TWI775956B - 檢查裝置與檢查方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種當檢查金屬掩模片材之後，可分等級地收容金屬掩模片材的檢查裝置。本發明是對安裝於金屬掩模框架之前的金屬掩模片材進行檢查的檢查裝置，其包括：測定部，測定形成於所述金屬掩模片材上的管理點；等級判定部，基於所述測定部的測定結果，對所述金屬掩模片材劃分等級；以及搬運部，基於由所述等級判定部所判定的所述金屬掩模片材的等級，將所述金屬掩模片材搬運至收容各個所述等級的所述金屬掩模片材的收容部。

Description

檢查裝置與檢查方法

本發明是有關於一種檢查金屬掩模片材（metal mask sheet）的檢查裝置及使用所述檢查裝置的檢查方法。

先前，已知有在有機電致發光（electroluminescence，EL）元件的製造工序中對有機發光層進行真空蒸鍍時所使用的進行金屬掩模的外觀檢查等的金屬掩模檢查裝置（例如，參照專利文獻1）。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2004-037134號公報

[發明所欲解決之課題] 然而，金屬掩模是藉由在對帶狀的金屬掩模片材已賦予規定的張力的狀態下在框狀的金屬掩模框架上黏附金屬掩模片材而製造。形成於金屬掩模片材上的開口圖案經加入賦予至金屬掩模片材的張力而縮小尺寸。又，金屬掩模框架的形狀亦是經加入賦予至金屬掩模片材的張力所引起的變形而形成。因此，為了調查賦予至金屬掩模片材的張力，必須在黏附至金屬掩模框架之前檢查金屬掩模片材。

在金屬掩模片材的檢查中，是測量形成於金屬掩模片材上的管理點的尺寸，基於測量結果來確定賦予至金屬掩模片材的張力。具體而言，在檢查裝置中，使用顯微鏡等測量管理點，基於測量結果來進行金屬掩模片材的等級確定。經等級確定的金屬掩模片材被操作者藉由手動操作而放回至產品架，且被操作者藉由手動操作而放置在掩模製造裝置中。但是，為了以高效率製造高精度的金屬掩模，理想的是在對金屬掩模片材劃分等級之後，預先在檢查裝置中分等級地收容金屬掩模片材。

本發明的目的在於提供一種在檢查金屬掩模片材之後，可分等級地收容金屬掩模片材的檢查裝置及使用所述檢查裝置的檢查方法。 [解決課題之手段]

本發明的檢查裝置是檢查安裝於金屬掩模框架上之前的金屬掩模片材的檢查裝置，其包括：測定部，測定形成於所述金屬掩模片材上的管理點；等級判定部，基於所述測定部的測定結果，對所述金屬掩模片材劃分等級；以及搬運部，基於由所述等級判定部所判定的所述金屬掩模片材的等級，將所述金屬掩模片材搬運至收容各個所述等級的所述金屬掩模片材的收容部。

又，本發明的檢查裝置的進而包括檢查所述金屬掩模片材的外觀的外觀檢查部，且所述等級判定部基於所述外觀檢查部的檢查結果，判定所述金屬掩模片材是否適合作為用於製造金屬掩模的構件，所述搬運部在由所述等級判定部判定為所述金屬掩模片材不適合作為用於製造所述金屬掩模的構件時，將所述金屬掩模片材搬運至收容不適合的所述金屬掩模片材的等級外收容部。

又，本發明的檢查裝置的所述等級判定部基於所述測定部的測定結果，判定所述金屬掩模片材是否適合作為用於製造金屬掩模的構件，所述搬運部在由所述等級判定部判定為所述金屬掩模片材不適合作為用於製造所述金屬掩模的構件時，將所述金屬掩模片材搬運至收容不適合的所述金屬掩模片材的等級外收容部。

又，本發明的檢查方法是檢查安裝於金屬掩模框架上之前的金屬掩模片材的檢查方法包括：測定工序，測定形成於所述金屬掩模片材上的管理點；等級判定工序，基於所述測定工序的測定結果，對所述金屬掩模片材劃分等級；以及搬運工序，基於由所述等級判定工序所判定的所述金屬掩模片材的等級，將所述金屬掩模片材搬運至收容各個所述等級的所述金屬掩模片材的收容部。

又，本發明的檢查方法包括檢查所述金屬掩模片材的外觀的外觀檢查工序，且所述等級判定工序是基於所述外觀檢查工序的檢查結果，判定所述金屬掩模片材是否適合作為用於製造金屬掩模的構件，所述搬運工序是在由所述等級判定工序判定為所述金屬掩模片材不適合作為用於製造所述金屬掩模的構件時，將所述金屬掩模片材搬運至收容不適合的所述金屬掩模片材的等級外收容部。

又，本發明的檢查方法的所述等級判定工序是基於所述測定工序的測定結果，判定所述金屬掩模片材是否適合作為用於製造金屬掩模的構件，所述搬運工序是在由所述等級判定工序判定為所述金屬掩模片材不適合作為用於製造所述金屬掩模的構件時，將所述金屬掩模片材搬運至收容不適合的所述金屬掩模片材的等級外收容部。 [發明的效果]

根據本發明，可提供一種在檢查金屬掩模片材之後，可分等級地收容金屬掩模片材的檢查裝置及使用所述檢查裝置的檢查方法。

以下，參照圖式，舉出在有機EL元件的製造工序中對有機發光層進行真空蒸鍍時所使用的檢查金屬掩模片材（安裝於金屬掩模框架上之前的金屬掩模片材）的檢查裝置為例，說明本發明的實施方式的檢查裝置。

圖1是表示所述實施方式的檢查裝置的概略結構的圖。再者，在以下的說明中，設定圖1所示的XYZ正交座標系，一面參照所述正交座標系，一面對各構件的位置關係等進行說明。XY平面是設定在與載置檢查裝置的水平面平行的面上，Z軸是設定在鉛垂方向上。檢查裝置2如圖1所示，包括平台（table）部5、玻璃平台（glass table）部6、檢查部8、框架10、一對導軌12、夾持器（gripper）14、平台部15、吸附部16、一對導軌17、檢查後片材暫時收容部20、檢查後片材收容部22及機器人24。

平台部5是暫時載置經檢查部8檢查的金屬掩模片材4（參照圖2）的矩形的平板。又，玻璃平台部6是藉由檢查部8進行檢查時載置金屬掩模片材4（參照圖2）的矩形的平板。金屬掩模片材4如圖2所示，包括帶狀的金屬薄膜，在金屬掩模片材4的各區域4a內，藉由蝕刻等而形成有多個正方形、圓形、長方形等的開口圖案。又，在各區域4a的周圍，如圖2所示，形成有多個管理點4b。藉由將多個金屬掩模片材4的兩端部依次黏附至構成框狀的金屬掩模框架的相對向的兩條邊上而製造金屬掩模，金屬掩模是在有機EL元件的製造工序中進行有機材料的真空蒸鍍時使用。

檢查部8包括顯微鏡及相機（camera），對載置於玻璃平台部6上的金屬掩模片材4進行檢查。具體而言，檢查部8使用顯微鏡及相機來測定形成於金屬掩模片材4上的管理點4b的位置。又，檢查部8使用顯微鏡及相機來檢查金屬掩模片材4的外觀，例如在金屬掩模片材4上是否附著有異物、開口圖案有無缺陷等。框架10沿X方向（載置於玻璃平台部6上的金屬掩模片材4的長邊方向）可滑動地支持檢查部8。一對導軌12沿Y方向（載置於玻璃平台部6上的金屬掩模片材4的寬度方向）可滑動地支持框架10。

夾持器14至少在利用檢查部8進行檢查的期間內，夾持載置於玻璃平台部6上的金屬掩模片材4的兩端部。又，夾持器14是沿Y方向可移動地構成，在結束利用檢查部8的檢查之後，夾持載置於玻璃平台部6上的金屬掩模片材4的兩端部而移動至平台部5。

平台部15是載置未圖示的金屬掩模片材盒（metal mask sheet case）的矩形的平板。在金屬掩模片材盒內，按照紙、金屬掩模片材4、紙、金屬掩模片材4的順序積層地收容有多塊檢查前的金屬掩模片材4。吸附部16吸附收容在金屬掩模片材盒內的最上方的金屬掩模片材4的上表面，一對導軌17沿Y方向可滑動地支持吸附部16。由吸附部16吸附保持著的金屬掩模片材4藉由吸附部16在一對導軌17上沿Y方向移動，而被搬運至玻璃平台部6為止。

檢查後片材暫時收容部20暫時收容在檢查部8中已結束檢查的金屬掩模片材4。又，檢查後片材收容部22分等級地收容使用機器人24自檢查後片材暫時收容部20搬運的金屬掩模片材4。圖3是表示檢查後片材收容部22的結構的圖。在檢查後片材收容部22中，如圖3所示，設置有收容等級A的金屬掩模片材4的層格22a、層格22b，收容等級B的金屬掩模片材4的層格22c、層格22d，收容等級C的金屬掩模片材4的層格22e、層格22f，及收容等級NG的金屬掩模片材4的層格22g、層格22h。後文將對金屬掩模片材4的等級進行描述。

等級A的金屬掩模片材4是在如圖4所示的載置於托盤23上的狀態下，收容於層格22a、層格22b上。同樣地，等級B的金屬掩模片材4是在載置於托盤23上的狀態下收容於層格22c、層格22d上，等級C的金屬掩模片材4是在載置於托盤23上的狀態下收容於層格22e、層格22f上，等級NG的金屬掩模片材4是在載置於托盤23上的狀態下收容於層格22g、層格22h上。

機器人24是用於載置並搬運金屬掩模片材4的搬運部，包括支持體24a、臂部24b及手（hand）24c。支持體24a是能夠以Z方向為軸進行旋轉且可沿上下方向（Z方向）移動而構成。臂部24b是固定在支持體24a上，可伸縮地構成。又，臂部24b藉由支持體24a旋轉而沿X方向及Y方向移動，且藉由支持體24a上下移動而沿Z方向移動。在臂部24b的前端部設置有手24c，手24c載置金屬掩模片材4。機器人24將已結束檢查的金屬掩模片材4自平台部5搬運至檢查後片材暫時收容部20。又，機器人24將收容於檢查後片材暫時收容部20的金屬掩模片材4搬運至檢查後片材收容部22。

圖5是表示檢查裝置2的系統結構的方塊圖。檢查裝置2如圖5所示，包括統一控制檢查裝置2的各部的控制部26。在控制部26上，連接著檢查部8、機器人驅動部28、夾持器驅動部29、X方向驅動部30、Y方向驅動部32、吸附部驅動部33、儲存部34及輸入部36。

控制部26自檢查部8獲取檢查結果（尺寸測定結果及外觀檢查結果），並基於檢查結果對金屬掩模片材4劃分等級。例如，將形成於金屬掩模片材4上的區域4a的尺寸的相對於設計值的差處於第1規定範圍內的金屬掩模片材設為等級A，將大於第1規定範圍且處於第2規定範圍（＞第1規定範圍）內的金屬掩模片材設為等級B，將大於第2規定範圍且處於第3規定範圍（＞第2規定範圍）內的金屬掩模片材設為等級C，將大於第3規定範圍的金屬掩模片材（不合格品）設為等級NG時，控制部26基於根據藉由檢查部8所測定的管理點4b的位置而算出的區域4a的尺寸，判定金屬掩模片材4屬於等級A、等級B、等級C或等級NG中的何者。又，控制部26基於檢查部8的外觀檢查結果，判定金屬掩模片材4是否適合作為用於製造金屬掩模的構件。控制部26在判定為金屬掩模片材4不適合作為用於製造金屬掩模的構件時，判定為屬於不合格品即等級NG。再者，關於包含第1規定範圍、第2規定範圍及第3規定範圍等的金屬掩模片材4的等級的資訊是預先儲存於儲存部34中。

機器人驅動部28在使金屬掩模片材4自平台部5移動至檢查後片材暫時收容部20時、以及自檢查後片材暫時收容部20移動至檢查後片材收容部22時，使機器人24驅動。控制部26利用機器人驅動部28，將判別為屬於等級A的金屬掩模片材4搬運至檢查後片材收容部22的層格22a或層格22b。同樣地，控制部26利用機器人驅動部28，將判別為屬於等級B的金屬掩模片材4搬運至檢查後片材收容部22的層格22c或層格22d，將判別為屬於等級C的金屬掩模片材4搬運至檢查後片材收容部22的層格22e或層格22f，將判別為屬於等級NG（不適合作為用於製造金屬掩模的構件）的金屬掩模片材4搬運至檢查後片材收容部22的層格22g或層格22h。

夾持器驅動部29使夾持器14沿Y方向移動。X方向驅動部30使支持於框架10上的檢查部8沿X方向滑動。Y方向驅動部32使支持於導軌12上的框架10（甚至支持於框架10上的檢查部8）沿Y方向滑動。吸附部驅動部33使吸附部16沿Y方向移動。儲存部34儲存所述金屬掩模片材4的等級的相關資訊。又，儲存部34亦儲存其他金屬掩模片材的等級的相關資訊。輸入部36將由操作者所輸入的金屬掩模片材的等級的相關資訊輸出至控制部26。控制部26使自輸入部36獲取的金屬掩模片材的等級的相關資訊儲存於儲存部34中。

其次，參照圖式，說明在所述實施方式的檢查裝置2中，檢查金屬掩模片材4的檢查方法。圖6是用於說明在檢查裝置2中檢查金屬掩模片材4時的處理的流程圖。再者，金屬掩模片材4是在檢查裝置2的檢查前，在與其他金屬掩模片材（多塊金屬掩模片材）4一同收容在金屬掩模片材盒內的狀態下藉由操作者等而放置在平台部15上。

首先，控制部26將金屬掩模片材4自平台部15搬運至玻璃平台部6（步驟S10）。即，控制部26藉由經由吸附部驅動部33使吸附部16移動，而使吸附部16吸附保持載置於平台部15上（收容在金屬掩模片材盒內）的金屬掩模片材4的上表面，然後經由吸附部驅動部33使吸附部16移動，而使金屬掩模片材4移動至玻璃平台部6為止。

其次，控制部26測定形成於金屬掩模片材4上的管理點4b（步驟S11）。具體而言，控制部26藉由經由X方向驅動部30及Y方向驅動部32使檢查部8沿框架10及導軌12移動，而使檢查部8移動至測定位置（所測定的區域4a上）為止。然後，控制部26對檢查部8命令測定形成於區域4a的周圍的各管理點4b的位置。檢查部8利用顯微鏡及相機測定各管理點4b的位置，且將測定結果輸出至控制部26。控制部26基於檢查部8中所測定的各管理點4b的位置算出區域4a的尺寸。控制部26在使檢查部8測定形成於其他的區域4a的周圍的管理點4b的位置時，重覆進行步驟S11的處理。再者，只要測定至少一個區域4a的尺寸即可。

其次，控制部26基於步驟S11中所測定的測定結果，對金屬掩模片材4劃分等級（步驟S12）。即，控制部26基於根據檢查部8中所測定的管理點4b的位置而算出的區域4a的尺寸，判定金屬掩模片材4屬於等級A、等級B、等級C或等級NG中的何者。在區域4a的尺寸的相對於設計值的差大於第3規定範圍的金屬掩模片材等，不屬於等級A、等級B或等級C中任一者的情況下，控制部26判定為金屬掩模片材4為等級NG（不合格品：不適合作為用於製造金屬掩模的構件）（步驟S13：是），進入至步驟S16的處理。

另一方面，當判定為金屬掩模片材4不為等級NG時（步驟S13：否），控制部26檢查金屬掩模片材4的外觀（步驟S14）。具體而言，控制部26對檢查部8命令檢查金屬掩模片材4的外觀，檢查部8利用顯微鏡及相機檢查金屬掩模片材4的外觀，例如金屬掩模片材4上是否附著有異物、開口圖案有無缺陷等，且將檢查結果輸出至控制部26。

其次，控制部26基於步驟S14中所檢查的金屬掩模片材4的外觀的檢查結果，判定金屬掩模片材4是否為不合格品（步驟S15）。即，控制部26判定金屬掩模片材4是否適合作為用於製造金屬掩模的構件。例如當金屬掩模片材4上附著有異物時、開口圖案有缺陷時等，控制部26判定為金屬掩模片材4不適合作為用於製造金屬掩模的構件（為不合格品）。

其次，控制部26利用夾持器14將已結束檢查部8的檢查的金屬掩模片材4，自玻璃平台部6搬運至平台部5之後，自平台部5搬運至檢查後片材暫時收容部20（步驟S16）。即，控制部26藉由經由機器人驅動部28使機器人24的支持部24a旋轉並且移動以及使機器人24的臂部24b伸縮，而使載置於平台部5上的金屬掩模片材4載置在機器人24的手24c上，使金屬掩模片材4移動至檢查後片材暫時收容部20為止。

其次，控制部26於步驟S16中收容於檢查後片材暫時收容部20的金屬掩模片材4於步驟S12中被判定為等級A，且步驟S15中被判定為並非不合格品的情況下（步驟S17：是），將金屬掩模片材4自檢查後片材暫時收容部20搬運至檢查後片材收容部22，而收容於檢查後片材收容部22的等級A的層格22a或層格22b中（步驟S18）。具體而言，控制部26經由機器人驅動部28使機器人24的臂部24b伸縮及移動，使收容於檢查後片材暫時收容部20的金屬掩模片材4載置於機器人24的手24c上，然後使機器人24的支持部24a旋轉並且移動以及使機器人24的臂部24b伸縮，藉此使金屬掩模片材4移動至檢查後片材收容部22，而收容在層格22a或層格22b中。

再者，當層格22a中有空位時（於層格22a的托盤23上有收容金屬掩模片材4的空間時），控制部26將等級A的金屬掩模片材4收容在層格22a內。另一方面，當層格22a中無空位時（於層格22a的托盤23上收容有其他金屬掩模片材4，故而無收容金屬掩模片材4的空間的情況），控制部26將等級A的金屬掩模片材4收容在層格22b中。滿滿地收容有金屬掩模片材4的托盤23是利用手動導引車輛（manual guided vehicle，MGV）等而自檢查裝置2搬出。

另一方面，於步驟S16中收容於檢查後片材暫時收容部20的金屬掩模片材4於步驟S12中未被判定為等級A（步驟S17：否），而判定為等級B且在步驟S15中判定為並非不合格品的情況下（步驟S19：是），控制部26將金屬掩模片材4自檢查後片材暫時收容部20搬運至檢查後片材收容部22，而收容於檢查後片材收容部22的等級B的層格22c或層格22d中（步驟S20）。

此外，於步驟S16中收容於檢查後片材暫時收容部20的金屬掩模片材4於步驟S12中未被判定為等級B（步驟S19：否），而判定為等級C且於步驟S15中判定為並非不合格品的情況下（步驟S21：是），控制部26將金屬掩模片材4自檢查後片材暫時收容部20搬運至檢查後片材收容部22，而收容於檢查後片材收容部22的等級C的層格22e或層格22f中（步驟S22）。另一方面，當金屬掩模片材4於步驟S12中未被判定為等級C（步驟S21：否），而於步驟S12或步驟S15中被判定為等級NG時，控制部26自檢查後片材暫時收容部20搬運至檢查後片材收容部22，而收容於檢查後片材收容部22的等級NG的層格22g或層格22h中（步驟S23）。

於步驟S20、步驟S22及步驟S23的處理中，與步驟S18的處理同樣地，控制部26經由機器人驅動部28使機器人24的支持部24a旋轉並且移動以及使機器人24的臂部24b伸縮，藉此使收容於檢查後片材暫時收容部20的金屬掩模片材4載置在機器人24的手24c中，使金屬掩模片材4移動至檢查後片材收容部22為止。又，當層格22c、層格22e、層格22g中有空位時，控制部26將金屬掩模片材4收容在層格22c、層格22e、層格22g中。另一方面，當層格22c、層格22e、層格22g中無空位時，控制部26將金屬掩模片材4收容在層格22d、層格22f、層格22h中。

再者，在所述檢查方法中，亦可在重覆規定次數的步驟S10～步驟S17的處理之後，轉入至步驟S18的處理。例如，亦可使已結束檢查的多塊金屬掩模片材4暫時收容於檢查後片材暫時收容部20之後（為了操作者通過肉眼觀察而進行檢驗等），將多塊金屬掩模片材4搬運至檢查後片材收容部22，而分等級地進行收容。

根據所述實施方式的檢查裝置2及使用所述檢查裝置2的檢查方法，包括基於檢查結果判定金屬掩模片材4的等級的控制部26、以及可分等級地收容金屬掩模片材4的檢查後片材收容部22。因此，在檢查部8中對金屬掩模片材4進行檢查之後，可將金屬掩模片材4分等級地收容於檢查後片材收容部22，因此適用於在使用金屬掩模片材4製造金屬掩模時以高效率製造高精度的金屬掩模。

再者，在所述實施方式中，是測定管理點4b之後，檢查金屬掩模片材4的外觀，但亦可在檢查金屬掩模片材4的外觀之後，測定管理點4b。

又，在所述實施方式中，為了操作者通過肉眼觀察而進行檢驗等，包括檢查後片材暫時收容部20，但亦可設為不含檢查後片材暫時收容部20的結構。當不含檢查後片材暫時收容部20時，金屬掩模片材4在結束檢查並藉由夾持器14而載置於平台部5上之後，藉由機器人24而被搬運至檢查後片材收容部22，分等級地加以收容。

2‧‧‧檢查裝置4‧‧‧金屬掩模片材4a‧‧‧區域4b‧‧‧管理點5、15‧‧‧平台部6‧‧‧玻璃平台部8‧‧‧檢查部10‧‧‧框架12、17‧‧‧導軌14‧‧‧夾持器16‧‧‧吸附部20‧‧‧檢查後片材暫時收容部22‧‧‧檢查後片材收容部22a～22h‧‧‧層格23‧‧‧托盤24‧‧‧機器人24a‧‧‧支持部24b‧‧‧臂部24c‧‧‧手26‧‧‧控制部28‧‧‧機器人驅動部29‧‧‧夾持器驅動部30‧‧‧X方向驅動部32‧‧‧Y方向驅動部33‧‧‧吸附部驅動部34‧‧‧儲存部36‧‧‧輸入部S10～S23‧‧‧步驟A、B、C、NG‧‧‧等級X、Y、Z‧‧‧方向

圖1是表示實施方式的檢查裝置的結構的圖。 圖2是表示實施方式的金屬掩模片材的結構的圖。 圖3是表示實施方式的檢查後片材收容部的結構的圖。 圖4是表示實施方式的托盤（tray）的結構的圖。 圖5是表示實施方式的檢查裝置的系統結構的方塊圖。 圖6是用於說明使用實施方式的檢查裝置來檢查金屬掩模片材的檢查方法的流程圖。

2‧‧‧檢查裝置

5、15‧‧‧平台部

6‧‧‧玻璃平台部

8‧‧‧檢查部

10‧‧‧框架

12、17‧‧‧導軌

14‧‧‧夾持器

16‧‧‧吸附部

20‧‧‧檢查後片材暫時收容部

22‧‧‧檢查後片材收容部

24‧‧‧機器人

24a‧‧‧支持部

24b‧‧‧臂部

24c‧‧‧手

X、Y、Z‧‧‧方向

Claims (6)

1. 一種檢查裝置，檢查安裝於金屬掩模框架之前的金屬掩模片材，所述檢查裝置包括：測定部，測定形成於所述金屬掩模片材上的管理點；等級判定部，基於所述測定部的測定結果，對所述金屬掩模片材劃分等級；收容部，收容由所述等級判定部判定的每個等級的所述金屬掩模片材；搬運部，基於由所述等級判定部所判定的所述等級，將所述金屬掩模片材搬運至所述收容部；以及搬出部，搬出收容在所述收容部中的所述金屬掩模片材，所述收容部具有收容由所述等級判定部判定為第一等級的所述金屬掩模片材的第一層格和第二層格，所述搬運部將所述第一等級的所述金屬掩模片材搬運到所述第一層格，當所述第一層格沒有空位時，所述搬運部將所述第一等級的所述金屬掩模片材輸送到所述第二層格，當所述第一層格沒有空位時，所述搬出部從所述收容部搬出收容在所述第一層格中的所述金屬掩模片材。
2. 如申請專利範圍第1項所述的檢查裝置，其中進而包括：外觀檢查部，檢查所述金屬掩模片材的外觀；且所述等級判定部基於所述外觀檢查部的檢查結果，判定所述 金屬掩模片材是否適合作為用於製造金屬掩模的構件，所述搬運部於由所述等級判定部判定為所述金屬掩模片材不適合作為用於製造所述金屬掩模的構件時，將所述金屬掩模片材搬運至收容不適合的所述金屬掩模片材的等級外收容部。
3. 如申請專利範圍第1項所述的檢查裝置，其中所述等級判定部基於所述測定部的測定結果，判定所述金屬掩模片材是否適合作為用於製造金屬掩模的構件，所述搬運部於由所述等級判定部判定為所述金屬掩模片材不適合作為用於製造所述金屬掩模的構件時，將所述金屬掩模片材搬運至收容不適合的所述金屬掩模片材的等級外收容部。
4. 一種檢查方法，檢查安裝於金屬掩模框架上之前的金屬掩模片材，所述檢查方法包括：測定工序，測定形成於所述金屬掩模片材上的管理點；等級判定工序，基於所述測定工序的測定結果，對所述金屬掩模片材劃分等級；搬運工序，基於由所述等級判定工序所判定的所述金屬掩模片材的等級，將所述金屬掩模片材搬運至收容各個等級的所述金屬掩模片材的收容部；以及搬出工序，搬出收容在所述收容部中的所述金屬掩模片材，所述收容部具有收容由所述等級判定工序判定為第一等級的所述金屬掩模片材的第一層格和第二層格，所述搬運工序將所述第一等級的所述金屬掩模片材搬運到所述第一層格，當所述第一 層格沒有空位時，所述搬運工序將所述第一等級的所述金屬掩模片材輸送到所述第二層格，當所述第一層格沒有空位時，所述搬出工序從所述收容部搬出收容在所述第一層格中的所述金屬掩模片材。
5. 如申請專利範圍第4項所述的檢查方法，其中包括：外觀檢查工序，檢查所述金屬掩模片材的外觀；且所述等級判定工序是基於所述外觀檢查工序的檢查結果，判定所述金屬掩模片材是否適合作為用於製造金屬掩模的構件，所述搬運工序是於由所述等級判定工序判定為所述金屬掩模片材不適合作為用於製造所述金屬掩模的構件時，將所述金屬掩模片材搬運至收容不適合的所述金屬掩模片材的等級外收容部。
6. 如申請專利範圍第4項所述的檢查方法，其中所述等級判定工序是基於所述測定工序的測定結果，判定所述金屬掩模片材是否適合作為用於製造金屬掩模的構件，所述搬運工序是於由所述等級判定工序判定為所述金屬掩模片材不適合作為用於製造所述金屬掩模的構件時，將所述金屬掩模片材搬運至收容不適合的所述金屬掩模片材的等級外收容部。

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