JP6330284B2 - 蒸着マスクの検査方法および蒸着マスクの検査治具 - Google Patents

Description

本発明は、所望のパターンに設けられた複数の貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクの貫通孔を検査する蒸着マスクの検査方法に係り、とりわけ、貫通孔の検査精度を向上させることができる蒸着マスクの検査方法に関する。また、本発明は、上記蒸着マスクの貫通孔を検査する際に蒸着マスクが載置される蒸着マスクの検査治具に係り、とりわけ、貫通孔の検査精度を向上させることができる蒸着マスクの検査治具に関する。

従来、所望のパターンで配列された貫通孔を含む蒸着用のマスクを用い、所望のパターンで薄膜を形成する方法が知られている。そして、昨今においては、例えば有機ＥＬ表示装置の製造時において有機材料を基板上に蒸着する場合等、極めて高価な材料を成膜する際に蒸着が用いられることがある。なお、蒸着用のマスクは、一般的に、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に貫通孔を形成することにより、製造され得る（例えば、特許文献１）。

蒸着用のマスクを用いて蒸着材料を基板に成膜する場合、蒸着材料は、貫通孔の形状に沿って基板上に蒸着され、基板上に画素が形成される。すなわち、貫通孔の形状によって基板上に形成される画素の形状が画定されるため、貫通孔に欠陥が有る場合には、画素の形状精度が損なわれ得るという問題がある。

そこで、貫通孔に欠陥が有るか否かを調べるために、製造された蒸着用のマスクの貫通孔の検査が行われている。この場合、まず、蒸着用のマスクがガラス搬送治具上に載置されて検査装置の搬送ラインにセットされる。ここで、一般的に蒸着用のマスクは極めて薄いことから、蒸着用のマスクの変形を防止して搬送をスムーズに行うために、蒸着用のマスクは、ガラス搬送治具上に載置されて搬送される。続いて、蒸着用のマスクが、カメラで撮像可能な位置に搬送されて、蒸着用のマスクがカメラによって撮像される。こうして撮像されて取得された画像を画像処理することにより、蒸着用のマスクの貫通孔に欠陥が有るか否かが判定される。具体的には、各貫通孔の大きさ、形状、位置などに欠陥が有るか否かが判定される。

このような蒸着用のマスクの検査には、例えば、特許文献２に示すような検査装置を用いることができる。

特開２００４−３９３１９号公報 特開２０００−１９３６０４号公報

しかしながら、蒸着用のマスクが載置されるガラス搬送治具は、使用を繰り返していくうちに傷が形成される可能性がある。このように傷が形成されたガラス搬送治具上に蒸着用のマスクを載置して貫通孔を撮像した場合、ガラス搬送治具に形成された傷が貫通孔を介して撮像され得る。この場合、この傷を、蒸着用のマスクの貫通孔の欠陥と誤って判定するおそれがあり、検査精度が低下し得るという問題がある。

また、蒸着用のマスクをガラス搬送治具上に載置した場合、蒸着用のマスクとガラス搬送治具との間に異物が介在される可能性もある。この状態で蒸着用のマスクの貫通孔を撮像した場合、介在されている異物が貫通孔を介して撮像され得る。この場合、この異物を、蒸着用のマスクの貫通孔の欠陥と誤って判定するおそれがあり、検査精度が低下し得るという問題がある。

上述したような傷や異物を蒸着用のマスクの貫通孔における欠陥と判定した場合には、蒸着用のマスクの貫通孔自体には欠陥が無いにも関わらず、当該蒸着用のマスクの貫通孔には欠陥が有るものとして再検査が行われ、検査効率が低下し得るという問題が生じる。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、貫通孔の検査精度を向上させることができる蒸着マスクの検査方法および蒸着マスクの検査治具を提供することを目的とする。

本発明は、
複数の貫通孔が形成された有効領域を有し、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクの貫通孔を検査する蒸着マスクの検査方法であって、
治具開口部を有する検査治具を準備する工程と、
前記検査治具上に、前記有効領域が前記治具開口部上に配置されるように前記蒸着マスクを載置する工程と、
前記蒸着マスクが載置された前記検査治具を搬送する工程と、
搬送された前記検査治具の前記治具開口部上に配置された前記蒸着マスクの前記有効領域を撮像して画像を取得する工程と、
取得された前記画像に基づいて、前記蒸着マスクの前記有効領域における前記貫通孔の欠陥の有無を判定する工程と、を備えたことを特徴とする蒸着マスクの検査方法、
を提供する。

本発明による蒸着マスクの検査方法において、前記検査治具は、搬送方向に延びるステーを介在させて設けられた複数の前記治具開口部を有し、前記検査治具上に前記蒸着マスクを載置する工程において、複数の前記蒸着マスクが搬送方向に直交する方向に並列配置されるように前記検査治具上に載置され、この際、各々の前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記検査治具の複数の前記治具開口部のうちのいずれか一の前記治具開口部上に配置される、ようにしてもよい。

本発明による蒸着マスクの検査方法において、前記検査治具の前記治具開口部は、搬送方向に直交する方向に延びる第２のステーを介在させて分割された複数の治具開口部分割体を有し、前記蒸着マスクは、当該蒸着マスクの長手方向に一列状に配置された複数の前記有効領域を有しており、前記検査治具上に前記蒸着マスクを載置する工程において、前記蒸着マスクは、当該蒸着マスクの長手方向が搬送方向に沿うように前記検査治具上に載置され、この際、前記蒸着マスクの前記有効領域の各々が、前記検査治具の複数の前記治具開口部分割体のうちのいずれか一の前記治具開口部分割体上に配置される、ようにしてもよい。

本発明による蒸着マスクの検査方法において、前記蒸着マスクの前記有効領域を撮像する工程において、前記蒸着マスクの前記有効領域は、当該蒸着マスクが載置された前記検査治具を搬送しながら撮像される、ようにしてもよい。

本発明による蒸着マスクの検査方法において、搬送治具を準備する工程を更に備え、前記検査治具上に前記蒸着マスクを載置する工程において、前記検査治具は、前記搬送治具と前記蒸着マスクとの間に介在されるように前記搬送治具上に載置され、前記搬送治具は、前記検査治具の前記治具開口部の少なくとも一部を覆っている、ようにしてもよい。

本発明による蒸着マスクの検査方法において、前記搬送治具は、前記検査治具の前記治具開口部の全体を覆っている、ようにしてもよい。

本発明による蒸着マスクの検査方法において、前記蒸着マスクの前記有効領域を撮像する工程の前に、前記有効領域の当該検査治具側の面に、前記検査治具の前記治具開口部を介して空気を吹き付ける工程を更に備える、ようにしてもよい。

本発明は、
上述した蒸着マスクの検査方法に使用される、前記蒸着マスクが載置される蒸着マスクの検査治具であって、
前記蒸着マスクが載置される治具本体と、
前記治具本体に設けられた前記治具開口部と、を備え、
前記治具本体に前記蒸着マスクが載置された場合、前記治具開口部上に前記蒸着マスクの前記有効領域が配置されることを特徴とする蒸着マスクの検査治具、
を提供する。

本発明による蒸着マスクの検査治具において、前記治具開口部は、前記治具本体に、ステーを介在させて複数設けられている、ようにしてもよい。

本発明による蒸着マスクの検査治具において、前記治具開口部は、前記ステーに直交する方向に延びる第２のステーを介在させて分割された複数の治具開口部分割体を有している、ようにしてもよい。

本発明によれば、貫通孔の検査精度を向上させることができる。

図１は、本発明の一実施の形態を説明するための図であって、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す概略平面図である。 図２は、図１に示す蒸着マスク装置を用いて蒸着する方法を説明するための図である。 図３は、図１に示す蒸着マスクを示す平面図である。 図４は、図３に示す蒸着マスクの部分拡大平面図である。 図５は、図４のＩ−Ｉ線に沿った断面に相当する図である。 図６は、図３に示す蒸着マスクの検査装置を示す概略図である。 図７は、図６に示す検査装置の搬送部によって搬送される蒸着マスクを示す平面図である。 図８は、図６に示す検査装置の第１ユニットを示す概略斜視図である。 図９は、図６に示す検査装置の第１ユニットにおいて得られるマスク画像を示す図である。 図１０は、図７および図８に示す蒸着マスクの検査治具を示す斜視図である。 図１１は、図１０の断面図である。 図１２は、図６に示す検査装置における蒸着マスクの検査方法を示すフローチャートである。 図１３は、図１０に示す検査治具の変形例を示す斜視図である。 図１４は、図１０に示す検査治具を搬送治具に載置した例を示す斜視図である。 図１５は、図１４の断面図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

図１〜図１１は本発明による一実施の形態を説明するための図である。以下の実施の形態およびその変形例では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料などの蒸着材料を、後述する複数の貫通孔を介して所望のパターンでガラス基板上に蒸着するために使用される蒸着マスクを例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクに対し、本発明を適用することができる。

なお、本明細書において、「板」、「シート」、「フィルム」の用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念であり、したがって、例えば「金属板」は、「金属シート」や「金属フィルム」と呼ばれる部材と呼称の違いのみにおいて区別され得ない。

さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「直交」、「同一」、「同時」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。

まず、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例について、主に図１〜図５を参照して説明する。ここで、図１は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す概略平面図であり、図２は、図１に示す蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図であり、図３は、図１に示す蒸着マスクを示す平面図である。図４は、蒸着マスクの部分拡大平面図であり、図５は、図４のＩ−Ｉ線に沿った断面に相当する図である。

図１および図２に示された蒸着マスク装置１０は、フレーム開口部１５ａを有し、枠状に形成された金属製のフレーム（金属枠体）１５と、フレーム１５のフレーム開口部１５ａ上に蒸着マスク２０の幅方向（長手方向に直交する方向、横方向）に並列配置された帯状の複数の蒸着マスク２０と、を備えている。このうち蒸着マスク２０は、概略的にはシート状に形成された金属板２１を有している（図５参照）。このような蒸着マスク２０には、多数の貫通孔２５が設けられている。この蒸着マスク装置１０は、図２に示すように、蒸着マスク２０が蒸着対象物である基板、例えばガラス基板９２に対面するようにして蒸着装置９０内に支持され、ガラス基板９２への蒸着材料の蒸着に使用される。

蒸着装置９０内では、フレーム１５のフレーム開口部１５ａ内にガラス基板９２が配置され、不図示の磁石からの磁力によって、蒸着マスク２０と、ガラス基板９２とが密着するようになる。蒸着装置９０内には、この蒸着マスク装置１０を挟んだガラス基板９２の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）９８を収容するるつぼ９４と、るつぼ９４を加熱するヒータ９６とが配置されている。るつぼ９４内の蒸着材料９８は、ヒータ９６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板９２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の貫通孔２５が形成されており、蒸着材料９８はこの貫通孔２５を介してガラス基板９２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８がガラス基板９２の表面に成膜される。

図１および図３に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０は、平面視において帯状の略四角形形状、さらに正確には平面視において帯状の略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０の長手方向に一列状に配置された複数の有効領域２２であって、規則的な配列で複数の貫通孔２５が形成された複数の有効領域２２と、各有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含んでいる。このうち周囲領域２３は、基板へ蒸着されることを意図された蒸着材料が通過する領域ではない。例えば、有機ＥＬディスプレイ装置用の有機発光材料の蒸着に用いられる蒸着マスク２０においては、有効領域２２は、有機発光材料が蒸着して画素を形成するようになる基板（ガラス基板９２）上の区域、すなわち、作製された有機ＥＬディスプレイ装置用基板の表示面をなすようになる基板上の区域に対面する、蒸着マスク２０内の領域のことである。ただし、種々の目的から、周囲領域２３に貫通孔や凹部が形成されていてもよい。図１に示された例において、各有効領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。

図示された例において、複数の有効領域２２は、蒸着マスク２０の長手方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。このような複数の有効領域２２を含む蒸着マスク２０が、その幅方向に配列されて、図１に示す蒸着マスク装置１０が構成されている。一つの有効領域２２が一つの有機ＥＬディスプレイ装置に対応するようになっており、図１に示す蒸着マスク装置１０においては、多面付蒸着が可能となっている。

蒸着マスク２０に形成された貫通孔２５の一例について、図４および図５を主に参照して更に詳述する。ここで図４は、蒸着マスク２０を第１面２０ａ側から示す部分平面図である。また、図５は、図４のＩ−Ｉ線に沿った断面に相当する図である。

図４に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。図４には、各貫通孔２５が、平面視で、略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している例を示している。より具体的には、後述する基材穴３０が、平面視で、略四角形形状あるいは略矩形形状の輪郭を有し、各貫通孔２５に、基材穴３０が一つずつ形成されている。

図４および図５に示すように、蒸着マスク２０は、第１面２１ａと、第１面２１ａとは反対側に設けられた第２面２１ｂと、を含む金属板（金属基材）２１を有している。金属板２１の第２面２１ｂは、蒸着時（すなわち、蒸着装置９０内に取り付けられた際）には、ガラス基板９２の側に配置される。

金属板２１は、３６％Ｎｉインバー材により形成することができ、金属板２１の厚さは、例えば、１０μｍ〜１００μｍとすることが好適である。

複数の貫通孔２５は、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側となる第１面２０ａと、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側となる第２面２０ｂと、の間を延びている。すなわち、貫通孔２５は蒸着マスク２０を貫通している。

図示された例では、金属板２１に基材穴３０が設けられている。すなわち、蒸着マスク２０の法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１にエッチングによって基材穴３０が形成されている。図４および図５には、貫通孔２５を構成する基材穴３０が、第１面２１ａの側から第２面２１ｂの側へ向けて、断面積（蒸着マスク２０の平面視における面積）がしだいに小さくなるように形成されている例が示されている。そして、基材穴３０の壁面３１と、金属板２１の第２面２１ｂとが、周状の接続部３５を介して接続されている。接続部３５は、蒸着マスクの法線方向に対して傾斜した基材穴３０の壁面３１と、第２面２１ｂとが合流する合流線によって画成されている。この接続部３５において、貫通孔２５の断面積が最も小さくなっている。

基材穴３０は、金属板２１の第１面２１ａをエッチングすることにより形成される。エッチングによって形成される穴（または凹部）の壁面は、一般的に、浸食方向に向けて凸となる曲面状となる。したがって、エッチングによって形成された穴の壁面は、エッチングの開始側となる領域において切り立ち、エッチングの開始側とは反対側となる領域、すなわち穴の最も深い側においては、金属板２１の法線方向に対して比較的に大きく傾斜するようになる。

図２に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、図５に二点鎖線で示すように、蒸着マスク２０の金属板２１の第１面２０ａが蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し、金属板２１の第２面２０ｂがガラス基板９２に対面する。したがって、蒸着材料９８は、次第に断面積が小さくなっていく基材穴３０を通過してガラス基板９２に付着する。

上述したように、本実施の形態では、貫通孔２５が各有効領域２２において所定のパターンで配置されている。一例として、蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）が携帯電話やデジタルカメラ等のディスプレイ（２〜５インチ程度）を作製するために用いられる場合、貫通孔２５の配列ピッチＰは、５８μｍ（４４０ｐｐｉ）以上２５４μｍ（１００ｐｐｉ）以下程度とすることができる。なお、カラー表示を行いたい場合には、貫通孔２５が配列されている方向に沿って蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）とガラス基板９２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていってもよい。また、蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）が携帯電話のディスプレイを作製するために用いられる場合、各貫通孔２５が配列されている方向に沿った幅（スリット幅）Ｗは、２８μｍ以上８４μｍ以下程度とすることができる。

なお、蒸着マスク装置１０は、高温雰囲気となる蒸着装置９０の内部に保持される。したがって、蒸着マスク２０およびフレーム１５は、蒸着マスク２０やフレーム１５に撓みや熱応力が発生することを防止するため、熱膨張率が低い同一の材料によって形成されていることが好ましい。このような材料として、例えば、３６％Ｎｉインバー材を用いることができる。

次に、上述した蒸着マスク２０の貫通孔２５を検査するための蒸着マスクの検査装置４０について図６乃至図９を用いて説明する。検査装置４０は、蒸着マスク２０の有効領域２２に形成された多数の貫通孔２５の欠陥の有無を検査するためのものであり、本実施の形態においては、検査効率を向上させるために、各々が５つの有効領域２２を有する４つの蒸着マスク２０が１度に検査されるようになっている。すなわち、４つの蒸着マスク２０が、搬送方向Ｐに直交する方向に並列配置（横方向に並んで配置）されて後述する検査治具７０に載置され、検査装置４０内で搬送されて検査される。この場合、各蒸着マスク２０の長手方向が、蒸着マスク２０の搬送方向Ｐに沿うようになり、蒸着マスク２０の５つの有効領域２２が、搬送方向Ｐに沿って配列される。

ここで、図６は、蒸着マスクの検査装置４０を示す概略図であり、図７は、検査装置４０の搬送部４３によって搬送される蒸着マスク２０を示す平面図であり、図８は、検査装置４０の第１ユニット５０を示す概略斜視図であり、図９は、検査装置４０の第１ユニット５０において得られるマスク画像８０を示す図である。なお、当然のことながら、検査治具７０に載置される蒸着マスク２０の個数は、４つに限られることはなく、１つでも複数でもよく、任意とすることができる。また、各蒸着マスク２０の有効領域２２の個数も５つに限られず、１つでも複数でもよく、任意とすることができる。

図６に示すように、検査装置４０は、蒸着マスク２０が搬入される搬入部４１と、検査対象となる蒸着マスク２０の各々を撮像する第１ユニット５０と、貫通孔２５の欠陥が有ると判定された蒸着マスク２０の欠陥部位を撮像する第２ユニット６０と、蒸着マスク２０が搬出される搬出部４２と、を備えている。搬入部４１に搬入された蒸着マスク２０は、搬送部４３によって搬送され、第１ユニット５０および第２ユニット６０にこの順で搬送されて搬出部４２から搬出されるようになっている。

搬送部４３は、複数の搬送ローラ（コロ）４３ａを含んでいる。これらの搬送ローラ４３ａ上に、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０が載せられ、蒸着マスク２０が搬送されるようになっている。この際、検査治具７０は、後述するステージ４３ｃによって保持されながら搬送される。

すなわち、搬送部４３は、蒸着マスク２０の搬送方向Ｐに延びるリニア駆動部４３ｂと、リニア駆動部４３ｂにより搬送方向Ｐに移動するステージ４３ｃ（可動部）と、を更に含んでいる。

ステージ４３ｃには、複数の支柱４３ｄが設けられている。各支柱４３ｄの上部には、図６および図７に示すように、ハンドアーム４３ｅを介して押圧ローラ４３ｆが設けられている。これらの支柱４３ｄ、ハンドアーム４３ｅおよび押圧ローラ４３ｆは、搬送ローラ４３ａに干渉することなく形成されている。押圧ローラ４３ｆは、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０の前後端面（搬送方向Ｐの上流側端面および下流側端面）および左右端面（横方向の端面）に当接して、これらの各端面を押圧するようになっている。検査治具７０の各端面が押圧ローラ４３ｆに押圧されることにより、検査治具７０がステージ４３ｃによって保持される。このようにして、検査治具７０が、ステージ４３ｃによって保持されて、搬送ローラ４３ａ上で搬送されるようになっている。なお、押圧ローラ４３ｆは、検査治具７０の変形や破損などを防止するために、ゴムなどの弾力性を有する材料により形成されていることが好適である。また、各押圧ローラ４３ｆは、検査治具７０を押圧して保持する保持位置と、検査治具７０の搬入および搬出を可能にする解放位置とに選択的に位置付けられるように構成されている。なお、これらの押圧ローラ４３ｆは、図８においては、図面を明瞭にするために省略されている。

図６および図８に示すように、第１ユニット５０は、蒸着マスク２０の有効領域２２を撮像する４つの第１カメラ（撮像部）５１と、第１光源５２と、を有している。第１カメラ５１は、搬送される蒸着マスク２０の上方に配置され、第１光源５２は、第１カメラ５１の下方であって検査治具７０の下方に配置されている。第１光源５２が蒸着マスク２０を下方から照明することにより、第１カメラ５１は、照明された４つの蒸着マスク２０を上方から撮像してこれら４つの蒸着マスク２０が示されるマスク画像（画像）８０（図９参照）を取得する。すなわち、本実施の形態における第１ユニット５０では、蒸着マスク２０は透過光検査される。このことにより、反射光検査よりも、蒸着マスク２０の表面形状に応じて光が反射して画像が不鮮明になることを防止し、画像処理による検査精度を向上させることができる。

図８においては、４つの第１カメラ５１が、蒸着マスク２０の搬送方向Ｐに直交する方向に一列状に配置されている例が示されている。各第１カメラ５１は、搬送される各蒸着マスク２０の上方に配置されており、各第１カメラ５１が自身の下方で搬送される蒸着マスク２０を撮像する。この際、蒸着マスク２０は搬送されながら第１カメラ５１によって撮像され、各第１カメラ５１は、蒸着マスク２０を連続的に撮像（スキャニング）する。このことにより、４つの第１カメラ５１によって、４つの蒸着マスク２０が示されるマスク画像８０が取得される。すなわち、各第１カメラ５１は撮像によって個別画像を取得するが、これらの個別画像は、全体として、４つの蒸着マスク２０が示されるマスク画像８０となる。マスク画像８０には、各蒸着マスク２０の５つの有効領域２２が、すなわち合計で２０個の有効領域２２が示される。

マスク画像８０を取得するためには、第１カメラ５１の個数は４つに限られることはなく、１つでも複数でもよく任意であり、また、４つの蒸着マスク２０が示されるマスク画像８０を取得できれば、第１カメラ５１の個数は搬送される蒸着マスク２０の個数に依存させなくてもよい。また、１つの第１カメラ５１で１つ以上の蒸着マスク２０を撮像する場合には、当該第１カメラ５１が撮像することにより取得された１つの個別画像がマスク画像８０となる。

各第１カメラ５１は制御部４４に接続されており、各第１カメラ５１で取得されたマスク画像は制御部４４に送信される。制御部４４は、送信されたマスク画像に基づいて、蒸着マスク２０の有効領域２２における貫通孔２５の欠陥の有無を判定する。

すなわち、制御部４４は、図６に示すように、送信されたマスク画像８０において蒸着マスク２０ごとに有効領域２２が示される検査対象領域８１（図９参照）を画像処理によって画定する対象領域画定手段４４ａと、対象領域画定手段４４ａにより画定された検査対象領域８１が示す有効領域２２における貫通孔２５の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段４４ｂと、を有している。

ところで、蒸着マスク２０は、５つの有効領域２２を有している。このことにより、対象領域画定手段４４ａは、検査対象領域８１を、対応する蒸着マスク２０に対して有効領域２２ごとに複数画定する。本実施の形態においては、図９に示すように、一の蒸着マスク２０に対して（関連付けられて）５つの有効領域２２ごとに５つの検査対象領域８１が画定される。なお、後述する貫通孔２５の欠陥の有無の判定が可能であれば、検査対象領域８１は、有効領域２２ごとに画定することに限られず、複数の有効領域２２を示す（含む）ように画定されてもよい。

図６に示す制御部４４の欠陥判定手段４４ｂは、対象領域画定手段４４ａにより画定されたマスク画像８０の各検査対象領域８１において、各貫通孔２５の欠陥の有無を判定する。

具体的には、欠陥判定手段４４ｂは、検査対象領域８１における判定対象となる一の貫通孔２５の画像と、当該貫通孔２５に隣り合う比較対象となる他の貫通孔２５の画像とを比較して、判定対象の貫通孔２５の欠陥の有無を判定する。例えば、図４に示すように貫通孔２５が格子状に配置されている場合には、検査対象となる一の貫通孔２５に隣り合う他の４つの貫通孔２５の画像が比較対象となる。欠陥判定手段４４ｂは、判定対象の貫通孔２５の画像と、比較対象の貫通孔２５の画像との間に、大きさ、形状、位置などの相違が有るか否かを画像処理によって判定する。相違が有ると判定されると、当該判定対象の貫通孔２５に欠陥が有ると判定される。欠陥判定手段４４ｂは、このような判定を各検査対象領域８１において全ての貫通孔２５に対して行う。欠陥が有ると判定された場合、欠陥を有する貫通孔２５（欠陥部位）の位置（座標）を示す欠陥情報が作成されて記憶される。

このような制御部４４は、ハードウェアとしてのコンピュータの機能を有しており、このコンピュータに予め記憶されたソフトウェアとしてのコンピュータプログラムを実行することにより、上述した画像処理を実現することができるように構成されている。このことにより、蒸着マスク２０の貫通孔２５の検査を行うことが可能となっている。

図６に示すように、第１カメラ５１の上流側には、搬送されている蒸着マスク２０に清浄な空気を吹き付ける空気吹き付け部４５が設けられていてもよい。この場合、空気吹き付け部４５は、搬送される検査治具７０の下方に配置され、第１カメラ５１によって撮像される前の蒸着マスク２０の有効領域２２の検査治具７０の側の面に、検査治具７０の治具開口部７２（後述）を介して、下方から清浄な空気を吹き付けることができる。このことにより、有効領域２２の当該面に異物が付着している場合には、このような異物を除去することができ、異物によって蒸着マスク２０の有効領域２２に欠陥が有ると誤って判定されることを防止できる。

第２ユニット６０は、欠陥判定手段４４ｂにおいて欠陥が有ると判定された蒸着マスク２０の有効領域２２における欠陥部位を撮像する第２カメラ（第２の撮像部）６１と、第２光源６２と、を有している。第２カメラ６１は、搬送される蒸着マスク２０の上方に配置され、第２光源６２は、第２カメラ６１の下方であって検査治具７０の下方に配置されている。第２光源６２が蒸着マスク２０を下方から照明することにより、第２カメラ６１は、蒸着マスク２０の欠陥部位を上方から撮像する。また、蒸着マスク２０の上方には、反射光用光源６３が更に設けられている。この反射光用光源６３は、上方から蒸着マスク２０を照明するようになっており、第２カメラ６１は、反射光用光源６３により上方から照明された蒸着マスク２０の欠陥部位を上方から撮像することもできる。すなわち、本実施の形態における第２ユニット６０では、蒸着マスク２０は透過光検査および反射光検査され、オペレータによる検査精度を向上させている。なお、第２カメラ６１は、図示しないカメラ駆動部によって横方向（図６の紙面に垂直な方向）に移動するようになっている。

上述した搬送部４３、第２カメラ６１およびカメラ駆動部は、制御部４４に接続されている。制御部４４は、欠陥判定手段４４ｂにおいて作成された欠陥情報に基づいて、搬送部４３、第２カメラ６１およびカメラ駆動部を制御するようになっている。具体的には、搬送された蒸着マスク２０の欠陥部位が、搬送方向Ｐにおいて第２カメラ６１の下方位置に達して停止するように搬送部４３を制御するとともに、第２カメラ６１が横方向において当該欠陥部位に位置合わせされるように、カメラ駆動部を制御する。そして、第２カメラ６１が欠陥部位に位置合わせされた後、制御部４４は、当該欠陥部位を撮像し欠陥画像を取得するように第２カメラ６１を制御する。

また、制御部４４は、第２カメラ６１により取得された欠陥画像を表示する表示部（図示せず）を含んでいる。表示部に表示された欠陥画像は、オペレータによって観察されるようになっている。

次に、図１０および図１１を用いて、上述した検査装置４０において蒸着マスク２０を検査する際に蒸着マスク２０が載置される蒸着マスクの検査治具７０について説明する。より具体的には、検査治具７０は、蒸着マスク２０が載置されて、載置された蒸着マスク２０を検査装置４０内で搬送するために使用される治具である。ここで、図１０は、検査治具７０を示す斜視図であり、図１１は、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０を示す断面図である。

検査治具７０は、図１０および図１１に示すように、蒸着マスク２０が載置される治具本体７１と、治具本体７１に設けられた複数の治具開口部７２と、を備えている。このうち治具開口部７２は、載置される蒸着マスク２０の有効領域２２が配置されるようになっている。すなわち、治具本体７１に蒸着マスク２０が載置された場合、各治具開口部７２上に、対応する蒸着マスク２０の有効領域２２が配置されるようになっている。

検査治具７０は、概略的には平板状に形成されている。検査治具７０の材料としては、蒸着マスク２０を搬送するために所望の強度を有していれば特に限られるものではなく、例えば、ガラス、金属材料、樹脂材料（例えば、アクリル、ポリカーボネートなど）などを好適に用いることができる。例えば、ガラスによって検査治具７０を形成する場合、検査治具７０を、搬送方向長さを１１００ｍｍ、幅方向長さを１３００ｍｍ、厚さを１．２ｍｍで形成することができる。

互いに隣り合う治具開口部７２の間には、搬送方向Ｐに延びる縦ステー（ステー）７３が介在されている。すなわち、治具開口部７２は、搬送方向Ｐに延びるように形成されている。本実施の形態においては、治具本体７１には４つの治具開口部７２が設けられており、検査治具７０上に蒸着マスク２０が載置された場合、各蒸着マスク２０の有効領域２２は、４つの治具開口部７２のうちのいずれか一の治具開口部７２上に配置される。この場合、一の蒸着マスク２０の有効領域２２は、一の治具開口部７２上に配置され、一の蒸着マスク２０は、２つ以上の治具開口部７２に跨がって配置されることがないように検査治具７０上に載置される。本実施の形態においては、一の治具開口部７２上に、一の蒸着マスク２０が配置され、蒸着マスク２０と治具開口部７２とが１対１で対応する。

各治具開口部７２は、搬送方向Ｐに直交する方向に延びる横ステー（第２のステー）７４を介在させて分割された複数の治具開口部分割体７５を有している。治具開口部分割体７５は、搬送方向Ｐに一列状に配置されている。検査治具７０上に蒸着マスク２０が載置された場合、蒸着マスク２０の長手方向が搬送方向Ｐに沿うように検査治具７０上に載置され、蒸着マスク２０の各有効領域２２は、５つの治具開口部分割体７５のうちのいずれか一の治具開口部分割体７５上に配置される。この場合、一の有効領域２２が一の治具開口部分割体７５上に配置され、一の有効領域２２が２つ以上の治具開口部分割体７５に跨がって配置されることがないように蒸着マスク２０が検査治具７０上に載置される。本実施の形態においては、一の治具開口部分割体７５上に一の有効領域２２が配置され、有効領域２２と治具開口部分割体７５とが１対１で対応する。

上述したように、本実施の形態では、検査治具７０上に４つの蒸着マスク２０が載置され、各蒸着マスク２０が５つの有効領域２２を有している。このため、合計で２０個の有効領域２２に対して１対１で対応するように２０個の治具開口部分割体７５が設けられている。この場合、治具開口部７２の横方向の間隔は、互いに隣り合って載置される蒸着マスク２０同士が重ならない程度の間隔で形成されている。治具開口部分割体７５の搬送方向Ｐの間隔は、有効領域２２の搬送方向Ｐ（蒸着マスク２０の長手方向）の間隔に合わせて形成されている。そして、これらの治具開口部分割体７５は、全体的には格子状に配置されている。

また、各治具開口部分割体７５は、蒸着マスク２０の有効領域２２に対応する形状を有している。例えば、有効領域２２が矩形状に形成されている場合には、各治具開口部分割体７５も有効領域２２と同様にして矩形状に形成される。なお、治具開口部分割体７５は、有効領域２２より若干大きく形成されていることが好ましい。このことにより、検査治具７０上に蒸着マスク２０が多少位置ずれして載置された場合であっても、有効領域２２の全体を治具開口部分割体７５上に配置することができ、有効領域２２の一部が治具本体７１に平面視で重なることを防止できる。

なお、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０は、その前後端面および左右端面が、蒸着マスク２０より外側に突出するように形成されている。言い換えると、蒸着マスク２０は、検査治具７０から外側に突出しないように検査治具７０上に載置される。このことにより、上述した搬送部４３の押圧ローラ４３ｆは、検査治具７０の各端面を押圧した場合であっても、蒸着マスク２０に接触することを防止できる。

次に、このような蒸着マスク２０の貫通孔２５を検査する検査方法について、主に図１２を用いて説明する。ここで、図１２は、蒸着マスク２０の検査方法を示すフローチャートである。

まず、図１０に示すような、治具開口部７２を有する検査治具７０を準備する（ステップＳ１）。

続いて、検査治具７０上に、蒸着マスク２０の有効領域２２が治具開口部７２上に配置されるように４つの蒸着マスク２０が載置される（ステップＳ２）。この場合、蒸着マスク２０の長手方向が搬送方向Ｐに沿うとともに、搬送方向Ｐに直交する方向に並列配置されるように検査治具７０上に載置される。そして、各蒸着マスク２０の有効領域２２は、４つの治具開口部７２のうちのいずれか一の治具開口部７２上に配置されるとともに、蒸着マスク２０の各有効領域２２は、５つの治具開口部分割体７５のうちのいずれか一の治具開口部分割体７５上に配置される。本実施の形態においては、各蒸着マスク２０の各有効領域２２が、１対１で対応するように治具開口部分割体７５上に配置される（図１０および図１１参照）。

蒸着マスク２０は、例えば、図１０に示すような両面テープ７８を介して検査治具７０に固定することができる。両面テープ７８は、例えば、検査治具７０上に載置された蒸着マスク２０が搬送中にずれることを防止できれば、任意の位置に貼り付けることができる。図１０においては、一例として、治具開口部７２より搬送方向上流側および下流側の位置に、横方向に延びるように貼り付けられた例を示している。また、両面テープ７８は、蒸着マスク２０が搬送中にずれることを防止できれば、粘着力を弱くすることが好適である。なお、治具本体７１上には、予め他のアライメントマーク（図示せず）を設けておき、この他のアライメントマークに蒸着マスク２０を位置合わせすることが好適である。このことにより、検査治具７０に対する蒸着マスク２０の位置精度を向上させることができる。なお、両面テープ７８の代わりに、接着剤を用いて、蒸着マスク２０を検査治具７０に固定するようにしてもよい。

次に、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０が、検査装置４０の搬入部４１に搬入される（ステップＳ３）。この際、検査治具７０は、搬送部４３の搬送ローラ４３ａ上に載置される。また、この際、搬送部４３の押圧ローラ４３ｆ（図７参照）は、検査治具７０の搬入を可能にする解放位置に位置付けられており、押圧ローラ４３ｆの間に検査治具７０が搬入される。検査治具７０が搬入されて載置された後、各押圧ローラ４３ｆが、搬入された検査治具７０の前後端面および左右端面を押圧して保持する保持位置に位置付けられる。このことにより、各押圧ローラ４３ｆが検査治具７０の各端面を押圧し、検査治具７０が搬送部４３のステージ４３ｃによって保持される。

続いて、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０は、搬送部４３によって、搬入部４１から搬送方向Ｐに搬送される（ステップＳ４）。具体的には、搬送部４３のリニア駆動部４３ｂが駆動されてステージ４３ｃが搬送方向Ｐに移動し、これにより、蒸着マスク２０が搬送される。

搬送されている蒸着マスク２０が空気吹き付け部４５の上方位置に達すると、蒸着マスク２０の有効領域２２に、空気吹き付け部４５から清浄な空気が吹き付けられる（ステップＳ５）。この際、空気吹き付け部４５からの清浄な空気は、検査治具７０の治具開口部分割体７５を介して、治具開口部分割体７５上に配置されている有効領域２２の検査治具７０の側の面に吹き付けられる。このことにより、有効領域２２の検査治具７０の側の面に異物が付着している場合には、当該異物を除去することができる。

続いて、蒸着マスク２０は、空気吹き付け部４５の上方位置から第１ユニット５０の第１カメラ５１の下方位置に搬送される。第１カメラ５１の下方位置に達すると、各第１カメラ５１が、治具開口部分割体７５上に配置された、有効領域２２を含む対応する蒸着マスク２０を撮像する（ステップＳ６）。この際、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０が搬送されながら、蒸着マスク２０が撮像され、各第１カメラ５１は、搬送される蒸着マスク２０を連続的に撮像（スキャニング）する。このことにより、４つの蒸着マスク２０が示されるマスク画像８０が取得される。この際、撮像されたマスク画像８０に示される各有効領域２２は、対応する治具開口部分割体７５上に配置されているため、各有効領域２２が検査治具７０の治具本体７１と重なることを防止し、マスク画像８０における有効領域２２に治具本体７１が撮像されることを防止できる。なお、搬送されてきた検査治具７０の前側端面（搬送方向下流側端面）が図示しないセンサによって検出されて、このセンサによる前側端面の検出に基づいて第１カメラ５１が作動して蒸着マスク２０が撮像されることが好適である。取得されたマスク画像８０は、制御部４４に送信される。

マスク画像８０が制御部４４に送信されると、制御部４４は、当該マスク画像８０に基づいて、蒸着マスク２０の有効領域２２における貫通孔２５の欠陥の有無を判定する（ステップＳ７）。この場合、まず、制御部４４の対象領域画定手段４４ａが、マスク画像８０に示される蒸着マスク２０ごとに有効領域２２が示される検査対象領域８１を画像処理によって画定する。次に、制御部４４の欠陥判定手段４４ｂが、検査対象領域８１における判定対象となる一の貫通孔２５の画像と、当該貫通孔２５に隣り合う比較対象となる他の貫通孔２５の画像とを比較して、判定対象の貫通孔２５の欠陥の有無を判定する。この際、欠陥判定手段４４ｂは、判定対象の貫通孔２５の画像と、比較対象の貫通孔２５の画像との間に、大きさ、形状、位置などの相違が有るか否かを画像処理によって判定する。相違が有ると判定されると、当該判定対象の貫通孔２５に欠陥が有ると判定される。そして、欠陥判定手段４４ｂは、このような判定を各検査対象領域８１において全ての貫通孔２５に対して行う。有効領域２２に貫通孔２５の欠陥が有ると判定された場合、制御部４４において欠陥情報が作成されて記憶される。

続いて、欠陥判定手段４４ｂにおいて貫通孔２５の欠陥が有ると判定された蒸着マスク２０が再検査される（ステップＳ８）。具体的には、当該蒸着マスク２０の有効領域２２における欠陥部位が検査される。

この場合、まず、欠陥情報に基づいて、蒸着マスク２０の欠陥部位が、搬送方向Ｐにおいて第２カメラ６１の下方位置に達するように蒸着マスク２０が搬送されて停止する。これと同時に、またはこの前若しくは後に、第２カメラ６１が幅方向において当該欠陥部位に位置合わせされる。このようにして、第２カメラ６１が当該欠陥部位に平面的に位置合わせされる。その後、第２カメラ６１が、当該欠陥部位を撮像し、欠陥部位画像が取得される。取得された欠陥部位画像は制御部４４の表示部に表示され、表示された欠陥部位画像をオペレータが観察し、欠陥の有無がオペレータによって判定される。この際、オペレータは、透過光検査による欠陥部位画像と反射光検査による欠陥部位画像とを観察して欠陥の有無を判定する。このようにして、再検査が行われる。

再検査が終了した後、蒸着マスク２０は搬出部４２に向けて搬送される。なお、欠陥判定手段４４ｂにおいて複数の欠陥部位が有ると判定された場合には、複数の欠陥部位が順次検査される。また、欠陥判定手段４４ｂにおいて欠陥部位が無いと判定された蒸着マスク２０は、第２カメラ６１の下方位置で停止することなく、搬出部４２に向けて搬送される。

その後、蒸着マスク２０は搬出部４２に達する。搬出部４２に達した蒸着マスク２０は、検査治具７０に固定された状態で、搬出部４２から搬出される（ステップＳ９）。この場合、搬送部４３の押圧ローラ４３ｆは、検査治具７０の前後端面および左右端面から離れて、検査治具７０の搬出を可能にする解放位置に位置付けられる。このことにより、検査治具７０が搬出される。

搬出された蒸着マスク２０は、検査治具７０から取り外される（ステップＳ１０）。この際、蒸着マスク２０を検査治具７０に固定していた両面テープ７８の粘着力を弱くしている場合には、蒸着マスク２０が変形することを防止できる。取り外された蒸着マスク２０は、上述した再検査の結果に基づいて、正常品と不良品とに振り分けられる。

このように本実施の形態によれば、蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０の有効領域２２が検査治具７０の治具開口部７２上に配置されるように検査治具７０上に載置され、この状態で蒸着マスク２０の有効領域２２が第１カメラ５１によって撮像されて貫通孔２５の欠陥の有無が判定される。

ここで、検査治具が治具開口部７２を有していない単なる平板である場合、検査治具に形成された傷が貫通孔２５を介して撮像され、この傷を貫通孔２５の欠陥と誤って判定するおそれがある。また、このような単なる平板の検査治具と蒸着マスク２０との間に介在された異物が貫通孔２５を介して撮像され、この異物を貫通孔２５の欠陥と誤って判定するおそれもある。このような場合、貫通孔２５の検査精度が低下し得るという問題がある。

これに対して本実施の形態によれば、上述したように検査治具７０の治具開口部７２上に蒸着マスク２０の有効領域２２が配置されるため、有効領域２２が撮像される際に、有効領域２２が検査治具７０の治具本体７１と重なることを防止できる。このことにより、治具本体７１に形成され得る傷や、有効領域２２と治具本体７１との間に介在され得る異物が撮像されて、これらの傷や異物によって有効領域２２に貫通孔２５の欠陥が有ると誤って判定されることを防止できる。このため、蒸着マスク２０の貫通孔２５の検査精度を向上させることができる。また、第２カメラ６１によって再検査が行われる場合においても、上述したような傷や異物によって有効領域２２に貫通孔２５の欠陥が有ると誤って判定されることを防止できる。

また、本実施の形態によれば、上述したように、蒸着マスク２０の有効領域２２に貫通孔２５の欠陥が有ると誤って判定されることが防止されるため、欠陥が有ると判定された場合に行われる無用な再検査を回避することができる。このため、検査効率を向上させることができ、タクトアップが可能となる。

また、本実施の形態によれば、検査治具７０の互いに隣り合う治具開口部７２の間には、搬送方向Ｐに延びる縦ステー７３が介在されている。このことにより、検査装置４０内で検査治具７０を搬送させる際に、検査治具７０が変形することを防止でき、検査治具７０をスムーズに搬送させることができる。また、縦ステー７３は、搬送部４３の搬送ローラ４３ａに直交する方向に延びるため、検査治具７０をスムーズに搬送することができる。

また、本実施の形態によれば、検査治具７０の治具開口部７２は、搬送方向Ｐに直交する方向に延びる横ステー７４を介在させて設けられた複数の治具開口部分割体７５を有している。このことにより、検査装置４０内で検査治具７０を搬送させる際に、検査治具７０が変形することをより一層防止でき、検査治具７０をより一層スムーズに搬送させることができる。

また、本実施の形態によれば、蒸着マスク２０の有効領域２２は、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０を搬送しながら撮像される。このことにより、複数の有効領域２２を効率良く撮像することができ、検査効率を向上させることができる。

さらに、本実施の形態によれば、蒸着マスク２０の有効領域２２に、第１カメラ５１によって撮像される前に、有効領域２２の検査治具７０の側の面に、空気吹き付け部４５から検査治具７０の治具開口部７２を介して清浄な空気が吹き付けられる。このことにより、有効領域２２の当該面に異物が付着している場合には、当該異物を除去することができる。このため、異物によって有効領域２２に貫通孔２５の欠陥が有ると誤って判定されることを防止し、蒸着マスク２０の貫通孔２５の検査精度を向上させることができる。

以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による蒸着マスクの検査方法および蒸着マスクの検査治具は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。

例えば、上述した本実施の形態においては、各蒸着マスク２０の各有効領域２２が、１対１で対応するように検査治具７０の治具開口部分割体７５上に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、１つの治具開口部分割体７５上に、複数の有効領域２２が配置されるようにしてもよい。また、１つの治具開口部分割体７５上に、一の蒸着マスク２０の有効領域２２と、他の１つ以上の蒸着マスク２０の有効領域２２とが配置されるようにしてもよい。

また、上述した本実施の形態においては、検査治具７０の各治具開口部７２は、搬送方向Ｐに直交する方向に延びる横ステー７４を介在させて設けられた複数の治具開口部分割体７５を有している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、検査治具７０が所望の強度を有していれば、各治具開口部７２は、図１３に示すように、治具開口部分割体７５を有することなく、すなわち横ステー７４によって分割されることなく、単一の開口であってもよい。この場合においても、蒸着マスク２０の各有効領域２２を、一の治具開口部７２上に配置させて、貫通孔２５の検査精度を向上させることができる。

また、上述した本実施の形態においては、検査治具７０は、搬送方向Ｐに延びる縦ステー７３を介在させて設けられた複数の治具開口部７２を有している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、検査治具７０は、所望の強度を有していれば、単一の治具開口部７２を有するようにしてもよい。この場合においても、各蒸着マスク２０の各有効領域２２を、単一の治具開口部７２上に配置させて、貫通孔２５の検査精度を向上させることができる。

また、上述した本実施の形態においては、蒸着マスク２０は、その長手方向が搬送方向Ｐに沿うように検査治具７０上に載置される例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸着マスク２０は、その長手方向が搬送方向Ｐに直交する方向に沿うように検査治具７０上に載置されてもよい。

また、上述した本実施の形態においては、制御部４４の欠陥判定手段４４ｂが、判定対象となる一の貫通孔２５の画像と、当該貫通孔２５に隣り合う比較対象となる他の貫通孔２５の画像とを比較して、判定対象の貫通孔２５の欠陥の有無を判定する例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、欠陥判定手段４４ｂは、対象領域画定手段４４ａにより画定されたマスク画像８０の各検査対象領域８１と、各貫通孔２５に欠陥が無い有効領域２２を示す予め撮像されて記憶された基準画像とを比較して、貫通孔２５の欠陥の有無を判定するようにしてもよい。この場合、基準画像として、蒸着マスク２０の設計図を示すＣＡＤデータを用いることもできる。

さらに、上述した本実施の形態においては、蒸着マスク２０は検査治具７０上に載置されて検査される例について説明した。しかしながらこのことに限られることはなく、蒸着マスク２０を検査する際に、検査治具７０と共に搬送治具１００を使用するようにしてもよい。

例えば、図１４および図１５に示すような搬送治具１００を準備し、検査治具７０を、搬送治具１００と蒸着マスク２０との間に介在されるように搬送治具１００上に載置させることが好適である。この場合、まず、蒸着マスク２０が検査治具７０上に載置されて固定される。その後、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０が、搬送治具１００上に載置される。この際、検査治具７０は、両面テープ（図示せず）を介して搬送治具１００に固定することができるが、両面テープの代わりに接着剤を用いて検査治具７０を搬送治具１００に固定するようにしてもよい。なお、検査治具７０を搬送治具１００上に載置した後に、蒸着マスク２０を検査治具７０上に載置するようにしてもよい。

搬送治具１００は、平板状に形成され、検査治具７０の治具開口部７２の少なくとも一部を覆っている。とりわけ、図１４および図１５に示す形態では、搬送治具１００は、検査治具７０の治具開口部７２の全体を覆うように、検査治具７０の治具開口部７２のような開口部を有することなく形成されている。このことにより、蒸着マスク２０が検査装置４０の搬送部４３において搬送される際、搬送治具１００の下面（蒸着マスク２０の側とは反対側の面）全体が、搬送部４３の搬送ローラ４３ａに接することができる。

このような搬送治具１００を用いることにより、蒸着マスク２０を検査装置４０において搬送部４３の搬送ローラ４３ａ上で搬送する場合、搬送ローラ４３ａに接し得る搬送治具１００の下面の面積が、搬送ローラ４３ａに接し得る検査治具７０の下面の面積よりも大きくなる。このことにより、蒸着マスク２０をより一層スムーズに搬送することができる。また、蒸着マスク２０を、検査治具７０だけでなく搬送治具１００を用いて搬送するため、蒸着マスク２０が変形することをより一層防止できる。

搬送治具１００の材料としては、蒸着マスク２０が載置された検査治具７０を搬送するために所望の強度を有していれば特に限られるものではなく、検査治具７０と同様の材料を用いることができる。また、搬送治具１００の厚さは、例えば０．７ｍｍとすることができる。

搬送治具１００を用いる場合、検査治具７０の厚さは、第１カメラ５１が蒸着マスク２０の有効領域２２の上面（第１カメラ５１の側の面）に焦点を合わせた場合に、搬送治具１００の上面（蒸着マスク２０の側の面）をぼかす（デフォーカスする）ことができる程度の厚さを有していることが好適である。このことにより、蒸着マスク２０の有効領域２２の上面と搬送治具１００の上面との距離を大きくすることができ、蒸着マスク２０の有効領域２２を撮像する際に、搬送治具１００の上面に第１カメラ５１の焦点が合わせられることを防止できる。このため、搬送治具１００の上面に傷が形成されている場合や、異物が付着している場合であっても、これらの傷や異物が明瞭に撮像されることを防止できる。この結果、傷や異物によって有効領域２２に貫通孔２５の欠陥が有ると誤って判定されることを防止でき、貫通孔２５の検査精度を向上させることができる。また、この場合、検査治具７０の厚さを厚くすることができ、検査治具７０の強度を増大させて、搬送される蒸着マスク２０が変形することをより一層防止できる。なお、検査治具７０の厚さは、第１カメラ５１の性能にもよるが、例えば３ｍｍ以上とすることが好適である。

図１４および図１５に示す形態においては、蒸着マスク２０が検査装置４０において搬送される際、搬送部４３の押圧ローラ４３ｆは、搬送治具１００の前後端面および左右端面を押圧する。このことにより、押圧ローラ４３ｆが検査治具７０または蒸着マスク２０に接触することを防止するために、搬送治具１００の前後端面および左右端面が、検査治具７０より外側に突出するように形成されていることが好適である。言い換えると、検査治具７０は、搬送治具１００から外側に突出しないように搬送治具１００上に載置されることが好ましい。

なお、搬送治具１００には、治具開口部７２の一部を覆うことができれば、開口部（図示せず）が設けられていてもよい。この場合においても、搬送部４３の搬送ローラ４３ａに接し得る検査治具７０の下面の面積よりも、搬送ローラ４３ａに接し得る搬送治具１００の下面の面積が大きくなるため、蒸着マスク２０をより一層スムーズに搬送することができる。また、この場合、搬送治具１００の開口部および検査治具７０の治具開口部７２を介して、空気吹き付け部４５からの清浄な空気を蒸着マスク２０の有効領域２２の検査治具７０の側の面に吹き付けることができ、有効領域２２の当該面に異物が付着している場合には、当該異物を除去することができる。

２０ 蒸着マスク
２５ 貫通孔
４０ 検査装置
４４ 制御部
４５ 空気吹き付け部
５１ 第１カメラ
７０ 検査治具
７１ 治具本体
７２ 治具開口部
７３ 縦ステー
７４ 横ステー
７５ 治具開口部分割体
８０ マスク画像
１００ 搬送治具

Claims (9)

1. 複数の貫通孔が形成された有効領域を有し、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される蒸着マスクの貫通孔を検査する蒸着マスクの検査方法であって、
   治具開口部を有する検査治具を準備する工程と、
   前記検査治具上に、前記有効領域が前記治具開口部上に配置されるように前記蒸着マスクを載置する工程と、
   前記蒸着マスクが載置された前記検査治具を搬送する工程と、
   搬送された前記検査治具の前記治具開口部上に配置された前記蒸着マスクの前記有効領域を撮像して画像を取得する工程と、
   取得された前記画像に基づいて、前記蒸着マスクの前記有効領域における前記貫通孔の欠陥の有無を判定する工程と、を備え、
   前記検査治具は、搬送方向に延びるステーを介在させて設けられた複数の前記治具開口部を有し、
   前記検査治具上に前記蒸着マスクを載置する工程において、複数の前記蒸着マスクが搬送方向に直交する方向に並列配置されるように前記検査治具上に載置され、この際、各々の前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記検査治具の複数の前記治具開口部のうちのいずれか一の前記治具開口部上に配置されることを特徴とする蒸着マスクの検査方法。
2. 前記検査治具の前記治具開口部は、搬送方向に直交する方向に延びる第２のステーを介在させて分割された複数の治具開口部分割体を有し、
   前記蒸着マスクは、当該蒸着マスクの長手方向に一列状に配置された複数の前記有効領域を有しており、
   前記検査治具上に前記蒸着マスクを載置する工程において、前記蒸着マスクは、当該蒸着マスクの長手方向が搬送方向に沿うように前記検査治具上に載置され、この際、前記蒸着マスクの前記有効領域の各々が、前記検査治具の複数の前記治具開口部分割体のうちのいずれか一の前記治具開口部分割体上に配置されることを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスクの検査方法。
3. 前記蒸着マスクの前記有効領域を撮像する工程において、前記蒸着マスクの前記有効領域は、当該蒸着マスクが載置された前記検査治具を搬送しながら撮像されることを特徴とする請求項２に記載の蒸着マスクの検査方法。
4. 搬送治具を準備する工程を更に備え、
   前記検査治具上に前記蒸着マスクを載置する工程において、前記検査治具は、前記搬送治具と前記蒸着マスクとの間に介在されるように前記搬送治具上に載置され、
   前記搬送治具は、前記検査治具の前記治具開口部の少なくとも一部を覆っていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の蒸着マスクの検査方法。
5. 前記搬送治具は、前記検査治具の前記治具開口部の全体を覆っていることを特徴とする請求項４に記載の蒸着マスクの検査方法。
6. 前記蒸着マスクの前記有効領域を撮像する工程の前に、前記有効領域の当該検査治具側の面に、前記検査治具の前記治具開口部を介して空気を吹き付ける工程を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の蒸着マスクの検査方法。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の蒸着マスクの検査方法に使用される前記蒸着マスクが載置される蒸着マスクの検査治具であって、
   前記蒸着マスクが載置される治具本体と、
   前記治具本体に設けられた前記治具開口部と、を備え、
   前記治具本体に前記蒸着マスクが載置された場合、前記治具開口部上に前記蒸着マスクの前記有効領域が配置されることを特徴とする蒸着マスクの検査治具。
8. 前記治具開口部は、前記治具本体に、ステーを介在させて複数設けられていることを特徴とする請求項７に記載の蒸着マスクの検査治具。
9. 前記治具開口部は、前記ステーに直交する方向に延びる第２のステーを介在させて分割された複数の治具開口部分割体を有していることを特徴とする請求項８に記載の蒸着マスクの検査治具。

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