JP2019066400A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- メタルマスクフレームに取り付ける前のメタルマスクシートを検査する検査装置であって、
前記メタルマスクシートに形成されている管理ポイントを測定する測定部と、
前記測定部による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートをランク分けするランク判定部と、
前記ランク判定部により判定された前記メタルマスクシートのランクに基づいて、前記ランク毎の前記メタルマスクシートを収容する収容部に前記メタルマスクシートを搬送する搬送部と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記メタルマスクシートの外観を検査する外観検査部を更に備え、
前記ランク判定部は、前記外観検査部による検査結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送部は、前記ランク判定部により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項1記載の検査装置。 - 前記ランク判定部は、前記測定部による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送部は、前記ランク判定部により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項1記載の検査装置。 - メタルマスクフレームに取り付ける前のメタルマスクシートを検査する検査方法であって、
前記メタルマスクシートに形成されている管理ポイントを測定する測定工程と、
前記測定工程による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートをランク分けするランク判定工程と、
前記ランク判定工程により判定された前記メタルマスクシートのランクに基づいて、前記ランク毎の前記メタルマスクシートを収容する収容部に前記メタルマスクシートを搬送する搬送工程と、
を含むことを特徴とする検査方法。 - 前記メタルマスクシートの外観を検査する外観検査工程を含み、
前記ランク判定工程は、前記外観検査工程による検査結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送工程は、前記ランク判定工程により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項4記載の検査方法。 - 前記ランク判定工程は、前記測定工程による測定結果に基づいて、前記メタルマスクシートがメタルマスクの製造に用いる部材として適切か否かを判定し、
前記搬送工程は、前記ランク判定工程により前記メタルマスクシートが前記メタルマスクの製造に用いる部材として適切でないと判定された場合、適切でない前記メタルマスクシートを収容するランク外収容部に前記メタルマスクシートを搬送することを特徴とする請求項4記載の検査方法。
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