TWI226303B - Substrate carrying device - Google Patents
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Description
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發明所屬之技術領域 本歸有關於,讓例如大型液晶榮幕(以下 LCD」)、或電漿螢幕(以下簡稱為「ρ]) 牟面 板、=簡稱為「FPD」)帽基板浮起於搬送寺二面上面 以進行搬送的一種基板搬送裝置。 先前技術
近年來,為了因應大型晝面、削減成本等要求,而 FPD領域上用FPD製程所處〗里的玻璃基板尺寸,已呈現日益 偏向大型化發展的傾向;在FPD製程上,搬送大型玻璃基皿板 的方法則以,採用滾輪的滾動搬送機構最廣為人知。 搬送大型玻璃基板的技術,已被記載於例如特開 20 0 0- 1 936 04號公報、及特開20 00- 9 66 1號公報上;前者屬 於僅用一對支樓滾輪機構,接觸位於被檢查基板(相當於 $璃基板)下方的左右兩側,再予以支撐,且透過接觸玻 埚基板左右端邊緣的一對限制滾輪機構,以限制左右方 向;此外,由於玻璃基板的中間部,會因自重而朝下彎 曲’因此為了限制此玻璃基板的彎曲,而對玻璃基板的下 方吹入空壓。
後者屬於,藉由滾動搬送部,將玻璃基板搬送到缺陷 檢查部,定位玻璃基板後,便透過支撐機構以支撐玻璃基 板的端部,再執行缺陷檢查;執行缺陷檢查時,為了'以非 接觸友式支撐玻璃基板,因而從被設置於空氣浮起台的吹 出口吹出高壓空氣,以便將玻璃基板的高度保持在一定狀
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jL 發明說明(2) 態下。 輪機;Γ及ΐ = 璃基板時、:.,採用1支撐滚 後,接觸滚輪的玻璃心=而因此當高速搬送破璃基板 跡。 玻璃基板滾動面,便會產生滾輪的摩擦痕 後者因藉由滾動搬 前者一樣,當高速|^ ^ 板,因此便同於 滾動面,也會產生滾輪的摩擦痕跡。 輪的破璃基板 本發明目的在於提供(,用 、 對玻璃基板留下傷痕的情況下, , 板搬送裝置。 、氣适的一種基 内容 根據本,明的主要觀點來看,所提供之基板搬送裝置 已具備’沿著搬送路線而設置且得 二 “ . *叩口又直 且侍以讓基板洋起於搬送 路線的基板浮起機構、及拉山其此 、=啊傅及猎由基板汙起機構以支撐浮起基 板兩端,再沿著搬送路線進行搬送之搬送機構。 土 實施方式 以下將參>閱圖示的同時,說明本發明第一實施型態。 圖1表不讓基板搬送裝置,適用於大型LCD或PDP等fpd 製私之串聯(in-line)檢查時的平面構成圖,圖2表示該裝 置之側面構成圖。 搬送用基板載物台i,被設置於除振台2上;此基板載
第7頁 1226303 五、發明說明(3) 物台1古則裝載了已搬入的玻璃基板3,該 .呈垂直方向)僅略點於破璃基《的寬幅;此方向C 的上面,則設有兼具吹起空氣及吸^功能的數土板/丄物=】 再者,這些空氣孔4,只要有㈣的全 1上即可;此基板載物台1JL,則形成出m載物台 方向C呈平行方向、且右賴—必„ ps .Ή條溝槽5對搬送 上則設有搬入破璃美板3 ± ^ Γ 4在外,基板载物台1 6(1m p⑷肖基板心用以執行升降的數個升降插梢 ;對基板載物台1的搬ά方向c呈垂直方向的入 則設有搬入用搬送機械手臂7 ;此搬 而, ‘是”圖示上未標示之多關節手臂,讓 轉、月ίΐ進及後退,同時從卡厘( ^·疋 璃基板3,再搬入基板载物卡=aSSette)取出未檢查的玻 '、,加if.載物台1的出口端上’則沿著搬送方向C併設了搬 Ϊ" ^ 2 ^ & ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ’该搬运架台9則被裝設於除振台1〇上。 攸祕送架台9的搬入端到搬出端 端與搬出端的全長,而設置浮 j /口者攻&搬入 厂搬送方向。呈垂直方幅 -幅;此浮起塊U的上面玻璃基板3的見 的數個空氣孔12 ;再者,i ^ ^兼/、〇人起空氣及吸引功能 設置於浮起J上;;;:;:=,只要均等的全面 起塊π的表面^/,千則订幾方工向、且有規定的間隔;此外,,浮 问度則幾乎同於基板載物台i的表面高度。 1226303 五、發明說明(4) 搬送架台9之搬送方向C的略中央位置上,則設有可對 以一定速度進行搬送的玻璃基板3 ’執行各種 E ;此檢查部E屬於’例如在門型手臂15上,搭載一了線性—/ 測器(line sensor)或CCD攝影機等各種檢查機 例 ,說,檢查用機器U是藉由複數排列的線性感二器,二^ 侍破璃基板3的影像資料,接下來再執行例如: g樣檢查、缺陷檢查等,以便對此影像資料執行^^ 搬送架台9的出口端上,貝沿著搬送方向c並設了
】= = 二此基板載物台16 ’則被裝設於除振台17 I 上,此基板載物台16是為了搬出來自於浮起塊⑽ i 板3而暫時設置的’其寬幅(對搬送方向c呈垂直 土 2二 功能的數個空氣孔18 ;再者,這些 m: 有規則的全面設置於基板載物台16上即一 C呈平行^方勿D 1 6上,則形成出讓2條溝槽1 9對搬送方向 有=玻璃二規定的間隔;此外,基板載物台16則設 板載二t =乙,用以執行升降的數個升降插梢2 〇 ;基 度載口16的表面南度,則幾乎同於浮起塊㈣表面高 則設台16的搬送方向C呈垂直方向的出口端上,1 21,:是藉^ Q 3械手臂21 ;此搬出用搬送機械手臂 旋轉、前進示之多關節手臂’讓2根手臂22得以 及後退,同時將已檢查的玻璃基板3收納於卡匡 第9頁 1226303 五、發明說明(5) 内。 搬送架台9及除振台1 7上,目lf P + 物台16的方式,沿著數個組裝^住^起塊丨1及基板載 對各滑塊(Sllder)23〜28 ; 向C,平行設置了- 對滑塊23、24及27、28,則 被設置於一對滑塊25、26的外伽·兄& U ^ 則 1调,另外,這此潛掄Μ〜?只 的設置高度位置幾乎相同。 k二α塊Zd -對滑塊23、24被設置於搬送架台9入 準 (alignment )A ;這些滑塊23、24上則执 皁邛 各搬送端部29、3。; “搬逆二貝 '有,移動的各-對 朝上下方向伸縮,且可。;^二0則被設置於’可 些手臂29a、30a的前端,在备主β ^ ° 及廷< ^ , 在負貝吸附支撐的各吸盤29b、 'Γ λτ2γ9;〇30^ ^,.. 的二 9出。iC.25」26被設置於,對準部A出口端及搬送架台 送炉邻I 廷些滑塊25、26上則設有可移動的一對各搬 2q W 一# ,這些搬送端部31、32則同於各搬送端部 一…’擁有各手臂31a、32b及各吸盤31b、32b 〇 物台1::227、28被設置於,搬送架台9出口端及基板载 搬送端部33、34 :這些搬送端部33、34則同於各搬送 ,部29、30 ~樣,擁有各手臂33a、34b及各吸盤33b、 3 4b ? 再者 對滑塊2 3、2 4及2 7、2 8 ’則被設置於一對滑
第10頁 1226303 五、發明說明(6) 塊2 5、2 6的外侧’因此各滑塊2 3、2 4及2 7、2 8的各吸盤 29b、30b、33b、34b的位置,為了同於各滑塊25、26之各 吸盤31b、32b的位置,而設定了各手臂29a、3〇a、33a、 34a的長度。 再者,這些搬送端部29、30、31、32、33、34,只要 具有支撐玻璃基板3 ’且得以讓各手臂29a、3〇a、31a ' 32b、3 3a、34a朝XY向微動的機構,不管屬於何種構成方 皆可。 浮起塊1 1上的對準部A,則設有3個定位感測器u〜 45,攻些疋位感測器43〜45,負責檢測出與玻璃基板3呈直丨 交的2邊(縱、橫)各稜邊後,再輸出表示該稜邊位置的各 檢測信號;這些定位感測器43〜45是將各數個檢測元件 列成線狀的線性感測器。 定位感測器43在浮起塊丨丨寬幅方向的中間位置上, 向設置成同於搬送方向°的方向;這種定位感 4 /、彳出,以對準部Α停止浮起之玻璃基板3搬送 方向c的刖端稜邊。 心 各疋位感測器44、45,則在浮起塊11的側面設右 的間隔,這些定位感測器44、45,則將、疋 出,同於以對進邱Η古u 4 U4ΰ員貝檢測 邊。 f皁°以知止净起之玻璃基板3搬送方向C的稜 另一方面,壓 入用基板载物台j 縮空氣供應部46則貫通了透過接管的搬 洋起塊π、搬出用基板载物台16的各空 1226303 五、發明說明(7) 隙部,再以選擇性的方式供應壓縮空氣,再從各空氣孔4、 1 2、1 8吹起壓縮字氣,讓玻璃基板3浮起於搬入用基板載物 台1、浮起塊1 1友搬出用基板载物台1 6上;此外,屢縮*广 供應部46則有針對各空氣孔4、12、18發揮除電效果的=乳 氣’以吹起例如陽離子或陰離子之離子化空氣。 真空吸附部4 7則貫通了透過接管的搬入用基板載物台 1、浮起塊11、搬出用基板載物台〗6的各空隙部,再以選^擇 性的方式吸引真空,並,過各空氣孔4、12、18,在搬入用 ^板載物台1或搬出用基板載物台16上,吸附與支樓玻璃基
Mh't ’乃空吸附部47則貫通了透過接管的各吸盤29b、 、、b、33b、34b,真空吸引這些各吸娜、 移動栌制邱4U3b、34b ’以吸附與支撐玻璃基板3。 34,二動:二貝將各搬送端部29、30、31、32、33、 34 ’移動到各滑塊23、2 姿勢辨識部49,則負責二,26、27、28以進行控制。 輸出的夂&、目ϊ h咕、輸出來自於3個定位感測器43〜45所 號,以便基於這些檢測信號所表示之玻璃 基板30的姿勢視為^ ^彳由安勢辨識部49,將已辨識的玻璃 向C及搬送方向c朝;备=置再執行對準,因此便對搬送方 32。 ㈣朝垂直方向移動控制-對搬送端部3卜 以下::明上述構成的裝置動作。 各搬适端部29、3〇,移動到各滑塊23、24上的搬入端 五、發明說明(8)
後便停止,以推λ β M IΛ Μ 待機狀態。 ’入用搬送機械丰替 ^ 後退動作,從卡匣中’則讓手臂8執行旋轉、前進及 棊板载物台〗的上方, 欢查的玻璃基板3後,再搬送到 會上升;搬入用搬送機械才手"$載=台1的各升降插梢6 ,則 基板3裝载於各升降插梢6上久則夂降低手臂8,再將玻璃 玻璃基板3裝載於各升降插’:升降插梢6則藉由下降,將 基板載物台1的寬巾5, ,破璃基板3的寬幅,長於 的兩端。 4因(此會從基板載物台^突出玻璃基板3 接下來’各搬送端部2 g ^ 升,讓各吸盤29b、30b吸附自基板ί手臂293、3〇3上 3的内面,·這些吸盤29b、3Qb的·"吸 台:突出的玻璃基板 基板3形成出電路圖樣的内面端部,^位於’未在玻璃 向C,而讓玻璃基板3形成前方端的+彳來祝’朝向搬送方 吸盤29b、30b在吸附玻璃基板3内面狀能力而部’此時’各 於基板載物台i的表面高度。 的狀恶了 ’僅上升略高 板載ΞΙ空上'應部46,是透過配管將壓縮空氣供應到基 ,則使用具除電效果的離子空氣,中和玻璃 的奸電,以阻止玻璃基板3帶有靜電。 枚' 壓縮空氣,而在基板載物台1與玻璃基板3之 =空氣層,玻璃基板3則如圖3所示,會從基板 起;此時,從各空氣孔4所吹起的空氣,則透過來 自表工氣層的各溝槽5 ’而在基板载物w與玻璃基板3之間 1226303 五、發明說明(9) 流動;換言之,空氣在不羈留於基板載物台丨與破璃基板3 之間的情況下進行流通,因此玻璃基板3會保持 浮起於基板載物台1上。 又 r 接下來’移動控制部48則如圖4所示,會以相同 吸附於玻璃基板3内面,而擁有各吸盤29b、30b之夂| :二 部29、3〇(手臂29a、30a)同步,再朝搬送方 塊23、24。 秒勒谷/月 玻璃基板3,則藉^這種方式,讓浮起的基板載物台工 亡=、及浮起塊11上方‘全處於非接觸狀態,再透過各3搬 运鈿部29、30拉伸,再高速搬送到搬送方向c ;透過這種 速搬送的玻璃基板3,會在浮起塊丨丨上到達對準部A。 % ^到達對準部A的玻璃基板3則如圖5所示,會傾二於搬送方 ,位於對準部A的定位感測器43則負責檢測出,在對準 4A停止浮起之玻璃基板3搬送方向c的前端一個稜 出該檢測信號。 輸 重心此/卜’各定位感測器44、45則負責檢測出,同於在對 m止浮起之玻璃基板3搬送方向c方向的其他棱邊,再 输出该檢測信號。 姿勢辨識部49,則輸入三個定位感測器“〜“所輸 的/檢^則信號’再藉由這些檢測信號’而基於玻璃基板3 3 3處巧邊位置資料’以辨識玻璃基板3的姿勢;此時,玻璃 ,之對搬送方向C呈前端的右端部,則自左端部突出到 刖^ ’再針對搬送方向c而偏向於左側。 .接T來,姿勢控制部50則透過姿勢辨識部49的玻璃基
1226303 五、發明說明(10) 板3姿勢辨識結果中,以如圖5所示的方式,讓一端搬送端 部3 0對搬送方向呈逆向(後侧)微動;玻璃基板3則藉由這 種方式,將吸盤29a視為中心軸,再旋轉到箭頭F方向,再 對搬送方向C進行平行配置。 姿勢辨識部49,則再度輸入三個定位感測器43〜45所 輸出的各檢測信號,以辨識玻璃基板3的姿勢;其辨識結果 則為’玻璃基板3則如圖6所示,讓左端部靠往滑塊2 3。 姿勢控制部5 0則如同(6所示,驅動一端搬^端部2 9的活 塞’讓手臂29a往箭頭Η向(對搬送方向c呈垂直方向)伸 直,同時也同步驅動其他搬送端部3〇活塞,再讓手臂3〇a縮· 到刖頭Η方向,將玻璃基板3移動到箭頭η向後,讓玻璃基板 3的中心位置對準彳般送路線的中心位置。 姿勢控制部50,為了讓玻璃基板3前端符合定位感測器 43的中〜,而讓各搬送端部2g、同步,再移動到前端; 此時,各搬送端部29、30,則如圖7所示朝箭頭^進行微 其結果為,玻璃基板3則如圖7所示, 就是搬送方向C)呈平行,且.了嗖诎々故位置〔也 、、,@ 為了桌玻㈣基板3的中心與搬 ::〜位置互為-致’因而執行對準、;再者,三個定 :ί: Γ。3〜45則以感測器中心’檢測出各玻璃基板3之各 當玻璃基板3完成對準後,移動 不,以相同速度,讓各搬送端丨則如圖4所 方向C的逆向狀態下進行 兀王不同於搬送 .仃j步,再移動到各滑塊、25、26
1226303___ 五、發明說明(11) 上。 當這些搬送端部31、32到達玻璃.棊板3的下方後,會在 各滑塊2 5、2 6上的基板交付標準位置上停止,讓各手臂 31a、32a上升,再讓各吸盤31b、32b吸附於玻璃基板3的内 面;這些吸盤31b、32b的吸附位置則為,玻璃基板3朝搬送 方向C而形成前端内面的兩端部。 這些吸盤31b、32b吸附玻璃基板3後,便解除各搬送端 部29、30之各吸盤2 9b、3|0b的吸附,而降低各手臂29a、 3Oa 〇 1 玻璃基板3的吸附與支撐 —, 則仉谷搬达端部29,ου,父 付給各搬送端部31、32 ;各各搬送端部29、3〇,則將各滑 彳2 3、24移動到不同於搬送方向c的逆向(後側)位置σ /並 停止於搬入用基板載物台丨的基板交付標準位置,以進 機;當玻璃基板3完成交付後’各搬送端部31、32 、 :示’以相同速度同步,並將各滑塊25,移動到搬送方 3°卜32予進起於Λ起塊^上的玻璃基板3,則藉由各搬送端部 32進仃拉伸,再商速運往搬送方向ε,再到達檢查部 位於檢查部Ε的壓縮空氣供應部46,則停止蔣> 供應到浮起塊11之各空氣孔4。 、τ .、&細工氣 二:J ’則從壓縮空氣供應部4“ Ο,该真空吸附部47 ’則透過配管直:附4 空氣孔1 2,讓玻璃基板3吸附與支及引斤起塊11的各 時則解除吸附支撐玻璃基板3内^夂=二塊11,再者,此 円面的各吸盤31b、32b,再降
第16頁 1226303
、32a 0 五、發明說明(12) 低各手臂3 1 a w檢查部E負責執灯’例扣错由採用了具備線位感刿哭之 私查用機器1 4的玻璃基板3各種檢查而取得的影像j时之 執行玻璃基板3的圖樣檢查、缺陷檢查;此時,瓖已以 查用機器14的圓形手臂15,針對搬送方向c,朝前檢 :移動,再用檢查機則4 ’對整個破璃基板3進行全:二進
虽檢查部Ε完成檢查彳_ ’各搬送端部3丨、3 2則瓖久 31a、32a上升’讓各吸盤31)3、32b吸附於,玻璃基板 达方向C形成前端内面的兩端部上。 朝I
真空吸附部47,則停止對浮起塊i丨各空氣孔丨2執 空吸引;接下來,則從真空吸附部47變換成壓縮空氣雇 部46 ;該壓縮空氣供應部46,則將壓縮空氣供應到浮起: 的各空氣孔12,再從這些空氣孔12吹起離子化的壓2 氣’以浮起玻璃基板3。 '、、二 ^ 再者,檢查部E也可讓玻璃基板3浮起於浮起塊u的狀 態下,在搬送方向裡以一定速度讓各搬送端部31、32同 步,再移動到各滑塊23、24的同時,以執行檢查。 上述所示,浮起塊11上的玻璃基板3,則藉由吹起壓縮 工氣勺I力,處於元全浮起的狀態下,各搬送端部3 1、 32,則移動各滑塊25、26,再高速將玻璃基板3運往搬送方 當玻 吸附支撙 璃基板3到達浮起塊11的出口端後,玻璃基板3的 ’便從各搬送端部31、32交往各搬送端部33、
第17頁 1226303 五、發明說明(13) 3 4,壓縮空氣供應部4 6,則將壓縮空氣供應到基板載物台 1 6的各空氣孔8 ;從這些搬送端部3 1、32,交付到各搬送端 部33、34的玻璃基板3,則同於上述從各搬送端部29、30交 付到各搬送端部3 1、3 2。 完成玻璃基板3的交付作業後,各搬送端部3 3、3 4便移 動各滑27、28,再將玻璃基板3搬送到搬送方向c ;接下 '來,玻璃基板3到達搬出用基板載物台丨6的上方後,各搬送 端部33、34便停止於基板交付標準位置。 位於基板載物台1 6的(各升降插梢則上升;壓縮空氣供 應部46,則停止將壓縮空氣供應到基板載物台16的各空氣 孔18,同時各吸盤33b、34b則解除對玻璃基板3内面的吸附 動作,而下降各手臂33a、34a ;玻璃基板3則藉由這種方 式,被裝載於各升降插梢2〇上;搬出用搬送機械手臂以則 ,手臂22執行旋轉、前進及後對,再從各升降插梢2〇上取 出已檢查的玻璃基板3,最後則收納於卡匣内。 恭& ί J來、則依據反覆執行搬入到數個玻璃基板3之基板 作業:工軋搬达、對準、檢查、從基板載物台1 6搬出的 換實施型態中,從各基板載物台1、16及浮起 塊11上所形成之數個空氣孔4、丨8、丨2 、 =板3的蠢?下,吸附與支稽玻璃基板3搬工送方向C:前端 ::下:同時執行搬送;在浮起大型玻璃基板;的 铋害玻璃基板3的同時,執行高速搬送。 - 4孔4'18'12 ’則有規則的設置於各基板載物
1226303 五、發明說明(14) 台1、16及浮起塊丨丨的空氣搬送面,而且還設有各溝槽5、 1 3、1 9,因此從數個空氣孔4、丨8、丨2所吹起的空日合法 奶口 1 ib及洋起塊11之間羈留空氣,而透過各溝桿5、 1中vm;大型玻璃基板3,可藉由這種方“不讓 進稃二送弯曲狀態,而得以在保持高平面度的情況下 空氣二:d'、19形,於同於搬送方向c的方向,因此 種方式,iii::佈亦同於搬送方向c;玻璃基板3透過各 進行:送达時不發生上下方向的晃動,而得以穩定的 送方ϊ r前内m則各自吸附與支樓朝玻璃基板3搬 送;玻璃基能拉伸的同時進行高速搬 等搖晃,且得以籍6 氏' 、不會對搬送方向C產生蛇行 螭基板3的内面兩、進打搬送;此外,因吸附與支撐玻 圖樣部份,而不%而塑^此不接觸形成於玻璃基板3的電路 叩+衫響電路圖樣。 由於可用非接觸方々 古、击 在製造FPD等半導體製域馬上""搬送大型玻璃基板3 ’因此 可提昇產品生產性的要求、。或’可滿足不影響產品品質、 处 > 由於可高速搬送從各空氣孔 ,乳的玻璃基板3,因 、1 8、1 2吹起離子化壓縮 靜電。: 犯 ϋ邊電,阻止玻璃基板3帶有 對準部Α ’在浮起破璃基板3 的狀態下,藉由三個定位
第19頁 1226303 五、發明說明(15)
感測器4 3〜4 5、次献細μ A 準,因此在浮起;璃美^及姿勢控制部5〇以執行對 此外,這種對淮H / 1A、 … 30朝二次元方向進1 2 j "达玻璃基板3的各搬送端部29、 送玻璃基板3的功H卜動也讓了這些搬送端部2Η0具有搬 基板3之後,可緊=對準之用,在搬送坡璃 時間。 者連#執订對準,並可縮短對準的所需 對準時,县、#—( 基板3的姿勢,因:二?1定位感測器43〜45 ’以辨識破螭 偏離各定位残測則被埋入洋起塊Η内,因此不會 位置資料的標準位置,還可基於三點稜i 再者,上述Ϊ =精度對準各玻璃基板3。 部Ε,或各種處::程型上態也可適用於,例如設置數個檢查 者,十對本發明之第2實施型態進行說明、再 t。圖1的部份皆有標示相同符號,因而省略詳細:說 械手臂7、21 Λ i 讓搬入用及搬出用各搬送機 H & 各手臂8、22的前進、後退方向同於搬送方 & Λ送架台9上’則可將吸附與支標玻璃基板3的支樓 木⑽,移動到搬送方向C。 义牙 此外,具備搬入用及搬出用各基板載物台〗及16的各升
1226303 五、發明說明(16) 降插梢6、20則被惕除;各搬送機械手臂?、21, 各手臂8、22放入各奉板載物台丨及丨6的各溝枰5、、 9將 將玻璃基板3直接裝載於基板載物台丨上,】 内,以 物台16取出玻璃基板3。 及罝接攸基板栽 搬达架台9上的2根滑軌6 1,貝""般送 設;這些滑執61上則設有,可移動的移千仃鋪 下簡稱為「支撐架」)6〇。 秒動專用汙起塊(以 支標架60表面,則全面#罢A 個空氣孔62 ;這些支ΐ吸引空氣兼用的數 出寬幅僅略短於玻璃Αί 3 、:於土板載物台1 一樣,形成 -, 基板3的寬幅型態,且支撐芊的# %上 度,:幾乎同於基板載物台1的表面高度。〜 迗架台9上,則沿著搬 架60的一對滑塊63、64 • 、典千仃汉置夾住支撐 端的基板載物台丨鱼搬 二/月鬼63、64則被設置於搬入 63 ' _以可移動方^# 21 ^ =這些滑塊 端部29、30、及檢杳二了,口為一對對準端的各搬送 ^ m ^ ^ ^ 一為的各搬送端部3 1、3 2。 對旱多而的各搬送端 來回移動於搬入端搬、 ,則在各滑塊63、64上,
之右端部的Aa之間·=機械手臂7的左側端部、及對準部A 滑塊63、64上,^回f查端的各搬送端部3丨、32,則在各 用基板載物台的右山動於對準4 A之右端部的Aa、及搬出· 2 9、3 0,交付給檢杳$部之間;從對準端之各搬送端部 同於上述第一實二二端各搬送端部31、32的玻璃基、板3,則 以下將說明上述椹=心予以進行。 呔構成裝置的動 1226303
藉由搬送機械手臂7,從Carat搬入的玻璃其 起巧板載物台i,並同步朝搬送方向C移;离;則浮 五、發明說明(17) 撐架60上;再Ϊ ί伸後,再搬达到在對準部A上待機的支 者,各搬达端部2 9、3 0的吸附位置則 玻璃基板3上朝搬送方向C而形成前端内側的兩=為,在 二上的玻璃基板3,則同於上述第一實施 上藉由各搬送端部29、3〇的微動以進;;: 兀成玻璃基板3的對準作業後,則從壓縮空 R , 成真空吸附部47,讓玻璃W及附與支撐於支;換 送端部29、30,則對玻咖 •端(基板交付標準位置)。 卞^的左 接下來,支撐架6 〇在吸附與支撐玻璃基板3的狀能 朝搬送方向C移動,·當支撐架11到達檢查部E後,則同^於上 述一樣會在檢查部E上,執行玻璃基板3的各種檢查。、 y 對玻璃基板3完成檢查後,則讓在基板交付標準位置上 待機的各搬送端部31、32之各手臂31a、32a上升,再透過 各吸盤31b、32b吸附與支撐玻璃基板3的内面;這些搬送端 部31、32的吸附位置則為,玻璃基板3朝向搬送方向◦前端 =侧的兩端部;接下來,再從壓縮空氣供應部4 6,將壓縮《 空氣供應到基板載物台'16,再從支撐架6〇浮起玻璃基板3 ; 在這種狀態下’玻璃基板3則藉由各搬送端部3 1、3 2、所拉 伸’再南速運在基板載物台16。 搬出用搬送機械手臂2 1則插入溝槽1 9,經過若干上升
第22頁 1226303 五、發明說明(18) 後’則吸J付與支撐玻璃基板3的内面;此日夺,則從 3的内面解除各搬送端13 1、π ^ ^〇 、 破場基板 只J表于f Ζ 2上升的同時,讓手臂 L、後前進再及二退’繼載物台16上取出已檢查的ΞΓΐ 板3後,再收納到卡g内。 敬喁基 上述第2實施型態得知,可發揮出同於上· 吟悲、的效果;此外,搬入用及搬出用各基板載物二二 上亚無各升降插梢6、2〇〆由於並無各升降插梢6 動時間,因此可縮短時間。 的驅 再者,本發明不僅限於上述各實施型態,也可在 離主旨的情況下,在實施階段的範圍内進行各種變形。丨 浮起玻璃基板3的方式,不僅限於對玻璃基板3内面吹入允 氣,也可透過靜電方式以進行浮起;藉由靜電方式浮起工 時’只要對玻璃基板3執行除電作業即可。 搬送浮起玻璃基板3的方式,並不僅限於例如在一對滑 塊2 3、24上,移動一對各搬送端部29、30,其實也可在夂月 溝槽1 3内,設置擁有各吸盤之可移動各搬送端部,再藉由 這些搬送端部,吸附與支撐玻璃基板3前端内再進行搬9送即 可。 搬送玻璃基板3時的吸附支撐位置,不限於搬送方c上_ 的玻璃基板3的兩個前端,也可用玻璃基板3兩個前端及兩 個後端進行吸附支撐,或者玻璃基板3對向2邊各中'央部, 或沿著2邊吸附與支撐數個部位;只要在這些玻璃基板3的4 邊、對向2邊中央部、及沿著2邊的數個位置上,吸附與支
1226303 五、發明說明(19) 撐玻璃基板3 ’不僅可搬送到搬 不同於搬送方向C的逆向位置;此向C,也可搬送到完全 撐位置,如有未形成電路圖樣的’玻璃基板3的吸附支 基板3的表面或内面。 邵h,那麼就可位於玻璃 將玻璃基板3裝載於基板載物A 取出玻璃基板3時,除了久m ^ 或從基板載物台1 6 採用其他任何機構,還7可^手7'21之外,也可 式浮起搬送基板的手段。〃他生產線’以空氣搬送等方 製程士 ΐ 中,“對大型LCD或PDP等平面面板等 也可適用:ί:搬送玻璃基板3進行說明,但除此之外 再進行古、穿/子起半導體晶圓等各種基板,或板狀物體後 ί不;此外’浮起玻璃基板3再高速搬送的方 數台可^動^ ^板載物台1搬送到支撐架60,也適用於設置 對準部A所動用J夂架—6〇 ’再搬送到各支撐架6〇。 但除此之 、σ定位感測器4 3〜4 5,雖採用線性感測器, 邊位置。也可用2次元0^^攝影機,以辨識玻璃基板3的稜 央部ί iff物台\、16及浮起塊11上,並無玻璃基板3中 空氣的、、^卩份,為了保持平面度,而各設置了用以排放 要對搬、关大/奴5、1 3、1 9,但這些溝槽則如圖1 〇所示,只 於各空^子向C平行設置數個即可;這些溝槽5、13、19屬 排緣空^ 1 2、1 8所吹起之空氣的排氣通道,為了順利 設置而在溝槽兩端開放空氣,或者也可在溝槽内側 、l、或裂縫狀的空氣排氣孔。
1226303 五、發明說明(20) 此外,這4b漠Μ 5、1 q , u字型、v字型:“凹狀;了的形狀,也可做成四邊型、 幅也可屬於,在各基板载二者:/'溝广\3 ”嗔 3之間形成空氣声,U # σ 1、16及淨起塊11與破璃基板 這些溝槽5Μ: 19ΓΪ:,基板3的寬幅。 幅,且搬送方向C上的玻^疋對搬达方向C形成出相同寬 屮冰山从 上的玻璃基板3及空壓部份皆均等。 此外,由於玻璃基板3兩端下益 1寻 ί反載物口 1、1 6及浮起塊J ;[兩端 。土 各空軋吹入玻璃基板J3的4端。 1更將 上述第2實施型態,是將各滑塊63、64 送機械手臂21端,但也可展延至搬入用搬送機^至;;出7 = | 運用於產業之可能 本發明可用於,在大型LCD或PDP等FPD等製程上,高、亲 搬送串聯檢查之玻璃基板、浮起各種基板或板狀物體等
1226303 圖式簡單說明. 圖面的簡單說明 圖一係本發明基板搬送裝置第一實施例的平®構成圖。 圖二係本發明基板搬送裝置第一實施例的側面構成圖。 圖三係本發明基板搬送裝置第一實施例中浮上基板載運台i 的玻璃基板表示圖。 圖四係本發明基板搬送裝置第一實施例中玻璃基板空氣動 作表示圖。 圖五係本發明基板搬送芦置第一實施例中玻璃基板空氣動 作表示圖。 圖六係本發明基板搬送裝置第一實施例中對準部動作表示4 圖。 圖七係本發明基板搬送裝置第一實施例中對準部動作表示 圖。 又” 圖八2本發明基板搬送裝置第一實施例中對準部動作表示 圖九係本發明基板搬送裝置第二實施例中 玻璃基板的搬送表示圖。 + #動作後的 圖十係本發明基板搬送裝置第二實施例中 + 複數個溝槽之表示圖。 予起塊上形成 【符號之說明】’ ^ 1 .................基板載運台 ' 2 ................除振台 3 ..................玻璃基板 第26頁 1226303 圖式簡單說明 4. ..........……··空氣孔 5 ..................溝槽 6 .................. 升降插梢 7 ...................機械手臂 8 ..................手臂 9 ..................搬送架台 10 ................除振台 11 ...............浮起塊 12 ...............空氣孔 ( 13 ................溝槽 14 ...............檢查用機器 15 ...............門型手臂 16 ................基板載物台 17 ...............除振台 18 ...............次氣孔 19 ..................•溝槽 20 ...............升降插梢 2 1…··..........機械手臂 22 .............··.手臂 23 .........……滑塊 24 ...............滑塊 < 25;...............滑塊 2 6 ·;.............滑塊 27................滑塊
第27頁 1226303 圖式簡單說明 28 ............... 滑塊 29 ...............搬送端部 29a............••手臂 29b............•吸盤 30 ...............搬送端部 30a……········手臂 30b.............吸盤 31 ............... 搬送端部 32 ...............搬送端部 ( 33 ...............搬送端部 34 ............... 搬送端部 43 ...............•感測器 44 .............感測器 45 .........……感測器 46 ................空氣供應部 4 7............…真空吸附部 48...............移動控制部 4 9 ···......…….姿勢辨識部 50...............姿勢控制部 60 ...............支撐架 61 ................滑軌 ^ 62 ...........空氣孔 63…·:..........滑塊 64..............滑塊
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Claims (1)
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6 ·如申請專利範圍第1 所述基板浮起塊係其全部表 等孔向上吹出的空氣將基板 7 ·如申請專利範圍第6 前述基板浮起塊為防止基板 兩端形成許多上吹空氣的氣 項所述之基板搬送裝置,其中 面規則的設有多數孔,藉由該 上浮為其特徵者。 項所述之基板搬送裝置,其中 向下彎折,於該基板浮起塊的 孔為其特徵者。 ^如申請專利範圍第6項所述 前述基板浮起塊沿搬详方闩产甘生土攸微i衣罝,、甲 為其特徵者。“方向在其表面至少設有-個排氣溝 二…9. >如申請專利範圍第8項所述之基板搬送裝置,其中 月’J述空氣排氣溝設有由該排氣溝連通外部的空氣排氣孔為 其特徵者。 ,10·如申請專利範圍第1項所述之基板搬送裝置,其 中前述基板浮起塊具有可放入將基板搬入或搬出的機械手 臂置入溝為其特徵者。 11·如申請專利範圍第1項所述之基板搬送裝置,其 中前述基板浮起塊係設置於檢查位置,當基板搬送時該基 才反上浮’並且在檢查中保持固定該基板於檢查位置為其特
第31頁 1226303 案號 92108745 、申請專利範圍 徵者 12./:Γί專利範圍第11項所述之基板搬送裝置, 其位置中’設有跨過浮起塊而可向搬送方向 #動9 1孓手而该門型手臂用以搭載獲取垂直於基板 搬送方向基板的影像資料的檢查用機器其特徵者。 1 3 ·如申明專利範圍第1項所述之基板搬送裝置,苴 中前述浮起塊配置於檢查位置,並且在該檢查位置備有用 以跨過基板洋起塊的門型手臂,而該門型手臂用以搭載獲 取垂直於基板搬送方向基板的影像資料的檢查用機器; 而亡述基板搬送裝置係可將檢查中的基板在檢&位置 維持上洋狀態並沿搬送方向移動,用檢查用機器來檢杳美 板的表面為其特徵者。 一土 14·一如申請專利範圍第1項所述之基板搬送裝置,其 月ίι述洋起塊係設置於搬送架台上且可以往復移動,在基 = 位置上一面將基板上浮,並藉由基板搬送機i 收k枓後吸著固定基板為其特徵者。 如申請專利範圍第1 4項所述之基板搬送裝置, 其中,述跨過浮起塊的門型手臂係固定配置於搬送架台 f ’該門型手臂用以搭載獲取基板影像資料的檢查用機 器 被及著固定的基板以基板浮起塊沿搬送方向移動,並
第32頁 1226303 -- _案號92108745__年 見^曰一 修g___ 六、申請專利範圍 以檢查用機器檢查基板的表面為其特徵者。 16. 如申請專利範圍第1項所述之基板搬送裝置,其 中前述基板浮起塊具有決定基板上浮狀態下基準位置的對 準機構為其特徵者。 1 7·如申請專利範圍第1 6項所述之基板搬送裝置, 其中前述對準機構具檢出基板在上浮狀態下呈直交的二邊 稜邊位置資料的數個感測器,並依據該感測器所檢出稜邊 位置資料調整基板的位置與標準位置相合為其特徵者。 1 8 ·如申請專利範圍第1 6項所述之基板搬送裝置, 〃中别述對準機構係個別支撑上浮基板的兩端,在支樓中 至少有一端沿搬送方向微動,轉動上述基板以對準部將基 板轉至標準位置為其特徵者。 土 1 9 ·如申請專利範圍第16項所述之基板搬送裝置, 其中前述對準機構係以基板搬送機構個別支撐上浮基板的 兩端’在支撐中至少有一端沿搬送方向微動,而轉動上述 基板的結果’如對準部未將基板調至基板的位置,對準部 會將基板沿搬送方向以與之垂直方向微動,將基板對準調 至標準位置為其特徵者。 2 0·如申睛專利範圍第1 8項或1 9項所述之基板搬送
第33頁 1226303 修正 曰 號 92108745 六、申請專利範圍 裝置,其中前述對準部具備了,檢測出與前述基板呈直交 之兩,稜邊位置的數個感測器、及藉由該等些感測器所檢 測之4述基板兩邊的棱邊位置資料,以辨識前述基板姿勢 之^勢辨識部、及藉由前述姿勢辨識部,將辨識之前述基 板姿勢對準前述標準位置,以移動與控制前述搬送機構之 姿勢控制部為其特徵者。 ,21·如申睛專利範圍第2 〇項所述之基板搬送裝置,其 中前述數1固感測器,是將數個檢測元件排列成現狀的三個 線性感測器,一個前述線性感測器,則位於前述搬送方向 的垂直中央部、且將線形方向設置成同於前述基板的搬送 方向;另外兩個前述線性感測器,則以規定的間隔偏離前 述基板的一端,且將線形方向設置於前述基板搬 垂直方向上為其特徵者。 〇的 义、·“ A τ明寻利範圍第2 0項所述之基板搬送裝置,其 中#述f勢^工制部負責支撐前述基板搬送方向前端的前过 土 f兩而並各自移動到沿著前述搬送路線兩端所配置# 各滑塊ί ’各搬送端部中至少有一端朝前述搬送方向微、 動’亚藉由旋轉前述基板,而將前述基板平行配二 搬送方向為其特徵者。 罝於刖地 、,2 3 ·如申请專利範圍第2 〇項所述之基板搬送裝置,豆 中則述其中前述姿勢控制部負責支撐前述基板搬送方向前
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