JP6410209B2 - ガラスフィルム剥離装置 - Google Patents

Description

本発明は、支持体上に積層された可撓性を有するガラスフィルムを当該支持体から剥離させるガラスフィルム剥離装置に関する。

周知のように、ガラスフィルム積層体は、薄肉化（例えば、板厚が３００μｍ）された可撓性を有するガラスフィルムと、これを支持する支持ガラスとの各々について、相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さＲａを２．０ｎｍ以下とし、両合わせ面を直接に面接触させることで、ガラスフィルムと支持ガラスとを積層したものである。

このガラスフィルム積層体によれば、支持ガラスと積層したことにより、ガラスフィルムの撓みやすい性質が一時的に排除されると共に、ガラスフィルムと支持ガラスとが適度に密着して一体なものとして振舞うようになる。このため、ガラス製品の製造工程におけるガラスフィルムの取り扱いが極めて簡便となる。

例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のガラスフィルムは、その製造工程において、支持ガラス上に積層され、ガラスフィルム積層体とされた後、透明電極の形成等、各種の処理を施される。そして、処理を終えたガラスフィルムは、製品に組み込むため支持ガラスから剥離されることとなる。

ここで、特許文献１には、ガラスフィルムを剥離させる対象としたものではないが、薄板ガラス基板と、樹脂層を介して該基板を支持する支持ガラス基板とを含む積層体について、支持ガラス基板、及び樹脂層（以下、これらをまとめて支持基板と表記する）を薄板ガラス基板から剥離させるための装置が開示されている。同文献に開示された装置は、積層体の側方から薄板ガラス基板と支持基板との相互間に挿入されるナイフと、支持基板の表面を吸着する複数の吸着パッドとを備えている。

そして、ナイフの挿入により部分的に剥離した支持基板の端部を起点として、吸着パッドの各々が、順々に薄板ガラス基板から離間する方向に動作して支持基板を引っ張ることで、当該支持基板を段階的に薄板ガラス基板から剥離させるように構成されている。なお、吸着パッドの各々から支持基板に作用する引張力は、全て同じ態様のもと、各パッドと連結されたシリンダー内の圧力を高めることで次第に大きくなるように制御されている。

国際公開第２０１０／０９０１４７号

ところで、上述したガラスフィルム積層体を利用して、ガラスフィルムに加熱を伴う処理を施した場合、当該ガラスフィルムと支持ガラスとの密着力の分布にムラを生じることがある。例えば、その一要因としては、ガラスフィルムと支持ガラスとが密着した密着部の全部位が一様な温度に加熱されなかったことによる、ガラスフィルム積層体の温度分布のムラが考えられる。このような温度分布のムラが生じた場合、相対的に高温まで加熱された部位と、低温までしか加熱されなかった部位との間で、ガラスフィルムと支持ガラスとの間に作用する密着力の大きさに差異が発生する。

詳述すると、両者の密着部のうち、３００℃程度まで加熱された部位においては、他の部位と比較して、ガラスフィルムと支持ガラスとの間に作用する密着力が大きく増大する。この原因は、水素結合によって密着していたガラスフィルムと支持ガラスとが、加熱により３００℃前後を境界として、より強力な密着力を生み出す共有結合によって密着した状態へと移行するためであると想定されている。

そして、部位の間に発生する密着力の大きさの差異に起因して、支持ガラスからのガラスフィルムの剥離に、特許文献１に開示された装置を用いた場合、下記のような問題が生じる。すなわち、この場合、ガラスフィルムと支持ガラスとの密着力の大きさが、部位の間で差異を生じているか否かに拘らず、各吸着パッドは、ガラスフィルムに対して同じ態様のもとで順々に引張力を負荷することになる。

このため、密着力の大きい部位においても、密着力の小さい部位と同様にしてガラスフィルムに引張力が負荷されてしまうことになる。これにより、当該ガラスフィルムに過大な応力が作用し、ガラスフィルムに割れが発生する事態を招いてしまう。そこで、このような不具合の発生を回避するため、予め密着力が大きくなっている部位が存在することを想定して、当該部位に適した剥離の態様でもって、密着力の小さい部位も含めた全部位を一様に剥離させることが考えられる。

このような態様によってガラスフィルムを支持ガラスから剥離させる場合、当該ガラスフィルムにおける割れの発生については防止できる可能性がある。しかしながら、密着力が小さく、本来的により高速で剥離作業を実施し得る部位においても、密着力が大きい部位に合わせた速度で剥離作業を実施しなければならないことになる。その結果、製造効率を著しく悪化させるという新たな問題が生じてしまう。

なお、このような問題は、上述のように、ガラスフィルムと支持ガラスとを直接に面接触させて積層した積層体について、ガラスフィルムを支持ガラスから剥離させる場合にのみ生じるものではない。例えば、両者が接着層を介して積層された積層体について、ガラスフィルムを剥離させる場合や、ガラス以外で構成された支持体からガラスフィルムを剥離させる場合にも、部位間での密着力の大きさの差異によって同様に生じ得るものである。

さらに、このような問題は、一つの積層体内において、ガラスフィルムと支持体との密着部における部位間で、密着力の大きさに差異が生じている場合にのみ発生するものでもない。例えば、複数のガラスフィルム積層体の相互間で密着力の大きさに差異が生じているような場合にも、この差異に起因して同様に生じ得るものである。

上記事情に鑑みなされた本発明は、支持体からガラスフィルムを剥離させる際に、当該ガラスフィルムの割れを防止しつつ、可及的に高速で剥離作業を実施可能とすることを技術的課題とする。

上記課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、支持体上に積層された可撓性を有するガラスフィルムを支持体から剥離させる剥離手段を備えたガラスフィルム剥離装置であって、ガラスフィルムを剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値を検出する検出手段と、検出された特性値に基づいて剥離手段による剥離動作を制御する制御手段とを備えることに特徴付けられる。

ここで、「剥離手段による剥離動作」とは、停止した（固定された）状態のガラスフィルム及び支持体に対し、剥離手段が動作してガラスフィルムを剥離させる場合のみを意味するものではない。ガラスフィルム及び支持体に対し、剥離手段が相対的に動作してガラスフィルムを剥離させる場合をも含むことを意味するものである（以下、同じ）。

このような構成によれば、検出手段がガラスフィルムを剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値を検出することにより、ガラスフィルムと支持体とが密着した密着部の各部位において、両者の間に作用する密着力の大きさを独立して検出することが可能となる。そして、検出された特性値に基づいて、制御手段が各部位に応じた適切な剥離動作を行うように剥離手段を制御することができる。その結果、ガラスフィルムの割れを防止しつつ、可及的に高速で剥離作業を実施することが可能となる。

上記の構成において、剥離手段は、ガラスフィルムと支持体との相互間を横断移動することで、両者が積層された積層部と剥離した剥離部との境界となる剥離進行部を横断移動させる剥離具であってもよい。

上記の構成において、特性値は、剥離具に対し移動方向逆向きに作用する抗力、又は抗力に基づいた計算値であってもよい。

このようにすれば、剥離具に対し移動方向逆向きに作用する抗力、又は抗力に基づいた計算値から、ガラスフィルムと支持体との密着部における各部位で、両者の密着力の大きさを独立して検出することが可能となる。その結果、剥離具が各部位に応じた適切な剥離動作を行うことができる。

上記の構成において、計算値は、抗力を、剥離進行部における剥離具の先端部に沿う方向の長さとなる幅長さで除した値であってもよい。

剥離進行部における幅長さが変化した場合、ガラスフィルムと支持体との密着部における部位間で両者の密着力の大きさに差異が無かったとしても、剥離具に作用する抗力が変化してしまう。そのため、この抗力に基づいて制御手段が剥離具の移動を制御した場合には、当該剥離具が各部位に応じた適切な剥離動作を行えなくなってしまう。しかしながら、当該抗力を幅長さで除した値を特性値とすれば、幅長さの変化とは無関係で、且つ両者の密着力の大小に基づいて変化する値を検出することが可能となる。その結果、剥離具が各部位に応じた適切な剥離動作を行うことができる。

上記の構成において、特性値は、剥離具と支持体との接触部における先端と、剥離進行部との間の距離であってもよい。

このようにすれば、接触部における先端と剥離進行部との間の距離から、ガラスフィルムと支持体との密着部における各部位で、両者の密着力の大きさを独立して検出することが可能となる。その結果、剥離具が各部位に応じた適切な剥離動作を行うことができる。

上記の構成において、検出手段は、剥離具と支持体との接触部における先端、及び剥離進行部を含む画像を撮像する撮像手段と、画像を処理することにより距離を検出する画像処理手段とを含んでいてもよい。

このようにすれば、エッジ検出処理等の画像処理により、接触部における先端と、剥離進行部との間の距離を、より確実に検出することができる。そのため、剥離具が各部位に応じた適切な剥離動作を行う上で、その精度を高めることが可能となる。

上記の構成において、制御手段は、特性値と特性値の所定の基準値とに基づいて（１）剥離具の移動速度を速くする、（２）剥離具の移動速度を遅くする、（３）剥離具を停止させる、（４）剥離具を逆向きに移動させる、のいずれかの制御を実行するように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、検出された特性値と、当該特性値の所定の基準値とに基づいて、ガラスフィルムと支持体との密着力が小さい部位においては、制御手段が（１）剥離具の移動速度を速くする制御を実行することで、当該部位でのガラスフィルムの剥離をより高速で実施することが可能となる。一方、両者の密着力が大きい部位においては、制御手段が段階的に（２）剥離具の移動速度を遅くする、（３）剥離具を停止させる、（４）剥離具を逆向きに移動させる制御を実行することで、当該部位でガラスフィルムに割れが発生することをより的確に防止することができる。より詳細には、剥離具による力がガラスフィルムに伝わり、ガラスフィルムに割れが発生するまでには、ある程度の遅れが存在する場合がある。よって，剥離の際における抵抗の大小を検出し、その瞬間に剥離具を停止等させる制御を実行することによって、ガラスフィルムの割れを防ぐことができる。

上記の構成において、検出手段は、剥離具の移動方向に直交する方向の中央部を基準とした両側で、特性値を個別に検出するように構成されると共に、制御手段が、剥離具の中央部を基準とした各側で、検出された特性値に基づいて剥離具の移動速度を個別に制御するように構成されていてもよい。

このようにすれば、剥離具の中央部を基準とした両側の部位でガラスフィルムと支持体との密着力の大きさが異なっていた場合には、剥離具の両側のうち、一方側が他方側に対して先行した状態で移動することが可能となる。これにより、本来的により高速で剥離作業を実施することが可能であるはずの側（密着力の小さい部位の側）が、低速でしか剥離作業を実施することが出来ない側（密着力の大きい部位の側）に合わせた速度で剥離作業を実施せざるをえなくなるような事態を回避することができる。その結果、さらにガラスフィルムを高速で剥離させることが可能となる。

上記の構成において、剥離具は、剥離具から剥離進行部側に流体を噴射する流体噴射手段を有し、制御手段が、特性値に基づいて流体噴射手段による流体の噴射量を制御するように構成されていてもよい。

このようにすれば、ガラスフィルムと支持体との密着力が小さい部位においては、剥離具から剥離進行部側に流体が噴射されることにより、支持体からのガラスフィルムの剥離をより促進することができる。

上記の構成において、剥離手段は、ガラスフィルムと支持体とのうち、一方の表面を吸着した状態で他方から離反する離反方向に移動することにより、両者が積層された積層部と剥離した剥離部との境界となる剥離進行部を横断移動させる吸着部材であってもよい。

上記の構成において、特性値は、吸着部材に対し離反方向とは逆向きに作用する抗力であってもよい。

このようにすれば、吸着部材に対し離反方向とは逆向きに作用する抗力から、ガラスフィルムと支持体との密着部における各部位で、両者の密着力の大きさを独立して検出することが可能となる。その結果、吸着部材が各部位に応じた適切な剥離動作を行うことができる。

上記の構成において、特性値は、剥離進行部が横断移動する際の移動速度、又は加速度であってもよい。

このようにすれば、剥離進行部が横断移動する際の移動速度、又は加速度から、ガラスフィルムと支持体との密着部における各部位で、両者の密着力の大きさを独立して検出することが可能となる。その結果、吸着部材が各部位に応じた適切な剥離動作を行うことができる。

上記の構成において、制御手段は、特性値と当該特性値の所定の基準値とに基づいて（１）吸着部材の離反方向への移動速度を速くする、（２）吸着部材の離反方向への移動速度を遅くする、（３）吸着部材を停止させる、（４）吸着部材を離反方向とは逆向きに移動させる、のいずれかの制御を実行するように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、検出された特性値と、当該特性値の所定の基準値とに基づいて、ガラスフィルムと支持体との密着力が小さい部位においては、制御手段が（１）吸着部材の離反方向への移動速度を速くする制御を実行することで、当該部位でのガラスフィルムの剥離をより高速で実施することが可能となる。一方、両者の密着力が大きい部位においては、制御手段が段階的に（２）吸着部材の離反方向への移動速度を遅くする、（３）吸着部材を停止させる、（４）吸着部材を離反方向とは逆向きに移動させる制御を実行することで、当該部位でガラスフィルムに割れが発生することをより的確に防止することができる。

上記の構成において、吸着部材を複数備え、複数の吸着部材の各々は、剥離進行部の横断移動予定方向と直交する方向に延びる境界線によって、上記一方の表面が複数に区画されてなる各領域をそれぞれ吸着すると共に、横断移動予定方向の上流側に位置する吸着部材から順々に隣接する吸着部材が離反方向に移動するように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、複数に区画されてなる各領域をそれぞれ吸着する複数の吸着部材を備えていることから、吸着部材一つあたりが支持体から剥離させるべきガラスフィルムの部位を細分化することが可能となる。これにより、ガラスフィルムと支持体とが密着した密着部の各部位において、両者の間に作用する密着力の大きさをより正確に特性値として検出することが可能となる。その結果、吸着部材の各々が適切な剥離動作を行う上で有利となる。

以上のように、本発明によれば、支持体からガラスフィルムを剥離させる際に、当該ガラスフィルムの割れを防止しつつ、ガラスフィルムを可及的に高速で剥離させることが可能となる。

本発明の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置を示す平面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置を示す縦断側面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御機構を示すブロック図である。 本発明の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御フローチャートを示す図である。 本発明の第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置を示す平面図である。 本発明の第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御機構を示すブロック図である。 本発明の第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御フローチャートを示す図である。 本発明の第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置を示す平面図である。 本発明の第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置を示す縦断側面図である。 本発明の第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御機構を示すブロック図である。 本発明の第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御フローチャートを示す図である。 本発明の他の実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御機構を示すブロック図である。 本発明の他の実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御機構を示すブロック図である。 本発明の他の実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御機構を示すブロック図である。 本発明の第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置を示す側面図である。 本発明の第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置を示す平面図である。 本発明の第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御機構を示すブロック図である。 本発明の第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御フローチャートを示す図である。 本発明の第五実施形態に係るガラスフィルム剥離装置を示す側面図である。 本発明の第五実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御機構を示すブロック図である。 本発明の第五実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の制御フローチャートを示す図である。 実施例及び比較例において、剥離の対象となるガラスフィルムと、当該ガラスフィルムを支持する支持ガラスとを積層したガラスフィルム積層体を示す平面図である。

以下、本発明の実施形態に係るガラスフィルム剥離装置について添付の図面を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、ガラスフィルム剥離装置は、厚みが３００μｍ以下の可撓性を有するガラスフィルムと、これを支持する支持体としての支持ガラスとを積層したガラスフィルム積層体について、支持ガラスからガラスフィルムを剥離させるための装置となっている。しかしながら、後述するように、本発明に係るガラスフィルム剥離装置は、ガラス以外で構成された支持体からガラスフィルムを剥離させるような場合や、ガラスフィルムと支持体とが接着層を介して積層された積層体について、ガラスフィルムを剥離させる場合にも使用することが可能である。

まず、本発明の各実施形態において剥離の対象となるガラスフィルムと、当該ガラスフィルムを支持する支持体としての支持ガラスと、これらを積層したガラスフィルム積層体について説明する。

可撓性を有するガラスフィルムと、支持体である支持ガラスとの各々は、相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下とされ、両合わせ面を直接に面接触させることでガラスフィルム積層体とされている。また、ガラスフィルムは、ガラスフィルム積層体の状態で既に加熱を伴う処理を施されており、ガラスフィルム積層体は、当該処理中にガラスフィルムと支持ガラスとの密着部の温度分布にムラを生じたものである。これにより、密着部の部位間で両ガラスの間に作用する密着力の大きさに差異が発生している。

＜第一実施形態＞
以下、本発明の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置について説明する。

図１は、本発明の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を示す平面図であり、図２は、ガラスフィルム剥離装置１に備えられたブレード３の近傍を拡大して表示した縦断側面図である。これらの図に示すように、ガラスフィルム剥離装置１は、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとが積層されたガラスフィルム積層体Ｇを載置するテーブル２と、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの相互間を横断移動するブレード３と、ブレード３が移動する際に、当該ブレード３に対し移動方向Ｘの逆向きに作用する抗力Ｒを検出するロードセル４とを備えている。

図３は、ガラスフィルム剥離装置１の制御機構を示すブロック図であり、図４は、制御フローチャートを示す図である。これらの図に示すように、ガラスフィルム剥離装置１は、その制御機構として、ロードセル４からの信号Ｓ１を受信して後述の特性値Ｚを検出（算出）する演算装置５と、演算装置５からの信号Ｓ２を受信し、特性値Ｚに対して後述の判定を実施する判定回路６と、判定回路６からの信号Ｓ３に基づいて、ブレード３の移動速度Ｖを、駆動ローラーを介して制御するサーボモーター７と、判定回路６からの信号Ｓ４に基づいて、ブレード３から噴射される圧縮エアーＡの噴射量Ｑを、調節弁を介して制御するサーボモーター８とを備えている。

テーブル２は、ガラスフィルム積層体Ｇを載置する載置面２ａを備えている。載置面２ａは平面となっており、その外周輪郭は矩形に形成されている。また、矩形の外周輪郭を構成するテーブル２の長側面２ｂと短側面２ｃとが、それぞれガラスフィルム積層体Ｇの長手方向、幅方向（長手方向と直交する方向）と平行となるように、ガラスフィルム積層体Ｇが載置面２ａ上に固定された状態で載置される。

ブレード３は、ガラスフィルム積層体Ｇの長手方向に平行なＸ方向に沿って、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの相互間を横断移動するように構成されている。そして、横断移動するための機構として、テーブル２における一対の長側面２ｂの各々に沿って、それぞれ転動する図示省略の駆動ローラーを備えている。そして、当該駆動ローラーに、サーボモーター７（図１，図２においては図示を省略している）から動力が伝達されることで、ブレード３がＸ方向に移動する構成となっている。ブレード３のＸ方向への移動速度Ｖは、サーボモーター７により制御される。なお、本実施形態においては、ブレード３の材質としてステンレスを用いている。しかしながら、ブレード３の材質はこれに限らず、例えば、テフロン（登録商標）樹脂など、剥離時によりガラスフィルムＧＦを傷つけにくい材質を用いることができる。

また、ブレード３は、ガラスフィルム積層体Ｇの幅方向に沿って長尺となるように形成されている。さらに、その先端部３ａは、Ｘ方向の前方側から後方側に向かって登り勾配となるように形成されている。そして、ブレード３は、Ｘ方向への移動に伴って、支持ガラスＳＧからガラスフィルムＧＦを漸次に剥離させる。これにより、両ガラスＧＦ，ＳＧが積層された積層部ＧＦａと、剥離した剥離部ＧＦｂとの境界となる剥離進行部ＧＦｃがＸ方向に横断移動する。なお、本実施形態において、剥離進行部ＧＦｃにおけるブレード３の先端部３ａに沿う方向の長さとなる幅長さＷは、ガラスフィルムＧＦの幅方向の長さと実質的に同一となる。

加えて、ブレード３の先端部３ａには、圧縮エアーＡを噴射するための噴射口３ｂがガラスフィルム積層体Ｇの幅方向に沿って複数形成されている。この噴射口３ｂは、図示省略のエアコンプレッサーと接続されており、当該エアコンプレッサーから供給された圧縮エアーＡがブレード３から剥離進行部ＧＦｃ側に噴射される。圧縮エアーＡの噴射量Ｑは、調節弁の開度により調節される。また、調節弁の開度は、サーボモーター８によって制御される。なお、圧縮エアーＡ以外に水や油脂、界面活性剤を含む液体等の流体を噴射口３ｂから噴射する構成としてもよい。ここで、本実施形態においては、ブレード３が剥離手段（剥離具）を構成し、エアコンプレッサーと調節弁とが流体噴射手段を構成している。

ロードセル４は、ブレード３の両端にそれぞれ備えられている。二つのロードセル４は、ブレード３の中央部を基準として対称な位置に存している。そして、ロードセル４ａ，４ｂの各々が、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの密着部の各部位において、両ガラスＧＦ，ＳＧの密着力の大きさによって変化する抗力Ｒ（Ｒ１，Ｒ２）を検出する構成となっている。

次に、上記のガラスフィルム剥離装置１の制御機構の詳細について、図３及び図４を参照して説明する。まず、二つのロードセル４（４ａ，４ｂ）により検出された抗力Ｒ（Ｒ１，Ｒ２）が信号Ｓ１として演算装置５に伝達される。ロードセル４からの信号Ｓ１を受信した演算装置５は、抗力Ｒの和であるＲ１＋Ｒ２を、剥離進行部ＧＦｃの幅長さＷで除することで特性値Ｚを検出（算出）する。すなわち、特性値Ｚは、抗力Ｒに基づいた計算値としてＺ＝（Ｒ１＋Ｒ２）／Ｗで表される。特性値Ｚは、ガラスフィルムＧＦを支持ガラスＳＧから剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する値である。演算装置５は、検出（算出）した当該特性値Ｚを信号Ｓ２として判定回路６へと送信する。ここで、本実施形態においては、ロードセル４と演算装置５とにより検出手段が構成されている。

演算装置５からの信号Ｓ２を受信した判定回路６は、まず、受信した信号Ｓ２としての特性値Ｚが、その所定の基準値Ｚ_０に対して小さい場合（Ｚ＜Ｚ_０：以下、パターン１という）と、大きい場合（Ｚ＞Ｚ_０：以下、パターン２という）と、等しい場合（Ｚ＝Ｚ_０：以下、パターン３という）とのいずれの場合であるかを判定する。ここで、基準値Ｚ_０の値は、例えば、以下のような手順によって決定すればよい。（手順１）両ガラスＧＦ，ＳＧが水素結合によって密着している部位を剥離させる際に、ガラスフィルムＧＦに割れを生じずにブレード３を移動させることが可能な限界の移動速度Ｖ（以下、この移動速度Ｖを基準速度Ｖ_０と表記する）を割り出す。（手順２）割り出された基準速度Ｖ_０でブレード３が移動している際に、演算装置５によって検出される特性値Ｚの値を基準値Ｚ_０として決定する。なお、この基準値Ｚ_０（基準速度Ｖ_０）の値は、ガラスフィルムＧＦの板厚等、種々の条件によって異なってくるため、ガラスフィルムＧＦの剥離作業を実施する前に予め試験等により適切な値を割り出しておくことが好ましい。

そして、パターン１の場合には、判定結果として信号Ｓ３が、サーボアンプを介してサーボモーター７に伝達された後、信号Ｓ３を受信したサーボモーター７が、駆動ローラーに伝達する動力を増大させる。これにより、ブレード３のＸ方向への移動速度Ｖを速くする制御が実行される。なお、移動速度Ｖは、検出された特性値Ｚと基準値Ｚ_０との差分量と連動させて、差分量が大きくなる程、移動速度Ｖが速くなるように制御してもよいし、差分量に拘らず、一定の速度だけ加速するように制御してもよい。

また、パターン１の場合には、判定結果としての信号Ｓ４がサーボアンプを介してサーボモーター８に伝達された後、信号Ｓ４を受信したサーボモーター８が、調節弁の開度を拡げる。これにより、圧縮エアーＡの噴射量Ｑを増加させる制御が実行される。ここで、噴射量Ｑは、ブレード３の移動速度Ｖと同様に、特性値Ｚと基準値Ｚ_０との差分量と連動させて、差分量が大きくなる程、噴射量Ｑが増加するように制御してもよいし、一定量だけ増加するように制御してもよい。

パターン２の場合には、特性値Ｚの値について、さらに判定回路６が以下のような判定を実施する。すなわち、特性値Ｚの値が、ブレード３の移動速度Ｖを遅くするか、ブレード３の移動を停止させるかの閾となる基準値Ｚ_１以下である場合（Ｚ_０＜Ｚ≦Ｚ_１：以下、パターン２１という）と、Ｚ_１よりも大きく、尚且つブレード３の移動を停止させるか、ブレード３をＸ方向とは逆向きに移動させるかの閾となる基準値Ｚ_２以下である場合（Ｚ_１＜Ｚ≦Ｚ_２：以下、パターン２２という）と、Ｚ_２よりも大きい場合（Ｚ＞Ｚ_２：以下、パターン２３という）とのいずれの場合であるかを判定する。なお、これらの基準値Ｚ_１，Ｚ_２は任意の手法により定めて良い。例えば、基準値Ｚ_１，Ｚ_２は、基準値Ｚ_０を定数倍して算出しても良いが、上述の基準値Ｚ_０と同様に試験により予め適切な値を割り出しておくことが好ましい。

そして、パターン２１の場合には、判定結果として信号Ｓ３が、サーボアンプを介してサーボモーター７に伝達された後、信号Ｓ３を受信したサーボモーター７が、駆動ローラーに伝達する動力を減少させる。これにより、ブレード３のＸ方向への移動速度Ｖを遅くする制御を実行する。また、パターン２２の場合には、サーボモーター７が、駆動ローラーを停止させ、ブレード３の移動を停止させる制御が実行される。さらに、パターン２３の場合には、サーボモーター７が、駆動ローラーを逆向きに転動させ、ブレード３をＸ方向に対して逆向きに移動させる制御が実行される。ここで、本実施形態においては、判定回路６と両サーボモーター７，８とが制御手段を構成している。なお、パターン２１の場合におけるブレード３の移動速度Ｖは、検出された特性値Ｚと基準値Ｚ_０との差分量と連動させて、差分量が大きくなる程、移動速度Ｖが遅くなるように制御してもよいし、差分量に拘らず、一定の速度だけ減速するように制御してもよい。また、パターン２１の場合には、圧縮エアーＡの噴射量Ｑを低減するように、サーボモーター８によって調節弁の開度が狭められる。さらに、パターン２２、２３の場合には、圧縮エアーＡの噴射量Ｑがゼロとなるように、サーボモーター８によって調節弁が完全に閉じられる。

パターン３の場合には、判定結果として信号Ｓ３が、サーボアンプを介してサーボモーター７に伝達された後、信号Ｓ３を受信したサーボモーター７が駆動ローラーに伝達する動力を維持する。これにより、ブレード３のＸ方向への移動速度Ｖが維持される。また、判定結果としての信号Ｓ４がサーボアンプを介してサーボモーター８に伝達された後、信号Ｓ４を受信したサーボモーター８が調整弁の開度を維持する。これにより、エアーＡの噴射量Ｑが維持される。

以上のように、検出された特性値Ｚと、当該特性値の所定の基準値Ｚ_０（基準値Ｚ_１，Ｚ_２）とに基づいてブレード３の移動が制御される。そして、この制御が実行されることにより、ブレード３が移動する際に当該ブレード３に作用する抗力Ｒの大きさが変化する。この変化した抗力Ｒをロードセル４が再び検出するという一連のループが、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離が完了するまで連続的に繰り返される。なお、本実施形態では、抗力Ｒに基づいた計算値として、Ｚ＝（Ｒ１＋Ｒ２）／Ｗを特性値Ｚとして検出している。しかしながら、本実施形態においては、剥離進行部ＧＦｃの幅長さＷの値は実質的に変化しない（ガラスフィルムＧＦの幅長さと実質的に同一）ため、特性値Ｚを抗力として、Ｚ＝（Ｒ１＋Ｒ２）を検出する構成としてもよい。

以下、上記の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離に使用した場合の作用・効果について説明する。

上記のガラスフィルム剥離装置１によれば、ロードセル４と演算装置５とが、ガラスフィルムＧＦを剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値Ｚを検出することにより、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとが密着した密着部の各部位において、両ガラスＧＦ，ＳＧの間に作用する密着力の大きさを独立して検出することが可能となる。

そして、検出された特性値Ｚと、当該特性値Ｚの所定の基準値Ｚ_０とに基づき、判定回路６とサーボモーター７とが、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの密着力が小さい部位においては、ブレード３の移動速度Ｖを速くする制御（パターン１の場合）を実行することで、当該部位でのガラスフィルムＧＦの剥離を、より高速で実施することが可能となる。さらには、サーボモーター８の制御により、ブレード３から剥離進行部ＧＦｃ側に圧縮エアーＡが噴射されることで、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離を、さらに促進することができる。

一方、両ガラスＧＦ，ＳＧの密着力が大きい部位においては、判定回路６とサーボモーター７とが段階的に、ブレード３の移動速度Ｖを遅くする制御（パターン２１の場合）、ブレード３の移動を停止させる制御（パターン２２の場合）、ブレード３をＸ方向に対して逆向きに移動させる制御（パターン２３の場合）を実行する。これにより、ガラスフィルムＧＦに割れが生じることを確実に防止することが可能となる。また、これらの制御の実行時には、エアーＡの噴射量Ｑについても、噴射量Ｑを低減するなど適切な制御が行われる。そのため、ガラスフィルムＧＦの割れが、より確実に防止される。

以上により、ガラスフィルムＧＦの割れを防止しつつ、可及的に高速で剥離作業を実施することが可能となる。また、上記のガラスフィルム剥離装置１によれば、後述する各実施形態に係るガラスフィルム剥離装置とは異なり、ガラスフィルムＧＦの剥離の進行に伴って変化するパラメータが、ブレード３に作用する抗力Ｒのみとなる。そのため、取り扱うデータ量を少なくすることができるという利点を有している。さらに、特性値Ｚを抗力として、Ｚ＝（Ｒ１＋Ｒ２）を検出する構成とした場合には、演算装置５の演算負荷が低減されるため、処理を速く行うことができる。

＜第二実施形態＞
以下、本発明の第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置について説明する。なお、以降の第二、第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の説明において、上述した第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の構成要素と同一の機能、又は形状を有する構成要素については、第二、第三実施形態について説明するための図面に同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略している。また、以降の第二、第三実施形態においては、第一実施形態と相違している点についてのみ説明する。

図５は、本発明の第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を示す平面図であり、図６は、ガラスフィルム剥離装置１の制御機構を示すブロック図である。また、図７は、制御フローチャートを示す図である。これらの図に示すように、この第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１が、上記の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置と相違している点は、ブレード３が、ガラスフィルム積層体Ｇの対角線方向に沿ってガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの相互間を横断移動している点と、ガラスフィルム剥離装置１が、その制御機構として、新たにガラスフィルム積層体Ｇを撮影するカメラ９（図５において図示を省略している）と、カメラ９で撮影された画像の画像データＧＤを処理する画像処理装置１０とを備えている点である。

カメラ９は、テーブル２の上方に固定して設置され、ガラスフィルム積層体Ｇの全体を撮影するように構成されている。カメラ９で撮影された画像の画像データＧＤは、画像処理装置１０へと伝達される。なお、カメラ９は、ブレード３のＸ方向への移動に追従するようにＸ方向へと移動し、剥離進行部ＧＦｃの近傍のみを撮影するような構成であってもよい。

画像処理装置１０は、カメラ９からの画像データＧＤを受信すると共に、画像データＧＤからエッジ検出によって、ブレード３のＸ方向への移動に伴って漸次変化する剥離進行部ＧＦｃの幅長さＷを検出する。そして、検出結果を信号Ｓ５として演算装置５に送信するように構成されている。

演算装置５は、ロードセル４から受信した信号Ｓ１と、画像処理装置１０から受信した信号Ｓ５とに基づいて、ガラスフィルムＧＦを支持ガラスＳＧから剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値Ｚ（抗力Ｒに基づいた計算値）としてＺ＝（Ｒ１＋Ｒ２）／Ｗを検出（算出）する。そして、当該特性値Ｚを信号Ｓ２として判定回路６へと送信する。ここで、本実施形態においては、ロードセル４と、カメラ９と、画像処理装置１０と、演算装置５とにより検出手段が構成されている。

この第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離に使用した場合においても、上述した第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置と同様の作用・効果を享受することができる。

なお、本実施形態においては、ブレード３のＸ方向への移動に伴って、剥離進行部ＧＦｃの幅長さＷが変化する。この場合、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの密着部における部位間で両ガラスＧＦ，ＳＧの密着力の大きさに差異が無かったとしても、ロードセル４が検出する抗力Ｒの大きさが変化してしまう（幅長さＷが長い程、抗力Ｒが大きくなる）。しかしながら、当該抗力Ｒを幅長さＷで除した値を特性値Ｚとしているため、幅長さＷの変化とは無関係で、且つ両ガラスＧＦ，ＳＧの密着力の大小に基づいて変化する値を検出することが可能となる。

＜第三実施形態＞
以下、本発明の第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置について説明する。

図８は、本発明の第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を示す平面図であり、図９は、ガラスフィルム剥離装置１に備えられたブレード３の近傍を拡大して表示した縦断側面図である。また、図１０は、ガラスフィルム剥離装置１の制御機構を示す図であり、図１１は、制御フローチャートを示す図である。これらの図に示すように、この第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１が、上記の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置と相違している点は、ロードセル４が取り除かれている点と、ガラスフィルム剥離装置１が、その制御機構として、新たにガラスフィルム積層体Ｇを撮影する複数のカメラ９（図８，図９において図示を省略している）と、各カメラ９で撮影された画像の画像データＧＤを処理する複数の画像処理装置１０とを備えている点である。

各カメラ９は、テーブル２の上方に固定して設置されており、ガラスフィルム積層体Ｇの幅方向に沿って相互が並んでいる。そして、各カメラ９は、その下方をＸ方向に通過するブレード３の近傍（後述する剥離進行部ＧＦｃと、ブレード３と支持ガラスＳＧとの接触部における先端Ｐとを含む領域）を、それぞれの設置位置において撮影するように構成されている。各カメラ９で撮影された画像の画像データＧＤは、各カメラ９と接続された画像処理装置１０へと伝達される。

各画像処理装置１０は、カメラ９からの画像データＧＤを受信すると共に、画像データＧＤからエッジ検出によって、剥離進行部ＧＦｃと、ブレード３と支持ガラスＳＧとの接触部における先端Ｐとを検出する。そして、剥離進行部ＧＦｃと先端Ｐとの間の距離Ｄを信号Ｓ６として演算装置５に送信するように構成されている。

演算装置５は、各画像処理装置１０から受信した信号Ｓ６に基づき、ガラスフィルムＧＦを支持ガラスＳＧから剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値Ｚとして、剥離進行部ＧＦｃと先端Ｐとの間の距離Ｄの平均値Ｄ’を検出（算出）する。そして、当該特性値Ｚ（＝Ｄ’）を信号Ｓ２として判定回路６へと送信する。ここで、本実施形態においては、カメラ９の各々が撮像手段、画像処理装置１０の各々が画像処理手段を構成している。また、複数のカメラ９と、複数の画像処理装置１０と、演算装置５とにより検出手段が構成されている。

演算装置５からの信号Ｓ２を受信した判定回路６は、まず、受信した信号Ｓ２としての特性値Ｚが、その所定の基準値Ｚ_０に対して大きい場合（Ｚ＞Ｚ_０：以下、パターン４という）と、小さい場合（Ｚ＜Ｚ_０：以下、パターン５という）と、等しい場合（Ｚ＝Ｚ_０：以下、パターン６という）とのいずれの場合であるかを判定する。ここで、基準値Ｚ_０の値は、例えば、上述の第一実施形態と同様の手順によって決定すればよい。

そして、パターン４の場合には、判定結果として信号Ｓ３が、サーボアンプを介してサーボモーター７に伝達された後、信号Ｓ３を受信したサーボモーター７が、駆動ローラーに伝達する動力を増大させる。これにより、ブレード３のＸ方向への移動速度Ｖを速くする制御が実行される。また、パターン４の場合には、判定結果としての信号Ｓ４がサーボアンプを介してサーボモーター８に伝達された後、信号Ｓ４を受信したサーボモーター８が調節弁の開度を拡げる。これにより、圧縮エアーＡの噴射量Ｑを増加させる制御が実行される。

パターン５の場合には、特性値Ｚの値について、さらに判定回路６が以下のような判定を実施する。すなわち、特性値Ｚの値が、ブレード３の移動速度Ｖを遅くするか、ブレード３の移動を停止させるかの閾となる基準値Ｚ_１以上である場合（Ｚ_１≦Ｚ＜Ｚ_０：以下、パターン５１という）と、Ｚ_１よりも小さく、尚且つブレード３の移動を停止させるか、ブレード３をＸ方向とは逆向きに移動させるかの閾となる基準値Ｚ_２以上である場合（Ｚ_２≦Ｚ＜Ｚ_１：以下、パターン５２という）と、Ｚ_２よりも小さい場合（Ｚ＜Ｚ_２：以下、パターン５３という）とのいずれの場合であるかを判定する。なお、これらの基準値Ｚ_１，Ｚ_２は、上記の第一実施形態と同様に任意の手法により定めて良い。例えば、基準値Ｚ_１，Ｚ_２は、基準値Ｚ_０を定数倍して算出しても良い。

そして、パターン５１の場合には、判定結果として信号Ｓ３が、サーボアンプを介してサーボモーター７に伝達された後、信号Ｓ３を受信したサーボモーター７が、駆動ローラーに伝達する動力を減少させる。これにより、ブレード３のＸ方向への移動速度Ｖを遅くする制御が実行される。また、パターン５２の場合には、サーボモーター７が、駆動ローラーを停止させ、ブレード３の移動を停止させる制御が実行される。さらに、パターン５３の場合には、サーボモーター７が、駆動ローラーを逆向きに転動させ、ブレード３をＸ方向に対して逆向きに移動させる制御が実行される。なお、パターン５１の場合には、圧縮エアーＡの噴射量Ｑを低減するように、サーボモーター８によって調節弁の開度が狭められる。さらに、パターン５２、５３の場合には、圧縮エアーＡの噴射量Ｑがゼロとなるように、サーボモーター８によって調節弁が完全に閉じられる。

パターン６の場合には、判定結果として信号Ｓ３が、サーボアンプを介してサーボモーター７に伝達された後、信号Ｓ３を受信したサーボモーター７が駆動ローラーに伝達する動力を維持する。これにより、ブレード３のＸ方向への移動速度Ｖが維持される。また、判定結果としての信号Ｓ４がサーボアンプを介してサーボモーター８に伝達された後、信号Ｓ４を受信したサーボモーター８が調整弁の開度を維持する。これにより、エアーＡの噴射量Ｑが維持される。

以上のように、検出された特性値Ｚと、当該特性値の所定の基準値Ｚ_０（基準値Ｚ_１，Ｚ_２）とに基づいてブレード３の移動が制御される。そして、この制御が実行されることにより、ブレード３が移動する際の剥離進行部ＧＦｃと先端Ｐとの間の距離Ｄ、ひいては、その平均値Ｄ’が変化する。この変化した距離Ｄをカメラ９が再び検出するという一連のループが、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離が完了するまで連続的に繰り返される。

この第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離に使用した場合においても、剥離進行部ＧＦｃと先端Ｐとの間の距離Ｄの平均値Ｄ’から、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの密着部における各部位で、両ガラスＧＦ，ＳＧの密着力の大きさを独立して検出することが可能となる。これにより、上述した第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置と同様の作用・効果を享受することができる。また、本実施形態では、エッジ検出によって剥離進行部ＧＦｃと先端Ｐとの間の距離Ｄを、ひいては、特性値Ｚ（＝Ｄ’）の値を確実に検出することができる。このため、ブレード３がガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの密着部の各部位に応じた適切な移動を行う上で、その精度を高めることが可能である。

なお、本実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１は、上述の第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置のように、ガラスフィルム積層体Ｇの対角線方向に沿って、ブレード３がガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの相互間を横断移動する構成とすることも可能である。

ここで、上述した第一〜第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１は、ブレード３の中央部を基準とした両側で、ブレード３のＸ方向への移動速度Ｖを個別に制御（以下、両側個別制御という）するように構成することもできる。このような構成とした場合におけるガラスフィルム剥離装置１の制御機構を図１２ａ〜図１２ｃに示す。

図１２ａは、第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１において、両側個別制御を実施する場合の制御機構を示す図である。同図に示すように、ブレード３の両端に備えられたロードセル４ａ，４ｂの各々が、それぞれ抗力Ｒ１，Ｒ２を検出し、信号Ｓ１として二基の演算装置５にそれぞれ伝達する。ロードセル４ａ，４ｂからの信号Ｓ１を受信した演算装置５は、抗力Ｒ１，Ｒ２を、それぞれ剥離進行部ＧＦｃの幅長さＷで除することで特性値Ｚを検出（算出）する。すなわち、特性値Ｚは、抗力Ｒに基づいた計算値としてＺ＝Ｒ１／Ｗ、Ｚ＝Ｒ２／Ｗで表される。そして、当該特性値Ｚを信号Ｓ２として判定回路６へとそれぞれ送信する。そして、第一実施形態と同様にして各信号が伝達されていく。これにより、ブレード３における中央部を基準とした一方側と他方側とで、ブレード３の移動速度Ｖ１，Ｖ２と、圧縮エアーＡの噴射Ｑ１（ブレード３の一方側における圧縮エアーＡの噴射量），Ｑ２（ブレード３の他方側における圧縮エアーＡの噴射量）とが個別に制御される。

図１２ｂは、第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１において、両側個別制御を実施する場合の制御機構を示す図である。同図に示すように、ブレード３の両端に備えられたロードセル４ａ，４ｂの各々が、それぞれ抗力Ｒ１，Ｒ２を検出し、信号Ｓ１として二基の演算装置５にそれぞれ伝達する。また、画像処理装置１０から、漸次変化する剥離進行部ＧＦｃの幅長さＷが信号Ｓ５として二基の演算装置５の各々に伝達される。演算装置５は、特性値ＺとしてＺ＝Ｒ１／Ｗ、Ｚ＝Ｒ２／Ｗを検出（算出）する。そして、当該特性値Ｚを信号Ｓ２として判定回路６へとそれぞれ送信する。そして、第二実施形態と同様にして各信号が伝達されていく。これにより、ブレード３における中央部を基準とした一方側と他方側とで、ブレード３の移動速度Ｖ１，Ｖ２と、圧縮エアーＡの噴射Ｑ１，Ｑ２とが個別に制御される。

図１２ｃは、第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１において、両側個別制御を実施する場合の制御機構を示す図である。同図に示すように、ブレード３の中央部を基準として一方側に備えられた各カメラ９ａと、他方側に備えられた各カメラ９ｂとの全てが、それぞれの設置位置において撮影した画像データＧＤを画像処理装置１０に伝達する。各画像処理装置１０は、剥離進行部ＧＦｃと先端Ｐとの間の距離Ｄを信号Ｓ６として演算装置５に送信する。このとき、カメラ９ａと接続された画像処理装置１０から送信される信号Ｓ６と、カメラ９ｂと接続された画像処理装置１０から送信される信号Ｓ６とは、異なる演算装置５にそれぞれ送信される。演算装置５は、特性値ＺとしてＺ＝Ｄ’１（ブレード３の一方側におけるＤの平均値）、Ｚ＝Ｄ’２（ブレード３の他方側におけるＤの平均値）を検出（算出）する。そして、当該特性値Ｚを信号Ｓ２として判定回路６へとそれぞれ送信する。そして、第三実施形態と同様にして各信号が伝達されていく。これにより、ブレード３における中央部を基準とした一方側と他方側とで、ブレード３の移動速度Ｖ１，Ｖ２と、圧縮エアーＡの噴射Ｑ１，Ｑ２とが個別に制御される。

なお、これらのように両側個別制御を実施する場合においても、特性値Ｚの基準値Ｚ_０、及び基準値Ｚ_１，Ｚ_２の値は、ガラスフィルムＧＦの板厚等、種々の条件によって異なってくるため、予め試験等により適切な値を割り出しておくことが好ましい。

このような両側個別制御によれば、ブレード３の中央部を基準とした両側の部位でガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの密着力の大きさが異なっている場合に、ブレード３の両側のうち、一方側が他方側に対して先行した状態で移動することが可能となる。これにより、本来的により高速で剥離作業を実施することが可能であるはずの側（密着力の小さい部位の側）が、低速でしか剥離作業を実施することが出来ない側（密着力の大きい部位の側）に合わせた速度で剥離作業を実施せざるをえなくなるような事態を回避することができる。その結果、さらにガラスフィルムＧＦを高速で剥離させることが可能となる。

＜第四実施形態＞
以下、本発明の第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置について説明する。

図１３は、本発明の第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１１を示す側面図であり、図１４は、ガラスフィルム剥離装置１１を示す平面図である。これらの図に示すように、ガラスフィルム剥離装置１１は、ガラスフィルムＧＦの表面を吸着した状態で支持ガラスＳＧから離反する離反方向Ｙへと移動可能な剥離手段としての複数の吸着部材１２と、複数の吸着部材１２の各々を離反方向Ｙ、及び離反方向Ｙの逆方向へと移動させるための複数の昇降装置１３と、各吸着部材１２が移動する際に当該吸着部材１２に対し離反方向Ｙとは逆向きに作用する抗力Ｒを、特性値Ｚとして検出する検出手段としての複数のロードセル１４とを備えている。

図１５は、ガラスフィルム剥離装置１１の制御機構を示すブロック図であり、図１６は、制御フローチャートを示す図である。これらの図に示すように、ガラスフィルム剥離装置１１は、その制御機構として、ロードセル１４が検出した特性値Ｚ（抗力Ｒ）を信号Ｓ７として受信し、特性値Ｚに対して後述の判定を実施する判定回路１５と、判定回路１５からの信号Ｓ８に基づいて、吸着部材１２の移動を制御するサーボモーター１６とを備えている。ここで、本実施形態においては、判定回路１５とサーボモーター１６とが制御手段を構成している。

複数の昇降装置１３の各々は、サーボモーター１６を内蔵し、且つガラスフィルムＧＦと対向するように配置された板に固定される本体部１３ａと、サーボモーター１６の動力によって昇降する棒状に形成された昇降部１３ｂとを備えている。本体部１３ａ及び板には、昇降部１３ｂを挿入するための孔がそれぞれ形成されており、これらの孔を貫通した昇降部１３ｂを、サーボモーター１６の動力によって回転する駆動ローラーが移動自在に保持している。そして、駆動ローラーを介してサーボモーター１６からの動力を昇降部１３ｂに伝達することにより、吸着部材１２を移動させると共に、その移動速度Ｖを制御する構成となっている。

複数の吸着部材１２の各々は、ガラスフィルムＧＦの表面との当接部に多数の吸引孔が形成された複数の吸着パッド１２ａと、複数の吸着パッド１２ａをまとめて保持する保持板１２ｂとを備えている。各吸着パッド１２ａに形成された多数の吸引孔は、真空ポンプと接続されており、当該真空ポンプの稼働によってガラスフィルムＧＦに負圧を発生させることにより、吸着パッド１２ａがガラスフィルムＧＦの表面を吸着する。保持板１２ｂは、昇降装置１３の稼働によって保持板１２ｂ自身が移動することで、複数の吸着パッド１２ａを一括して移動させる。なお、本実施形態においては、複数の吸着部材１２の各々が、同じ個数の吸着パッド１２ａを備えている。

また、複数の吸着部材１２の各々は、境界線Ｌ１〜Ｌ４によってガラスフィルムＧＦの表面が複数に区画されてなる各領域ＡＲ１〜ＡＲ５をそれぞれ吸着する。境界線Ｌ１〜Ｌ４は、両ガラスＧＦ，ＳＧが積層された積層部ＧＦａと剥離した剥離部ＧＦｂとの境界となる剥離進行部ＧＦｃの横断移動予定方向Ｃと直交する方向に延びている。そして、横断移動予定方向Ｃの上流側に位置する吸着部材１２から順々に隣接する吸着部材１２が離反方向Ｙへと移動することにより、剥離進行部ＧＦｃを横断移動させる。なお、複数の吸着部材１２の各々は、自身が離反方向Ｙへの移動を開始してから、隣接する吸着部材１２が離反方向Ｙへの移動を開始するまでの間、その移動を制御される構成となっている。また、剥離進行部ＧＦｃの横断移動予定方向Ｃは、ガラスフィルムＧＦの長手方向と平行となっている。

ロードセル１４は、昇降装置１３に備えられた昇降部１３ｂと、吸着部材１２に備えられた保持板１２ｂとの間に介在すると共に、これらの双方に固定された状態で取り付けられている。そして、吸着部材１２の離反方向Ｙへの移動時に、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとの密着部の各部位において、両ガラスＧＦ，ＳＧの密着力の大きさによって変化する抗力Ｒを特性値Ｚとして検出する構成となっている。

次に、上記のガラスフィルム剥離装置１１の制御機構の詳細について、図１５及び図１６を参照して説明する。横断移動予定方向Ｃの最上流に位置する吸着部材１２が、領域ＡＲ１を吸着した状態で支持ガラスＳＧから離反する離反方向Ｙへの移動を開始すると、判定回路１５が以下のような判定を実施する。

ロードセル１４からの信号Ｓ７を受信した判定回路１５は、まず、受信した信号Ｓ７としての特性値Ｚ（抗力Ｒ）が、その所定の基準値Ｚ_０に対して小さい場合（Ｚ＜Ｚ_０：以下、パターン７という）と、大きい場合（Ｚ＞Ｚ_０：以下、パターン８という）と、等しい場合（Ｚ＝Ｚ_０：以下、パターン９という）とのいずれの場合であるかを判定する。ここで、基準値Ｚ_０の値は、例えば、以下のような手順によって決定すればよい。（手順１）両ガラスＧＦ，ＳＧが水素結合によって密着している部位を剥離させる際に、ガラスフィルムＧＦに割れを生じずに吸着部材１２を移動させることが可能な限界の移動速度Ｖを割り出す。（手順２）割り出された限界の移動速度Ｖで吸着部材１２が移動している際に、ロードセル１４が検出する特性値Ｚ（抗力Ｒ）の値を基準値Ｚ_０として決定する。なお、この基準値Ｚ_０の値は、ガラスフィルムＧＦの板厚等、種々の条件によって異なってくるため、ガラスフィルムＧＦの剥離作業を実施する前に予め試験等により適切な値を割り出しておくことが好ましい。

そして、パターン７の場合には、判定結果として信号Ｓ８が、サーボアンプを介してサーボモーター１６に伝達された後、信号Ｓ８を受信したサーボモーター１６が、駆動ローラーに伝達する動力を増大させる。これにより、吸着部材１２の離反方向Ｙへの移動速度Ｖを速くする制御が実行される。なお、移動速度Ｖは、検出された特性値Ｚと基準値Ｚ_０との差分量と連動させて、差分量が大きくなる程、移動速度Ｖが速くなるように制御してもよいし、差分量に拘らず、一定の速度だけ加速するように制御してもよい。

パターン８の場合には、特性値Ｚの値について、さらに判定回路１５が以下のような判定を実施する。すなわち、特性値Ｚの値が、吸着部材１２の移動速度Ｖを遅くするか、吸着部材１２の移動を停止させるかの閾となる基準値Ｚ_１以下である場合（Ｚ_０＜Ｚ≦Ｚ_１：以下、パターン８１という）と、Ｚ_１よりも大きく、尚且つ吸着部材１２の移動を停止させるか、吸着部材１２を離反方向Ｙとは逆向きに移動させるかの閾となる基準値Ｚ_２以下である場合（Ｚ_１＜Ｚ≦Ｚ_２：以下、パターン８２という）と、Ｚ_２よりも大きい場合（Ｚ＞Ｚ_２：以下、パターン８３という）とのいずれの場合であるかを判定する。なお、これらの基準値Ｚ_１，Ｚ_２は任意の手法により定めて良い。例えば、基準値Ｚ_１，Ｚ_２は、基準値Ｚ_０を定数倍して算出しても良いが、上述の基準値Ｚ_０と同様に試験により予め適切な値を割り出しておくことが好ましい。

そして、パターン８１の場合には、判定結果として信号Ｓ８が、サーボアンプを介してサーボモーター１６に伝達された後、信号Ｓ８を受信したサーボモーター１６が、駆動ローラーに伝達する動力を減少させる。これにより、吸着部材１２の離反方向Ｙへの移動速度Ｖを遅くする制御を実行する。また、パターン８２の場合には、サーボモーター１６が、駆動ローラーを停止させ、吸着部材１２の移動を停止させる制御が実行される。なお、パターン８１の場合における吸着部材１２の移動速度Ｖは、検出された特性値Ｚと基準値Ｚ_０との差分量と連動させて、差分量が大きくなる程、移動速度Ｖが遅くなるように制御してもよいし、差分量に拘らず、一定の速度だけ減速するように制御してもよい。

パターン８３の場合には、特性値Ｚの値について、さらに判定回路１５が以下のような判定を実施する。すなわち、特性値Ｚの値が、制御対象となる吸着部材１２を切り替えるか否かの閾となる基準値Ｚ_ｍａｘ以下である場合（Ｚ_ｍａｘ≧Ｚ＞Ｚ_２：以下、パターン８３１という）と、Ｚ_ｍａｘよりも大きい場合（Ｚ＞Ｚ_ｍａｘ：以下、パターン８３２という）とのいずれの場合であるかを判定する。ここで、基準値Ｚ_ｍａｘの値は、例えば、以下のような手順によって決定すればよい。（手順１）領域ＡＲ２を吸着する吸着部材１２が、支持ガラスＳＧから未剥離のガラスフィルムＧＦの表面と当接した状態の下で、領域ＡＲ１を吸着した吸着部材１２を離反方向Ｙへと移動させる。このとき、領域ＡＲ２を吸着する吸着部材１２がガラスフィルムＧＦと当接していることで、領域ＡＲ１を吸着した吸着部材１２の離反方向Ｙへの移動に伴って次第にガラスフィルムＧＦに作用する応力、及び検出される特性値Ｚ（抗力Ｒ）の値が大きくなっていく。（手順２）ガラスフィルムＧＦに割れを生じない限界の位置まで吸着部材１２を離反方向Ｙへと移動させた際に検出される特性値Ｚの値を基準値Ｚ_ｍａｘとして決定する。この基準値Ｚ_ｍａｘの値は、上述の基準値Ｚ_０と同様に試験により予め適切な値を割り出しておくことが好ましい。

そして、パターン８３１の場合には、判定結果として信号Ｓ８が、サーボアンプを介してサーボモーター１６に伝達された後、信号Ｓ８を受信したサーボモーター１６が、駆動ローラーを逆向きに転動させ、吸着部材１２を離反方向Ｙに対して逆向きに移動させる制御が実行される。また、パターン８３２の場合には、制御対象となる吸着部材１２が横断移動予定方向Ｃにおいて下流側に隣接する吸着部材１２に切り替わる。つまり、領域ＡＲ１を吸着する吸着部材１２から、領域ＡＲ２を吸着する吸着部材１２に制御対象が切り替わり、領域ＡＲ２を吸着する吸着部材１２が離反方向Ｙへの移動を開始する（以降の制御対象の切り替えについても同様に行われる）。

パターン９の場合には、判定結果として信号Ｓ８が、サーボアンプを介してサーボモーター１６に伝達された後、信号Ｓ８を受信したサーボモーター１６が駆動ローラーに伝達する動力を維持する。これにより、吸着部材１２の離反方向Ｙへの移動速度Ｖが維持される。

以上のように、検出された特性値Ｚ（抗力Ｒ）と、当該特性値の所定の基準値Ｚ_０（基準値Ｚ_１，Ｚ_２）とに基づいて吸着部材１２の移動が制御される。また、検出された特性値Ｚと、基準値Ｚ_ｍａｘとに基づいて制御対象となる吸着部材１２が切り替わる。そして、これらの制御が実行されることにより、吸着部材１２が移動する際に当該吸着部材１２に作用する抗力Ｒの大きさが変化する。この変化した抗力Ｒをロードセル１４が再び検出するという一連のループが、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離が完了するまで連続的に繰り返される。

この第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１１によっても、上記の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１と同様の作用・効果を得ることができる。また、このガラスフィルム剥離装置１１は、ガラスフィルムＧＦの表面が複数に区画されてなる各領域ＡＲ１〜ＡＲ５をそれぞれ吸着する複数の吸着部材１２を備えている。このため、吸着部材１２一つあたりが支持ガラスＳＧから剥離させるべきガラスフィルムＧＦの部位を細分化することが可能となる。これにより、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとが密着した密着部の各部位において、両ガラスＧＦ，ＳＧの間に作用する密着力の大きさをより正確に特性値Ｚとして検出することが可能となる。その結果、吸着部材１２の各々が適切な剥離動作を行う上で有利となる。

＜第五実施形態＞
以下、本発明の第五実施形態に係るガラスフィルム剥離装置について説明する。なお、この第五実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の説明において、上述した第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置の構成要素と同一の機能、又は形状を有する構成要素については、第五実施形態について説明するための図面に同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略し、第四実施形態と相違している点についてのみ説明する。

図１７は、本発明の第五実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１１を示す側面図であり、図１８は、ガラスフィルム剥離装置１１の制御機構を示すブロック図である。また、図１９は、制御フローチャートを示す図である。これらの図に示すように、第五実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１１が、上記の第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１１と相違している点は、ロードセル１４が取り除かれている点と、制御機構として、ガラスフィルム積層体Ｇを撮影するカメラ１７と、カメラ１７で撮影された画像の画像データＧＤを処理する画像処理装置１８と、画像処理装置１８の処理結果に基づいて、後述の特性値Ｚを検出（算出）するための演算装置１９とを備えている点である。

カメラ１７は、剥離進行部ＧＦｃの横断移動予定方向Ｃと平行に延びるガラスフィルム積層体Ｇの側面（端部）について、その全長を視野に収めるように設置されている。そして、剥離進行部ＧＦｃが横断移動する際に、ガラスフィルム積層体Ｇの側面を一定の時間間隔で連続的に撮影するように構成されている。カメラ１７で連続的に撮影された各画像の画像データＧＤは、カメラ１７と接続された画像処理装置１８へと伝達される。

画像処理装置１８は、カメラ１７からの画像データＧＤを受信すると共に、各画像が撮影された時点における剥離進行部ＧＦｃの位置を検出する。そして、検出された各時点における剥離進行部ＧＦｃの位置を信号Ｓ９として演算装置１９に送信する。

演算装置１９は、画像処理装置１８から受信した信号Ｓ９に基づき、時系列的に連続して検出された二つの剥離進行部ＧＦｃの位置から、カメラ１７が撮影を行う時間間隔あたりに剥離進行部ＧＦｃが横断移動した距離ＤＤを算出する。その後、算出された距離ＤＤをカメラ１７が撮影を行う時間間隔で除することにより、剥離進行部ＧＦｃが横断移動する際の移動速度ＶＶを、特性値Ｚとして連続的に検出（算出）する。そして、検出された特性値Ｚを信号Ｓ１０として判定回路１５へと送信する。ここで、本実施形態においては、カメラ１７と、画像処理装置１８と、演算装置１９とにより検出手段が構成されている。

次に、上記のガラスフィルム剥離装置１１の制御機構の詳細について、図１８及び図１９を参照して説明する。横断移動予定方向Ｃの最上流に位置する吸着部材１２が、領域ＡＲ１を吸着した状態で支持ガラスＳＧから離反する離反方向Ｙへの移動を開始すると、判定回路１５が以下のような判定を実施する。

演算装置１９からの信号Ｓ１０を受信した判定回路１５は、まず、受信した信号Ｓ１０としての特性値Ｚ（移動速度ＶＶ）が、その所定の基準値Ｚ_０に対して大きい場合（Ｚ＞Ｚ_０：以下、パターン１０という）と、小さい場合（Ｚ＜Ｚ_０：以下、パターン１１という）と、等しい場合（Ｚ＝Ｚ_０：以下、パターン１２という）とのいずれの場合であるかを判定する。ここで、基準値Ｚ_０の値は、例えば、以下のような手順によって決定すればよい。（手順１）両ガラスＧＦ，ＳＧが水素結合によって密着している部位を剥離させる際に、ガラスフィルムＧＦに割れを生じずに吸着部材１２を移動させることが可能な限界の移動速度Ｖを割り出す。（手順２）割り出された限界の移動速度Ｖで吸着部材１２が移動している際に、演算装置１９が検出する特性値Ｚ（移動速度ＶＶ）の値を基準値Ｚ_０として決定する。なお、この基準値Ｚ_０の値についても、ガラスフィルムＧＦの剥離作業を実施する前に予め試験等により適切な値を割り出しておくことが好ましい。

そして、パターン１０の場合には、判定結果として信号Ｓ１１が、サーボアンプを介してサーボモーター１６に伝達された後、信号Ｓ１１を受信したサーボモーター１６が、駆動ローラーに伝達する動力を増大させる。これにより、吸着部材１２の離反方向Ｙへの移動速度Ｖを速くする制御が実行される。

パターン１１の場合には、特性値Ｚの値について、さらに判定回路１５が以下のような判定を実施する。すなわち、特性値Ｚの値が、吸着部材１２の移動速度Ｖを遅くするか、吸着部材１２の移動を停止させるかの閾となる基準値Ｚ_１以上である場合（Ｚ_１≦Ｚ＜Ｚ_０：以下、パターン１１１という）と、Ｚ_１よりも小さく、尚且つ吸着部材１２の移動を停止させるか、吸着部材１２を離反方向Ｙとは逆向きに移動させるかの閾となる基準値Ｚ_２以上である場合（Ｚ_２≦Ｚ＜Ｚ_１：以下、パターン１１２という）と、Ｚ_２よりも小さい場合（Ｚ＜Ｚ_２：以下、パターン１１３という）とのいずれの場合であるかを判定する。なお、これらの基準値Ｚ_１，Ｚ_２は、上記の第四実施形態と同様に任意の手法により定めて良い。例えば、基準値Ｚ_１，Ｚ_２は、基準値Ｚ_０を定数倍して算出しても良い。

そして、パターン１１１の場合には、判定結果として信号Ｓ１１が、サーボアンプを介してサーボモーター１６に伝達された後、信号Ｓ１１を受信したサーボモーター１６が、駆動ローラーに伝達する動力を減少させる。これにより、吸着部材１２の離反方向Ｙへの移動速度Ｖを遅くする制御が実行される。また、パターン１１２の場合には、サーボモーター１６が、駆動ローラーを停止させ、吸着部材１２の移動を停止させる制御が実行される。さらに、パターン１１３の場合には、サーボモーター１６が、駆動ローラーを逆向きに転動させ、吸着部材１２の離反方向Ｙに対して逆向きに移動させる制御が実行される。

パターン１２の場合には、判定結果として信号Ｓ１１が、サーボアンプを介してサーボモーター１６に伝達された後、信号Ｓ１１を受信したサーボモーター１６が駆動ローラーに伝達する動力を維持する。これにより、吸着部材１２の離反方向Ｙへの移動速度Ｖが維持される。

なお、この第五実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１１では、制御対象となる吸着部材１２の切り替えについて、上記の第四実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１１とは異なり、剥離進行部ＧＦｃの位置を検出することで行っている。詳述すると、領域ＡＲ１を吸着した吸着部材１２が離反方向Ｙへと移動を開始した後、剥離進行部ＧＦｃが領域ＡＲ２を吸着する吸着部材１２に備えられた吸着パッド１２ａの直下まで到達すると、制御対象となる吸着部材１２が、領域ＡＲ２を吸着する吸着部材１２に切り替わる。そして、当該吸着部材１２が離反方向Ｙへの移動を開始する（以降の制御対象の切り替えについても同様に行われる）。

以上のように、検出された特性値Ｚ（移動速度ＶＶ）と、当該特性値の所定の基準値Ｚ_０（基準値Ｚ_１，Ｚ_２）とに基づいて吸着部材１２の移動が制御される。そして、この制御が実行されることにより、剥離進行部ＧＦｃが横断移動する際の移動速度ＶＶが変化する。この移動速度ＶＶの変化した剥離進行部ＧＦｃをカメラ１７が再び撮影するという一連のループが、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離が完了するまで連続的に繰り返される。

なお、本実施形態においては、剥離進行部ＧＦｃが横断移動する際の移動速度ＶＶを特性値Ｚとして検出しているが、移動速度ＶＶに代えて加速度を特性値Ｚとして検出し、この特性値Ｚ（加速度）に基づいて吸着部材１２の移動を制御する構成としてもよい。例えば、演算装置１９が検出した移動速度ＶＶを記憶する記憶装置を設け、時系列的に連続して検出された二つの移動速度ＶＶの値を記憶させる。その後、記憶装置から二つの移動速度ＶＶの値を信号として別途に設けた演算装置に送信させる。そして、当該演算装置によって二つの移動速度ＶＶの値の差分をカメラ１７が撮影を行う時間間隔で除する演算を実行させることで、剥離進行部ＧＦｃが横断移動する際の加速度を特性値Ｚとして検出する構成としてもよい。

この第五実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１１によっても、上記の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１と同様の作用・効果を得ることが可能である。

ここで、本発明に係るガラスフィルム剥離装置は、支持ガラスに支持されたガラスフィルムのみを剥離の対象とするものではない。例えば、シリコン等、支持ガラス以外で構成された支持体からガラスフィルムを剥離させるような場合にも、本発明に係るガラスフィルム剥離装置を使用することが可能である。また、上記の各実施形態においては、ガラスフィルムと支持ガラスとを直接に面接触させて積層したガラスフィルム積層体について、支持ガラスからガラスフィルムを剥離させる態様となっている。しかしながら、ガラスフィルムと支持体とが接着層を介して積層された積層体について、支持体からガラスフィルムを剥離させるような場合においても、本発明に係るガラスフィルム剥離装置を使用することができる。さらには、例えば、支持体とガラスフィルムとの密着力が相互に異なった複数のガラスフィルム積層体について、連続的に各支持体から各ガラスフィルムを剥離させるような場合にも使用することが可能である。

また、本発明に係るガラスフィルム剥離装置は、上記の各実施形態で説明した構成に限定されるものではない。例えば、上記の第一実施形態〜第三実施形態においては、テーブル上に固定された状態のガラスフィルム積層体に対し、ブレードが移動することによって支持ガラスからガラスフィルムを剥離させる構成となっている。しかしながら、ブレードを固定した状態でガラスフィルム積層体を載置したテーブルを移動させると共に、その移動速度を制御してガラスフィルムを剥離させる構成としてもよい。また、ブレード３の移動方向についても、ガラスフィルム積層体の長手方向や、対角線方向に限らず、任意の方向とすることが可能である。

さらに、上記の第一実施形態〜第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置には、ガラスフィルムの表面を吸着しながら当該ガラスフィルムに引張力を作用させることで、ガラスフィルムの剥離を補助する複数の吸着パッドを設けてもよい。この場合、ブレードの移動方向に沿って各吸着パッドを設置し、特性値に基づいて、各吸着パッドからガラスフィルムに作用させる引張力の大きさを制御する構成としてもよい。また、特性値に基づいて、全吸着パッドの中からガラスフィルムに引張力を作用させる吸着パッドを選択する構成としてもよい。

加えて、上記の第一実施形態〜第三実施形態において、カメラはいずれも積層体を上方から撮影するように構成されているが、下方から撮影を実施する構成としてもよい。このとき、カメラとしては種々のものを使用することができる。例えば、シリコン等の可視光に対し不透明な材料を支持体として使用する場合であっても、赤外線カメラを採用することで、該支持体を透視してエッジ検出を実施することができる場合がある。

また、上述の各実施形態において、ガラスフィルム剥離装置の制御機構に何らかの外乱が働いた場合への対策として、フィードバック制御を実施する構成としてもよい。このような場合の一例として、ガラスフィルム剥離装置に、ブレード（吸着部材）の移動速度を検出する検出器等を新たに設ける。そして、検出器が検出した速度を信号として、ブレード（吸着部材）の移動速度を制御するサーボモーター（サーボアンプ）にフィードバックするような構成とすることが可能である。

また、上述の各実施形態では特性値の基準値を予め試験等により求める例について説明したが、他の方法を用いて求めても良い。例えば、シミュレーションにより求めても良いし、前後の工程のタクトタイム等に応じて任意に定めても良い。

また、上述の第一実施形態〜第三実施形態、及び、第五実施形態では、演算装置と判定回路とが個別のハードウェアとして構成されている場合を例として説明したが、演算装置及び判定回路の機能構成は、単一のコンピュータ及び該コンピュータが備えるソフトウェアにより実現されても構わない。

また、上記の第一実施形態〜第三実施形態では、ブレードに代えて、紐や樹脂シートを使用してガラスフィルムを剥離させる構成としてもよい。紐の材質としては、例えば、ポリエチレン、ナイロン（登録商標）、テフロン（登録商標）を使用することができる。また、樹脂シートの材質としては、例えば、テフロン（登録商標）を使用することができる。紐や樹脂シートは、ブレードと比較してその厚みが薄いため、これらを使用すれば、紐や樹脂シートが横断移動する際にロードセルが検出する抗力の値を小さくすることが可能となる。

また、上記の第四実施形態、及び第五実施形態では、吸着部材がガラスフィルムの表面を吸着した状態で支持ガラスから離反する離反方向へと移動することにより、ガラスフィルムを剥離させる構成となっている。しかしながら、この限りではなく、吸着部材が支持ガラスの表面を吸着した状態でガラスフィルムから離反する離反方向へと移動することにより、ガラスフィルムを剥離させる構成としてもよい。

また、上記の第五実施形態では、剥離進行部が横断移動する際に、カメラがガラスフィルム積層体の側面（端部）を連続的に撮影する構成となっているが、ガラスフィルム積層体の表面、又は裏面を連続的に撮影する構成としてもよい。このようにしても、剥離進行部が横断移動する際の移動速度、又は加速度を特性値として検出することができる。

また、上記の実施形態では、複数に区画された各領域に配される吸着パッドの個数が同数である場合を一例として説明したが、複数に区画された各領域に配される吸着パッドの個数は、領域毎に変更してもよい。すなわち、吸着パッドの配置に分布を持たせた形態としてもよい。例えば、ガラスフィルム又は支持ガラスの端面付近の吸着パッドの個数を他の部分より多くすることによって、ガラスの端面への部分的な応力集中を低減し、剥離時の割れを防止することができる。なお、このような形態の場合、各領域に配された吸着パッドの個数に応じて基準値を定めることが好ましい。具体的には、吸着パッドの個数が相対的に多い区画においては各吸着パッドに付随するロードセルが検出する抗力が相対的に小さくなるため、基準値を相対的に低く設定するとよい。一方、吸着パッドの個数が相対的に少ない区画においては、各吸着パッドに付随するロードセルが検出する抗力が相対的に大きくなるため、基準値を相対的に高く設定するとよい。

本発明の実施例として、上記の第一〜第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を使用して、図２０に示すガラスフィルム積層体Ｇについて、後述する４つの条件（実施例３つ、比較例１つ）の下で、支持ガラスＳＧからガラスフィルムＧＦを剥離させた。そして、剥離の際にガラスフィルムＧＦに割れを生じるか否かを検証した。

まず、実施例、及び比較例において、剥離の対象となるガラスフィルムＧＦ、支持ガラスＳＧ、ガラスフィルム積層体Ｇについて説明する。ガラスフィルムＧＦ、及び支持ガラスＳＧとして、日本電気硝子社製の無アルカリガラスＯＡ−１０Ｇを使用した。両ガラスＧＦ，ＳＧの板厚は、それぞれガラスフィルムＧＦ：０．２ｍｍ、支持ガラスＳＧ：０．５ｍｍであり、面の寸法（縦×横）は、双方共に１０００ｍｍ×１０００ｍｍである。そして、両ガラスＧＦ，ＳＧの相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さＲａを、両ガラスＧＦ，ＳＧの各々で２．０ｎｍ以下として、両ガラスＧＦ，ＳＧを直接に面接触させて積層し、ガラスフィルム積層体Ｇを作製した。

そして、作製したガラスフィルム積層体Ｇに以下の処理を施した。まず、ガラスフィルム積層体Ｇの全体を２００℃で３０分間加熱した。その後、ガラスフィルムＧＦ、及び支持ガラスＳＧの面の中心から半径５０ｍｍの部位（図２０中にハッチングを施した範囲であり、同図においては説明を簡便にするため誇張して図示している）のみを３００℃まで加熱した。これにより、当該部位における両ガラスＧＦ，ＳＧの間に作用する密着力の大きさを他の部位よりも大きくした。

以下、３つの実施例１〜３、及び比較例におけるガラスフィルム剥離装置の動作について説明する。

実施例１においては、上記の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を使用し、図２０に示すＴ方向にブレード３を移動させることで、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離を実施した。ここで、実施例１においては、特性値Ｚの基準値Ｚ_０の値はＺ_０＝０．０４[Ｎ／ｍｍ]とした。また、ブレード３の移動速度Ｖの基準速度Ｖ_０（Ｚ＝Ｚ_０の場合のブレード３の移動速度）の値はＶ_０＝３０[ｍｍ／ｍｉｎ]とした。そして、特性値Ｚの値がＺ_０より大きくなった場合（Ｚ＞Ｚ_０の場合）には、ブレード３の移動速度Ｖを基準速度Ｖ_０からＶ＝１０[ｍｍ／ｍｉｎ]に減速させた。また、特性値Ｚの値が基準値Ｚ_０に戻った場合には、ブレード３を加速させて移動速度Ｖを基準速度Ｖ_０に戻した。なお、実施例１において、ブレード３の移動を停止させる制御、及びブレード３を逆向きに移動させる制御については省略している。

実施例２においては、上記の第二実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を使用し、図２０に示すＵ方向にブレード３を移動させることで、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離を実施した。ここで、実施例２における特性値Ｚの基準値Ｚ_０の値、及びブレード３の移動速度Ｖの基準速度Ｖ_０の値は、実施例１と同一である。また、ブレード３の移動速度Ｖの制御態様についても、実施例１と同一である。さらに、この実施例２においても、ブレード３の移動を停止させる制御、及びブレード３を逆向きに移動させる制御については省略している。

実施例３においては、上記の第三実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を使用し、図２０に示すＴ方向にブレード３を移動させることで、支持ガラスＳＧからのガラスフィルムＧＦの剥離を実施した。ここで、実施例３においては、特性値Ｚの基準値Ｚ_０の値はＺ_０＝１０[ｍｍ]とした。また、ブレード３の移動速度Ｖの基準速度Ｖ_０（Ｚ＝Ｚ_０の場合のブレード３の移動速度）の値はＶ_０＝３０[ｍｍ／ｍｉｎ]とした。そして、特性値Ｚの値がＺ_０より小さくなった場合（Ｚ＜Ｚ_０の場合）には、ブレード３の移動速度Ｖを基準速度Ｖ_０からＶ＝１０[ｍｍ／ｍｉｎ]に減速させた。また、特性値Ｚの値が基準値Ｚ_０に戻った場合には、ブレード３を加速させて移動速度Ｖを基準速度Ｖ_０に戻した。なお、この実施例３においても、ブレード３の移動を停止させる制御、及びブレード３を逆向きに移動させる制御については省略している。

比較例においては、上記の第一実施形態に係るガラスフィルム剥離装置１を使用すると共に、ガラスフィルムＧＦの剥離の開始から終了まで、特性値Ｚの変化とは無関係に、ブレード３をＶ＝３０[ｍｍ／ｍｉｎ]の一定の移動速度Ｖで移動させることで、ガラスフィルムＧＦを支持ガラスＳＧから剥離させた。

以下に実施例１〜３、及び比較例の検証の結果を示す。実施例１〜３では、ガラスフィルムＧＦに割れを生じることなく、支持ガラスＳＧからガラスフィルムＧＦを剥離させることが可能であった。一方、比較例では、ガラスフィルムＧＦに割れを生じる結果となった。この結果から、本発明に係るガラスフィルム剥離装置によれば、支持体からガラスフィルムを剥離させる際に、当該ガラスフィルムの割れを防止しつつ、ガラスフィルムを可及的に高速で剥離させることが可能となるものと推認される。

１ ガラスフィルム剥離装置
２ テーブル
２ａ 載置面
２ｂ 長側面
２ｃ 短側面
３ ブレード
３ａ 先端部
３ｂ 噴射口
４ ロードセル
５ 演算装置
６ 判定回路
７ サーボモーター
８ サーボモーター
９ カメラ
１０ 画像処理装置
１１ ガラスフィルム剥離装置
１２ 吸着部材
１２ａ 吸着パッド
１２ｂ 保持板
１３ 昇降装置
１３ａ 本体部
１３ｂ 昇降部
１４ ロードセル
１５ 判定回路
１６ サーボモーター
１７ カメラ
１８ 画像処理装置
１９ 演算装置
Ｇ ガラスフィルム積層体
ＳＧ 支持ガラス
ＧＦ ガラスフィルム
ＧＦａ 積層部
ＧＦｂ 剥離部
ＧＦｃ 剥離進行部
Ｗ 幅長さ
Ｘ ブレードの移動方向
Ｔ ブレードの移動方向
Ｕ ブレードの移動方向
Ｖ ブレード（吸着部材）の移動速度
Ｒ 抗力
Ａ 圧縮エアー
Ｑ 圧縮エアーの噴射量
Ｚ 特性値
Ｚ_０ 基準値
Ｚ_１ 基準値
Ｚ_２ 基準値
Ｚ_ｍａｘ 基準値
Ｐ 先端
Ｄ 剥離進行部と先端との間の距離
Ｄ’ 距離の平均値
ＧＤ 画像データ
Ｓ１〜Ｓ１１ 信号
ＶＶ 剥離進行部の移動速度
Ｙ 離反方向
Ｃ 剥離進行部の横断移動予定方向
Ｌ１〜Ｌ４ 境界線
ＡＲ１〜ＡＲ５ 領域
ＤＤ 剥離進行部が横断移動した距離

Claims (9)

1. 支持体上に積層された可撓性を有するガラスフィルムを前記支持体から剥離させる剥離手段を備えたガラスフィルム剥離装置であって、
   前記ガラスフィルムを剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値を検出する検出手段と、検出された前記特性値に基づいて前記剥離手段による剥離動作を制御する制御手段とを備え、
   前記剥離手段は、前記ガラスフィルムと前記支持体との相互間を横断移動することで、両者が積層された積層部と剥離した剥離部との境界となる剥離進行部を横断移動させる剥離具であり、
   前記検出手段は、前記剥離具の移動方向に直交する方向の中央部を基準とした両側で、前記特性値を個別に検出するように構成されると共に、
   前記制御手段が、前記剥離具の中央部を基準とした各側で、検出された特性値に基づいて該剥離具の移動速度を個別に制御するように構成されていることを特徴とするガラスフィルム剥離装置。
2. 支持体上に積層された可撓性を有するガラスフィルムを前記支持体から剥離させる剥離手段を備えたガラスフィルム剥離装置であって、
   前記ガラスフィルムを剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値を検出する検出手段と、検出された前記特性値に基づいて前記剥離手段による剥離動作を制御する制御手段とを備え、
   前記剥離手段は、前記ガラスフィルムと前記支持体との相互間を横断移動することで、両者が積層された積層部と剥離した剥離部との境界となる剥離進行部を横断移動させる剥離具であり、
   前記剥離具は、該剥離具から前記剥離進行部側に流体を噴射する流体噴射手段を有し、
   前記制御手段が、前記特性値に基づいて前記流体噴射手段による前記流体の噴射量を制御するように構成されていることを特徴とするガラスフィルム剥離装置。
3. 支持体上に積層された可撓性を有するガラスフィルムを前記支持体から剥離させる剥離手段を備えたガラスフィルム剥離装置であって、
   前記ガラスフィルムを剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値を検出する検出手段と、検出された前記特性値に基づいて前記剥離手段による剥離動作を制御する制御手段とを備え、
   前記剥離手段は、前記ガラスフィルムと前記支持体との相互間を横断移動することで、両者が積層された積層部と剥離した剥離部との境界となる剥離進行部を横断移動させる剥離具であり、
   前記特性値は、前記剥離具に対し移動方向逆向きに作用する抗力に基づいた計算値であり、
   前記計算値は、前記抗力を、前記剥離進行部における前記剥離具の先端部に沿う方向の長さとなる幅長さで除した値であることを特徴とするガラスフィルム剥離装置。
4. 支持体上に積層された可撓性を有するガラスフィルムを前記支持体から剥離させる剥離手段を備えたガラスフィルム剥離装置であって、
   前記ガラスフィルムを剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値を検出する検出手段と、検出された前記特性値に基づいて前記剥離手段による剥離動作を制御する制御手段とを備え、
   前記剥離手段は、前記ガラスフィルムと前記支持体との相互間を横断移動することで、両者が積層された積層部と剥離した剥離部との境界となる剥離進行部を横断移動させる剥離具であり、
   前記特性値は、前記剥離具と前記支持体との接触部における先端と、前記剥離進行部との間の距離であることを特徴とするガラスフィルム剥離装置。
5. 前記検出手段は、
   前記剥離具と前記支持体との接触部における先端、及び前記剥離進行部を含む画像を撮像する撮像手段と、
   前記画像を処理することにより前記距離を検出する画像処理手段とを含むことを特徴とする請求項４に記載のガラスフィルム剥離装置。
6. 前記制御手段は、前記特性値と該特性値の所定の基準値とに基づいて（１）前記剥離具の移動速度を速くする、（２）前記剥離具の移動速度を遅くする、（３）前記剥離具を停止させる、（４）前記剥離具を逆向きに移動させる、のいずれかの制御を実行するように構成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラスフィルム剥離装置。
7. 支持体上に積層された可撓性を有するガラスフィルムを前記支持体から剥離させる剥離手段を備えたガラスフィルム剥離装置であって、
   前記ガラスフィルムを剥離させる際の抵抗の大きさに応じて変化する特性値を検出する検出手段と、検出された前記特性値に基づいて前記剥離手段による剥離動作を制御する制御手段とを備え、
   前記剥離手段は、前記ガラスフィルムと前記支持体とのうち、一方の表面を吸着した状態で他方から離反する離反方向に移動することにより、両者が積層された積層部と剥離した剥離部との境界となる剥離進行部を横断移動させる吸着部材であり、
   前記制御手段は、前記特性値の変化に応じて前記吸着部材の前記離反方向への移動速度を変化させることに追随して、前記剥離進行部の移動速度を変化させるように構成されていることを特徴とするガラスフィルム剥離装置。
8. 前記特性値は、前記吸着部材に対し前記離反方向とは逆向きに作用する抗力であることを特徴とする請求項７に記載のガラスフィルム剥離装置。
9. 前記吸着部材を複数備え、
   複数の前記吸着部材の各々は、前記剥離進行部の横断移動予定方向と直交する方向に延びる境界線によって前記一方の表面が複数に区画されてなる各領域をそれぞれ吸着すると共に、前記横断移動予定方向の上流側に位置する前記吸着部材から順々に隣接する前記吸着部材が前記離反方向に移動するように構成されていることを特徴とする請求項７又は８に記載のガラスフィルム剥離装置。

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