JP6986916B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Claims (6)
- メタルマスクフレームに取り付ける前のメタルマスクシートを検査する検査装置であって、
前記メタルマスクシートに形成されている管理ポイントを測定する測定部と、
前記測定部による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートをランク分けするランク判定部と、
前記ランク判定部により判定されたランク毎に前記メタルマスクシートを収容する収容部と、
前記ランク判定部により判定された前記ランクに基づいて、前記収容部に前記メタルマスクシートを搬送する搬送部と、
前記収容部に収容されている前記メタルマスクシートを搬出する搬出部と、を備え、
前記収容部は、前記ランク判定部により第1ランクと判定された前記メタルマスクシートを収容する第1の段及び第2の段を有し、
前記搬送部は、前記第1ランクの前記メタルマスクシートを前記第1の段に搬送し、前記第1の段に空きがない場合、前記第1ランクの前記メタルマスクシートを前記第2の段に搬送し、
前記搬出部は、前記第1の段に空きがない場合、前記第1の段に収容されている前記メタルマスクシートを前記収容部から搬出することを特徴とする検査装置。 - 前記メタルマスクシートの外観を検査する外観検査部を更に備え、
前記ランク判定部は、前記外観検査部による検査結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送部は、前記ランク判定部により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項1記載の検査装置。 - 前記ランク判定部は、前記測定部による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送部は、前記ランク判定部により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項1記載の検査装置。 - メタルマスクフレームに取り付ける前のメタルマスクシートを検査する検査方法であって、
前記メタルマスクシートに形成されている管理ポイントを測定する測定工程と、
前記測定工程による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートをランク分けするランク判定工程と、
前記ランク判定工程により判定された前記メタルマスクシートのランクに基づいて、前記ランク毎の前記メタルマスクシートを収容する収容部に前記メタルマスクシートを搬送する搬送工程と、
前記収容部に収容されている前記メタルマスクシートを搬出する搬出工程と、を含み、
前記搬送工程は、前記ランク判定工程において第1ランクと判定された前記メタルマスクシートを収容する第1の段及び第2の段を有する前記収容部の前記第1の段に前記第1ランクの前記メタルマスクシートを搬送し、前記第1の段に空きがない場合、前記第1ランクの前記メタルマスクシートを前記第2の段に搬送し、
前記搬出工程は、前記第1の段に空きがない場合、前記第1の段に収容されている前記メタルマスクシートを前記収容部から搬出することを特徴とする検査方法。 - 前記メタルマスクシートの外観を検査する外観検査工程を含み、
前記ランク判定工程は、前記外観検査工程による検査結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送工程は、前記ランク判定工程により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項4記載の検査方法。 - 前記ランク判定工程は、前記測定工程による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送工程は、前記ランク判定工程により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項4記載の検査方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017193996A JP6986916B2 (ja) | 2017-10-04 | 2017-10-04 | 検査装置及び検査方法 |
CN201811139185.9A CN109604183A (zh) | 2017-10-04 | 2018-09-28 | 检查装置及检查方法 |
TW107134608A TWI775956B (zh) | 2017-10-04 | 2018-10-01 | 檢查裝置與檢查方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017193996A JP6986916B2 (ja) | 2017-10-04 | 2017-10-04 | 検査装置及び検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019066400A JP2019066400A (ja) | 2019-04-25 |
JP6986916B2 true JP6986916B2 (ja) | 2021-12-22 |
Family
ID=66002817
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017193996A Active JP6986916B2 (ja) | 2017-10-04 | 2017-10-04 | 検査装置及び検査方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6986916B2 (ja) |
CN (1) | CN109604183A (ja) |
TW (1) | TWI775956B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3951062A4 (en) | 2019-03-29 | 2022-05-11 | Sumitomo Construction Machinery Co., Ltd. | ASPHALT PAVER |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10253547A (ja) * | 1997-03-06 | 1998-09-25 | Kao Corp | 基板外観検査システム |
KR20000001075A (ko) * | 1998-06-08 | 2000-01-15 | 황헌 | 버섯분류시스템 |
JP4388286B2 (ja) * | 2003-01-31 | 2009-12-24 | 喜彦 蒲田 | 微小物体検査装置 |
JP2004259894A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Toshiba Corp | 半導体装置の解析方法、解析システム及びプログラム |
JP2005014224A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Japan Steel Works Ltd:The | 射出成形機の射出圧力制御方法 |
WO2006009253A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2006-01-26 | Advantest Corporation | 電子部品試験装置及び電子部品試験装置の編成方法 |
EP2598900A1 (en) * | 2010-07-30 | 2013-06-05 | Dow Global Technologies LLC | Thin film solar cell processing and testing method and equipment |
CN102717187B (zh) * | 2011-03-31 | 2015-03-25 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 金属掩模板组装机 |
TWI582874B (zh) * | 2012-05-03 | 2017-05-11 | Chroma Ate Inc | A test system for testing semiconductor packaged stacked wafers, and a semiconductor automated test machine |
JP6193028B2 (ja) * | 2013-07-12 | 2017-09-06 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 検査装置 |
CN103521456B (zh) * | 2013-10-25 | 2015-09-30 | 尹伟彬 | 一种水果自动筛选装箱装置 |
JP5614825B1 (ja) * | 2013-11-29 | 2014-10-29 | 上野精機株式会社 | 分類装置、分類方法及び分類プログラム |
JP2015190021A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | ソニー株式会社 | 蒸着用マスクの製造方法および表示装置の製造方法 |
JP6329923B2 (ja) * | 2015-06-08 | 2018-05-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板の検査方法、コンピュータ記憶媒体及び基板検査装置 |
CN105107753B (zh) * | 2015-08-14 | 2018-03-02 | 临海市劳尔机械有限公司 | 一种自动镜片分检机 |
CN106925533A (zh) * | 2015-12-29 | 2017-07-07 | 中天光伏材料有限公司 | 一种裁片检查自动分选机及使用方法 |
CN106076864B (zh) * | 2016-06-29 | 2018-04-17 | 华南农业大学 | 一种排序视觉检测分级机 |
-
2017
- 2017-10-04 JP JP2017193996A patent/JP6986916B2/ja active Active
-
2018
- 2018-09-28 CN CN201811139185.9A patent/CN109604183A/zh active Pending
- 2018-10-01 TW TW107134608A patent/TWI775956B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109604183A (zh) | 2019-04-12 |
JP2019066400A (ja) | 2019-04-25 |
TW201916208A (zh) | 2019-04-16 |
TWI775956B (zh) | 2022-09-01 |
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