JP6202385B2 - 蒸着マスクの検査方法および蒸着マスクの検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、所望のパターンに設けられた複数の貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクの貫通孔を検査する蒸着マスクの検査方法に係り、とりわけ、貫通孔の検査精度を向上させることができる蒸着マスクの検査方法に関する。また、本発明は、上記蒸着マスクの貫通孔を検査する蒸着マスクの検査装置に係り、とりわけ、貫通孔の検査精度を向上させることができる蒸着マスクの検査装置に関する。

従来、所望のパターンで配列された貫通孔を含む蒸着用のマスクを用い、所望のパターンで薄膜を形成する方法が知られている。そして、昨今においては、例えば有機ＥＬ表示装置の製造時において有機材料を基板上に蒸着する場合等、極めて高価な材料を成膜する際に蒸着が用いられることがある。なお、蒸着用のマスクは、一般的に、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に貫通孔を形成することにより、製造され得る（例えば、特許文献１）。

蒸着用のマスクを用いて蒸着材料を基板に成膜する場合、蒸着材料は、貫通孔の形状に沿って基板上に蒸着され、基板上に画素が形成される。すなわち、貫通孔の形状によって基板上に形成される画素の形状が画定されるため、貫通孔に欠陥が有る場合には、画素の形状精度が損なわれ得るという問題がある。

そこで、貫通孔に欠陥が有るか否かを調べるために、製造された蒸着用のマスクの貫通孔の検査が行われている。この場合、まず、蒸着用のマスクがガラス搬送治具上に載置されて検査装置の搬送ラインにセットされる。ここで、一般的に蒸着用のマスクは極めて薄いことから、蒸着用のマスクの変形を防止して搬送をスムーズに行うために、蒸着用のマスクは、ガラス搬送治具上に載置されて搬送される。続いて、蒸着用のマスクが、カメラで撮像可能な位置に搬送されて、蒸着用のマスクがカメラによって撮像される。こうして撮像されて取得された画像を画像処理することにより、蒸着用のマスクの貫通孔に欠陥が有るか否かが判定される。具体的には、各貫通孔の大きさ、形状、位置などに欠陥が有るか否かが判定される。

このような蒸着用のマスクの検査には、例えば、特許文献２に示すような検査装置を用いることができる。

特開２００４−３９３１９号公報 特開２０００−１９３６０４号公報

画像処理する際には、カメラによって取得された画像において、貫通孔が形成された有効領域が示される検査対象領域が画定され、この検査対象領域における判定対象となる一の貫通孔の画像と、当該貫通孔に隣り合う比較対象となる他の貫通孔とを比較して、検査対象領域が示す有効領域における貫通孔の欠陥の有無が判定される。検査対象領域は、蒸着用のマスクに形成された一対のアライメントマークを用いて画定される。このことにより、蒸着用のマスクが位置ずれした場合であっても、検査対象領域に有効領域の全体を示すことができ、当該有効領域における全ての貫通孔の検査をすることが可能となる。

ところで、蒸着用のマスクの検査効率を向上させるために、ガラス搬送治具上に複数の蒸着用のマスクが載置され、これらの複数の蒸着用のマスクが一度に撮像されて貫通孔の検査を行うことが好適である。この場合、複数の蒸着用のマスクが一度に撮像されることにより、これらの蒸着用のマスクが示されるマスク画像が取得される。取得されたマスク画像において、当該マスク画像に示される蒸着用のマスクごとに有効領域が示される検査対象領域が画定される。画定された各検査対象領域が示す各蒸着用のマスクの有効領域において、貫通孔の欠陥の有無が判定される。

しかしながら、検査治具上に複数の蒸着用のマスクが載置された場合、ガラス搬送治具上に載置された複数の蒸着用のマスクの位置ずれの状態が互いに異なる場合があり得る。この場合、各蒸着用のマスクの検査対象領域を、対応する蒸着用のマスクに合わせて適切に画定することが困難になる。

ここで、図１１を用いて具体的に説明する。図１１は、ガラス搬送治具上に３つの蒸着用のマスク１０１、１０２、１０３が載置され、このうちの一の（左側の）蒸着用のマスク１０１が位置ずれすることなく載置され、残りの二つの（中央および右側の）蒸着用のマスク１０２、１０３が互いに異なるように位置ずれした場合を示している。各蒸着用のマスク１０１、１０２、１０３は、３つの有効領域１０１ａ、１０２ａ、１０３ａを有している。

例えば、図１１（ａ）に示すように、複数の蒸着用のマスク１０１、１０２、１０３のうちの左側の蒸着用のマスク１０１のアライメントマーク１０１ｂの位置に合わせて全ての蒸着用のマスク１０１、１０２、１０３の検査対象領域１０１ｃ、１０２ｃ、１０３ｃを画定した場合、中央および右側の蒸着用のマスク１０２、１０３の検査対象領域１０２ｃ、１０３ｃが、対応する有効領域１０２ａ、１０３ａに対して位置ずれする。このため、当該検査対象領域１０２ｃ、１０３ｃを、対応する有効領域１０２ａ、１０３ａ全体を示すように画定することは困難である。同様に、図１１（ｂ）に示すように、中央の蒸着用のマスク１０２のアライメントマーク１０２ｂの位置に合わせて全ての蒸着用のマスク１０１、１０２、１０３の検査対象領域１０１ｃ、１０２ｃ、１０３ｃを画定した場合、左側および右側の蒸着用のマスク１０１、１０３の検査対象領域１０１ｃ、１０３ｃが、対応する有効領域１０１ａ、１０３ａに対して位置ずれする。このため、当該検査対象領域１０１ｃ、１０３ｃを、対応する有効領域１０１ａ、１０３ａ全体を示すように画定することも困難である。また、図示しないが、右側の蒸着用のマスク１０３のアライメントマーク１０３ｂの位置に合わせて検査対象領域１０１ｃ、１０２ｃ、１０３ｃを画定する場合でも同様である。

このように複数の蒸着用のマスクの位置ずれの状態が互いに異なる場合、各検査対象領域において、対応する有効領域の全体を示すことが困難になる。すなわち、全ての検査対象領域を、複数の蒸着用のマスクのうちのいずれか一の蒸着用のマスクのアライメントマークの位置に基づいて画定した場合、各検査対象領域に対応する蒸着用のマスクの有効領域に合わせて適切に画定することが困難になる。

この対策として、検査対象領域を、有効領域よりも大きい領域で画定することが考えられる。より具体的に説明すると、図１１では、図面を明瞭にするために、検査対象領域が有効領域よりも若干大きく画定されているが、このように検査対象領域を図１１に示すように有効領域より大きくする、あるいは図１１に示すよりも更に大きくすることが対策となり得る。この場合、蒸着用のマスクが多少位置ずれした場合であっても、検査対象領域に、対応する有効領域全体を示すことが可能となる。

しかしながら、有効領域の外側近傍に非検査対象である他の用途の孔などがある場合には、この孔が、大きく画定された検査対象領域に含まれて検査対象になり得る。このことにより、この孔を原因として貫通孔に欠陥が有ると誤って判定されるおそれがあり、この場合には貫通孔の検査精度が低下し得るという問題がある。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、貫通孔の検査精度を向上させることができる蒸着マスクの検査方法および蒸着マスクの検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、
一対のアライメントマークと、複数の貫通孔が形成された有効領域と、を有する蒸着マスクであって、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される前記蒸着マスクが検査治具上に複数載置されて各々の前記蒸着マスクの前記貫通孔を検査する蒸着マスクの検査方法であって、
前記検査治具上に載置された複数の前記蒸着マスクを撮像して当該複数の蒸着マスクが示されるマスク画像を取得する工程と、
取得された前記マスク画像において、前記蒸着マスクごとに前記有効領域が示される検査対象領域を画定する工程と、
画定された前記検査対象領域が示す前記蒸着マスクの前記有効領域における前記貫通孔の欠陥の有無を判定する工程と、を備え、
前記検査対象領域を画定する工程において、複数の前記蒸着マスクのうちの一の前記蒸着マスクに対応する前記検査対象領域は、当該一の蒸着マスクの前記アライメントマークの位置に基づいて画定され、他の前記蒸着マスクに対応する前記検査対象領域は、当該他の蒸着マスクの前記アライメントマークの位置に基づいて画定されることを特徴とする蒸着マスクの検査方法、
を提供する。

本発明による蒸着マスクの検査方法において、前記蒸着マスクは、複数の前記有効領域を有しており、前記検査対象領域を画定する工程において、前記検査対象領域は、対応する前記蒸着マスクに対して前記有効領域ごとに複数画定される、ようにしてもよい。

本発明は、
一対のアライメントマークと、複数の貫通孔が形成された有効領域と、を有する蒸着マスクであって、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される前記蒸着マスクが検査治具上に複数載置されて各々の前記蒸着マスクの前記貫通孔を検査する蒸着マスクの検査装置であって、
前記検査治具上に載置された複数の前記蒸着マスクを撮像して当該複数の蒸着マスクが示されるマスク画像を取得する撮像部と、
前記撮像部により取得された前記マスク画像において前記蒸着マスクごとに前記有効領域が示される検査対象領域を画定する対象領域画定手段と、
前記対象領域画定手段により画定された前記検査対象領域が示す前記蒸着マスクの前記有効領域における前記貫通孔の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段と、を備え、
前記対象領域画定手段は、複数の前記蒸着マスクのうちの一の前記蒸着マスクに対応する前記検査対象領域を、当該一の蒸着マスクの前記アライメントマークの位置に基づいて画定し、他の前記蒸着マスクに対応する前記検査対象領域を、当該他の蒸着マスクの前記アライメントマークの位置に基づいて画定することを特徴とする蒸着マスクの検査装置、
を提供する。

本発明による蒸着マスクの検査装置において、前記蒸着マスクは、複数の前記有効領域を有しており、前記対象領域画定手段は、前記検査対象領域を、対応する前記蒸着マスクに対して前記有効領域ごとに複数画定する、ようにしてもよい。

本発明によれば、貫通孔の検査精度を向上させることができる。

図１は、本発明の一実施の形態を説明するための図であって、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す概略平面図である。 図２は、図１に示す蒸着マスク装置を用いて蒸着する方法を説明するための図である。 図３は、図１に示す蒸着マスクを示す平面図である。 図４は、図３に示す蒸着マスクの部分拡大平面図である。 図５は、図４のＩ−Ｉ線に沿った断面に相当する図である。 図６は、図３に示す蒸着マスクの検査装置を示す概略図である。 図７は、図６に示す検査装置の搬送部によって搬送される蒸着マスクを示す平面図である。 図８は、図６に示す検査装置の第１ユニットを示す概略斜視図である。 図９は、図６に示す検査装置の第１ユニットにおいて得られる検査対象領域を示す図である。 図１０は、図６に示す検査装置における蒸着マスクの検査方法を示すフローチャートである。 図１１（ａ）、（ｂ）は、検査対象領域が対応する蒸着マスクの有効領域に対して位置ずれした状態を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

図１〜図９は本発明による一実施の形態を説明するための図である。以下の実施の形態およびその変形例では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料などの蒸着材料を、後述する複数の貫通孔を介して所望のパターンでガラス基板上に蒸着するために使用される蒸着マスクを例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクに対し、本発明を適用することができる。

なお、本明細書において、「板」、「シート」、「フィルム」の用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念であり、したがって、例えば「金属板」は、「金属シート」や「金属フィルム」と呼ばれる部材と呼称の違いのみにおいて区別され得ない。

さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「直交」、「同一」、「同時」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。

まず、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例について、主に図１〜図５を参照して説明する。ここで、図１は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す概略平面図であり、図２は、図１に示す蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図であり、図３は、図１に示す蒸着マスクを示す平面図である。図４は、蒸着マスクの部分拡大平面図であり、図５は、図４のＩ−Ｉ線に沿った断面に相当する図である。

図１および図２に示された蒸着マスク装置１０は、フレーム開口部１５ａを有し、枠状に形成された金属製のフレーム（金属枠体）１５と、フレーム１５のフレーム開口部１５ａ上に蒸着マスク２０の幅方向（長手方向に直交する方向、横方向）に並列配置された帯状の複数の蒸着マスク２０と、を備えている。このうち蒸着マスク２０は、概略的にはシート状に形成された金属板２１を有している（図５参照）。このような蒸着マスク２０には、多数の貫通孔２５が設けられている。この蒸着マスク装置１０は、図２に示すように、蒸着マスク２０が蒸着対象物である基板、例えばガラス基板９２に対面するようにして蒸着装置９０内に支持され、ガラス基板９２への蒸着材料の蒸着に使用される。

蒸着装置９０内では、フレーム１５のフレーム開口部１５ａ内にガラス基板９２が配置され、不図示の磁石からの磁力によって、蒸着マスク２０と、ガラス基板９２とが密着するようになる。蒸着装置９０内には、この蒸着マスク装置１０を挟んだガラス基板９２の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）９８を収容するるつぼ９４と、るつぼ９４を加熱するヒータ９６とが配置されている。るつぼ９４内の蒸着材料９８は、ヒータ９６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板９２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の貫通孔２５が形成されており、蒸着材料９８はこの貫通孔２５を介してガラス基板９２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８がガラス基板９２の表面に成膜される。

図１および図３に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０は、平面視において帯状の略四角形形状、さらに正確には平面視において帯状の略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０の長手方向に一列状に配置された複数の有効領域２２であって、規則的な配列で複数の貫通孔２５が形成された複数の有効領域２２と、各有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含んでいる。このうち周囲領域２３は、基板へ蒸着されることを意図された蒸着材料が通過する領域ではない。例えば、有機ＥＬディスプレイ装置用の有機発光材料の蒸着に用いられる蒸着マスク２０においては、有効領域２２は、有機発光材料が蒸着して画素を形成するようになる基板（ガラス基板９２）上の区域、すなわち、作製された有機ＥＬディスプレイ装置用基板の表示面をなすようになる基板上の区域に対面する、蒸着マスク２０内の領域のことである。ただし、種々の目的から、周囲領域２３に貫通孔や凹部が形成されていてもよい。図１に示された例において、各有効領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。

図示された例において、複数の有効領域２２は、蒸着マスク２０の長手方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。このような複数の有効領域２２を含む蒸着マスク２０が、その幅方向に配列されて、図１に示す蒸着マスク装置１０が構成されている。一つの有効領域２２が一つの有機ＥＬディスプレイ装置に対応するようになっており、図１に示す蒸着マスク装置１０においては、多面付蒸着が可能となっている。

蒸着マスク２０に形成された貫通孔２５の一例について、図４および図５を主に参照して更に詳述する。ここで図４は、蒸着マスク２０を第１面２０ａ側から示す部分平面図である。また、図５は、図４のＩ−Ｉ線に沿った断面に相当する図である。

図４に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。図４には、各貫通孔２５が、平面視で、略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している例を示している。より具体的には、後述する基材穴３０が、平面視で、略四角形形状あるいは略矩形形状の輪郭を有し、各貫通孔２５に、基材穴３０が一つずつ形成されている。

図４および図５に示すように、蒸着マスク２０は、第１面２１ａと、第１面２１ａとは反対側に設けられた第２面２１ｂと、を含む金属板（金属基材）２１を有している。金属板２１の第２面２１ｂは、蒸着時（すなわち、蒸着装置９０内に取り付けられた際）には、ガラス基板９２の側に配置される。

金属板２１は、３６％Ｎｉインバー材により形成することができ、金属板２１の厚さは、例えば、１０μｍ〜１００μｍとすることが好適である。

複数の貫通孔２５は、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側となる第１面２０ａと、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側となる第２面２０ｂと、の間を延びている。すなわち、貫通孔２５は蒸着マスク２０を貫通している。

図示された例では、金属板２１に基材穴３０が設けられている。すなわち、蒸着マスク２０の法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１にエッチングによって基材穴３０が形成されている。図４および図５には、貫通孔２５を構成する基材穴３０が、第１面２１ａの側から第２面２１ｂの側へ向けて、断面積（蒸着マスク２０の平面視における面積）がしだいに小さくなるように形成されている例が示されている。そして、基材穴３０の壁面３１と、金属板２１の第２面２１ｂとが、周状の接続部３５を介して接続されている。接続部３５は、蒸着マスクの法線方向に対して傾斜した基材穴３０の壁面３１と、第２面２１ｂとが合流する合流線によって画成されている。この接続部３５において、貫通孔２５の断面積が最も小さくなっている。

基材穴３０は、金属板２１の第１面２１ａをエッチングすることにより形成される。エッチングによって形成される穴（または凹部）の壁面は、一般的に、浸食方向に向けて凸となる曲面状となる。したがって、エッチングによって形成された穴の壁面は、エッチングの開始側となる領域において切り立ち、エッチングの開始側とは反対側となる領域、すなわち穴の最も深い側においては、金属板２１の法線方向に対して比較的に大きく傾斜するようになる。

図２に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、図５に二点鎖線で示すように、蒸着マスク２０の金属板２１の第１面２０ａが蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し、金属板２１の第２面２０ｂがガラス基板９２に対面する。したがって、蒸着材料９８は、次第に断面積が小さくなっていく基材穴３０を通過してガラス基板９２に付着する。

上述したように、本実施の形態では、貫通孔２５が各有効領域２２において所定のパターンで配置されている。一例として、蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）が携帯電話やデジタルカメラ等のディスプレイ（２〜５インチ程度）を作製するために用いられる場合、貫通孔２５の配列ピッチＰは、５８μｍ（４４０ｐｐｉ）以上２５４μｍ（１００ｐｐｉ）以下程度とすることができる。なお、カラー表示を行いたい場合には、貫通孔２５が配列されている方向に沿って蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）とガラス基板９２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていってもよい。また、蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）が携帯電話のディスプレイを作製するために用いられる場合、各貫通孔２５が配列されている方向に沿った幅（スリット幅）Ｗは、２８μｍ以上８４μｍ以下程度とすることができる。

なお、蒸着マスク装置１０は、高温雰囲気となる蒸着装置９０の内部に保持される。したがって、蒸着マスク２０およびフレーム１５は、蒸着マスク２０やフレーム１５に撓みや熱応力が発生することを防止するため、熱膨張率が低い同一の材料によって形成されていることが好ましい。このような材料として、例えば、３６％Ｎｉインバー材を用いることができる。

次に、上述した蒸着マスク２０の貫通孔２５を検査するための蒸着マスクの検査装置４０について図６乃至図９を用いて説明する。検査装置４０は、蒸着マスク２０の有効領域２２に形成された多数の貫通孔２５の欠陥の有無を検査するためのものであり、本実施の形態においては、検査効率を向上させるために、各々が５つの有効領域２２を有する４つの蒸着マスク２０が１度に検査されるようになっている。すなわち、４つの蒸着マスク２０が、搬送方向Ｐに直交する方向に並列配置（横方向に並んで配置）されて検査治具（搬送治具）７０に載置され、検査装置４０内で搬送されて検査される。この場合、各蒸着マスク２０の長手方向が、蒸着マスク２０の搬送方向Ｐに沿うようになり、蒸着マスク２０の５つの有効領域２２が、搬送方向Ｐに沿って配列される。

ここで、図６は、蒸着マスクの検査装置４０を示す概略図であり、図７は、検査装置４０の搬送部４３によって搬送される蒸着マスク２０を示す平面図である、図８は、検査装置４０の第１ユニット５０を示す概略斜視図であり、図９は、検査装置４０の第１ユニット５０において得られる検査対象領域を示す図である。なお、当然のことながら、検査治具７０に載置される蒸着マスク２０の個数は、４つに限られることはなく、１つでも複数でもよく、任意とすることができる。また、各蒸着マスク２０の有効領域２２の個数も５つに限られず、１つでも複数でもよく、任意とすることができる。

図６に示すように、検査装置４０は、蒸着マスク２０が搬入される搬入部４１と、検査対象となる蒸着マスク２０の各々を撮像する第１ユニット５０と、貫通孔２５の欠陥が有ると判定された蒸着マスク２０の欠陥部位を撮像する第２ユニット６０と、蒸着マスク２０が搬出される搬出部４２と、を備えている。搬入部４１に搬入された蒸着マスク２０は、搬送部４３によって搬送され、第１ユニット５０および第２ユニット６０にこの順で搬送されて搬出部４２から搬出されるようになっている。

搬送部４３は、複数の搬送ローラ（コロ）４３ａを含んでいる。これらの搬送ローラ４３ａ上に、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０が載せられ、蒸着マスク２０が搬送されるようになっている。この際、検査治具７０は、後述するステージ４３ｃによって保持されながら搬送される。

すなわち、搬送部４３は、蒸着マスク２０の搬送方向Ｐに延びるリニア駆動部４３ｂと、リニア駆動部４３ｂにより搬送方向Ｐに移動するステージ４３ｃ（可動部）と、を更に含んでいる。

ステージ４３ｃには、複数の支柱４３ｄが設けられている。各支柱４３ｄの上部には、図６および図７に示すように、ハンドアーム４３ｅを介して押圧ローラ４３ｆが設けられている。これらの支柱４３ｄ、ハンドアーム４３ｅおよび押圧ローラ４３ｆは、搬送ローラ４３ａに干渉することなく形成されている。押圧ローラ４３ｆは、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０の前後端面（搬送方向Ｐの上流側端面および下流側端面）および左右端面（横方向の端面）に当接して、これらの各端面を押圧するようになっている。検査治具７０の各端面が押圧ローラ４３ｆに押圧されることにより、検査治具７０がステージ４３ｃによって保持される。このようにして、検査治具７０が、ステージ４３ｃによって保持されて、搬送ローラ４３ａ上で搬送されるようになっている。なお、押圧ローラ４３ｆは、検査治具７０の変形や破損などを防止するために、ゴムなどの弾力性を有する材料により形成されていることが好適である。また、各押圧ローラ４３ｆは、検査治具７０を押圧して保持する保持位置と、検査治具７０の搬入および搬出を可能にする解放位置とに選択的に位置付けられるように構成されている。なお、これらの押圧ローラ４３ｆは、図８においては、図面を明瞭にするために省略されている。

図６および図８に示すように、第１ユニット５０は、蒸着マスク２０の有効領域２２を撮像する４つの第１カメラ（撮像部）５１と、第１光源５２と、を有している。第１カメラ５１は、搬送される蒸着マスク２０の上方に配置され、第１光源５２は、第１カメラ５１の下方であって検査治具７０の下方に配置されている。第１光源５２が蒸着マスク２０を下方から照明することにより、第１カメラ５１は、照明された４つの蒸着マスク２０を上方から撮像してこれら４つの蒸着マスク２０が示されるマスク画像（画像）８０（図９参照）を取得する。すなわち、本実施の形態における第１ユニット５０では、蒸着マスク２０は透過光検査される。このことにより、反射光検査よりも、蒸着マスク２０の表面形状に応じて光が反射して画像が不鮮明になることを防止し、画像処理による検査精度を向上させることができる。

図８においては、４つの第１カメラ５１が、蒸着マスク２０の搬送方向Ｐに直交する方向に一列状に配置されている例が示されている。各第１カメラ５１は、搬送される各蒸着マスク２０の上方に配置されており、各第１カメラ５１が自身の下方で搬送される蒸着マスク２０を撮像する。この際、蒸着マスク２０は搬送されながら第１カメラ５１によって撮像され、各第１カメラ５１は、蒸着マスク２０を連続的に撮像（スキャニング）する。このことにより、４つの第１カメラ５１によって、４つの蒸着マスク２０が示されるマスク画像８０が取得される。すなわち、各第１カメラ５１は撮像によって個別画像を取得するが、これらの個別画像は、全体として、４つの蒸着マスク２０が示されるマスク画像８０となる。マスク画像８０には、各蒸着マスク２０の５つの有効領域２２が、すなわち合計で２０個の有効領域２２が示される。

マスク画像８０を取得するためには、第１カメラ５１の個数は４つに限られることはなく、１つでも複数でもよく任意であり、また、４つの蒸着マスク２０が示されるマスク画像８０を取得できれば、第１カメラ５１の個数は搬送される蒸着マスク２０の個数に依存させなくてもよい。また、１つの第１カメラ５１で１つ以上の蒸着マスク２０を撮像する場合には、当該第１カメラ５１が撮像することにより取得された１つの個別画像がマスク画像８０となる。

各第１カメラ５１は制御部４４に接続されており、各第１カメラ５１で取得されたマスク画像は制御部４４に送信される。制御部４４は、送信されたマスク画像に基づいて、蒸着マスク２０の有効領域２２における貫通孔２５の欠陥の有無を判定する。

すなわち、制御部４４は、図６に示すように、送信されたマスク画像８０において蒸着マスク２０ごとに有効領域２２が示される検査対象領域８１（図９参照）を画像処理によって画定する対象領域画定手段４４ａと、対象領域画定手段４４ａにより画定された検査対象領域８１が示す有効領域２２における貫通孔２５の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段４４ｂと、を有している。

このうち対象領域画定手段４４ａは、複数の蒸着マスク２０のうちの一の蒸着マスク２０に対応する検査対象領域を、当該一の蒸着マスク２０のアライメントマーク２７（図３参照）の位置に基づいて画定し、他の蒸着マスク２０に対応する検査対象領域を、当該他の蒸着マスク２０のアライメントマーク２７の位置に基づいて画定する。

ここで、各蒸着マスク２０は、一対のアライメントマーク２７を有している。図３においては、アライメントマーク２７は、蒸着マスク２０の金属板２１を貫通する平面視で円形状の孔として形成されている例が示されているが、このことに限られることはない。例えば、孔は円形状に限られることはなく、矩形状、三角形状など孔の形状は任意とすることができる。また、アライメントマーク２７は、孔に限られることはなく、例えば、所望の樹脂材料を蒸着マスク２０の金属板２１上に印刷等することによって構成させることもできる。すなわち、アライメントマークとの用語は、上述したような孔や印刷などによって形成されたものを含む概念として用いており、検査対象領域を画定する際のアライメントとして使用できるものであれば、特に限られることはない。なお、一対のアライメントマーク２７は、蒸着マスク２０の長手方向の両端部に配置されている。このことにより、蒸着マスク２０の位置ずれ状態を精度良く読み取って、検査対象領域を画定する際、蒸着マスク２０の位置ずれ状態を精度良く反映させることができ、検査対象領域を精度良く画定することができる。

蒸着マスク２０の有効領域２２が矩形状に形成されている場合、検査対象領域も有効領域２２と同様にして矩形状に形成される。この場合、検査対象領域に、対応する有効領域２２の全体を効率良く示すことができる。例えば、アライメントマーク２７と検査対象領域の各辺との距離を予め定めておき、この定められた距離に基づいて、マスク画像内のアライメントマーク２７からの各辺の位置を決めるとともに、一対のアライメントマーク２７を結ぶ線分の方向に各辺を沿わせることによって、検査対象領域を、アライメントマーク２７の位置に基づいて画定することができる。

ところで、上述したように、蒸着マスク２０は、５つの有効領域２２を有している。このことにより、対象領域画定手段４４ａは、検査対象領域を、対応する蒸着マスク２０に対して有効領域２２ごとに複数画定する。本実施の形態においては、一の蒸着マスク２０に対して（関連付けられて）５つの有効領域２２ごとに５つの検査対象領域が画定される。なお、後述する貫通孔２５の欠陥の有無の判定が可能であれば、検査対象領域８１は、有効領域２２ごとに画定することに限られず、複数の有効領域２２を示す（含む）ように画定されてもよい。

以下に、制御部４４が行う各検査対象領域の画定方法の具体例について、図９を用いて説明する。なお、図９では、図面を明瞭にするために、３つの蒸着マスク（第１蒸着マスク８１、第２蒸着マスク８２および第３蒸着マスク８３）が示されたマスク画像８０であって、各蒸着マスク８１、８２、８３が３つの有効領域８１ａ、８２ａ、８３ａを有している場合のマスク画像８０の例を示している。

例えば、図９に示すように、３つの蒸着マスク８１、８２、８３のうち第１蒸着マスク８１（左側の蒸着マスク）については、第１蒸着マスク８１のアライメントマーク８１ｂの位置に基づいて、第１蒸着マスク８１の有効領域８１ａごとに検査対象領域８１ｃが画定される。ここでは、第１蒸着マスク８１は、位置ずれすることなく検査治具７０上の所定の位置に配置されている例を示しているが、この場合においても、第１蒸着マスク８１のアライメントマーク８１ｂの位置に基づいて、第１蒸着マスク８１の検査対象領域８１ｃが画定される。このことにより、第１蒸着マスク８１の各検査対象領域８１ｃに、対応する有効領域８１ａの全体を示すことができる。

第２蒸着マスク８２（中央の蒸着マスク）については、第２蒸着マスク８２のアライメントマーク８２ｂの位置に基づいて、第２蒸着マスク８２の有効領域８２ａごとに検査対象領域８２ｃが画定される。ここでは、第２蒸着マスク８２は、その上端部が右側に位置ずれするとともに下端部が左側に位置ずれしている例を示している。第２蒸着マスク８２の検査対象領域８２ｃは、第２蒸着マスク８２のアライメントマーク８２ｂの位置に基づいて画定される。このことにより、第２蒸着マスク８２の各検査対象領域８２ｃに、対応する有効領域８２ａの全体を示すことができる。

第３蒸着マスク８３（右側の蒸着マスク）については、第３蒸着マスク８３のアライメントマーク８３ｂの位置に基づいて、第３蒸着マスク８３の有効領域８３ａごとに検査対象領域８３ｃが画定される。ここでは、第３蒸着マスク８３は、その上端部が左側に位置ずれするとともに下端部が右側に位置ずれしている例を示している。第３蒸着マスク８３の検査対象領域８３ｃは、第３蒸着マスク８３のアライメントマーク８３ｂの位置に基づいて画定される。このことにより、第３蒸着マスク８３の各検査対象領域８３ｃに、対応する有効領域８３ａの全体を示すことができる。

このようにして、図９に示す例においては、マスク画像８０において９つの検査対象領域８１ｃ、８２ｃ、８３ｃが画定される。すなわち、蒸着マスク２０の個数、有効領域２２の個数によらずに、各検査対象領域を対応する有効領域２２の全体が示されるように画定することができる。

図６に示す制御部４４の欠陥判定手段４４ｂは、対象領域画定手段４４ａにより画定されたマスク画像８０の各検査対象領域において、各貫通孔２５の欠陥の有無を判定する。

具体的には、欠陥判定手段４４ｂは、検査対象領域８１における判定対象となる一の貫通孔２５の画像と、当該貫通孔２５に隣り合う比較対象となる他の貫通孔２５の画像とを比較して、判定対象の貫通孔２５の欠陥の有無を判定する。例えば、図４に示すように貫通孔２５が格子状に配置されている場合には、検査対象となる一の貫通孔２５に隣り合う他の４つの貫通孔２５の画像が比較対象となる。欠陥判定手段４４ｂは、判定対象の貫通孔２５の画像と、比較対象の貫通孔２５の画像との間に、大きさ、形状、位置などの相違が有るか否かを画像処理によって判定する。相違が有ると判定されると、当該判定対象の貫通孔２５に欠陥が有ると判定される。欠陥判定手段４４ｂは、このような判定を各検査対象領域８１において全ての貫通孔２５に対して行う。欠陥が有ると判定された場合、欠陥を有する貫通孔２５（欠陥部位）の位置（座標）を示す欠陥情報が作成されて記憶される。

このような制御部４４は、ハードウェアとしてのコンピュータの機能を有しており、このコンピュータに予め記憶されたソフトウェアとしてのコンピュータプログラムを実行することにより、上述した画像処理を実現することができるように構成されている。このことにより、蒸着マスク２０の貫通孔２５の検査を行うことが可能となっている。

図６に示すように、第１カメラ５１の上流側には、蒸着マスク２０が載置されている検査治具７０の下面に清浄な空気を吹き付ける空気吹き付け部４５が設けられていてもよい。この場合、空気吹き付け部４５は、搬送される検査治具７０の下方に配置され、第１カメラ５１によって撮像される前に、検査治具７０の下面に下方から清浄な空気を吹き付けることができる。このことにより、検査治具７０の下面に異物が付着している場合には、このような異物を除去することができ、異物によって蒸着マスク２０の有効領域２２に欠陥が有ると誤って判定されることを防止できる。

第２ユニット６０は、欠陥判定手段４４ｂにおいて欠陥が有ると判定された蒸着マスク２０の有効領域２２における欠陥部位を撮像する第２カメラ（第２の撮像部）６１と、第２光源６２と、を有している。第２カメラ６１は、搬送される蒸着マスク２０の上方に配置され、第２光源６２は、第２カメラ６１の下方であって検査治具７０の下方に配置されている。第２光源６２が蒸着マスク２０を下方から照明することにより、第２カメラ６１は、蒸着マスク２０の欠陥部位を上方から撮像する。また、蒸着マスク２０の上方には、反射光用光源６３が更に設けられている。この反射光用光源６３は、上方から蒸着マスク２０を照明するようになっており、第２カメラ６１は、反射光用光源６３により上方から照明された蒸着マスク２０の欠陥部位を上方から撮像することもできる。すなわち、本実施の形態における第２ユニット６０では、蒸着マスク２０は透過光検査および反射光検査され、オペレータによる検査精度を向上させている。なお、第２カメラ６１は、図示しないカメラ駆動部によって横方向（図６の紙面に垂直な方向）に移動するようになっている。

上述した搬送部４３、第２カメラ６１およびカメラ駆動部は、制御部４４に接続されている。制御部４４は、欠陥判定手段４４ｂにおいて作成された欠陥情報に基づいて、搬送部４３、第２カメラ６１およびカメラ駆動部を制御するようになっている。具体的には、搬送された蒸着マスク２０の欠陥部位が、搬送方向Ｐにおいて第２カメラ６１の下方位置に達して停止するように搬送部４３を制御するとともに、第２カメラ６１が横方向において当該欠陥部位に位置合わせされるように、カメラ駆動部を制御する。そして、第２カメラ６１が欠陥部位に位置合わせされた後、制御部４４は、当該欠陥部位を撮像し欠陥画像を取得するように第２カメラ６１を制御する。

また、制御部４４は、第２カメラ６１により取得された欠陥画像を表示する表示部（図示せず）を含んでいる。表示部に表示された欠陥画像は、オペレータによって観察されるようになっている。

ところで、蒸着マスク２０が載置される検査治具７０は、概略的には平板状に形成されている。検査治具７０の材料としては、蒸着マスク２０を搬送するために所望の強度を有していれば特に限られるものではなく、例えば、ガラス、金属材料、樹脂材料（例えば、アクリル、ポリカーボネートなど）などを好適に用いることができる。例えば、ガラスによって検査治具７０を形成する場合、検査治具７０を、搬送方向長さを１１００ｍｍ、幅方向長さを１３００ｍｍ、厚さを１．２ｍｍで形成することができる。

また、検査治具７０は、その前後端面および左右端面が、蒸着マスク２０より外側に突出するように形成されている。言い換えると、蒸着マスク２０は、検査治具７０から外側に突出しないように検査治具７０上に載置される。このことにより、上述した搬送部４３の押圧ローラ４３ｆは、検査治具７０の各端面を押圧した場合であっても、蒸着マスク２０に接触することを防止できる。

次に、このような蒸着マスクの検査方法について、主に図１０を用いて説明する。ここで、図１０は、蒸着マスク２０の検査方法を示すフローチャートである。

まず、検査治具７０を準備する（ステップＳ１）。

続いて、検査治具７０上に４つの蒸着マスク２０が載置される（ステップＳ２）。この場合、蒸着マスク２０の長手方向が搬送方向Ｐに沿うとともに、搬送方向Ｐに直交する方向に並列配置されるように検査治具７０上に載置される。蒸着マスク２０は、例えば、両面テープ（図示せず）を介して検査治具７０に固定することができる。両面テープは、例えば、検査治具７０上に載置された蒸着マスク２０が搬送中にずれることを防止できれば、任意の位置に貼り付けることができる。また、両面テープは、蒸着マスク２０が搬送中にずれることを防止できれば、粘着力を弱くすることが好適である。なお、検査治具７０上には、予め他のアライメントマーク（図示せず）を設けておき、この他のアライメントマークに蒸着マスク２０を位置合わせすることが好適である。このことにより、検査治具７０に対する蒸着マスク２０の位置精度を向上させることができる。なお、両面テープの代わりに、接着剤を用いて、蒸着マスク２０を検査治具７０に固定するようにしてもよい。

次に、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０が、検査装置４０の搬入部４１に搬入される（ステップＳ３）。この際、検査治具７０は、搬送部４３の搬送ローラ４３ａ上に載置される。また、この際、搬送部４３の押圧ローラ４３ｆ（図７参照）は、検査治具７０の搬入を可能にする解放位置に位置付けられており、押圧ローラ４３ｆの間に検査治具７０が搬入される。検査治具７０が搬入されて載置された後、各押圧ローラ４３ｆが、搬入された検査治具７０の前後端面および左右端面を押圧して保持する保持位置に位置付けられる。このことにより、各押圧ローラ４３ｆが検査治具７０の各端面を押圧し、検査治具７０が搬送部４３のステージ４３ｃによって保持される。

続いて、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０は、搬送部４３によって、搬入部４１から搬送方向Ｐに搬送される（ステップＳ４）。具体的には、搬送部４３のリニア駆動部４３ｂが駆動されてステージ４３ｃが搬送方向Ｐに移動し、これにより、蒸着マスク２０が搬送される。

搬送されている蒸着マスク２０が空気吹き付け部４５の上方位置に達すると、検査治具７０の下面に、空気吹き付け部４５から清浄な空気が吹き付けられる。このことにより、検査治具７０の下面に異物が付着している場合には、当該異物を除去することができる。

続いて、蒸着マスク２０は、空気吹き付け部４５の上方位置から第１ユニット５０の第１カメラ５１の下方位置に搬送される。第１カメラ５１の下方位置に達すると、各第１カメラ５１が、有効領域２２を含む蒸着マスク２０を撮像する（ステップＳ５）。この際、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０が搬送されながら蒸着マスク２０が撮像され、各第１カメラ５１は、搬送される蒸着マスク２０を連続的に撮像（スキャニング）する。このことにより、４つの蒸着マスク２０が示されたマスク画像が取得される。なお、搬送されてきた検査治具７０の前側端面（搬送方向下流側端面）が図示しないセンサによって検出されて、このセンサによる前側端面の検出に基づいて第１カメラ５１が作動して蒸着マスク２０が撮像されることが好適である。取得されたマスク画像は、制御部４４に送信される。

マスク画像が制御部４４に送信されると、制御部４４の対象領域画定手段４４ａは、当該マスク画像において、マスク画像に示される蒸着マスク２０ごとに有効領域２２が示される検査対象領域を画像処理によって画定する（ステップＳ６）。この際、各検査対象領域は、複数の蒸着マスク２０のうちの一の蒸着マスク２０に対応する検査対象領域を、当該一の蒸着マスク２０のアライメントマーク２７（図３参照）の位置に基づいて画定し、他の蒸着マスク２０に対応する検査対象領域を、当該他の蒸着マスク２０のアライメントマーク２７の位置に基づいて画定する。また、検査対象領域は、対応する蒸着マスク２０に対して有効領域２２ごとに複数画定される。例えば、図９に示すマスク画像８０においては、第１蒸着マスク８１のアライメントマーク８１ｂの位置に基づいて、第１蒸着マスク８１の３つの有効領域８１ａに対応させて３つの検査対象領域８１ｃが画定され、第２蒸着マスク８２のアライメントマーク８２ｂの位置に基づいて、第２蒸着マスク８２の３つの有効領域８２ａに対応させて３つの検査対象領域８２ｃが画定され、さらに、第３蒸着マスク８３のアライメントマーク８３ｂの位置に基づいて、第３蒸着マスク８３の３つの有効領域８３ａに対応させて３つの検査対象領域８３ｃが画定される。

次に、制御部４４の欠陥判定手段４４ｂが、検査対象領域８１における判定対象となる一の貫通孔２５の画像と、当該貫通孔２５に隣り合う比較対象となる他の貫通孔２５の画像とを比較して、判定対象の貫通孔２５の欠陥の有無を判定する（ステップＳ７）。この際、欠陥判定手段４４ｂは、判定対象の貫通孔２５の画像と、比較対象の貫通孔２５の画像との間に、大きさ、形状、位置などの相違が有るか否かを画像処理によって判定する。相違が有ると判定されると、当該判定対象の貫通孔２５に欠陥が有ると判定される。そして、欠陥判定手段４４ｂは、このような判定を各検査対象領域８１において全ての貫通孔２５に対して行う。有効領域２２に貫通孔２５の欠陥が有ると判定された場合、制御部４４において欠陥情報が作成されて記憶される。

続いて、欠陥判定手段４４ｂにおいて貫通孔２５の欠陥が有ると判定された蒸着マスク２０が再検査される（ステップＳ８）。具体的には、当該蒸着マスク２０の有効領域２２における欠陥部位が検査される。

この場合、まず、欠陥情報に基づいて、蒸着マスク２０の欠陥部位が、搬送方向Ｐにおいて第２カメラ６１の下方位置に達するように蒸着マスク２０が搬送されて停止する。これと同時に、またはこの前若しくは後に、第２カメラ６１が幅方向において当該欠陥部位に位置合わせされる。このようにして、第２カメラ６１が当該欠陥部位に平面的に位置合わせされる。その後、第２カメラ６１が、当該欠陥部位を撮像し、欠陥部位画像が取得される。取得された欠陥部位画像は制御部４４の表示部に表示され、表示された欠陥部位画像をオペレータが観察し、欠陥の有無がオペレータによって判定される。この際、オペレータは、透過光検査による欠陥部位画像と反射光検査による欠陥部位画像とを観察して欠陥の有無を判定する。このようにして、再検査が行われる。

再検査が終了した後、蒸着マスク２０は搬出部４２に向けて搬送される。なお、欠陥判定手段４４ｂにおいて複数の欠陥部位が有ると判定された場合には、複数の欠陥部位が順次検査される。また、欠陥判定手段４４ｂにおいて欠陥部位が無いと判定された蒸着マスク２０は、第２カメラ６１の下方位置で停止することなく、搬出部４２に向けて搬送される。

その後、蒸着マスク２０は搬出部４２に達する。搬出部４２に達した蒸着マスク２０は、検査治具７０に固定された状態で、搬出部４２から搬出される（ステップＳ９）。この場合、搬送部４３の押圧ローラ４３ｆは、検査治具７０の前後端面および左右端面から離れて、検査治具７０の搬出を可能にする解放位置に位置付けられる。このことにより、検査治具７０が搬出される。

搬出された蒸着マスク２０は、検査治具７０から取り外される（ステップＳ１０）。この際、蒸着マスク２０を検査治具７０に固定していた両面テープの粘着力を弱くしている場合には、蒸着マスク２０が変形することを防止できる。取り外された蒸着マスク２０は、上述した再検査の結果に基づいて、正常品と不良品とに振り分けられる。

このように本実施の形態によれば、複数の蒸着マスク２０が示されるマスク画像から蒸着マスク２０ごとに有効領域２２を含む検査対象領域が画定され、一の蒸着マスク２０に対応する検査対象領域は、当該一の蒸着マスク２０のアライメントマーク２７の位置に基づいて画定され、他の一の蒸着マスク２０に対応する検査対象領域は、当該他の一の蒸着マスク２０のアライメントマーク２７の位置に基づいて画定される。このことにより、検査対象領域を、対応する蒸着マスク２０の位置ずれ状態を加味し、補正して画定することができる。このため、検査治具７０上に複数の蒸着マスク２０が互いに異なる位置ずれ状態で載置された場合であっても、各検査対象領域に、対応する有効領域２２の全体を示すことができる。この場合、検査対象領域を、有効領域２２の全体を示すために、対応する有効領域２２よりも過度に大きい領域で画定することを不要とすることができる。すなわち、検査対象領域を、対応する有効領域２２の形状に近づけるまたは略一致させることができ、有効領域２２の外側近傍に非検査対象である他の用途の孔などがある場合においても、このような他の用途の孔が検査対象または比較対象となることを防止できる。このため、このような他の用途の孔などによって貫通孔２５に欠陥が有ると判定されることを防止でき、貫通孔２５の検査精度を向上させることができる。

また、本実施の形態によれば、上述したように、蒸着マスク２０の有効領域２２に貫通孔２５の欠陥が有ると誤って判定されることが防止されるため、欠陥が有ると判定された場合に行われる蒸着マスク２０の無用な再検査を回避することができる。このため、検査効率を向上させることができ、タクトアップが可能となる。

また、本実施の形態によれば、上述したように、検査治具７０上に蒸着マスク２０が位置ずれした場合であっても、各検査対象領域に、対応する有効領域２２の全体を示すことができる。このため、有効領域２２に形成されている全ての貫通孔２５を検査することができ、貫通孔２５の検査精度を向上させることができる。

また、本実施の形態によれば、検査対象領域は、対応する蒸着マスク２０の有効領域２２ごとに複数画定される。このことにより、有効領域２２ごとに貫通孔２５の欠陥の有無を判定することができ、貫通孔２５の検査精度を向上させることができる。

以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による蒸着マスクの検査方法および蒸着マスクの検査装置は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。

例えば、上述した本実施の形態においては、蒸着マスク２０は、その長手方向が搬送方向Ｐに沿うように検査治具７０上に載置される例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸着マスク２０は、その長手方向が搬送方向Ｐに直交する方向に沿うように検査治具７０上に載置されてもよい。

また、上述した本実施の形態においては、蒸着マスク２０の一対のアライメントマーク２７は、蒸着マスク２０の長手方向の両端部に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸着マスク２０の位置ずれを精度良く読み取ることができれば、アライメントマーク２７の位置は任意である。

また、上述した本実施の形態においては、制御部４４の欠陥判定手段４４ｂが、判定対象となる一の貫通孔２５の画像と、当該貫通孔２５に隣り合う比較対象となる他の貫通孔２５の画像とを比較して、判定対象の貫通孔２５の欠陥の有無を判定する例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、欠陥判定手段４４ｂは、対象領域画定手段４４ａにより画定されたマスク画像８０の各検査対象領域８１と、各貫通孔２５に欠陥が無い有効領域２２を示す予め撮像されて記憶された基準画像とを比較して、貫通孔２５の欠陥の有無を判定するようにしてもよい。この場合、基準画像として、蒸着マスク２０の設計図を示すＣＡＤデータを用いることもできる。

２０ 蒸着マスク
４０ 検査装置
４４ 制御部
４４ａ 対象領域画定手段
４４ｂ 欠陥判定手段
８０ マスク画像
８１ 第１蒸着マスク
８１ａ 検査対象領域
８２ 第２蒸着マスク
８２ａ 検査対象領域
８３ 第３蒸着マスク
８３ａ 検査対象領域

Claims (4)

1. 一対のアライメントマークと、複数の貫通孔が形成された有効領域と、を有する蒸着マスクであって、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される前記蒸着マスクが検査治具上に複数載置されて各々の前記蒸着マスクの前記貫通孔を検査する蒸着マスクの検査方法であって、
   前記検査治具上に載置された複数の前記蒸着マスクを撮像して当該複数の蒸着マスクが示されるマスク画像を取得する工程と、
   取得された前記マスク画像において、前記蒸着マスクごとに前記有効領域が示される検査対象領域を画定する工程と、
   画定された前記検査対象領域が示す前記蒸着マスクの前記有効領域における前記貫通孔の欠陥の有無を判定する工程と、を備え、
   前記検査対象領域を画定する工程において、複数の前記蒸着マスクのうちの一の前記蒸着マスクに対応する前記検査対象領域は、当該一の蒸着マスクの前記アライメントマークの位置に基づいて画定され、他の前記蒸着マスクに対応する前記検査対象領域は、当該他の蒸着マスクの前記アライメントマークの位置に基づいて画定されることを特徴とする蒸着マスクの検査方法。
2. 前記蒸着マスクは、複数の前記有効領域を有しており、
   前記検査対象領域を画定する工程において、前記検査対象領域は、対応する前記蒸着マスクに対して前記有効領域ごとに複数画定されることを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスクの検査方法。
3. 一対のアライメントマークと、複数の貫通孔が形成された有効領域と、を有する蒸着マスクであって、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される前記蒸着マスクが検査治具上に複数載置されて各々の前記蒸着マスクの前記貫通孔を検査する蒸着マスクの検査装置であって、
   前記検査治具上に載置された複数の前記蒸着マスクを撮像して当該複数の蒸着マスクが示されるマスク画像を取得する撮像部と、
   前記撮像部により取得された前記マスク画像において前記蒸着マスクごとに前記有効領域が示される検査対象領域を画定する対象領域画定手段と、
   前記対象領域画定手段により画定された前記検査対象領域が示す前記蒸着マスクの前記有効領域における前記貫通孔の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段と、を備え、
   前記対象領域画定手段は、複数の前記蒸着マスクのうちの一の前記蒸着マスクに対応する前記検査対象領域を、当該一の蒸着マスクの前記アライメントマークの位置に基づいて画定し、他の前記蒸着マスクに対応する前記検査対象領域を、当該他の蒸着マスクの前記アライメントマークの位置に基づいて画定することを特徴とする蒸着マスクの検査装置。
4. 前記蒸着マスクは、複数の前記有効領域を有しており、
   前記対象領域画定手段は、前記検査対象領域を、対応する前記蒸着マスクに対して前記有効領域ごとに複数画定することを特徴とする請求項３に記載の蒸着マスクの検査装置。

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