TWM651556U

TWM651556U - 基板運載裝置

Info

Publication number: TWM651556U
Application number: TW112210180U
Authority: TW
Inventors: 李彥志
Original assignee: 聯策科技股份有限公司
Priority date: 2023-09-20
Filing date: 2023-09-20
Publication date: 2024-02-11

Abstract

一種基板運載裝置，包括一待置站、一升降站、以及設於待置站與升降站之間的搬運單元，升降站具有一載台與一位移台，且位移台於至少二空間位置之間作移動，而載台則供一基板處於其一空間位置，而另一空間位置供基板執行工作目的，搬運單元則具有至少一提取機構並用以將基板於待置站與升降站之間作搬運；其中，位移台上設有一定位機構與一承載機構，且定位機構於其一空間位置對基板作定位，而承載機構則將基板由其一空間位置承接至另一空間位置。

Description

基板運載裝置

本創作係與一種工作設備有關，尤指一種對如晶圓、玻璃板等半導體基板，於執行工作目的中進行搬運的基板運載裝置。

對於如生產晶圓或玻璃板等半導體材料的製程中，往往需要對半導體材料進行檢測等作業。而現有的檢測作業，主要係透過機械手臂於存放區與檢測區之間交互拿取基材，以將基板由存放區搬運到檢測區上進行前述檢測作業。

然而，不論在如何精密的自動化設備中，機械手臂將基板放置於檢測區上時，往往都會因機械手臂在運作的過程，而有如左右偏斜或偏差等微量或不穩定的晃動因素存在，使得基板在檢測上會因如焦距或光源而產生誤差，以致讓檢測系統在演算法上發生誤判，因而影響檢測結果。

有鑑於此，本創作人係為改善並解決上述之缺失，乃特潛心研究並配合學理之運用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺失之本創作。

本創作之主要目的，在於可提供一種基板運載裝置，其係可有效確保每次運載基板的置放位置一致，以避免如檢測上發生誤差而影響檢測結果。

為了達成上述之目的，本創作係提供一種基板運載裝置，用以搬運一基板執行一工作目的；該基板運載裝置包括用以放置基板的一待置站、一升降站、以及設於待置站與升降站之間的搬運單元，升降站具有一載台與一位移台，且位移台於至少二空間位置之間作移動，而載台則供基板處於其一空間位置，而另一空間位置供基板執行工作目的，搬運單元則具有至少一提取機構並用以將基板於待置站與升降站之間作搬運；其中，位移台上設有一定位機構與一承載機構，且定位機構於其一空間位置對基板作定位，而承載機構則將基板由其一空間位置承接至另一空間位置。

<本創作>

1:待置站

2:升降站

20:載台

200:感應器

21:位移台

210:支撐架

210a:驅動器

211:定位機構

212:承載機構

3:搬運單元

30:提取機構

4:工作單元

40:移動部

41:工作部

5:基板

6:平台

F1:暫存位置

F2:工作位置

圖1係本創作之俯視示意圖。

圖2係本創作升降站與工作單元之側面示意圖。

圖3係本創作升降站之作動示意圖(一)。

圖4係本創作升降站之作動示意圖(二)。

圖5係本創作升降站之作動示意圖(三)。

圖6係本創作升降站之作動示意圖(四)。

圖7係本創作升降站之作動示意圖(五)。

圖8係本創作升降站之作動示意圖(六)。

圖9係本創作升降站之作動示意圖(七)。

圖10係本創作升降站之作動示意圖(八)。

為了能更進一步揭露本創作之特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作之詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本創作加以限制者。

請參閱圖1及圖2，係分別為本創作之俯視示意圖、以及升降站與工作單元之側面示意圖。本創作係提供一種基板運載裝置，包括至少一待置站1、至少一升降站2、於該待置站1與該升降站2之間作運載的一搬運單元3、以及一工作單元4，並透過該搬運單元3用以搬運一基板5，以使被搬運的基板5能於該待置站1與升降站2之間作運載，而所述基板5可以是晶圓或玻璃板等半導體材料；其中：上述待置站1、升降站2與搬運單元3，係可由一平台6所承載，所述平台6可以是一般機器設備的機台、或是廠房內的地面等平置處；而在本創作所舉之實施例中，該平台6係可為任何機具上的機台，並依序配置該待置站1、搬運單元3與二升降站2，以構成一可單獨執行其工作目的的機器或設備。

上述待置站1可以配置為一或複數以上，並用以供複數基板5置放以便等待進行前述工作目的。請一併參閱圖3所示，上述升降站2亦可配置為一或複數以上，並具有一載台20與一位移台21，該位移台21係可於至少二不重疊的空間位置F1、F2之間作移動，且所述二空間位置F1、F2可分別為一暫存位置F1與一工作位置F2；而在本實施例中，該位移台21係具有位於該載台20上的一支撐架210、以及設於該支撐架210上的一定位機構211與一承載機構212，且所述定位機構211位於所述承載機構212下方，而該支撐架210則可透過一驅動器210a作上、下位移，以使承載機構212可於前述的暫存位置F1與工作位置F2之間作位移。另，該載台20則用於供所述基板5置放，以利於位移台21於二空間位置F1、F2移動時，將基板5由暫存位置F1運載至工作位置F2以執行一工作目的，所述工作目的例如進行檢測等。

再請參閱圖1所示，上述搬運單元3係位於待置站1與二升降站2之間，且該搬運單元3具有至少一提取機構30，所述提取機構30可為一載盤，並用以承載於上述基板5下方；而在本實施例中，所述提取機構30可為複數，例如二個，以分別對二待置站1與二升降站2的基板5進行運載。

再請一併參閱圖1及圖2所示，該工作單元4係具有一通過上述升降站2上方的移動部40、以及至少一於該移動部40上作位移的工作部41，所述工作部41用以對上述基板5執行一工作目的，而所述工作目的可以為進行檢測、或其它必要的作業流程等。而在本創作所舉之實施例中，所述工作部41係視所欲執行的工作目的而設置對應的機具或器材，例如檢驗儀器等。如此，可以透過該工作部41於移動部40上作移動之際，以同時針對一或複數之升降站2上的基板5進行並完成所述的工作目的。

是以，藉由上述之構造組成，即可得到本創作基板運載裝置。

據此，如圖3所示，當上述搬運單元3以其提取機構30由待置站1上拿取任一基板5後，即可轉向升降站2並將所述基板5置放於升降站2的載台20上，以將基板5置於暫存位置F1，即如圖4所示，而此時的基板5於載台20上尚未被精準校正或定位其所在位置。接著，如圖5所示，該載台20上係設有一感應器200，用於感測基板5置放於載台20上，並可通過預設的距離(如基板5置於載台20上的距離到達預設值或設定其它參考數據等)來確保基板5已確實被放置在載台20上，即可透過上述定位機構211由基板5外側向內靠攏，以使基板5能被進一步精準校正並定位至預期的位置上；換言之，透過該定位機構211可確保每次搬運單元3將每一片基板5放置於載台20上後，即可進一步確保每一片基板5的位置一致，即使有因搬運單元3在運作上發生晃動而導致基板5位置偏移等問題，也能透過該定位機構211予以校正至預期的位置上。

再如圖6所示，當上述定位機構211對基板5定位完成後，即可退出基板5外圍。並如圖7所示，透過支撐架210的驅動器210a將支撐架210向下位移，以使承載機構212由工作位置F2移動至暫存位置F1。接著，如圖8所示，由該承載機構212朝向基板5靠攏以承接該基板5後，再如圖9所示，由驅動器210a將支撐架210向上位移，以供承載機構212將該基板5移動至工作位置F2，並透過上述工作單元4之工作部41，對該基板5執行如檢測、或其它必要的作業流程等工作目的。此時，如圖10所示，上述搬運單元3之提取機構30即可將下一片基板5搬運至暫存位置F1處，並將完成所述工作目的的上一片基板5搬運回至待置站1作存放，如此也可以降低基板5的等待時間，達到節少時間及降低作工等效益。

因此，藉由本創作基板運載裝置，可透過定位機構211來確保每次運載基板5的置放位置一致，以避免如檢測上發生誤差而影響檢測結果。同時，也可以透過承載機構212於暫存位置F1與工作位置F2之間作位移，來降低基板5的等待時間，以達到節少時間及降低作工等效益。此外，本創作亦可適用於複數待置站1、複數升降站2與搬運單元3之複數提取機構30的場合上；其中，即如圖1所示，該待置站1與升降站2之數量皆可為二且相鄰排置，而該搬運單元3之二提取機構30可分別對該二待置站1的基板5進行提取或存放，並分別搬運至該二升降站2上。

綜上所述，本創作實為不可多得之新型創作產品，其確可達到預期之使用目的，而解決習知之缺失，又因極具新穎性及進步性，完全符合新型專利申請要件，爰依專利法提出申請，敬請詳查並賜准本案專利，以保障創作人之權利。

惟以上所述僅為本創作之較佳可行實施例，非因此即拘限本創作之專利範圍，故舉凡運用本創作說明書及圖式內容所為之等效結構變化，均同理皆包含於本創作之範圍內，合予陳明。