JPH06107332A - 真空チャック装置による平板状被吸着体の吸着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 平板状被吸着体を確実に吸着する。 【構成】 真空チャック２を軟質ゴムピース７だけを介
して上下動及び横行自在なアーム１０に取付けた真空チ
ャック装置１を、ウエハＷに対し吸着面３ａを向けた後
傾姿勢で横行接近し、ゴムピース７の変形により吸着面
３ａをウエハＷの面にスムーズに一致させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空チャック装置によ
る平板状被吸着体の吸着方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体ウエハを真空チャックで吸
着して搬送する場合、吸着を確実にするためには、ウエ
ハ面と真空チャックの吸着面とが容易に合致することが
好ましい。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、ウエハがキャ
リヤ等に格納されていない場合、あるいはキャリアに格
納されていてもキャリアのウエハ保持方式によってはウ
エハは若干傾いている場合が多い。

【０００４】この傾いているウエハに真空チャックを側
方から接近して吸着すると、吸着不良でウエハをつかめ
ない、落とす等の問題があり、またウエハがキャリヤに
対しずれてダストが発生し、不良発生の原因ともなる。
したがって、ウエハ及び真空チャックは、両者が弾性が
大きく、両者の面が合致し易いことが望まれる。

【０００５】これに対し、真空チャックは、一般にアル
ミナやＳｉＣ等のセラミックスで作られており、弾性が
小さい。また、ウエハ自体は、周知のように弾性が小さ
く、６インチウエハから８インチウエハに移行するに伴
い、ウエハの厚さが厚くなって弾性がますます小さくな
ってきている。したがって、吸着時のウエハ及び真空チ
ャックの両面の合致は、ますます困難になっている。

【０００６】これに対し図４に示すように、真空チャッ
ク２０の上端部を、一対の弾性体２１を介して真空チャ
ック取付アーム２３に取付けたものが知られているが、
フレキシビリティが小さく実用に適しない。

【０００７】本発明は、平板状被吸着体を確実に吸着す
る真空チャック装置による平板状被吸着体の吸着方法を
提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明による方法は、下
端に平板状の吸着面を備えた真空チャックの上端を弾性
体だけを介して上下動及び横行自在な真空チャック取付
アームに取付けた真空チャック装置を、平板上被吸着体
に対し前記吸着面を向けた後傾姿勢で横行接近させるこ
とを特徴としている。

【０００９】上記弾性体には、例えば非常に軟らかいゴ
ムピースを用いるのが好ましい。

【００１０】また、後傾姿勢の角度は、平板状被吸着体
の予想される最大傾角より大きく形成する。

【００１１】

【作用】本発明によれば、平板状被吸着体が鉛直であっ
ても傾いていても、後傾姿勢で横行接近する真空チャッ
クの下部が最初に被吸着体に当接する。すると、弾性体
が変形してスムーズに吸着面が被吸着面に合致し、確実
に被吸着体を吸着する。

【００１２】

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。

【００１３】図１には、本発明で使用される全体を符号
１で示す真空チャック装置が示されている。

【００１４】その装置１は、真空チャック２と、上下動
及び横行自在な真空チャック取付アーム１０と、両者
２、１０の間に介装された弾性体である軟質ゴムピース
７とから構成されている。

【００１５】前記真空チャック２の本体３は、セラミッ
クスで平板状に形成され、その下端部には、吸着孔４を
備えた吸着面３ａが形成されてるい。この吸着孔４は、
小孔５を介してエルボ６に接続され、そのエルボ６は、
図示しない真空源に接続されている。

【００１６】前記軟質ゴムピース７は、巾が本体２と同
じで、厚さが本体２の厚さの略２倍に形成され、下部に
は、深さが本体２の厚さの段部８が形成されている。そ
の段部８の一面は、本体２に固着され、他面には、エル
ボ６の取付ナット９が固着されている。

【００１７】前記真空チャック取付アーム１０は、図示
しない手段で、上下動と横行が自在に支持され、下面の
スリット１１には、軟質ゴムピース７が固着されてい
る。

【００１８】この様に構成され、図１に示すように、ウ
エハＷの面が鉛直である場合は、鉛直姿勢の真空チャッ
ク装置１を下動し、左行させれば、ウエハＷの面と吸着
面３ａとが合致し、ウエハＷは確実に吸着される。しか
し、ウエハＷを鉛直に格納することは、極めて困難で、
前記した問題が発生する。

【００１９】そこで、本発明においては、真空チャック
装置１をウエハＷに対し吸着面３ａを向けた後傾姿勢で
横行接近させるようにしている。

【００２０】図２には、ウエハＷが図中で右側に角αだ
け傾いている状態が示され、真空チャック装置１は、ウ
エハＷに対し吸着面３ａを向けて角度βだけ後傾されて
いる。この角度βは、予想される最大傾角より大きく形
成されている。

【００２１】この装置を矢印ａのように下動し、矢印ｂ
のように左行させると、本体３の下縁部Ｐが、先ずウエ
ハＷの面に当接する。次いで、装置１の左行により軟質
ゴムピース７が後傾側にわずかに彎曲変形し、吸着面３
ａがウエハＷの面に合致し、ウエハＷを確実に吸着す
る。

【００２２】図３には、ウエハＷが左側に角度αだけ傾
いている状態が示されている。この場合は、前述と同様
に下縁部Ｐが、先ずウエハＷの面に当接したのち、軟質
ゴムピース７がピース７Ａのように大きく後傾側に彎曲
変形し、吸着面３ａがウエハＷの面に合致し、ウエハＷ
を確実に吸着する。

【００２３】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、軟質ゴムピースの変形により吸着面をウエ
ハの面にスムーズに合致させ、ウエハを確実に吸着する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に使用する真空チャック装置を示す側断
面図。

【図２】本発明の吸着の一態様を示す側面図。

【図３】本発明の吸着の他の態様を示す側断面図。

【図４】従来の真空チャックの一例を示す側面図。

【符号の説明】

Ｐ・・・本体の下縁部 Ｗ・・・ウエハ １・・・真空チャック装置 ２、２０・・・真空チャック ３・・・本体 ３ａ・・・吸着面 ４・・・吸着孔 ５・・・小孔 ６・・・エルボ ７・・・軟質ゴムピース ８・・・段部 ９・・・取付ナット １０、２３・・・真空チャック取付アーム １１・・・スリット ２１・・・弾性体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｈ 29/24 Ｚ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｂ 8418−4Ｍ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下端に平板状の吸着面を備えた真空チャ
   ックの上端を弾性体だけを介して上下動及び横行自在な
   真空チャック取付アームに取付けた真空チャック装置
   を、平板上被吸着体に対し前記吸着面を向けた後傾姿勢
   で横行接近させることを特徴とする真空チャック装置に
   よる平板状被吸着体の吸着方法。