JP5387156B2 - 基板搬送装置及び基板検査装置 - Google Patents
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Description
つのエアーシリンダのの昇降の同期が崩れた場合に起こるエアーシリンダ内部のかじりを吸収して、エアーシリンダにかかる負荷を少なくし、エアーシリンダの動作不良を低減することが可能となる。その結果、エアーシリンダの定期的な調整を省くことが出来、更にエアーシリンダの寿命を伸ばすことができるので、設備に要する費用を削減することが期待出来、更に検査処理の効率を上げることが出来るので、結果として基板の製造効率を向上させることが期待出来る。
2・・・回転用シャフト
3・・・多数の回転コロ
4・・・基板浮上パッド
5・・・基板浮上パッド
6・・・エアー供給機構
7・・・エアー排気機構
8・・・隙間
9・・・基板の搬送方向を示す矢印
11・・・基板の搬送方向を示す矢印
12a、12b・・・基板の左右の両端部
14a、14b・・・基板支え板
18a、18b・・・コロ
20a、20b・・・クランプ金具
21a、21b、21c、21d・・・エアーシリンダ
24・・・移動台
25・・・移動台ステージ
16・・・コロ群
23・・・支柱
26・・・コロ用シャフト
18a、18b・・・コロ
20a、20b・・・クランプ金具
30・・・間隔を示す矢印
17a、17b・・・基板支え板
31・・・基板搬送装置
30・・・基板
32・・・反射用光源
33・・・透過用光源
34・・・撮像カメラ
35・・・画像処理部
36・・・制御部
37・・・コントローラ部
40・・・基板
41・・・基板搬送方向
42a、42b・・・基板の両端部
44a、44b・・・基板支え板
48a、48b・・・コロ
50a、50b・・・クランプ金具
55・・・移動台ステージ
54・・・移動台
41・・・基板搬送方向を示す矢印
51a、51b、51c、51d・・・エアーシリンダ
60a、60b、60c・・・連結治具
61a、61b、61c・・・回転機構部
62b、62c・・・回転用シャフト
65b、65c・・・回転方向を示す矢印
66・・・ガイドレール
67・・・ガイドレール用溝
69・・・基板支え板44bの移動方向を示す矢印
Claims (2)
- 基板の搬送方向に対して直交する方向の基板の左右の両端部を基板保持部で保持して多数の回転コロ上の基板を搬送する搬送装置であって、基板保持部の昇降を1対からなる2組のエアーシリンダで駆動させ、1対のエアーシリンダの内、一方のエアーシリンダ上部には基板保持部が搬送方向と平行な方向に回転可能な機能を有する回転機構部と、他のエアーシリンダ上部には基板保持部が搬送方向と平行な方向に回転可能で且つ可動可能な機能を有する回転機構部と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1に記載の基板搬送装置を用いて前記基板を検査することを特徴とする基板検査装置。
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JP2009144081A JP5387156B2 (ja) | 2009-06-17 | 2009-06-17 | 基板搬送装置及び基板検査装置 |
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