於各升降插梢2〇上；搬出用搬送機械手臂以則，手臂22執行旋轉、前進及後對，再從各升降插梢2〇上取出已檢查的玻璃基板3，最後則收納於卡匣内。恭& ί J來、則依據反覆執行搬入到數個玻璃基板3之基板作業：工軋搬达、對準、檢查、從基板載物台1 6搬出的換實施型態中，從各基板載物台1、16及浮起塊11上所形成之數個空氣孔4、丨8、丨2 、 =板3的蠢？下，吸附與支稽玻璃基板3搬工送方向C:前端 ::下：同時執行搬送;在浮起大型玻璃基板;的铋害玻璃基板3的同時，執行高速搬送。 - 4孔4'18'12 ’則有規則的設置於各基板載物

1226303 五、發明說明（14) 台1、16及浮起塊丨丨的空氣搬送面，而且還設有各溝槽5、 1 3、1 9，因此從數個空氣孔4、丨8、丨2所吹起的空日合法奶口 1 ib及洋起塊11之間羈留空氣，而透過各溝桿5、 1中vm;大型玻璃基板3，可藉由這種方“不讓進稃二送弯曲狀態，而得以在保持高平面度的情況下空氣二:d'、19形，於同於搬送方向c的方向，因此種方式，iii::佈亦同於搬送方向c;玻璃基板3透過各進行：送达時不發生上下方向的晃動，而得以穩定的送方ϊ r前内m則各自吸附與支樓朝玻璃基板3搬送；玻璃基能拉伸的同時進行高速搬等搖晃，且得以籍6 氏' 、不會對搬送方向C產生蛇行螭基板3的内面兩、進打搬送；此外，因吸附與支撐玻圖樣部份，而不％而塑^此不接觸形成於玻璃基板3的電路叩+衫響電路圖樣。由於可用非接觸方々古、击在製造FPD等半導體製域馬上""搬送大型玻璃基板3 ’因此可提昇產品生產性的要求、。或’可滿足不影響產品品質、处 > 由於可高速搬送從各空氣孔，乳的玻璃基板3，因、1 8、1 2吹起離子化壓縮靜電。：犯 ϋ邊電，阻止玻璃基板3帶有對準部Α ’在浮起破璃基板3 的狀態下，藉由三個定位

第19頁 1226303 五、發明說明（15)

感測器4 3〜4 5、次献細μ A 準，因此在浮起;璃美^及姿勢控制部5〇以執行對此外，這種對淮H / 1A、 … 30朝二次元方向進1 2 j "达玻璃基板3的各搬送端部29、送玻璃基板3的功H卜動也讓了這些搬送端部2Η0具有搬基板3之後，可緊=對準之用，在搬送坡璃時間。者連#執订對準，並可縮短對準的所需對準時，县、#—( 基板3的姿勢，因：二？1定位感測器43〜45 ’以辨識破螭偏離各定位残測則被埋入洋起塊Η内，因此不會位置資料的標準位置，還可基於三點稜i 再者，上述Ϊ =精度對準各玻璃基板3。部Ε，或各種處：:程型上態也可適用於，例如設置數個檢查者，十對本發明之第2實施型態進行說明、再 t。圖1的部份皆有標示相同符號，因而省略詳細：說械手臂7、21 Λ i 讓搬入用及搬出用各搬送機 H & 各手臂8、22的前進、後退方向同於搬送方 & Λ送架台9上’則可將吸附與支標玻璃基板3的支樓木⑽，移動到搬送方向C。义牙此外，具備搬入用及搬出用各基板載物台〗及16的各升

1226303 五、發明說明（16) 降插梢6、20則被惕除；各搬送機械手臂？、21，各手臂8、22放入各奉板載物台丨及丨6的各溝枰5、、 9將將玻璃基板3直接裝載於基板載物台丨上，】内，以物台16取出玻璃基板3。及罝接攸基板栽搬达架台9上的2根滑軌6 1，貝""般送設；這些滑執61上則設有，可移動的移千仃鋪下簡稱為「支撐架」）6〇。秒動專用汙起塊（以支標架60表面，則全面#罢A 個空氣孔62 ;這些支ΐ吸引空氣兼用的數出寬幅僅略短於玻璃Αί 3 、:於土板載物台1 一樣，形成 -, 基板3的寬幅型態，且支撐芊的# %上度，：幾乎同於基板載物台1的表面高度。〜迗架台9上，則沿著搬架60的一對滑塊63、64 • 、典千仃汉置夾住支撐端的基板載物台丨鱼搬二/月鬼63、64則被設置於搬入 63 ' _以可移動方^# 21 ^ =這些滑塊端部29、30、及檢杳二了，口為一對對準端的各搬送 ^ m ^ ^ ^ 一為的各搬送端部3 1、3 2。對旱多而的各搬送端來回移動於搬入端搬、，則在各滑塊63、64上，

之右端部的Aa之間·=機械手臂7的左側端部、及對準部A 滑塊63、64上，^回f查端的各搬送端部3丨、32，則在各用基板載物台的右山動於對準4 A之右端部的Aa、及搬出· 2 9、3 0，交付給檢杳$部之間；從對準端之各搬送端部同於上述第一實二二端各搬送端部31、32的玻璃基、板3，則以下將說明上述椹=心予以進行。呔構成裝置的動 1226303

藉由搬送機械手臂7，從Carat搬入的玻璃其起巧板載物台i，並同步朝搬送方向C移；离；則浮五、發明說明（17) 撐架60上；再Ϊ ί伸後，再搬达到在對準部A上待機的支者，各搬达端部2 9、3 0的吸附位置則玻璃基板3上朝搬送方向C而形成前端内側的兩=為，在二上的玻璃基板3，則同於上述第一實施上藉由各搬送端部29、3〇的微動以進；；：兀成玻璃基板3的對準作業後，則從壓縮空 R ，成真空吸附部47，讓玻璃W及附與支撐於支；換送端部29、30,則對玻咖 •端（基板交付標準位置）。卞^的左接下來，支撐架6 〇在吸附與支撐玻璃基板3的狀能朝搬送方向C移動，·當支撐架11到達檢查部E後，則同^於上述一樣會在檢查部E上，執行玻璃基板3的各種檢查。、 y 對玻璃基板3完成檢查後，則讓在基板交付標準位置上待機的各搬送端部31、32之各手臂31a、32a上升，再透過各吸盤31b、32b吸附與支撐玻璃基板3的内面；這些搬送端部31、32的吸附位置則為，玻璃基板3朝向搬送方向◦前端 =侧的兩端部；接下來，再從壓縮空氣供應部4 6，將壓縮《空氣供應到基板載物台'16，再從支撐架6〇浮起玻璃基板3 ; 在這種狀態下’玻璃基板3則藉由各搬送端部3 1、3 2、所拉伸’再南速運在基板載物台16。搬出用搬送機械手臂2 1則插入溝槽1 9，經過若干上升

第22頁 1226303 五、發明說明（18) 後’則吸J付與支撐玻璃基板3的内面;此日夺，則從 3的内面解除各搬送端13 1、π ^ ^〇、破場基板只J表于f Ζ 2上升的同時，讓手臂 L、後前進再及二退’繼載物台16上取出已檢查的ΞΓΐ 板3後，再收納到卡g内。敬喁基上述第2實施型態得知，可發揮出同於上· 吟悲、的效果；此外，搬入用及搬出用各基板載物二二上亚無各升降插梢6、2〇〆由於並無各升降插梢6 動時間，因此可縮短時間。的驅再者，本發明不僅限於上述各實施型態，也可在離主旨的情況下，在實施階段的範圍内進行各種變形。丨浮起玻璃基板3的方式，不僅限於對玻璃基板3内面吹入允氣，也可透過靜電方式以進行浮起；藉由靜電方式浮起工時’只要對玻璃基板3執行除電作業即可。搬送浮起玻璃基板3的方式，並不僅限於例如在一對滑塊2 3、24上，移動一對各搬送端部29、30，其實也可在夂月溝槽1 3内，設置擁有各吸盤之可移動各搬送端部，再藉由這些搬送端部，吸附與支撐玻璃基板3前端内再進行搬9送即可。搬送玻璃基板3時的吸附支撐位置，不限於搬送方c上_ 的玻璃基板3的兩個前端，也可用玻璃基板3兩個前端及兩個後端進行吸附支撐，或者玻璃基板3對向2邊各中'央部，或沿著2邊吸附與支撐數個部位；只要在這些玻璃基板3的4 邊、對向2邊中央部、及沿著2邊的數個位置上，吸附與支

1226303 五、發明說明（19) 撐玻璃基板3 ’不僅可搬送到搬不同於搬送方向C的逆向位置；此向C，也可搬送到完全撐位置，如有未形成電路圖樣的’玻璃基板3的吸附支基板3的表面或内面。邵h，那麼就可位於玻璃將玻璃基板3裝載於基板載物A 取出玻璃基板3時，除了久m ^ 或從基板載物台1 6 採用其他任何機構，還7可^手7'21之外，也可式浮起搬送基板的手段。〃他生產線’以空氣搬送等方製程士 ΐ 中，“對大型LCD或PDP等平面面板等也可適用：ί:搬送玻璃基板3進行說明，但除此之外再進行古、穿/子起半導體晶圓等各種基板，或板狀物體後 ί不;此外’浮起玻璃基板3再高速搬送的方數台可^動^ ^板載物台1搬送到支撐架60，也適用於設置對準部A所動用J夂架—6〇 ’再搬送到各支撐架6〇。但除此之、σ定位感測器4 3〜4 5，雖採用線性感測器，邊位置。也可用2次元0^^攝影機，以辨識玻璃基板3的稜央部ί iff物台\、16及浮起塊11上，並無玻璃基板3中空氣的、、^卩份，為了保持平面度，而各設置了用以排放要對搬、关大/奴5、1 3、1 9，但這些溝槽則如圖1 〇所示，只於各空^子向C平行設置數個即可；這些溝槽5、13、19屬排緣空^ 1 2、1 8所吹起之空氣的排氣通道，為了順利設置而在溝槽兩端開放空氣，或者也可在溝槽内側、l、或裂縫狀的空氣排氣孔。

1226303 五、發明說明（20) 此外，這4b漠Μ 5、1 q , u字型、v字型：“凹狀；了的形狀，也可做成四邊型、幅也可屬於，在各基板载二者：/'溝广\3 ”嗔 3之間形成空氣声，U # σ 1、16及淨起塊11與破璃基板這些溝槽5Μ: 19ΓΪ:，基板3的寬幅。幅，且搬送方向C上的玻^疋對搬达方向C形成出相同寬屮冰山从上的玻璃基板3及空壓部份皆均等。此外，由於玻璃基板3兩端下益 1寻 ί反載物口 1、1 6及浮起塊J ；[兩端。土各空軋吹入玻璃基板J3的4端。 1更將上述第2實施型態，是將各滑塊63、64 送機械手臂21端，但也可展延至搬入用搬送機^至；；出7 = | 運用於產業之可能本發明可用於，在大型LCD或PDP等FPD等製程上，高、亲搬送串聯檢查之玻璃基板、浮起各種基板或板狀物體等

1226303 圖式簡單說明. 圖面的簡單說明圖一係本發明基板搬送裝置第一實施例的平®構成圖。圖二係本發明基板搬送裝置第一實施例的側面構成圖。圖三係本發明基板搬送裝置第一實施例中浮上基板載運台i 的玻璃基板表示圖。圖四係本發明基板搬送裝置第一實施例中玻璃基板空氣動作表示圖。圖五係本發明基板搬送芦置第一實施例中玻璃基板空氣動作表示圖。圖六係本發明基板搬送裝置第一實施例中對準部動作表示4 圖。圖七係本發明基板搬送裝置第一實施例中對準部動作表示圖。又” 圖八2本發明基板搬送裝置第一實施例中對準部動作表示圖九係本發明基板搬送裝置第二實施例中玻璃基板的搬送表示圖。 + #動作後的圖十係本發明基板搬送裝置第二實施例中 + 複數個溝槽之表示圖。予起塊上形成【符號之說明】’ ^ 1 .................基板載運台 ' 2 ................除振台 3 ..................玻璃基板第26頁 1226303 圖式簡單說明 4. ..........……··空氣孔 5 ..................溝槽 6 .................. 升降插梢 7 ...................機械手臂 8 ..................手臂 9 ..................搬送架台 10 ................除振台 11 ...............浮起塊 12 ...............空氣孔（ 13 ................溝槽 14 ...............檢查用機器 15 ...............門型手臂 16 ................基板載物台 17 ...............除振台 18 ...............次氣孔 19 ..................•溝槽 20 ...............升降插梢 2 1…··..........機械手臂 22 .............··.手臂 23 .........……滑塊 24 ...............滑塊 < 25；...............滑塊 2 6 ·；.............滑塊 27................滑塊

第27頁 1226303 圖式簡單說明 28 ............... 滑塊 29 ...............搬送端部 29a............••手臂 29b............•吸盤 30 ...............搬送端部 30a……········手臂 30b.............吸盤 31 ............... 搬送端部 32 ...............搬送端部（ 33 ...............搬送端部 34 ............... 搬送端部 43 ...............•感測器 44 .............感測器 45 .........……感測器 46 ................空氣供應部 4 7............…真空吸附部 48...............移動控制部 4 9 ···......…….姿勢辨識部 50...............姿勢控制部 60 ...............支撐架 61 ................滑軌 ^ 62 ...........空氣孔 63…·:..........滑塊 64..............滑塊

第28頁 1226303

第29頁

Claims

1226303

6 ·如申請專利範圍第1 所述基板浮起塊係其全部表等孔向上吹出的空氣將基板 7 ·如申請專利範圍第6 前述基板浮起塊為防止基板兩端形成許多上吹空氣的氣項所述之基板搬送裝置，其中面規則的設有多數孔，藉由該上浮為其特徵者。項所述之基板搬送裝置，其中向下彎折，於該基板浮起塊的孔為其特徵者。 ^如申請專利範圍第6項所述前述基板浮起塊沿搬详方闩产甘生土攸微i衣罝，、甲為其特徵者。“方向在其表面至少設有-個排氣溝二…9. >如申請專利範圍第8項所述之基板搬送裝置，其中月’J述空氣排氣溝設有由該排氣溝連通外部的空氣排氣孔為其特徵者。 ,10·如申請專利範圍第1項所述之基板搬送裝置，其中前述基板浮起塊具有可放入將基板搬入或搬出的機械手臂置入溝為其特徵者。 11·如申請專利範圍第1項所述之基板搬送裝置，其中前述基板浮起塊係設置於檢查位置，當基板搬送時該基才反上浮’並且在檢查中保持固定該基板於檢查位置為其特

第31頁 1226303 案號 92108745 、申請專利範圍徵者 12./:Γί專利範圍第11項所述之基板搬送裝置，其位置中’設有跨過浮起塊而可向搬送方向 #動9 1孓手而该門型手臂用以搭載獲取垂直於基板搬送方向基板的影像資料的檢查用機器其特徵者。 1 3 ·如申明專利範圍第1項所述之基板搬送裝置，苴中前述浮起塊配置於檢查位置，並且在該檢查位置備有用以跨過基板洋起塊的門型手臂，而該門型手臂用以搭載獲取垂直於基板搬送方向基板的影像資料的檢查用機器；而亡述基板搬送裝置係可將檢查中的基板在檢&位置維持上洋狀態並沿搬送方向移動，用檢查用機器來檢杳美板的表面為其特徵者。一土 14·一如申請專利範圍第1項所述之基板搬送裝置，其月ίι述洋起塊係設置於搬送架台上且可以往復移動，在基 = 位置上一面將基板上浮，並藉由基板搬送機i 收k枓後吸著固定基板為其特徵者。如申請專利範圍第1 4項所述之基板搬送裝置，其中，述跨過浮起塊的門型手臂係固定配置於搬送架台 f ’該門型手臂用以搭載獲取基板影像資料的檢查用機器被及著固定的基板以基板浮起塊沿搬送方向移動，並

第32頁 1226303 -- _案號92108745__年見^曰一修g___ 六、申請專利範圍以檢查用機器檢查基板的表面為其特徵者。 16. 如申請專利範圍第1項所述之基板搬送裝置，其中前述基板浮起塊具有決定基板上浮狀態下基準位置的對準機構為其特徵者。 1 7·如申請專利範圍第1 6項所述之基板搬送裝置，其中前述對準機構具檢出基板在上浮狀態下呈直交的二邊稜邊位置資料的數個感測器，並依據該感測器所檢出稜邊位置資料調整基板的位置與標準位置相合為其特徵者。 1 8 ·如申請專利範圍第1 6項所述之基板搬送裝置，〃中别述對準機構係個別支撑上浮基板的兩端，在支樓中至少有一端沿搬送方向微動，轉動上述基板以對準部將基板轉至標準位置為其特徵者。土 1 9 ·如申請專利範圍第16項所述之基板搬送裝置，其中前述對準機構係以基板搬送機構個別支撐上浮基板的兩端’在支撐中至少有一端沿搬送方向微動，而轉動上述基板的結果’如對準部未將基板調至基板的位置，對準部會將基板沿搬送方向以與之垂直方向微動，將基板對準調至標準位置為其特徵者。 2 0·如申睛專利範圍第1 8項或1 9項所述之基板搬送

第33頁 1226303 修正曰號 92108745 六、申請專利範圍裝置，其中前述對準部具備了，檢測出與前述基板呈直交之兩，稜邊位置的數個感測器、及藉由該等些感測器所檢測之4述基板兩邊的棱邊位置資料，以辨識前述基板姿勢之^勢辨識部、及藉由前述姿勢辨識部，將辨識之前述基板姿勢對準前述標準位置，以移動與控制前述搬送機構之姿勢控制部為其特徵者。 ,21·如申睛專利範圍第2 〇項所述之基板搬送裝置，其中前述數1固感測器，是將數個檢測元件排列成現狀的三個線性感測器，一個前述線性感測器，則位於前述搬送方向的垂直中央部、且將線形方向設置成同於前述基板的搬送方向；另外兩個前述線性感測器，則以規定的間隔偏離前述基板的一端，且將線形方向設置於前述基板搬垂直方向上為其特徵者。〇的义、·“ A τ明寻利範圍第2 0項所述之基板搬送裝置，其中#述f勢^工制部負責支撐前述基板搬送方向前端的前过土 f兩而並各自移動到沿著前述搬送路線兩端所配置# 各滑塊ί ’各搬送端部中至少有一端朝前述搬送方向微、動’亚藉由旋轉前述基板，而將前述基板平行配二搬送方向為其特徵者。罝於刖地、，2 3 ·如申请專利範圍第2 〇項所述之基板搬送裝置，豆中則述其中前述姿勢控制部負責支撐前述基板搬送方向前

第34頁 1226303

第35頁