JPH068354U

JPH068354U - 搬送整列装置

Info

Publication number: JPH068354U
Application number: JP5349192U
Authority: JP
Inventors: 井章永
Original assignee: 株式会社アドテックエンジニアリング
Priority date: 1992-07-06
Filing date: 1992-07-06
Publication date: 1994-02-01

Abstract

(57)【要約】【目的】搬送と整列を行える搬送整列装置を提供する。【構成】搬送用コンベア１の間に上下方向移動可能に整
列用ローラ２が備えられ、搬送用コンベア１により搬送
されたきた被搬送物を整列用ローラ２を上昇させてこの
上に載置し、整列用ローラ２上を移動させてストッパ４
に当接して整列を行わせる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は基板等の被搬送物を搬送し且つ整列させる搬送整列装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来よりＩＣ等の製造にはフォトリソグラフィー法が用いられているが、近年この方法がプリント配線基板等の導体のパターンを形成するために用いられるようになってきている。このフォトリソグラフィー法は、形成すべきパターンを描いた原版を用いて、光を投影露光することによりプリント配線基板に原版と同一のパターンを描く方法である。ＩＣ等の製造の際には高い精度を要求されるために、原版としてはガラス板が用いられるが、プリント配線基板の場合には比較的精度が低くて良いため、原版としてフィルムマスクを用いるのが普通である。このフォトリソグラフィー法において重要なのは露光する際に配線される基板と原版であるフィルムマスクとを正確に位置合わせすることであり、この位置合わせの精度が製品の歩留まりに直接影響する。そのため、従来の露光装置では露光装置と該露光装置に基板を搬送する搬送装置との間に整列装置を設けて、ここで基板を整列して露光装置に送るように構成している。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上記した従来の構成では整列装置を設ける必要があるためにラインが長くなる欠点があった。また、整列装置において基板を整列する際に、基板と整列装置の上面がこすれて基板に傷が付いたり埃が付いたりする欠点があった。本考案はこれらの従来技術の問題点を解決することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために本考案の搬送整列装置は、被搬送物を搬送する搬送用コンベアベルトと、該搬送用コンベアベルトの搬送方向と異なる方向に被搬送物を移動させる整列用ローラと、該整列用ローラを前記搬送用コンベアベルトに対して相対的に上下方向に移動させる上下方向移動装置とを備えたことを基本的な特徴とする。

【０００５】

【作用】

搬送用コンベアベルトにより被搬送物が搬送され、且つ整列ローラにより該搬送用コンベアベルトの搬送方向と異なる方向に被搬送物が移動される。整列用ローラは上下方向移動装置により搬送用コンベアベルトに対して相対的に上下方向に移動可能であり、搬送装置より上に上昇して被搬送物を移動させ、整列させる。

【０００６】

【実施例】

以下本考案を露光装置の基板搬送及び整列に適用した一実施例を図面に基づいて説明する。最初にこの搬送整列装置が露光工程において、どのように配置されるのかを図３により説明しておく。図３の例では反転機５３を挟んで左右に同一の露光装置が配設され、反転機５３により反転された基板Ｗの表裏に配線パターンを焼き付けるように構成されている。露光装置の入り口側には搬送整列装置Ａが設けられており、この搬送整列装置Ａから露光ステージＳに基板Ｗが送られ、光源５１からの露光によりフィルムマスク装置５０の配線パターンが基板Ｗに焼き付けられるように構成されている。基板Ｗの片面の焼き付けが終わったら、反転機５３により基板Ｗを反転し、再び同じ動作により他の面の焼き付けを行うように構成されている。

【０００７】この搬送整列装置Ａの一実施例の詳細を図１及び図２に示す。搬送用コンベア１は幅方向に３列配設されており、図３に示すように下流から基板Ｗを露光ステージＳへと搬送する。搬送用コンベア１はこの実施例では丸ベルトを使用しており、基板Ｗとの接触面積を減少させて傷や埃の付着を抑制するようになっている。

【０００８】整列用ローラ２は搬送用コンベア１の間に２列配設されており、各列に複数のローラ（図では３個）が備えられている。整列用ローラ２の回転方向は搬送用コンベア１の搬送方向とは異なっており、この実施例では搬送用コンベア１の搬送方向に直交する方向に回転するように構成されている。

【０００９】整列用ローラ２は基台２０上に装着されており、この基台２０はエアシリンダ２１により上下方向に移動可能になっている。即ち、整列用ローラ２は搬送用コンベア１のレベルより下側の位置と搬送用コンベア１のレベルより上側の位置の間を上下移動可能になっている。そして、搬送用コンベア１のレベルより上側に位置した時に、基板Ｗを移動させることが出来るように構成されている。

【００１０】整列用ローラ２の回転方向の一端側にはサイドビーム３の上方にストッパ４が突出して設けられており、基板Ｗの端部がこのストッパ４に当接して整列が行われるようになっている。サイドビーム３の他端側は開放されており、ここにシュート６が設けられ、整列用ローラ２を逆方向に回転させることにより基板Ｗをラインから排出できるように構成されている。

【００１１】更に基台２０にはラック３０とピニオン３１が設けられており、該ラック３０の端部に立設されたピン５により基板Ｗを整列させることが出来るように構成されている。ラック３０はピニオン３１の両側に一対設けられており、該２つのラック３０はピニオン３１の回転により互いに近ずくか遠ざかるように構成されており、これによりピン５は基板Ｗの幅方向中心を所定位置に合致するように整列させることが出来るように構成されている。これにより、基板Ｗを例えばラインの中心位置にセンタリングさせることなどが可能になる。

【００１２】更にこの実施例では基板Ｗの良否を判定する検査装置を設けており、検査不合格の基板Ｗを前記したように整列用ローラ２を逆回転させることによりシュート６側に排出できるようになっている。この検査装置は板厚及びソリを検出するものであり、板厚測定器８とソリ検出投光器９及び受光器１０とを備えている。板厚測定器８はこの装置の一辺のほぼ中央に設定され、基板Ｗの板厚を測定し、基準値に達しない場合にはシュート６側に排出するように構成されている。ソリ検出投光器９と受光器１０は、この装置の４隅に設置されており、対角線上にレーザ光を投光し、これを受光することにより基板Ｗのソリを検出するようになっている。ソリ不合格品も同様に排出されるように構成されている。

【００１３】次に動作を説明する。下流から送られてきた基板Ｗを搬送用コンベア１により所定位置まで搬送して停止する。そして、エアシリンダ２１により基台２０を上昇させ、整列用ローラ２とピン５を上昇させる。これにより基板Ｗは整列用ローラ２上に載置される。そして該整列用ローラ２を回転させて基板Ｗをストッパ４に当接して整列させるか、或いは整列用ローラ２を回転フリーの状態にしておき、ピニオン３１を回転させてピン５により基板Ｗをセンタリングする。いずれの場合も基板Ｗは整列用ローラ２により移動させられるから、擦れにより傷が付いたり埃が付着したりすることはない。整列が終了したら、エアシリンダ２１により再び整列用ローラ２とピン５を下降させ、基板Ｗを搬送用コンベア１上に載せて、基板Ｗを露光ステージＳへと送り出す。なお、前記した検査装置により基板Ｗが不合格の場合には整列用ローラ２を逆回転させて、基板Ｗをシュート６側に移動し、ライン外に排出する。

【００１４】以上説明した実施例においては、搬送整列装置Ａにより基板Ｗの搬送と整列を行えるから、露光装置のラインの短縮化を図ることが可能になる。また、整列用ローラ２により基板Ｗをストッパ４位置で揃えることが可能であり、またピン５によりセンタリングを行うことも可能である。またこの整列の際には基板Ｗは整列用ローラ２上を移動するため、擦れによるキズが付くことがなく、また埃が付着することもない。更にシュート６側に基板Ｗを排出することも可能であり、検査装置により不合格な基板Ｗをライン外に出すことが可能になる。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように本考案の搬送整列装置は、被搬送物を搬送する搬送用コンベアベルトと、該搬送用コンベアベルトの搬送方向と異なる方向に被搬送物を移動させる整列用ローラと、該整列用ローラを前記搬送用コンベアベルトに対して相対的に上下方向に移動させる上下方向移動装置とを備えているため、搬送と整列とを一つの装置で行うことができ、ライン長を短縮できる効果がある。また整列の際にはローラを用いるため、被搬送物にキズをつけたり埃をつけたりすることがない等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す斜視図。

【図２】本考案の一実施例を示す正面図。

【図３】本考案の一実施例の配置状態を示す平面図。

【符号の説明】

１：搬送用コンベア、２：整列用ローラ、３：サイドビ
ーム、４：ストッパ、５：ピン、６：シュート、８：板
厚測定器、９：ソリ検出投光器、１０：受光器、２０：
基台、２１：エアシリンダ、３０：ラック、３１：ピニ
オン。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】被搬送物を搬送する搬送用コンベアベル
トと、該搬送用コンベアベルトの搬送方向と異なる方向に被搬
送物を移動させる整列用ローラと、該整列用ローラを前記搬送用コンベアベルトに対して相
対的に上下方向に移動させる上下方向移動装置と、を備えたことを特徴とする搬送整列装置。
【請求項２】前記整列用ローラが前記搬送用コンベア
ベルトの搬送方向と直交する方向に被搬送物を移動させ
る、請求項１に記載の搬送整列装置。
【請求項３】被搬送物の検査装置を備え、検査不合格
の場合には前記整列用ローラにより該被搬送物を排出す
る、請求項１に記載の搬送整列装置。
【請求項４】被搬送物の所定方向中心位置を所定位置
に位置決めする手段を備えた、請求項１に記載の搬送整列装置。