KR20110063693A - 박리 장치 - Google Patents

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야스노리 이또
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아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 기판에 부착된 보강 시트를 박리하는 박리 장치에 있어서, 상기 기판 및 상기 보강 시트를 포함하는 적층체의 한쪽 주면을 지지하는 지지 유닛과, 상기 적층체의 다른 쪽 주면에 장착되는 판 형상의 가요성 부재와, 상기 가요성 부재 상의 상기 적층체측과 반대측의 면에 고정된 복수의 패드와, 상기 복수의 패드 중 어느 하나에 연결된 복수의 로드와, 상기 복수의 로드를 로드마다 로드의 축 방향으로 이동시키기 위한 복수의 구동 장치와, 상기 복수의 로드의 위치를 로드마다 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 복수의 패드는, 복수의 조인트 중 어느 하나를 통해 상기 복수의 로드 중 어느 하나에 연결되고, 상기 연결된 로드의 중심선과, 상기 보강 시트 상의 상기 기판측의 면 또는 상기 기판 상의 상기 보강 시트측의 면과의 교점 근방을 중심으로 하여 피봇 가능하게 되어 있고, 상기 지지 유닛에 의해 상기 적층체의 한쪽 주면을 지지함과 함께, 상기 적층체의 다른 쪽 주면이 일단부측으로부터 순차 휨 변형하도록 상기 제어 장치에 의해 상기 복수의 로드의 위치를 제어하는 박리 장치에 관한 것이다.

Description

박리 장치 {PEELING DEVICE}
본 발명은 기판에 부착된 보강 시트를 박리하는 박리 장치에 관한 것이다.
최근, 표시 패널, 태양 전지, 박막 2차 전지 등의 전자 디바이스의 박형화, 경량화가 진행되고 있고, 이들 전자 디바이스에 사용되는 유리 기판의 박판화가 진행되고 있다. 박판화에 의해 유리 기판의 강도가 저하되면 유리 기판의 핸들링성이 저하되므로, 유리 기판 상에 전자 디바이스용 부재(예를 들어, 박막 트랜지스터나 컬러 필터)를 형성하는 것이 어려워진다.
이에 대해, 하기 특허문헌 1에는, 유리 기판에 보강 시트를 박리 가능하게 부착한 적층체가 개시되어 있다. 유리 기판 상의 보강 시트측과 반대측의 면에 전자 디바이스용 부재를 형성한 후 유리 기판에 부착된 보강 시트를 박리함으로써, 유리 기판의 강도의 저하를 보충할 수 있다.
또한, 특허문헌 1에는, 유리 기판에 부착된 보강 시트를 박리하기 위해, 유리 기판과 보강 시트 사이에 면도날 등을 찔러 넣어 초기 박리를 행하는 것이 기재되어 있다. 초기 박리를 행함으로써, 그 후의 박리를 용이하게 행할 수 있다.
한편, 하기 특허문헌 2에는, 흡착 부재에 부착한 유리 기판을 박리하는 박리 장치로서, 유리 기판 상에 판 형상의 가요성 부재를 장착하고, 가요성 부재 상에 고정된 복수의 로드를 로드마다 로드의 축 방향으로 신축시킴으로써, 유리 기판을 양단부측으로부터 순차 휨 변형시켜 박리하는 장치가 제안되어 있다.
또한, 하기 특허문헌 3에는, 수지 기판에 부착된 보강 시트를 박리하는 박리 장치로서, 회전체를 회전시키면서 회전체의 곡면을 보강 시트의 상면에 순차 접촉시켜, 접촉한 부분으로부터 보강 시트를 순차 휨 변형시켜 박리하는 장치가 기재되어 있다.
국제 공개 제08/007622호 팸플릿 일본 특허 공개 제2000-84844호 공보 일본 특허 공개 제2004-142878호 공보
특허문헌 1에서는, 초기 박리 후의 박리 방법에 대하여 구체적인 설명이 없다. 따라서, 초기 박리 후의 박리 방법으로서, 특허문헌 2에 기재된 박리 장치를 사용하는 것을 생각할 수 있다. 예를 들어, 보강 시트 상에 판 형상의 가요성 부재를 장착하고, 가요성 부재 상에 고정된 복수의 로드를 로드마다 축 방향으로 신축시켜, 보강 시트를 일단부측으로부터(즉, 초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시켜 박리하는 것을 생각할 수 있다.
그러나, 특허문헌 2에 기재된 박리 장치에서는, 각 로드가 축 직교 방향으로는 이동할 수 없으므로, 보강 시트의 휨 변형이 방해되는 경우가 있다. 보강 시트의 휨 변형이 작으면, 보강 시트와 기판이 대략 평행하게 박리되므로, 박리하기 위한 힘이 커져, 박리하는 것이 곤란해진다. 이로 인해, 보강 시트가 수지층을 포함하는 경우이며, 상기 수지층과 기판이 밀착되어 있는 경우, 박리시에 수지층이 응집 파괴되어 기판에 부착될 우려가 있다.
한편, 특허문헌 3에서는, 회전체의 곡면 형상에 따라, 보강 시트의 휨 변형의 정도가 결정되고 있으므로, 박리 대상의 변경에 대응하는 것이 곤란하다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 기판에 부착된 보강 시트를 용이하게 박리할 수 있고, 또한 박리 대상의 변경에 용이하게 대응할 수 있는 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 해결하기 위해, 본 발명은, 기판에 부착된 보강 시트를 박리하는 박리 장치에 있어서,
상기 기판 및 상기 보강 시트를 포함하는 적층체의 한쪽 주면을 지지하는 지지 유닛과,
상기 적층체의 다른 쪽 주면에 장착되는 판 형상의 가요성 부재와,
상기 가요성 부재 상의 상기 적층체측과 반대측의 면에 고정된 복수의 패드와,
상기 복수의 패드 중 어느 하나에 연결된 복수의 로드와,
상기 복수의 로드를 로드마다 축 방향으로 이동시키기 위한 복수의 구동 장치와,
상기 복수의 로드의 위치를 로드마다 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 복수의 패드는, 복수의 조인트 중 어느 하나를 통해 상기 복수의 로드 중 어느 하나에 연결되고, 상기 연결된 로드의 중심선과, 상기 보강 시트 상의 상기 기판측의 면 또는 상기 기판 상의 상기 보강 시트측의 면과의 교점 근방을 중심으로 하여 피봇 가능하게 되어 있고,
상기 지지 유닛에 의해 상기 적층체의 한쪽 주면을 지지함과 함께, 상기 적층체의 다른 쪽 주면이 일단부측으로부터 순차 휨 변형하도록 상기 제어 장치에 의해 상기 복수의 로드의 위치를 제어하는 박리 장치에 관한 것이다.
또한 본 발명은, 기판에 부착된 보강 시트를 박리하는 박리 장치에 있어서,
상기 기판 및 상기 보강 시트를 포함하는 적층체의 양쪽 주면에 장착되는 판 형상의 가요성 부재와,
상기 가요성 부재 상의 상기 적층체측과 반대측의 면에 고정된 복수의 패드와,
상기 복수의 패드 중 어느 하나에 연결된 복수의 로드와,
상기 복수의 로드를 로드마다 로드의 축 방향으로 이동시키기 위한 복수의 구동 장치와,
상기 복수의 로드의 위치를 로드마다 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 복수의 패드는, 복수의 조인트 중 어느 하나를 통해 상기 복수의 로드 중 어느 하나에 연결되고, 상기 연결된 로드의 중심선과, 상기 보강 시트 상의 상기 기판측의 면 또는 상기 기판 상의 상기 보강 시트측의 면과의 교점 근방을 중심으로 하여 피봇 가능하게 되어 있고,
상기 적층체의 한쪽 주면이 일단부측으로부터 순차 휨 변형하도록 상기 제어 장치에 의해 상기 복수의 로드의 위치를 제어하고, 다른 쪽 주면이 일단부측으로부터 순차 휨 변형하도록 상기 제어 장치에 의해 상기 복수의 로드의 위치를 제어하는 박리 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 기판에 부착된 보강 시트를 용이하게 박리할 수 있고, 또한 박리 대상의 변경에 용이하게 대응할 수 있는 박리 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태에 있어서의 박리 장치를 도시하는 일부 단면 측면도.
도 2는 도 1의 박리 장치의 동작을 도시하는 일부 단면 측면도.
도 3은 보강 시트(120)의 일례를 나타내는 측면도.
도 4는 도 3의 변형예를 나타내는 측면도.
도 5는 적층체(100)의 일례를 나타내는 측면도.
도 6은 박리 날(20)의 일례를 나타내는 측면도.
도 7의 (a) 및 도 7의 (b)는 가요성 부재(30)의 일례를 나타내는 전체도.
도 8은 패드(40)의 배치예를 나타내는 상면도.
도 9는 제2 실시 형태에 있어서의 박리 장치를 도시하는 일부 단면 측면도.
도 10은 도 9의 박리 장치의 동작을 도시하는 일부 단면 측면도.
도 11의 (a) 내지 도 11의 (f)는 제2 실시 형태에 있어서의 박리 방법을 나타내는 공정도.
도 12의 (a) 내지 도 12의 (f)는 제3 실시 형태에 있어서의 박리 방법을 나타내는 공정도.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
(제1 실시 형태)
도 1은 제1 실시 형태에 있어서의 박리 장치를 도시하는 일부 단면 측면도이다. 도 2는 도 1의 박리 장치의 동작을 도시하는 일부 단면 측면도이다.
박리 장치는 유리 기판(110)에 부착된 보강 시트(120)를 박리하는 장치이다. 박리 장치는 유리 기판(110) 및 보강 시트(120)를 포함하는 적층체(100)의 제1 주면(102)을 지지함과 함께 적층체(100)의 제2 주면(104)을 일단부측으로부터 순차 휨 변형시킨다. 이와 같이 하여, 박리 장치는, 유리 기판(110)을 평탄하게 보유 지지함과 함께 보강 시트(120)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시켜 박리한다.
또한 본 실시 형태에서는, 박리 장치는 유리 기판(110)을 평탄하게 보유 지지함과 함께 보강 시트(120)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시켜 박리하는 것으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 박리 장치는 보강 시트(120)를 평탄하게 보유 지지함과 함께 유리 기판(110)을 일단부측으로부터 순차 휨 변형시켜 박리해도 된다.
다음에, 적층체(100)에 대하여 설명한다.
적층체(100)는 적어도 유리 기판(110) 및 보강 시트(120)로 구성된다. 유리 기판(110) 상의 보강 시트(120)측과 반대측의 면에는, 상술한 바와 같이 전자 디바이스용 부재가 형성되어 있어도 된다.
여기서, 전자 디바이스라 함은, 표시 패널, 태양 전지, 박막 2차 전지 등의 전자 부품을 말한다. 표시 패널은 TFT-LCD나 STN-LCD 등의 액정 패널, 유기 EL 패널, 플라즈마 디스플레이 패널, 필드 에미션 패널 등을 포함하고 있다.
유리 기판(110)은 무알칼리 유리 기판이어도 되고 알칼리 유리 기판이어도 되고, 적용되는 전자 디바이스 및 그의 제조 공정에 기초하여 적절히 선택되지만, 열수축율이 작은 점에서, 무알칼리 유리 기판인 것이 바람직하다.
유리 기판(110)의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 박판화의 관점에서 바람직하게는 0.3mm 이하이고, 보다 바람직하게는 0.15mm 이하이다. 0.3mm 이하의 경우, 유리 기판(110)에 양호한 가요성을 부여하는 것이 가능하다. 0.15mm 이하의 경우, 유리 기판(110)을 롤 형상으로 권취하는 것이 가능하다.
보강 시트(120)는, 가열 냉각시의 휨이나 박리를 억제하기 위해, 유리 기판(110)과의 선팽창 계수 차의 절대값이 작은 것이 바람직하고, 적어도 유리 시트를 포함하는 것이 바람직하다. 유리 시트는 유리 기판(110)과 동일한 재료로 형성되어도 되고 상이한 재료로 형성되어도 되지만, 동일한 재료로 형성되는 것이 바람직하다.
도 3은 보강 시트(120)의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 3에 나타낸 예에서는, 보강 시트(120)는 유리 시트(121)만으로 이루어진다. 이 경우, 유리의 실라놀기(Si-OH)끼리의 결합력이나 반데르발스력 등에 의해 보강 시트(120)와 유리 기판(110)을 박리 가능하게 부착할 수 있다.
도 4는 도 3의 변형예를 나타내는 측면도이다.
도 4에 나타낸 예에서는, 보강 시트(120)는 유리 시트(121)와 유리 시트(121) 상에 형성된 수지층(122)으로 이루어진다. 이 경우, 수지층(122)과 유리 기판(110) 사이에 작용하는 반데르발스력이나 수지층(122)의 점착력 등에 의해 수지층(122)과 유리 기판(110)을 박리 가능하게 부착할 수 있다.
수지층(122)은, 가요성이나 내충격성의 관점에서, 적어도 아크릴 수지, 폴리올레핀 수지, 에폭시 수지, 폴리우레탄 수지 및 실리콘 수지 중 어느 1종을 포함하는 것이 바람직하다. 수지층(122)은, 내열성의 관점에서, 실리콘 수지로 이루어지는 것이 보다 바람직하다.
또한, 도 4에 나타낸 예에서는, 보강 시트(120)가 유리 시트(121)와 수지층(122)으로 이루어지는 것으로 했지만, 유리 시트(121) 상의 수지층(122)측과 반대측의 면에 다른 수지층이 더 형성되어 있어도 된다.
도 5는 적층체(100)의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 5에 나타낸 예에서는, 적층체(100)는 보강 시트(120A), 유리 기판(110A), 액정층(130), 유리 기판(110B), 보강 시트(120B)가 순차 배치된 구성이다. 이 적층체(100)는 TFT-LCD에 사용되는 것이며, 유리 기판(110A) 상의 액정층(130)측의 면에는 도시하지 않은 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있고, 유리 기판(110B) 상의 액정층(130)측의 면에는 도시하지 않은 컬러 필터가 형성되어 있다.
또한, 도 5에 나타낸 예에서는, 적층체(100)는 양측에 보강 시트가 배치되어 있는 구성으로 했지만, 일측에만 보강 시트가 배치되어 있는 구성이어도 된다.
다음에, 박리 장치의 상세에 대하여 도 1 및 도 2를 다시 참조하여 설명한다.
박리 장치는, 스테이지(10)(지지 유닛), 박리 날(20), 가요성 부재(30), 복수의 패드(40), 복수의 조인트(50), 복수의 로드(60), 복수의 구동 장치(70), 제어 장치(80) 등으로 구성된다.
스테이지(10)는, 적층체(100)의 제1 주면(102)을 지지하여, 유리 기판(110)을 평탄하게 보유 지지한다.
또한 본 실시 형태에서는, 스테이지(10)는 적층체(100)의 제1 주면(102)을 지지하여 유리 기판(110)을 평탄하게 보유 지지하는 것으로 했지만, 적층체(100)의 제2 주면(104)을 지지하여 보강 시트(120)를 평탄하게 보유 지지해도 된다.
스테이지(10)는 적층체(100)의 제1 주면(102)을 진공 흡착한다. 또한, 진공 흡착하는 대신에 정전 흡착해도 되고, 착탈 가능하게 접착해도 된다.
박리 날(20)은 초기 박리를 행하기 위한 것이며, 수동 또는 적당한 구동 장치에 의해 유리 기판(110)과 보강 시트(120) 사이에 찔러 넣어진다. 예를 들어, 박리 날(20)은, 적층체(100)의 코너부에 있어서 유리 기판(110)과 보강 시트(120) 사이에 찔러 넣어져, 유리 기판(110)과 보강 시트(120)의 계면을 따라 소정량 이동된다.
도 6은 박리 날(20)의 일례를 나타내는 측면도이다.
박리 날(20)의 선단부에 있어서, 유리 기판(110)측의 날면(22)은, 도 6에 도시한 바와 같이 선단으로 갈수록 유리 기판(110)으로부터 이격되도록 구성되어 있다. 이에 의해, 박리 날(20)의 찔러 넣음에 의한 유리 기판(110)의 손상을 억제할 수 있다.
마찬가지로, 박리 날(20)의 선단부에 있어서, 보강 시트(120)측의 날면(24)은, 선단으로 갈수록 보강 시트(120)로부터 이격되도록 구성되어 있다. 이에 의해, 박리 날(20)의 찔러 넣음에 의한 보강 시트(120)의 손상을 억제할 수 있다. 보강 시트(120)가 수지층(122)을 포함하고 있는 경우이며, 상기 수지층(122)이 유리 기판(110)과 밀착되어 있는 경우, 수지층(122)은 유리 시트(121)에 비교하여 내찰상성이 낮으므로 특히 유효하다.
도 6에 나타낸 예에서는, 보강 시트(120)측의 날면(24)은 2개의 경사면(26, 28)으로 구성되어 있다. 날면(22)과 경사면(26)이 이루는 각 α는 65°로 설정되고, 날면(22)과 경사면(28)이 이루는 각 β는 12°로 설정되어 있다. 경사면(26)의 길이 L1은 35㎛로 설정되고, 경사면(28)의 길이 L2는 290㎛로 설정되어 있다.
가요성 부재(30)는 판 형상이며, 적층체(100)의 제2 주면(104)에 장착되는 부재이다. 즉, 가요성 부재(30)는 보강 시트(120) 상의 유리 기판(110)과 반대측의 면(104)에 장착되는 부재이다. 가요성 부재(30)는 적층체(100)의 제2 주면(104)에 제거 가능하게 장착되면 된다.
또한 본 실시 형태에서는, 가요성 부재(30)는 적층체(100)의 제2 주면(104)에 장착되는 것으로 했지만, 적층체(100)의 제1 주면(102)에 장착되어도 된다.
가요성 부재(30)를 개재하지 않고 후술하는 패드(40)를 적층체(100)의 제2 주면(104)에 직접 장착하는 경우, 패드(40)의 이동 개시시에 상기 패드(40)의 바로 아래에 있어서 보강 시트(120)와 유리 기판(110)이 대략 평행하게 박리되므로, 박리를 위한 힘이 커져 박리하는 것이 곤란해진다. 이로 인해, 보강 시트(120)가 수지층(122)을 포함하는 경우이며 상기 수지층(122)과 유리 기판(110)이 밀착되어 있는 경우, 박리시에 수지층(122)이 응집 파괴되어 유리 기판(110)에 부착될 우려가 있다.
도 7은 가요성 부재(30)의 일례를 나타내는 전체도이며, 도 7의 (a)는 평면도이며, 도 7의 (b)는 도 7의 (a)의 A-A'선을 따른 단면도이다.
도 7에 나타낸 예에서는, 가요성 부재(30)는 장착부(32)와 규정부(34)로 구성된다. 장착부(32)는 적층체(100)의 제2 주면(104)에 제거 가능하게 장착되는 부위이다. 장착부(32)에는 홈부(36)가 형성되어 있고, 규정부(34)의 관통 구멍(38)과 연통되어 있다. 관통 구멍(38)에 접속된 진공 펌프 등에 의해 홈부(36) 내를 감압하여, 적층체(100)의 제2 주면(104)을 장착부(32)에 진공 흡착한다. 또한, 진공 흡착하는 대신에 정전 흡착해도 되고, 제거 가능하게 접착해도 된다.
장착부(32)의 재료는 특별히 한정되지 않지만, 밀착성의 관점에서 고무가 바람직하다. 고무로서는 박리성의 관점에서 실리콘 고무가 바람직하다.
실리콘 고무 대신에 실리콘 겔을 사용하는 것도 가능하지만, 이 경우, 적층체(100)에 장착한 장착부(32)를 제거할 때에 실리콘 겔이 응집 파괴되어 적층체(100)에 부착되는 경우가 있다.
장착부(32)의 표면에는, 박리성을 향상시키는 목적에서 코팅을 실시해도 된다.
장착부(32)의 두께 T1은 바람직하게는 1mm 이상이며, 보다 바람직하게는 2mm 이상이다. 장착부(32)의 두께 T1이 1mm 미만인 경우 장착부(32)의 변형값이 작으므로, 장착부(32)와 적층체(100)의 밀착성을 충분히 얻는 것이 곤란해진다. 또한, 장착부(32)의 두께 T1은 30mm 이하인 것이 바람직하다. 장착부(32)의 두께 T1이 30mm를 초과하면 장착부(32)의 변형값이 크므로, 적층체(100)의 제2 주면(104)의 휨 변형을 제어하는 것이 어려워진다.
규정부(34)는, 가요성 부재(30)의 굽힘 강성을 규정하는 부위이다. 가요성 부재(30)의 단위 폭(1mm)당의 굽힘 강성은 1000 내지 40000Nㆍmm2/mm인 것이 바람직하다. 바꾸어 말하면, 가요성 부재(30)의 굽힘 강성은 1000 내지 40000Nㆍmm2인 것이 바람직하다.
가요성 부재(30)의 단위 폭(1mm)당의 굽힘 강성이 1000Nㆍmm2/mm 미만인 경우, 가요성 부재(30)가 연해져, 보강 시트(120)가 박리시에 절곡되게 된다.
한편, 가요성 부재(30)의 단위 폭(1mm)당의 굽힘 강성이 40000Nㆍmm2/mm를 초과하는 경우, 가요성 부재(30)가 휘기 어려워져, 보강 시트(120)의 휨 변형을 행하기 어려워진다.
규정부(34)의 재료는, 가요성 부재(30)의 단위 폭(1mm)당의 굽힘 강성이 1000 내지 40000Nㆍmm2/mm인 한 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 폴리염화비닐(PVC) 수지, 아크릴 수지, 폴리아세탈(POM) 수지 등의 수지판 외에, 금속판이 사용된다.
복수의 패드(40)는, 가요성 부재(30) 상의 적층체(100)측과 반대측의 면에 고정되어 있다. 복수의 패드(40)는, 가요성 부재(30) 상에 흡착 고정되어도 되고, 접착 고정되어도 된다.
도 8은 복수의 패드(40)의 배치예를 나타내는 상면도이다.
도 8에 나타낸 예에서는, 복수의 패드(40)가 등피치(예를 들어, 중심간 거리P=98mm)로 바둑판 눈 형상으로 배치되어 있다. 패드(40)의 크기는 가요성 부재(30)의 휨 변형을 방해하지 않도록 설정되고, 도 8에 나타낸 예에서는 직경이 29mm로 설정되어 있다.
또한 본 실시 형태에서는, 복수의 패드(40)가 등피치로 바둑판 눈 형상으로 배치되어 있는 것으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 부등피치로 배치되어도 되고, 지그재그 형상으로 배치되어도 된다.
복수의 패드(40)는 복수의 조인트(50) 중 어느 하나를 통해 복수의 로드(60) 중 어느 하나에 연결되고, 연결된 로드(60)의 중심선 X와, 보강 시트(120) 상의 유리 기판(110)측의 면과의 교점 P 근방(교점 P로부터 ±15mm 이내, 보다 바람직하게는 교점 P로부터 ±5mm 이내)을 중심으로 하여 피봇 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 도 2에 도시한 바와 같이, 패드(40)와 로드(60)의 연결 부분에 있어서 패드(40)측이 로드(60)의 축 직교 방향으로 이동할 수 있어, 가요성 부재(30)의 휨 변형에 추종할 수 있다.
이러한 조인트(50)로서는, 예를 들어 도 1에 도시한 구면 조인트, 링크 등이 있다. 이들 중에서도, 구조가 비교적 간단한 구면 조인트가 바람직하다.
볼 조인트를 통해, 패드(40)와 로드(60)가 연결되어 있는 경우, 연결 부분에 있어서 패드(40)측이 로드(60)의 축 직교 방향으로 이동할 수 없으므로, 가요성 부재(30)의 휨 변형이 방해되고, 적층체(100)의 제2 주면(104)의 휨 변형이 방해되는 경우가 있다. 적층체(100)의 제2 주면(104)의 휨 변형이 작으면 보강 시트(120)와 유리 기판(110)이 대략 평행하게 박리되므로, 박리하기 위한 힘이 커져 박리하는 것이 곤란해진다. 이로 인해, 보강 시트(120)가 수지층(122)을 포함하는 경우이며 상기 수지층(122)과 유리 기판(110)이 밀착되어 있는 경우, 박리시에 수지층(122)이 응집 파괴되어 유리 기판(110)에 부착될 우려가 있다.
이에 대해 본 실시 형태에서는, 조인트(50)에 의해 각 패드(40)를 가요성 부재(30)의 휨 변형에 추종시킬 수 있으므로, 유리 기판(110)에 부착된 보강 시트(120)를 용이하게 박리할 수 있다. 이로 인해, 보강 시트(120)가 수지층(122)을 포함하는 경우이며 상기 수지층(122)과 유리 기판(110)이 밀착되어 있는 경우, 박리시의 파손을 억제할 수 있다.
또한, 패드(40)와 조인트(50) 사이에는, 코일 스프링(52)이 약간 줄어든 상태에서 개재 장착되어 있다. 코일 스프링(52)의 복원력에 의해, 패드(40)와 로드(60)의 연결 부분의 덜걱거림을 없앨 수 있다.
복수의 구동 장치(70)는, 1개의 제어 장치(80)에 의한 제어하에서, 복수의 로드(60)를 스테이지(10)에 대하여 접근, 이격하는 방향으로 로드(60)마다 이동시키기 위한 것이다. 바꾸어 말하면, 복수의 구동 장치(70)는 1개의 제어 장치(80)에 의한 제어하에서, 복수의 로드(60)를 로드(60)마다 축 방향으로 신축시키기 위한 것이다. 구동 장치(70)는 로드(60)마다 1개씩 설치되어 있다. 구동 장치(70)로서는 특별히 한정되지 않지만, 에어 실린더나 서보 모터가 사용되는 것이 바람직하다.
복수의 구동 장치(70)는, 복수의 쿠션 부재(14) 중 어느 하나를 개재하여 프레임(16)에 연결되어 있는 것이 바람직하다. 쿠션 부재(14)의 재질은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 우레탄 고무 등을 들 수 있다. 또한, 프레임(16)은 스테이지(10)에 대하여 접근, 이격하는 방향으로 상대적으로 이동 가능한 것이다.
이와 같이, 각 구동 장치(70)와 프레임(16) 사이에 쿠션 부재(14)가 개재하고 있으므로, 각 로드(60)를 축 직교 방향으로 약간 틸팅시키는 것이 가능하며, 각 패드(40)를 가요성 부재(30)의 휨 변형에 추종시키는 것이 용이하다.
제어 장치(80)는 마이크로컴퓨터 등으로 구성되고, 스테이지(10)에 대한 복수의 로드(60)의 위치를 로드(60)마다 제어한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 제어 장치(80)는, 유리 기판(110)이 평탄하게 지지된 상태에서, 초기 박리를 행한 위치(박리 날(20)을 찔러 넣은 위치)로부터 보강 시트(120)를 순차 휨 변형시키도록 복수의 로드(60)의 위치를 제어한다. 이로 인해, 복수의 로드(60)의 위치를 박리 대상(유리 기판(110)이나 보강 시트(120))의 두께나 종류 등에 따라서 설정할 수 있어, 박리 대상의 변경에 용이하게 대응할 수 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 제어 장치(80)는, 순차 휨 변형되는 보강 시트(120) 상의 유리 기판(110)측의 면을 박리 영역(124)과 미박리 영역(126)으로 나누는 박리 전 선(128) 부근에 있어서, 박리 영역(124)의 곡률 반경이 250mm 내지 2500mm, 보다 바람직하게는 500mm 내지 1000mm가 되도록 복수의 로드(60)의 위치를 제어한다. 여기서, 박리 전 선(128) 부근이라 함은, 박리 전 선(128)으로부터 50mm 이내의 영역을 말한다.
박리 전 선(128) 부근에 있어서, 박리 영역(124)의 곡률 반경이 250mm 미만이면 보강 시트(120)가 접혀 파손되는 경우가 있다. 특히, 보강 시트(120)가 유리 시트(121)를 포함하는 경우에 문제가 된다.
한편, 박리 전 선(128) 부근에 있어서, 박리 영역(124)의 곡률 반경이 2500mm를 초과하면, 보강 시트(120)와 유리 기판(110)이 대략 평행하게 박리되므로, 박리를 위한 힘이 커져, 박리하는 것이 곤란해진다. 이로 인해, 적층체(100)와 가요성 부재(30)의 흡착이 풀리는 경우가 있다. 또한, 보강 시트(120)가 수지층(122)을 포함하는 경우이며 상기 수지층(122)과 유리 기판(110)이 밀착되어 있는 경우, 박리시에 수지층(122)이 응집 파괴되어 유리 기판(110)에 부착될 우려가 있다.
또한, 박리 전 선(128) 부근 이외의 박리 영역(124)에서는, 보강 시트(120)가 접혀 손상되지 않는 한 보강 시트(120)의 형상에 한정은 없고, 예를 들어 평판 형상이면 된다.
제어 장치(80)는, 구동 장치(70)로서 서보 모터를 사용한 경우, 도 1, 도 2에 도시한 바와 같이 위치 검출부(82)와 제어부(84)를 구비한다. 위치 검출부(82)는 서보 모터의 회전수에 기초하여 복수의 로드(60)의 현재 위치를 로드(60)마다 검출한다. 제어부(84)는, 위치 검출부(82)에 의해 검출된 현재 위치가 미리 설정된 목표 위치에 접근하도록, 복수의 서보 모터에의 공급 전력을 서보 모터마다 제어한다. 여기서 목표 위치는, 제어를 개시하고 나서의 시간 T에 따라서 로드(60)마다 변화하는 것이며, 로드(60)마다 기록 매체에 미리 기록된 것을 판독하여 사용한다. 또한, 시간 T는 제어 장치(80)에 조립된 타이머 등에 의해 검출된다.
이와 같이 하여, 제어 장치(80)는 복수의 로드(60)의 위치를 로드(60)마다 정확하게 제어할 수 있음과 함께, 복수의 로드(60)의 위치를 서로 대응시켜 정확하게 제어할 수 있다. 그 결과, 보강 시트(120)의 박리 전 선(128)의 이동 속도를 일정하게 유지하는 것이 가능하다.
박리 전 선(128)의 이동 속도가 변동하면 박리를 위한 힘이 변동하므로, 보강 시트(120)에 국소적으로 과도한 부하가 걸리는 경우가 있다.
또한, 제어 장치(80)는, 구동 장치(70)로서 서보 모터를 사용한 경우, 도 1, 도 2에 도시한 바와 같이 부하 검출부(86)를 더 구비해도 된다. 부하 검출부(86)는 복수의 서보 모터의 부하 토크(예를 들어, 복수의 서보 모터에의 공급 전류)를 서보 모터마다 검출한다. 이 경우 제어부(84)는, 부하 검출부(86)의 검출 결과에 기초하여 복수의 로드(60)의 목표 위치를 로드(60)마다 수정하고 기록 매체에 기록한다. 예를 들어, n회째(n은 1 이상의 자연수)의 제어시에, 하나의 서보 모터의 부하 토크가 임계값을 초과했을 때, 상기 하나의 서보 모터에 의해 이동되는 로드(60)의 목표 위치의 시간 T를 소정 시간(예를 들어, 0.06초) 늦추도록 수정하고, 기록 매체에 기록한다. n+1회째의 제어시에는 n회째의 제어시에 사용된 목표 위치 대신에 n회째의 제어 후에 수정, 기록된 목표 위치에 기초하여 복수의 서보 모터에의 공급 전력을 서보 모터마다 제어한다. 이에 의해, n+1회째의 제어시에 보강 시트(120)에 과도한 부하가 걸리는 것을 억제할 수 있어, 보강 시트(120)의 손상을 억제할 수 있다.
다음에, 상기 박리 장치를 사용한 박리 방법에 대하여 설명한다.
도 5에 도시한 적층체(100)를 보강 시트(120A)가 상측이 되도록 하여 스테이지(10)에 적재하여 진공 흡착한다. 이 상태에서, 스테이지(10)에 대하여 승강 가능한 프레임(16)을 하강하여 판 형상의 가요성 부재(30)를 보강 시트(120A)에 가압한다. 그 후 프레임(16)을 정지하고, 보강 시트(120A)를 가요성 부재(30)에 진공 흡착한다. 이 상태에서는, 도 1에 도시한 바와 같이, 가요성 부재(30)는 평판 형상으로 되어 있다.
도 1에 도시한 상태로부터, 적층체(100)의 보강 시트(120A)와 유리 기판(110A) 사이에 박리 날(20)을 찔러 넣어 초기 박리를 행한다. 계속해서, 도 2에 도시한 바와 같이, 복수의 로드(60)를 로드(60)마다 이동시켜, 가요성 부재(30)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시키고, 보강 시트(120A)를 일단부측으로부터(초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시켜 유리 기판(110A)으로부터 전체면 박리한다.
전체면 박리시, 보강 시트(120A)의 박리 전 선 부근에 있어서, 박리 영역의 곡률 반경이 250mm 내지 2500mm, 보다 바람직하게는 500mm 내지 1000mm가 되도록 박리한다. 이에 의해, 용이하게 박리할 수 있음과 함께 박리시의 파손을 억제할 수 있다.
보강 시트(120A)를 박리한 후, 프레임(16)을 소정 위치까지 상승시키고, 가요성 부재(30)에 의한 진공 흡착을 해제한 후에 보강 시트(120A)를 제거하고, 스테이지(10)에 의한 진공 흡착을 해제한 후에 적층체(100)를 제거한다.
그 후, 보강 시트(120A)가 박리된 적층체(100)를 보강 시트(120B)가 상측이 되도록 하여 스테이지(10)에 적재하여 진공 흡착한 후, 마찬가지로 하여 보강 시트(120B)를 일단부측으로부터(초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시켜 유리 기판(110B)으로부터 박리한다.
이와 같이 하여, 적층체(100)로부터 보강 시트(120A, 120B)를 용이하게 박리할 수 있고, 또한 박리시의 손상을 억제할 수 있다.
또한 본 실시 형태에서는, 보강 시트(120)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시켜 박리하는 것으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 보강 시트(120)를 양단부측으로부터 순차 휨 변형시켜 박리해도 된다.
또한 본 실시 형태에서는, 스테이지(10)가 고정되고 프레임(16)이 승강하는 구성으로 했지만, 스테이지(10)가 승강하고 프레임(16)이 고정되는 구성이어도 되고, 스테이지(10)와 프레임(16)의 양쪽이 승강하는 구성이어도 된다. 즉, 스테이지(10)와 프레임(16)이 상대적으로 이동하는 구성이면 된다.
(제2 실시 형태)
도 9는 제2 실시 형태에 있어서의 박리 장치를 도시하는 일부 단면 측면도이다. 도 10은 도 9의 박리 장치의 동작을 도시하는 일부 단면 측면도이다.
상기 제1 실시 형태에서는, 적층체(100)의 일측에, 판 형상의 가요성 부재(30), 복수의 패드(40), 복수의 로드(60), 복수의 구동 장치(70) 등이 배치되어 있었다.
이에 대해 본 실시 형태의 박리 장치는 적층체(100)의 양측에, 판 형상의 가요성 부재(30), 복수의 패드(40), 복수의 로드(60), 복수의 구동 장치(70) 등이 배치되어 있다.
즉, 본 실시 형태의 박리 장치는, 도 9, 도 10에 도시한 바와 같이, 적층체(100)의 한쪽의 일측에 판 형상의 가요성 부재(30A), 복수의 패드(40A), 복수의 로드(60A), 복수의 구동 장치(70) 등이 배치되어 있고, 적층체(100)의 다른 쪽의 일측에 판 형상의 가요성 부재(30B), 복수의 패드(40B), 복수의 로드(60B), 복수의 구동 장치(70B) 등이 배치되어 있다.
가요성 부재(30A)는 적층체(100)의 한쪽 주면(104)에 장착되는 부재이다. 한편, 가요성 부재(30B)는 적층체(100)의 다른 쪽 주면(102)에 장착되는 부재이다.
복수의 패드(40A)는 가요성 부재(30A) 상의 적층체(100)측과 반대측의 면에 고정되어 있다. 한편, 복수의 패드(40B)는 가요성 부재(30B) 상의 적층체(100)측과 반대측의 면에 고정되어 있다.
복수의 패드(40A)는 복수의 조인트(50A) 중 어느 하나를 통해 복수의 로드(60A) 중 어느 하나에 연결되고, 연결된 로드(60A)의 중심선 X와 보강 시트(120) 상의 유리 기판(110)측의 면의 교점 P 근방을 중심으로 하여 피봇 가능하게 되어 있다. 한편, 복수의 패드(40B)는 복수의 조인트(50B) 중 어느 하나를 통해 복수의 로드(60B) 중 어느 하나에 연결되고, 연결된 로드(60B)의 중심선 Y와 유리 기판(110) 상의 보강 시트(120)측의 면의 교점 Q 근방을 중심으로 하여 피봇 가능하게 되어 있다.
또한, 패드(40A)와 조인트(50A) 사이에는 코일 스프링(52A)이 약간 줄어든 상태에서 개재 장착되어 있다. 코일 스프링(52A)의 복원력에 의해 패드(40A)와 로드(60A)의 연결 부분의 덜걱거림을 없앨 수 있다. 한편, 패드(40B)와 조인트(50B) 사이에는 코일 스프링(52B)이 약간 줄어든 상태에서 개재 장착되어 있다. 코일 스프링(52B)의 복원력에 의해 패드(40B)와 로드(60B)의 연결 부분의 덜걱거림을 없앨 수 있다.
복수의 구동 장치(70A)는, 1개의 제어 장치(80)에 의한 제어하에서, 복수의 로드(60A)를 로드(60A)마다 축 방향으로 신축시키기 위한 것이다. 구동 장치(70A)는 로드(60A)마다 1개씩 설치되어 있다. 복수의 구동 장치(70A)는 복수의 쿠션 부재(14A) 중 어느 하나를 개재하여 프레임(16A)에 연결되어 있다. 한편, 복수의 구동 장치(70B)는, 1개의 제어 장치(80)에 의한 제어하에서, 복수의 로드(60B)를 로드(60B)마다 축 방향으로 신축시키기 위한 것이다. 구동 장치(70B)는 로드(60B)마다 1개씩 설치되어 있다. 복수의 구동 장치(70B)는 복수의 쿠션 부재(14B) 중 어느 하나를 개재하여 프레임(16B)에 연결되어 있다.
제어 장치(80)는 마이크로컴퓨터 등으로 구성되고, 복수의 로드(60A)의 위치를 로드(60A)마다 제어함과 함께, 복수의 로드(60B)의 위치를 로드(60B)마다 제어한다. 도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이, 제어 장치(80)는, 초기 박리를 행한 위치(박리 날(20)을 찔러 넣은 위치)로부터 보강 시트(120)를 순차 휨 변형시키도록 복수의 로드(60A)의 위치를 제어함과 함께, 초기 박리를 행한 위치로부터 유리 기판(110)을 순차 휨 변형시키도록 복수의 로드(60B)의 위치를 제어한다. 이와 같이 하여, 유리 기판(110)과 보강 시트(120)를 서로 반대 방향으로 휨 변형시켜 박리를 행한다. 또한, 유리 기판(110)과 보강 시트(120)를 대략 대칭으로 휨 변형시켜도 되고, 비대칭으로 휨 변형시켜도 된다.
그런데, 휨 변형의 정도가 크면 유리 기판(110)이나 보강 시트(120)가 접혀 파손될 가능성이 있다. 한편 휨 변형의 정도가 작으면 유리 기판(110)과 보강 시트(120)가 대략 평행하게 박리되므로, 박리를 위한 힘이 커져 박리하는 것이 곤란해진다.
본 실시 형태에서는 박리시에 유리 기판(110) 및 보강 시트(120)의 양쪽을 서로 반대 방향으로 휨 변형시키므로, 어느 한쪽을 평탄하게 보유 지지하여 다른 쪽을 휨 변형시키는 경우에 비교하여 유리 기판(110)과 보강 시트(120)가 대략 평행해지기 어렵다. 이로 인해, 파손을 효과적으로 억제하거나 박리력을 저감시킬 수 있다.
예를 들어, 박리시에 유리 기판(110)과 보강 시트(120)를 대략 대칭으로 휨 변형시키는 경우, 어느 한쪽을 평탄하게 보유 지지하여 다른 쪽을 휨 변형시키는 경우에 비교하여, 박리 영역의 곡률 반경을 대략 2배로 설정함으로써, 박리력을 동등하게 유지하면서 파손을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 유리 기판(110)과 보강 시트(120)를 대략 대칭으로 휨 변형시키는 경우, 어느 한쪽을 평탄하게 보유 지지하여 다른 쪽을 휨 변형시키는 경우에 비교하여, 박리 영역의 곡률 반경을 대략 동일하게 설정함으로써, 파손을 동등하게 억제하면서 박리력을 저감시킬 수 있다.
다음에, 상기 박리 장치를 사용한 박리 방법에 대하여 설명한다.
도 11의 (a) 내지 도 11의 (f)는 제2 실시 형태에 있어서의 박리 방법을 나타내는 공정도이다.
도 5에 도시한 적층체(100)를 보강 시트(120A)가 상측이 되도록 하여 판 형상의 가요성 부재(30B)에 적재하여 진공 흡착한다. 이 상태에서, 프레임(16B)에 대하여 승강 가능한 프레임(16A)을 하강하여 판 형상의 가요성 부재(30A)를 보강 시트(120A)에 가압한다. 그 후, 프레임(16A)을 정지하고, 보강 시트(120A)를 가요성 부재(30A)에 진공 흡착한다. 이 상태에서는, 도 11의 (a)에 도시한 바와 같이, 가요성 부재(30A) 및 가요성 부재(30B)는 평판 형상으로 되어 있다.
계속해서, 적층체(100)의 보강 시트(120A)와 유리 기판(110A) 사이에 박리 날(20)을 찔러 넣어 초기 박리를 행한다. 그 후, 도 11의 (b) 및 도 11의 (c)에 도시한 바와 같이, 가요성 부재(30A)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시키고, 보강 시트(120A)를 일단부측으로부터(초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시킨다. 이때, 가요성 부재(30B)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시키고, 유리 기판(110A)을 일단부측으로부터(초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시킨다. 이와 같이 하여, 보강 시트(120A)를 유리 기판(110A)으로부터 전체면 박리한다.
보강 시트(120A)를 박리한 후, 프레임(16A)을 소정 위치까지 상승시키고, 한쪽의 가요성 부재(30A)에 의한 진공 흡착을 해제한 후에 보강 시트(120A)를 제거한다. 계속해서, 가요성 부재(30A)를 하강시켜 유리 기판(110A)에 가압한다. 그 후, 유리 기판(110A)을 가요성 부재(30A)에 진공 흡착한다. 이 상태에서는, 도 11의 (d)에 도시한 바와 같이, 가요성 부재(30A) 및 가요성 부재(30B)는 평판 형상으로 되어 있다.
계속해서, 보강 시트(120B)와 유리 기판(110B) 사이에 박리 날(20)을 찔러 넣어 초기 박리를 행한다. 계속해서, 도 11의 (e) 및 도 11의 (f)에 도시한 바와 같이, 가요성 부재(30B)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시키고, 보강 시트(120B)를 일단부측으로부터(초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시킨다. 이때, 가요성 부재(30A)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시키고, 유리 기판(110B)을 일단부측으로부터(초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시킨다. 이와 같이 하여, 보강 시트(120B)를 유리 기판(110B)으로부터 전체면 박리한다.
이와 같이 하여, 적층체(100)로부터 보강 시트(120A, 120B)를 용이하게 박리할 수 있고, 또한 박리시의 손상을 억제할 수 있다.
또한 본 실시 형태에서는, 프레임(16B)이 고정되고 프레임(16A)이 승강하는 구성으로 했지만, 프레임(16B)이 승강하고 프레임(16A)이 고정되는 구성이어도 되고, 프레임(16B)과 프레임(16A)의 양쪽이 승강하는 구성이어도 된다. 즉, 프레임(16B)과 프레임(16A)이 상대적으로 이동하는 구성이면 된다.
(제3 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 도 9에 도시한 박리 장치를 사용하여 박리를 행하지만, 박리 장치의 동작이 상이하다.
도 12의 (a) 내지 도 12의 (f)는 제3 실시 형태에 있어서의 박리 방법을 나타내는 공정도이다.
도 5에 도시한 적층체(100)를 보강 시트(120A)가 상측이 되도록 하여 가요성 부재(30B)에 적재하여 진공 흡착한다. 이 상태에서, 프레임(16B)에 대하여 승강 가능한 프레임(16A)을 하강하여, 판 형상의 가요성 부재(30A)를 보강 시트(120A)에 가압한다. 그 후, 프레임(16A)을 정지하고, 보강 시트(120A)를 가요성 부재(30A)에 진공 흡착한다. 이 상태에서는, 도 12의 (a)에 도시한 바와 같이, 가요성 부재(30A) 및 가요성 부재(30B)는 평판 형상으로 되어 있다.
계속해서, 적층체(100)의 보강 시트(120A)와 유리 기판(110A) 사이에 박리 날(20)을 찔러 넣어 초기 박리를 행한다. 그 후, 도 12의 (b) 및 도 12의 (c)에 도시한 바와 같이, 유리 기판(110A)을 평탄하게 보유 지지한 상태에서 가요성 부재(30A)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시키고, 보강 시트(120A)를 일단부측으로부터(초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시켜 유리 기판(110A)으로부터 전체면 박리한다.
전체면 박리시, 보강 시트(120A)의 박리 전 선 부근에 있어서, 박리 영역의 곡률 반경이 250mm 내지 2500mm, 보다 바람직하게는 500mm 내지 1000mm가 되도록 박리한다. 이에 의해, 용이하게 박리할 수 있음과 함께, 박리시의 파손을 억제할 수 있다.
보강 시트(120A)를 박리한 후, 가요성 부재(30A)를 소정 위치까지 상승시키고, 가요성 부재(30A)에 의한 진공 흡착을 해제한 후에 보강 시트(120A)를 제거한다. 계속해서, 가요성 부재(30A)를 하강시켜 유리 기판(110A)에 가압한다. 그 후, 유리 기판(110A)을 가요성 부재(30A)에 진공 흡착한다. 이 상태에서는, 도 12의 (d)에 도시한 바와 같이, 가요성 부재(30A) 및 가요성 부재(30B)는 평판 형상으로 되어 있다.
계속해서, 보강 시트(120B)와 유리 기판(110B) 사이에 박리 날(20)을 찔러 넣어 초기 박리를 행한다. 계속해서, 도 12의 (e) 및 도 12의 (f)에 도시한 바와 같이, 유리 기판(110B)을 평탄하게 보유 지지한 상태에서 가요성 부재(30B)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시키고, 보강 시트(120B)를 일단부측으로부터(초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시켜 유리 기판(110B)으로부터 전체면 박리한다.
전체면 박리시, 보강 시트(120B)의 박리 전 선 부근에 있어서, 박리 영역의 곡률 반경이 250mm 내지 2500mm, 보다 바람직하게는 500mm 내지 1000mm가 되도록 박리한다. 이에 의해, 용이하게 박리할 수 있음과 함께, 박리시의 파손을 억제할 수 있다.
이와 같이 하여, 적층체(100)로부터 보강 시트(120A, 120B)를 용이하게 박리할 수 있고, 또한 박리시의 손상을 억제할 수 있다.
또한 본 실시 형태에서는, 보강 시트(120A, 120B)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시켜 박리하는 것으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 보강 시트(120A, 120B)를 양단부측으로부터 순차 휨 변형시켜 박리해도 된다.
또한 본 실시 형태에서는, 프레임(16B)이 고정되고 프레임(16A)이 승강하는 구성으로 했지만, 프레임(16B)이 승강하고 프레임(16A)이 고정되는 구성이어도 되고, 프레임(16B)과 프레임(16A)의 양쪽이 승강하는 구성이어도 된다. 즉, 프레임(16B)과 프레임(16A)이 상대적으로 이동하는 구성이면 된다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 제한되지 않고, 본 발명의 범위를 일탈하지 않고, 상술한 실시 형태에 다양한 변형 및 치환을 가할 수 있다.
예를 들어, 상술한 실시 형태에 있어서, 박리 날(20)을 사용하여 초기 박리를 행하는 것으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 압축 공기나 액체를 분사하여 초기 박리를 행해도 된다.
또한, 상술한 실시 형태에 있어서, 박리 장치는 유리 기판(110)에 부착된 보강 시트(120)를 박리하는 장치인 것으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 박리 장치는 실리콘 웨이퍼나 금속 기판, 플라스틱 기판 등의 기판에 부착된 보강 시트를 박리하는 장치여도 된다. 금속 기판의 재료로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 스테인리스강, 구리 등을 들 수 있다. 플라스틱 기판의 재료로서는 특별히 제한은 없지만, 투명한 수지로서 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리카르보네이트 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리에틸렌나프탈레이트 수지, 폴리아크릴 수지, 폴리실리콘 수지, 투명 불소 수지 등을 들 수 있고, 불투명한 수지로서 폴리이미드 수지, 불소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리에테르케톤 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 각종 액정 중합체 수지 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 내열성의 관점에서, 폴리이미드 수지, 불소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리에테르케톤 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리에틸렌나프탈레이트 수지, 각종 액정 중합체 수지 등이 바람직하다. 이들 재료는 5％ 가열 중량 감소 온도가 300℃ 이상이므로, 기판 상에 박막 트랜지스터(TFT) 등을 형성하는 것이 가능하다. 보다 바람직한 5％ 가열 중량 감소 온도는 350℃ 이상이다.
이 경우, 내열성의 점에서는 상기한 유리 기판은 모두 적합하다.
내열성의 관점에서 보다 바람직한 플라스틱 기판으로서는, 폴리이미드 수지, 불소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리에테르케톤 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리에틸렌나프탈레이트 수지, 각종 액정 중합체 수지 등이 예시된다.
또한, 기판은 유리 기판, 실리콘 웨이퍼, 금속판, 플라스틱 기판 등, 동일한 재질 또는 상이한 재질을 적층한 적층 기판이어도 된다. 예를 들어, 유리 기판과 플라스틱 기판의 적층체, 플라스틱 기판, 유리, 플라스틱 기판의 순서대로 적층한 적층체, 2매 이상의 유리 기판끼리, 혹은 2매 이상의 플라스틱 기판끼리의 적층체 등이어도 된다.
또한, 상술한 실시 형태에 있어서, 보강 시트(120)는 유리 시트(121)만으로 이루어지거나, 또는 유리 시트(121)와 유리 시트(121) 상에 형성된 수지층(122)으로 이루어지는 것으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 유리 시트(121) 대신에 실리콘 웨이퍼나 금속 시트, 플라스틱 시트를 사용해도 된다. 금속 시트의 재료로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 스테인리스강, 구리 등을 들 수 있다. 한편, 플라스틱 시트의 재료로서는 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리카르보네이트 수지, 폴리이미드 수지, 불소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리에테르케톤 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리에틸렌나프탈레이트 수지, 폴리아크릴 수지, 각종 액정 중합체 수지, 폴리실리콘 수지 등이 예시된다. 이들 중에서도, 내열성의 관점에서, 폴리이미드 수지, 불소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리에테르케톤 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리에틸렌나프탈레이트 수지, 각종 액정 중합체 수지 등이 바람직하다. 이들 재료는, 5％ 가열 중량 감소 온도가 300℃ 이상이므로, 기판 상에 박막 트랜지스터(TFT) 등을 형성하는 것이 가능하다. 보다 바람직한 5％ 가열 중량 감소 온도는 350℃ 이상이다.
<실시예>
이하에, 실시예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.
[실시예 1]
(보강 시트의 제작)
세로 350mm, 가로 300mm, 두께 0.4mm의 유리 시트(아사히 가라스사제, AN100)를 알칼리 세정하고, 순수로 초음파 세정한 후, 80℃의 IPA 증기를 10분간 쐬어 건조를 행했다. 건조 후의 유리 시트 상에, 부가 반응형의 액상 실리콘(신에쯔 실리콘사제, KNS-320A) 100질량부와 백금계 촉매(신에쯔 실리콘사제, CAT-PL-56) 2질량부의 혼합물을 스핀 코터에 의해 도공했다(도공량 30g/m2). 계속해서, 180℃에서 10분간 대기 중에서 가열 경화하여, 유리 시트와 실리콘 수지층으로 이루어지는 보강 시트를 제작했다.
(유리 기판과 보강 시트의 부착)
세로 350mm, 가로 300mm, 두께 0.3mm의 유리 기판(아사히 가라스사제, AN100)을 알칼리 세정, 순수 세정한 후, 80℃의 IPA 증기를 10분간 쐬어 건조를 행했다. 건조 후의 유리 기판과 보강 시트를 진공 중에서 프레스 장치에 의해 부착하고, 유리 기판과 실리콘 수지층을 밀착시켰다.
(적층체의 제작)
이와 같이 하여 접합한 유리 기판/보강 시트를 2세트 준비하고, 유리 기판끼리를 양면 테이프에 의해 접합하여 적층체를 제작했다. 이 적층체는 보강 시트, 유리 기판, 양면 테이프(접착제층), 유리 기판, 보강 시트가 순차 배치된 구성이다. 또한, 접착제층은 도 5에 도시한 액정층(130)을 대신하는 것이다.
(박리 시험)
상기 적층체를, 도 1, 도 2에 도시하는 박리 장치를 사용하여 박리했다. 구체적으로는, 적층체의 제1 주면을 스테이지(10) 상에 진공 흡착하고, 적층체의 제2 주면에 가요성 부재(30)를 진공 흡착했다.
계속해서, 적층체의 제2 주면측의 보강 시트와 유리 기판 사이에 박리 날(20)을 찔러 넣어 초기 박리를 행하고, 복수의 로드(60)를 로드(60)마다 이동시켜 가요성 부재(30)를 일단부측으로부터 순차 휨 변형시키고, 보강 시트를 일단부측으로부터(초기 박리를 행한 위치로부터) 순차 휨 변형시켜 유리 기판으로부터 전체면 박리했다.
보강 시트의 박리 전 선 부근에 있어서의 박리 영역의 곡률 반경 R을 박리 시험의 결과와 함께 표 1에 나타낸다. 또한, 보강 시트의 박리 전 선의 평균 이동 속도는 0.4m/초로 설정했다.
Figure pct00001
실시예 1에서는 박리 후의 보강 시트에 파손은 인정되지 않았다.
[실시예 2 내지 3, 비교예 1 내지 2]
실시예 2 내지 3, 비교예 1 내지 2에서는, 곡률 반경 R을 표 1에 기재된 조건으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 적층체를 제작하고 유리 기판에 부착한 보강 시트를 박리했다. 결과를 표 1에 나타낸다.
실시예 2 내지 3에서는, 박리 후의 보강 시트에 파손은 인정되지 않았다. 한편 비교예 1에서는, 박리시에 보강 시트에 포함되는 유리 시트가 접혔다. 또한 비교예 2에서는, 박리를 위한 힘이 커져, 박리시에 가요성 부재(30)와 보강 시트의 흡착이 풀려 버렸다.
[실시예 4 내지 6, 비교예 3 내지 4]
실시예 4 내지 6, 비교예 3 내지 4에서는, 보강 시트로서 유리 시트만을 사용하고, 곡률 반경 R을 표 1에 기재된 조건으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 적층체를 제작하고 유리 기판에 부착한 보강 시트를 박리했다. 결과를 표 1에 나타낸다.
또한, 보강 시트인 유리 시트에는, 세로 350mm, 가로 300mm, 두께 0.4mm의 유리 시트(아사히 가라스사제, AN100)를 알칼리 세정하고, 순수로 초음파 세정한 후, 80℃의 IPA 증기를 10분간 쐬어 건조를 행한 것을 사용했다.
실시예 4 내지 6에서는, 박리 후의 보강 시트에 파손은 인정되지 않았다. 한편 비교예 3에서는, 박리시에 보강 시트인 유리 시트가 접혔다. 또한 비교예 4에서는, 박리를 위한 힘이 커져, 박리시에 가요성 부재(30)와 보강 시트의 흡착이 풀려 버렸다.
[실시예 7]
실시예 7에서는, 세로 350mm, 가로 300mm, 두께 0.4mm의 유리 시트(아사히 가라스사제, AN100)로 이루어지는 보강 시트를, 두께 0.1mm의 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지판에 부착한 것 이외에는, 실시예 3과 마찬가지로 적층체를 제작하고, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지판에 부착한 보강 시트를 박리했다. 박리 후의 보강 시트에 파손은 인정되지 않았다.
[실시예 8]
실시예 8에서는, 세로 350mm, 가로 300mm, 두께 0.4mm의 유리 시트(아사히 가라스사제, AN100)로 이루어지는 보강 시트를, 두께 0.1mm의 경면 처리를 실시한 스테인리스 기판(SUS304)에 부착한 것 이외에는, 실시예 3과 마찬가지로 적층체를 제작하고, 스테인리스 기판에 부착한 보강 시트를 박리했다. 박리 후의 보강 시트에 파손은 인정되지 않았다.
[실시예 9]
실시예 9에서는, 세로 350mm, 가로 300mm, 두께 0.4mm의 유리 시트(아사히 가라스사제, AN100)로 이루어지는 보강 시트를, 두께 0.05mm의 폴리이미드 기판(도레 듀퐁제, 캡톤 200HV)에 부착한 것 이외에는, 실시예 3과 마찬가지로 적층체를 제작하고, 폴리이미드 기판에 부착한 보강 시트를 박리했다. 박리 후의 보강 시트에 파손은 인정되지 않았다.
[실시예 10]
실시예 10에서는, 처음에 세로 350mm, 가로 300mm, 판 두께 0.08mm, 선팽창 계수 38×10-7/℃의 유리 기판(아사히 가라스사제, AN100, 무알칼리 유리 기판)을, 세정 장치를 사용하여 알칼리 세제로 세정을 행하고, 표면을 청정화했다. 또한 유리 기판 표면에 γ-머캅토프로필트리메톡시실란의 0.1％ 메탄올 용액을 분무하고, 계속해서 80℃에서 3분 건조시켜, 적층용 유리 필름으로서 준비했다. 한편, 세로 350mm, 가로 300mm, 판 두께 0.05mm의 폴리이미드 기판(도레 듀퐁사제, 캡톤 200HV)의 표면을 플라즈마 처리한 것을 준비했다. 그리고, 상기 적층용 유리 필름과 상기 폴리이미드 기판을 중첩하고, 320℃로 가열한 프레스 장치를 사용하여 양자를 적층하고, 유리/수지 적층 기판으로 했다.
세로 350mm, 가로 300mm, 두께 0.4mm의 유리 시트(아사히 가라스사제, AN100)로 이루어지는 보강 시트를, 상기 유리/수지 적층 기판의 수지면에 부착한 것 이외에는, 실시예 3과 마찬가지로 적층체를 제작하고, 유리/수지 적층 기판에 부착한 보강 시트를 박리했다. 박리 후의 보강 시트에 파손은 인정되지 않았다.
본 발명을 상세하게 또한 특정 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 다양한 변경이나 수정을 가할 수 있는 것은 당업자에 있어서 명백하다.
본 출원은 2009년 8월 31일에 출원된 일본 특허 출원 제2009-200914호에 기초하는 것이며, 그의 내용은 여기에 참조로서 도입된다.
본 발명에 따르면, 기판에 부착된 보강 시트를 용이하게 박리할 수 있고, 또한, 박리 대상의 변경에 용이하게 대응할 수 있는 박리 장치를 제공할 수 있다.
10: 지지 유닛(스테이지)
20: 박리 날
30: 가요성 부재
32: 장착부
34: 규정부
40: 패드
50: 구면 조인트
60: 로드
70: 구동 장치
80: 제어 장치
100: 적층체
110: 유리 기판
120: 보강 시트
121: 유리 시트
122: 수지층
124: 박리 영역
126: 미박리 영역
128: 박리 전 선

Claims (9)

  1. 기판에 부착된 보강 시트를 박리하는 박리 장치에 있어서,
    상기 기판 및 상기 보강 시트를 포함하는 적층체의 한쪽 주면을 지지하는 지지 유닛과,
    상기 적층체의 다른 쪽 주면에 장착되는 판 형상의 가요성 부재와,
    상기 가요성 부재 상의 상기 적층체측과 반대측의 면에 고정된 복수의 패드와,
    상기 복수의 패드 중 어느 하나에 연결된 복수의 로드와,
    상기 복수의 로드를 로드마다 로드의 축 방향으로 이동시키기 위한 복수의 구동 장치와,
    상기 복수의 로드의 위치를 로드마다 제어하는 제어 장치를 구비하고,
    상기 복수의 패드는, 복수의 조인트 중 어느 하나를 통해 상기 복수의 로드 중 어느 하나에 연결되고, 상기 연결된 로드의 중심선과, 상기 보강 시트 상의 상기 기판측의 면 또는 상기 기판 상의 상기 보강 시트측의 면과의 교점 근방을 중심으로 하여 피봇 가능하게 되어 있고,
    상기 지지 유닛에 의해 상기 적층체의 한쪽 주면을 지지함과 함께, 상기 적층체의 다른 쪽 주면이 일단부측으로부터 순차 휨 변형하도록 상기 제어 장치에 의해 상기 복수의 로드의 위치를 제어하는 박리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 조인트는 구면 조인트인 박리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 구동 장치는, 복수의 쿠션 부재 중 어느 하나를 개재하여 1개의 프레임에 연결되는 박리 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 장치는 서보 모터인 박리 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가요성 부재는, 상기 적층체의 다른 쪽 주면에 제거 가능하게 장착되는 장착부, 및 상기 가요성 부재의 굽힘 강성을 규정하는 규정부로 구성되는 박리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 장착부는 고무로 이루어지는 박리 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보강 시트는 적어도 유리 시트를 포함하는 박리 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 상의 상기 보강 시트측과 반대측의 면에 전자 디바이스용 부재가 형성되어 있는 박리 장치.
  9. 기판에 부착된 보강 시트를 박리하는 박리 장치에 있어서,
    상기 기판 및 상기 보강 시트를 포함하는 적층체의 양쪽 주면에 장착되는 판 형상의 가요성 부재와,
    상기 가요성 부재 상의 상기 적층체측과 반대측의 면에 고정된 복수의 패드와,
    상기 복수의 패드 중 어느 하나에 연결된 복수의 로드와,
    상기 복수의 로드를 로드마다 로드의 축 방향으로 이동시키기 위한 복수의 구동 장치와,
    상기 복수의 로드의 위치를 로드마다 제어하는 제어 장치를 구비하고,
    상기 복수의 패드는, 복수의 조인트 중 어느 하나를 통해 상기 복수의 로드 중 어느 하나에 연결되고, 상기 연결된 로드의 중심선과, 상기 보강 시트 상의 상기 기판측의 면 또는 상기 기판 상의 상기 보강 시트측의 면과의 교점 근방을 중심으로 하여 피봇 가능하게 되어 있고,
    상기 적층체의 한쪽 주면이 일단부측으로부터 순차 휨 변형하도록 상기 제어 장치에 의해 상기 복수의 로드의 위치를 제어하고, 다른 쪽 주면이 일단부측으로부터 순차 휨 변형하도록 상기 제어 장치에 의해 상기 복수의 로드의 위치를 제어하는 박리 장치.
KR1020117009793A 2009-08-31 2010-08-18 박리 장치 KR101254418B1 (ko)

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