KR20160058069A - 유리 필름 박리장치 - Google Patents

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KR20160058069A
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쇼 이토
히로시 사사키
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니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

지지 유리(SG) 상에 적층된 가요성을 갖는 유리 필름(GF)을 지지 유리(SG)로부터 박리시키는 블레이드(3)를 구비한 유리 필름 박리장치(1)로서, 유리 필름(GF)을 박리시킬 때의 저항의 크기에 따라 변화되는 특성값(Z)을 검출하는 로드셀(4) 및 연산장치(5)와, 검출된 특성값(Z)과 기준값(Z0)에 의거하여 블레이드(3)의 이동 속도(V)를 제어하는 판정회로(6) 및 서보모터(7)를 구비하도록 구성했다.

Description

유리 필름 박리장치{GLASS FILM REMOVAL DEVICE}
본 발명은 지지체 상에 적층된 가요성을 갖는 유리 필름을 상기 지지체로부터 박리시키는 유리 필름 박리장치에 관한 것이다.
주지한 바와 같이 유리 필름 적층체는 박육화(薄肉化)(예를 들면, 판 두께가 300㎛)된 가요성을 갖는 유리 필름과, 이것을 지지하는 지지 유리 각각에 대해서 서로 접촉하는 측의 면이 되는 맞댐면의 표면 거칠기 Ra를 2.0㎚ 이하로 해서 양 맞댐면을 직접적으로 면 접촉시킴으로써 유리 필름과 지지 유리를 적층한 것이다.
이 유리 필름 적층체에 의하면 지지 유리와 적층하는 것에 의해 유리 필름의 휘기 쉬운 성질이 일시적으로 배제됨과 아울러 유리 필름과 지지 유리가 적당히 밀착해서 일체된 것으로서 작용하게 된다. 이 때문에 유리 제품의 제조 공정에 있어서의 유리 필름의 취급이 매우 간편해진다.
예를 들면, 액정 디스플레이(LCD)용 유리 필름은 그 제조 공정에 있어서 지지 유리 상에 적층되어 유리 필름 적층체가 된 후, 투명 전극의 형성 등 각종 처리가 실시된다. 그리고, 처리를 끝낸 유리 필름은 제품에 편입된 지지 유리로부터 박리되는 것이 된다.
여기서 특허문헌 1에는 유리 필름을 박리시키는 대상으로 한 것은 아니지만 박판 유리 기판과, 수지층을 통해 그 기판을 지지하는 지지 유리 기판을 포함하는 적층체에 대해서 지지 유리 기판 및 수지층(이하, 이들을 통합하여 지지 기판으로 표기한다)을 박판 유리 기판으로부터 박리시키기 위한 장치가 개시되어 있다. 동 문헌에 개시된 장치는 적층체의 측방으로부터 박판 유리 기판과 지지 기판의 상호 간에 삽입되는 나이프와, 지지 기판의 표면을 흡착하는 복수의 흡착 패드를 구비하고 있다.
그리고, 나이프의 삽입에 의해 부분적으로 박리된 지지 기판의 단부를 기점으로 해서 흡착 패드 각각이 차례로 박판 유리 기판으로부터 이간되는 방향으로 동작하여 지지 기판을 인장함으로써 상기 지지 기판을 단계적으로 박판 유리 기판으로부터 박리시키도록 구성되어 있다. 또한, 흡착 패드 각각으로부터 지지 기판에 작용하는 인장력은 모두 동일한 실시형태를 바탕으로 각 패드와 연결된 실린더 내의 압력을 높임으로써 점차 커지도록 제어되어 있다.
국제 공개 제 2010/090147호
그런데, 상술한 유리 필름 적층체를 이용하여 유리 필름에 가열을 수반하는 처리를 실시한 경우, 상기 유리 필름과 지지 유리의 밀착력의 분포에 불균일이 생기는 경우가 있다. 예를 들면, 그 한 요인으로서는 유리 필름과 지지 유리가 밀착된 밀착부의 전체 부위가 똑같은 온도로 가열되지 않은 것에 의한 유리 필름 적층체의 온도 분포의 불균일이 고려된다. 이러한 온도 분포의 불균일이 생긴 경우, 상대적으로 고온까지 가열된 부위와 저온까지밖에 가열되지 않은 부위 사이에서 유리 필름과 지지 유리 사이에 작용하는 밀착력의 크기에 차이가 발생한다.
상세히 서술하면 양자의 밀착부 중 300℃ 정도까지 가열된 부위에 있어서는 다른 부위와 비교하여 유리 필름과 지지 유리 사이에 작용하는 밀착력이 크게 증대한다. 이 원인은 수소 결합에 의해 밀착되어 있던 유리 필름과 지지 유리가 가열에 의해 300℃ 전후를 경계로 하여 보다 강력한 밀착력을 만들어 내는 공유 결합에 의해 밀착된 상태로 이행하기 때문이라고 상정되어 있다.
그리고, 부위 사이에 발생하는 밀착력의 크기의 차이에 기인하여 지지 유리로부터의 유리 필름의 박리에 특허문헌 1에 개시된 장치를 사용한 경우, 하기와 같은 문제가 생긴다. 즉, 이 경우 유리 필름과 지지 유리의 밀착력의 크기가 부위 사이에서 차이를 발생시키고 있는지 아닌지에 관계없이 각 흡착 패드는 유리 필름에 대하여 동일한 실시형태를 바탕으로 차례로 인장력을 부하하게 된다.
이 때문에 밀착력이 큰 부위에 있어서도 밀착력이 작은 부위와 마찬가지로 해서 유리 필름에 인장력이 부하되어 버리게 된다. 이것에 의해 상기 유리 필름에 과대한 응력이 작용하여 유리 필름에 균열이 발생하는 사태를 초래해 버린다. 그래서, 이러한 문제의 발생을 회피하기 위해 미리 밀착력이 커지고 있는 부위가 존재하는 것을 상정하여 상기 부위에 적합한 박리의 실시형태로 밀착력이 작은 부위도 포함시킨 전체 부위를 똑같이 박리시키는 것이 고려된다.
이러한 실시형태에 의해 유리 필름을 지지 유리로부터 박리시키는 경우, 상기 유리 필름에 있어서의 균열의 발생에 대해서는 방지할 수 있는 가능성이 있다. 그러나, 밀착력이 작고, 본래적으로 보다 고속으로 박리 작업을 실시할 수 있는 부위에 있어서도 밀착력이 큰 부위에 맞춘 속도로 박리 작업을 실시하지 않으면 안되는 것이 된다. 그 결과, 제조 효율을 현저히 악화시킨다는 새로운 문제가 생겨 버린다.
또한, 이러한 문제는 상술한 바와 같이 유리 필름과 지지 유리를 직접적으로 면 접촉시켜 적층한 적층체에 대해서 유리 필름을 지지 유리로부터 박리시키는 경우에만 생기는 것은 아니다. 예를 들면, 양자가 접착층을 통해 적층된 적층체에 대해서 유리 필름을 박리시키는 경우나, 유리 이외로 구성된 지지체로부터 유리 필름을 박리시키는 경우에도 부위 사이에서의 밀착력의 크기의 차이에 의해 마찬가지로 생길 수 있는 것이다.
또한, 이러한 문제는 하나의 적층체 내에 있어서 유리 필름과 지지체의 밀착부에 있어서의 부위 사이에서 밀착력의 크기에 차이가 생기고 있는 경우에만 발생하는 것도 아니다. 예를 들면, 복수의 유리 필름 적층체의 상호 간에서 밀착력의 크기에 차이가 생기고 있는 경우에도 이 차이에 기인하여 마찬가지로 생길 수 있는 것이다.
상기 사정을 감안하여 이루어진 본 발명은 지지체로부터 유리 필름을 박리시킬 때에 상기 유리 필름의 균열을 방지하면서 가급적으로 고속으로 박리 작엽을 실시가능하게 하는 것을 기술적 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해 창안된 본 발명에 의한 장치는 지지체 상에 적층된 가요성을 갖는 유리 필름을 지지체로부터 박리시키는 박리수단을 구비한 유리 필름 박리장치로서, 유리 필름을 박리시킬 때의 저항의 크기에 따라 변화되는 특성값을 검출하는 검출수단과, 검출된 특성값에 의거하여 박리수단에 의한 박리 동작을 제어하는 제어수단을 구비하는 것으로 특징지어진다.
여기서, 「박리수단에 의한 박리 동작」이란 정지된(고정된) 상태의 유리 필름 및 지지체에 대하여 박리수단이 동작하여 유리 필름을 박리시키는 경우만을 의미하는 것은 아니다. 유리 필름 및 지지체에 대하여 박리수단이 상대적으로 동작하여 유리 필름을 박리시키는 경우도 포함하는 것을 의미하는 것이다(이하, 동일).
이러한 구성에 의하면 검출수단이 유리 필름을 박리시킬 때의 저항의 크기 에 따라 변화되는 특성값을 검출함으로써 유리 필름과 지지체가 밀착된 밀착부의 각 부위에 있어서 양자 간에 작용하는 밀착력의 크기를 독립적으로 검출하는 것이 가능해진다. 그리고, 검출된 특성값에 의거하여 제어수단이 각 부위에 따른 적절한 박리 동작을 행하도록 박리수단을 제어할 수 있다. 그 결과, 유리 필름의 균열을 방지하면서 가급적으로 고속으로 박리 작업을 실시하는 것이 가능해진다.
상기 구성에 있어서 박리수단은 유리 필름과 지지체의 상호 간을 횡단 이동함으로써 양자가 적층된 적층부와 박리한 박리부의 경계가 되는 박리 진행부를 횡단 이동시키는 박리구이어도 좋다.
상기 구성에 있어서 특성값은 박리구에 대하여 이동방향 역방향으로 작용하는 항력, 또는 항력에 의거한 계산값이어도 좋다.
이와 같이 하면 박리구에 대하여 이동방향 역방향으로 작용하는 항력, 또는 항력에 의거한 계산값으로부터 유리 필름과 지지체의 밀착부에 있어서의 각 부위에서 양자의 밀착력의 크기를 독립적으로 검출하는 것이 가능해진다. 그 결과, 박리구가 각 부위에 따른 적절한 박리 동작을 행할 수 있다.
상기 구성에 있어서 계산값은 항력을 박리 진행부에 있어서의 박리구의 선단부를 따르는 방향의 길이가 되는 폭 길이로 나눈 값이어도 좋다.
박리 진행부에 있어서의 폭 길이가 변화된 경우, 유리 필름과 지지체의 밀착부에 있어서의 부위에서 양자의 밀착력의 크기에 차이가 없었다고 해도 박리구에 작용하는 항력이 변화되어 버린다. 그 때문에 이 항력에 의거하여 제어수단이 박리구의 이동을 제어한 경우에는 상기 박리구가 각 부위에 따른 적절한 박리 동작을 행할 수 없게 되어 버린다. 그러나, 상기 항력을 폭 길이로 나눈 값을 특정값으로 하면 폭 길이의 변화와는 무관하며, 또한, 양자의 밀착력의 대소에 의거하여 변화되는 값을 검출하는 것이 가능해진다. 그 결과, 박리구가 각 부위에 따른 적절한 박리 동작을 행할 수 있다.
상기 구성에 있어서 특성값은 박리구와 지지체의 접촉부에 있어서의 선단부와 박리 진행부 사이의 거리이어도 좋다.
이와 같이 하면 접촉부에 있어서의 선단과 박리 진행부 사이의 거리로부터 유리 필름과 지지체의 밀착부에 있어서의 각 부위에서 양자의 밀착력의 크기를 독립적으로 검출하는 것이 가능해진다. 그 결과, 박리구가 각 부위에 따른 적절한 박리 동작을 행할 수 있다.
상기 구성에 있어서 검출수단은 박리구와 지지체의 접촉부에 있어서의 선단 및 박리 진행부를 포함하는 화상을 촬상하는 촬상수단과, 화상을 처리함으로써 거리를 검출하는 화상 처리수단을 포함하고 있어도 좋다.
이와 같이 하면 엣지 검출 처리 등의 화상 처리에 의해 접촉부에 있어서의 선단과 박리 진행부 사이의 거리를 보다 확실하게 검출할 수 있다. 그 때문에 박리구가 각 부위에 따른 적절한 박리 동작을 행함에 있어서 그 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.
상기 구성에 있어서 제어수단은 특성값과 특성값의 소정의 기준값에 의거하여 (1) 박리구의 이동 속도를 빠르게 하는 제어, (2) 박리구의 이동 속도를 느리게 하는 제어, (3) 박리구를 정지시키는 제어, (4) 박리구를 역방향으로 이동시키는 제어 중 어느 하나의 제어를 실행하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면 검출된 특성값과, 상기 특성값의 소정의 기준값에 의거하여 유리 필름과 지지체의 밀착력이 작은 부위에 있어서는 제어수단이 (1) 박리구의 이동 속도를 빠르게 하는 제어를 실행함으로써 상기 부위에서의 유리 필름의 박리를 보다 고속으로 실시하는 것이 가능해진다. 한편, 양자의 밀착력이 큰 부위에 있어서는 제어수단이 단계적으로 (2) 박리구의 이동 속도를 느리게 하는 제어, (3) 박리구를 정지시키는 제어, (4) 박리구를 역방향으로 이동시키는 제어를 실행함으로써 상기 부위에서 유리 필름에 균열이 발생하는 것을 보다 적확하게 방지할 수 있다. 보다 상세하게는 박리구에 의한 힘이 유리 필름에 전해져 유리 필름에 균열이 발생할 때까지는 어느 정도의 지연이 존재하는 경우가 있다. 따라서, 박리할 때에 있어서의 저항의 대소를 검출하고, 그 순간에 박리구를 정지시키는 등 제어를 실행함으로써 유리 필름의 균열을 방지할 수 있다.
상기 구성에 있어서 검출수단은 박리구의 이동방향에 직교하는 방향의 중앙부를 기준으로 한 양측에서 특성값을 개별적으로 검출하도록 구성됨과 아울러 제어수단이 박리구의 중앙부를 기준으로 한 각 측에서 검출된 특성값에 의거하여 박리구의 이동 속도를 개별적으로 제어하도록 구성되어 있어도 좋다.
이와 같이 하면 박리구의 중앙부를 기준으로 한 양측의 부위에서 유리 필름과 지지체의 밀착력의 크기가 다른 경우에는 박리구의 양측 중 일방측이 타방측에 대하여 선행된 상태에서 이동하는 것이 가능해진다. 이것에 의해 본래적으로 보다 고속으로 박리 작업을 실시하는 것이 가능한 측(밀착력이 작은 부위의 측)이 저속으로밖에 박리 작업을 실시할 수 없는 측(밀착력이 큰 부위의 측)에 맞춘 속도로 박리 작업을 실시하지 않을 수 없게 되는 사태를 회피할 수 있다. 그 결과, 유리 필름을 고속으로 더 박리시키는 것이 가능해진다.
상기 구성에 있어서 박리구는 박리구로부터 박리 진행부측에 유체를 분사하는 유체 분사수단을 갖고, 제어수단이 특성값에 의거하여 유체 분사수단에 의한 유체의 분사량을 제어하도록 구성되어 있어도 좋다.
이와 같이 하면 유리 필름과 지지체의 밀착력이 작은 부위에 있어서는 박리구로부터 박리 진행부측에 유체가 분사됨으로써 지지체로부터의 유리 필름의 박리를 보다 촉진할 수 있다.
상기 구성에 있어서 박리수단은 유리 필름과 지지체 중 일방의 표면을 흡착한 상태에서 타방으로부터 이반되는 이반방향으로 이동함으로써 양자가 적층된 적층부와 박리한 박리부의 경계가 되는 박리 진행부를 횡단 이동시키는 흡착 부재이어도 좋다.
상기 구성에 있어서 특성값은 흡착 부재에 대하여 이반방향과는 역방향으로 작용하는 항력이어도 좋다.
이와 같이 하면 흡착 부재에 대하여 이반방향과는 역방향으로 작용하는 항력으로부터 유리 필름과 지지체의 밀착부에 있어서의 각 부위에서 양자의 밀착력의 크기를 독립적으로 검출하는 것이 가능해진다. 그 결과, 흡착 부재가 각 부위에 따른 적절한 박리 동작을 행할 수 있다.
상기 구성에 있어서 특성값은 박리 진행부가 횡단 이동할 때의 이동 속도, 또는 가속도이어도 좋다.
이와 같이 하면 박리 진행부가 횡단 이동할 때의 이동 속도, 또는 가속도로부터 유리 필름과 지지체의 밀착부에 있어서의 각 부위에서 양자의 밀착력의 크기를 독립적으로 검출하는 것이 가능해진다. 그 결과, 흡착 부재가 각 부위에 따른 적절한 박리 동작을 행할 수 있다.
상기 구성에 있어서 제어수단은 특성값과, 상기 특성값의 소정의 기준값에 의거하여 (1) 흡착 부재의 이반방향으로의 이동 속도를 빠르게 하는 제어, (2) 흡착 부재의 이반방향으로의 이동 속도를 느리게 하는 제어, (3) 흡착 부재를 정지시키는 제어, (4) 흡착 부재를 이반방향과는 역방향으로 이동시키는 제어 중 어느 하나의 제어를 실행하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면 검출된 특성값과, 상기 특성값의 소정의 기준값에 의거하여 유리 필름과 지지체의 밀착력이 작은 부위에 있어서는 제어수단이 (1) 흡착 부재의 이반방향으로의 이동 속도를 빠르게 하는 제어를 실행함으로써 상기 부위에서의 유리 필름의 박리를 보다 고속으로 실시하는 것이 가능해진다. 한편, 양자의 밀착력이 큰 부위에 있어서는 제어수단이 단계적으로 (2) 흡착 부재의 이반방향으로의 이동 속도를 느리게 하는 제어, (3) 흡착 부재를 정지시키는 제어, (4) 흡착 부재를 이반방향과는 역방향으로 이동시키는 제어를 실행함으로써 상기 부위에서 유리 필름에 균열이 발생하는 것을 보다 적확하게 방지할 수 있다.
상기 구성에 있어서 흡착 부재를 복수 구비하고, 복수의 흡착 부재 각각은 박리 진행부의 횡단 이동 예정 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 경계선에 의해 상기 일방의 표면이 복수로 구획되어 이루어지는 각 영역을 각각 흡착함과 아울러 횡단 이동 예정 방향의 상류측에 위치하는 흡착 부재로부터 차례로 인접하는 흡착 부재가 이반방향으로 이동하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면 복수로 구획되어 이루어지는 각 영역을 각각 흡착하는 복수의 흡착 부재가 구비되어 있는 점에서 흡착 부재 하나당 지지체로부터 박리시켜야 할 유리 필름의 부위를 세분화하는 것이 가능해진다. 이것에 의해 유리 필름과 지지체가 밀착된 밀착부의 각 부위에 있어서 양자 간에 작용하는 밀착력의 크기를 더 정확하게 특성값으로서 검출하는 것이 가능해진다. 그 결과, 흡착 부재 각각이 적절한 박리 동작을 행함에 있어서 유리해진다.
(발명의 효과)
이상과 같이 본 발명에 의하면 지지체로부터 유리 필름을 박리시킬 때에 상기 유리 필름의 균열을 방지하면서 유리 필름을 가급적으로 고속으로 박리시키는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치를 나타내는 종단 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 기구를 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 플로우 차트를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치를 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 기구를 나타내는 블록도이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 플로우 차트를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치를 나타내는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치를 나타내는 종단 측면도이다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 기구를 나타내는 블록도이다.
도 11은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 플로우 차트를 나타내는 도면이다.
도 12a는 본 발명의 다른 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 기구를 나타내는 블록도이다.
도 12b는 본 발명의 다른 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 기구를 나타내는 블록도이다.
도 12c는 본 발명의 다른 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 기구를 나타내는 블록도이다.
도 13은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치를 나타내는 측면도이다.
도 14는 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치를 나타내는 평면도이다.
도 15는 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 기구를 나타내는 블록도이다.
도 16은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 플로우 차트를 나타내는 도면이다.
도 17은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치를 나타내는 측면도이다.
도 18은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 기구를 나타내는 블록도이다.
도 19는 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 제어 플로우 차트를 나타내는 도면이다.
도 20은 실시예 및 비교예에 있어서 박리의 대상이 되는 유리 필름과, 상기 유리 필름을 지지하는 지지 유리를 적층한 유리 필름 적층체를 나타내는 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치에 대해서 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 각 실시형태에 있어서 유리 필름 박리장치는 두께가 300㎛ 이하인 가요성을 갖는 유리 필름과, 이것을 지지하는 지지체로서의 지지 유리를 적층한 유리 필름 적층체에 대해서 지지 유리로부터 유리 필름을 박리시키기 위한 장치로 되어 있다. 그러나, 후술하는 바와 같이 본 발명에 의한 유리 필름 박리장치는 유리 이외로 구성된 지지체로부터 유리 필름을 박리시키는 경우나, 유리 필름과 지지체가 접착층을 통해 적층된 적층체에 대해서 유리 필름을 박리시키는 경우에도 사용하는 것이 가능하다.
우선, 본 발명의 각 실시형태에 있어서 박리의 대상이 되는 유리 필름과, 상기 유리 필름을 지지하는 지지체로서의 지지 유리와, 이들을 적층한 유리 필름 적층체에 대하여 설명한다.
가요성을 갖는 유리 필름과, 지지체인 지지 유리 각각은 상호 접촉하는 측의 면이 되는 맞댐면의 표면 거칠기 Ra가 2.0㎚ 이하가 되고, 양 맞댐면을 직접적으로 면 접촉시킴으로써 유리 필름 적층체로 되어 있다. 또한, 유리 필름은 유리 필름 적층체의 상태에서 이미 가열을 수반하는 처리가 실시되고 있고, 유리 필름 적층체는 상기 처리 중에 유리 필름과 지지 유리의 밀착부의 온도 분포에 불균일이 생긴 것이다. 이것에 의해 밀착부의 부위 사이에서 양 유리 사이에 작용하는 밀착력의 크기에 차이가 발생하고 있다.
<제 1 실시형태>
이하, 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 나타내는 평면도이며, 도 2는 유리 필름 박리장치(1)에 구비된 블레이드(3)의 근방을 확대해서 표시한 종단 측면도이다. 이들의 도면에 나타내는 바와 같이 유리 필름 박리장치(1)는 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)가 적층된 유리 필름 적층체(G)를 재치하는 테이블(2)과, 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)의 상호 간을 횡단 이동하는 블레이드(3)와, 블레이드(3)가 이동할 때에 상기 블레이드(3)에 대하여 이동방향(X)의 역방향으로 작용하는 항력(R)을 검출하는 로드셀(4)을 구비하고 있다.
도 3은 유리 필름 박리장치(1)의 제어 기구를 나타내는 블록도이며, 도 4는 제어 플로우 차트를 나타내는 도면이다. 이들의 도면에 나타내는 바와 같이 유리 필름 박리장치(1)는 그 제어 기구로서 로드셀(4)로부터의 신호(S1)를 수신하여 후술의 특성값(Z)을 검출(산출)하는 연산장치(5)와, 연산장치(5)로부터의 신호(S2)를 수신하고, 특성값(Z)에 대하여 후술의 판정을 실시하는 판정회로(6)와, 판정회로(6)로부터의 신호(S3)에 의거하여 블레이드(3)의 이동 속도(V)를 구동 롤러를 통해 제어하는 서보모터(7)와, 판정회로(6)로부터의 신호(S4)에 의거하여 블레이드(3)로부터 분사되는 압축 에어(A)의 분사량(Q)을 조절 밸브를 통해 제어하는 서보모터(8)를 구비하고 있다.
테이블(2)은 유리 필름 적층체(G)를 재치하는 재치면(2a)을 구비하고 있다. 재치면(2a)은 평면으로 되어 있고, 그 외주 윤곽은 직사각형으로 형성되어 있다. 또한, 직사각형의 외주 윤곽을 구성하는 테이블(2)의 장측면(2b)과 단측면(2c)이 각각 유리 필름 적층체(G)의 길이방향, 폭 방향(길이방향과 직교하는 방향)과 평행이 되도록 유리 필름 적층체(G)가 재치면(2a) 상에 고정된 상태에서 재치된다.
블레이드(3)는 유리 필름 적층체(G)의 길이방향에 평행한 X 방향을 따라 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)의 상호 간을 횡단 이동하도록 구성되어 있다. 그리고, 횡단 이동하기 위한 기구로서 테이블(2)에 있어서의 한 쌍의 장측면(2b) 각각을 따라 각각 전동(轉動)하는 도시 생략의 구동 롤러를 구비하고 있다. 그리고, 상기 구동 롤러에 서보모터(7)(도 1, 도 2에 있어서는 도시를 생략하고 있다)로부터 동력이 전달됨으로써 블레이드(3)가 X 방향으로 이동하는 구성으로 되어 있다. 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동 속도(V)는 서보모터(7)에 의해 제어된다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 블레이드(3)의 재질로서 스테인리스를 사용하고 있다. 그러나, 블레이드(3)의 재질은 이것에 한정되지 않고 예를 들면, 테플론(등록상표) 수지 등 박리 시에 의해 유리 필름(GF)을 손상시키기 어려운 재질을 사용할 수 있다.
또한, 블레이드(3)는 유리 필름 적층체(G)의 폭 방향을 따라 장척이 되도록 형성되어 있다. 또한, 그 선단부(3a)는 X 방향의 전방측으로부터 후방측을 향해 오름 구배가 되도록 형성되어 있다. 그리고, 블레이드(3)는 X 방향으로의 이동에 따라 지지 유리(SG)로부터 유리 필름(GF)을 점차 박리시킨다. 이것에 의해 양 유리(GF, SG)가 적층된 적층부(GFa)와, 박리한 박리부(GFb)의 경계가 되는 박리 진행부(GFc)가 X 방향으로 횡단 이동한다. 또한, 본 실시형태에 있어서 박리 진행부(GFc)에 있어서의 블레이드(3)의 선단부(3a)를 따르는 방향의 길이가 되는 폭 길이(W)는 유리 필름(GF)의 폭 방향의 길이와 실질적으로 동일하게 된다.
더불어, 블레이드(3)의 선단부(3a)에는 압축 에어(A)를 분사하기 위한 분사구(3b)가 유리 필름 적층체(G)의 폭 방향을 따라 복수 형성되어 있다. 이 분사구(3b)는 도시 생략의 에어 컴프레서와 접속되어 있고, 상기 에어 컴프레서로부터 공급된 압축 에어(A)가 블레이드(3)로부터 박리 진행부(GFc)측에 분사된다. 압축 에어(A)의 분사량(Q)은 조절 밸브의 개도에 의해 조절된다. 또한, 조절 밸브의 개도는 서보모터(8)에 의해 제어된다. 또한, 압축 에어(A) 이외에 물이나 유지, 계면활성제를 포함하는 액체 등의 유체를 분사구(3b)로부터 분사하는 구성으로 해도 좋다. 여기서, 본 실시형태에 있어서는 블레이드(3)가 박리수단(박리구)을 구성하고, 에어 컴프레서와 조절 밸브가 유체 분사수단을 구성하고 있다.
로드셀(4)은 블레이드(3)의 양단에 각각 구비되어 있다. 2개의 로드셀(4)은 블레이드(3)의 중앙부를 기준으로 해서 대칭인 위치에 존재하고 있다. 그리고, 로드셀(4a, 4b) 각각이 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)의 밀착부의 각 부위에 있어서 양 유리(GF, SG)의 밀착력의 크기에 의해 변화되는 항력(R)(R1, R2)을 검출하는 구성으로 되어 있다.
이어서, 상기 유리 필름 박리장치(1)의 제어 기구의 상세에 대해서 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. 우선, 2개의 로드셀(4)(4a, 4b)에 의해 검출된 항력(R)(R1,R2)이 신호(S1)로서 연산장치(5)에 전달된다. 로드셀(4)로부터의 신호(S1)를 수신한 연산장치(5)는 항력(R)의 합인 R1+R2를 박리 진행부(GFc)의 폭 길이(W)로 나눔으로써 특성값(Z)을 검출(산출)한다. 즉, 특성값(Z)은 항력(R)에 의거한 계산값으로서 Z=(R1+R2)/W로 나타내어진다. 특성값(Z)은 유리 필름(GF)을 지지 유리(SG)로부터 박리시킬 때의 저항의 크기에 따라 변화되는 값이다. 연산장치(5)는 검출(산출)한 상기 특성값(Z)을 신호(S2)로서 판정회로(6)에 송신한다. 여기서, 본 실시형태에 있어서는 로드셀(4)과 연산장치(5)에 의해 검출수단이 구성되어 있다.
연산장치(5)로부터의 신호(S2)를 수신한 판정회로(6)는 우선, 수신한 신호(S2)로서의 특성값(Z)이 그 소정의 기준값(Z0)에 대하여 작은 경우(Z＜Z0: 이하, 패턴 1이라고 한다)와, 큰 경우(Z＞Z0: 이하, 패턴 2라고 한다)와, 같은 경우(Z=Z0: 이하, 패턴 3이라고 한다) 중 어느 경우인지를 판정한다. 여기서, 기준값(Z0)의 값은 예를 들면. 이하와 같은 순서에 따라 결정하면 좋다. (순서 1) 양 유리(GF, SG)가 수소결합에 의해 밀착되어 있는 부위를 박리시킬 때에 유리 필름(GF)에 균열이 생기지 않고 블레이드(3)를 이동시키는 것이 가능한 한계 이동 속도(V)(이하, 이 이동 속도(V)를 기준 속도(V0)로 표기한다)를 산출한다. (순서 2) 산출한 기준 속도(V0)로 블레이드(3)가 이동하고 있을 때에 연산장치(5)에 의해 검출되는 특성값(Z)의 값을 기준값(Z0)으로서 결정한다. 또한, 이 기준값(Z0)(기준 속도(V0))의 값은 유리 필름(GF)의 판 두께 등 각종 조건에 따라 다르기 때문에 유리 필름(GF)의 박리 작업을 실시하기 전에 미리 시험 등에 의해 적절한 값을 산출해 두는 것이 바람직하다.
그리고, 패턴 1의 경우에는 판정 결과로서 신호(S3)가 서보앰프를 통해 서보모터(7)에 전달된 후, 신호(S3)를 수신한 서보모터(7)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 증대시킨다. 이것에 의해 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동 속도(V)를 빠르게 하는 제어가 실행된다. 또한, 이동 속도(V)는 검출된 특성값(Z)과 기준값(Z0)의 차분량과 연동시켜 차분량이 커질수록 이동 속도(V)가 빨라지도록 제어해도 좋고, 차분량에 관계없이 일정 속도만큼 가속하도록 제어해도 좋다.
또한, 패턴 1의 경우에는 판정 결과로서의 신호(S4)가 서보앰프를 통해 서보모터(8)에 전달된 후, 신호(S4)를 수신한 서보모터(8)가 조절 밸브의 개도를 확장한다. 이것에 의해 압축 에어(A)의 분사량(Q)을 증가시키는 제어가 실행된다. 여기서, 분사량(Q)은 블레이드(3)의 이동 속도(V)와 마찬가지로 특성값(Z)과 기준값(Z0)의 차분량과 연동시켜 차분량이 커질수록 분사량(Q)이 증가하도록 제어해도 좋고, 일정량만 증가하도록 제어해도 좋다.
패턴 2의 경우에는 특성값(Z)의 값에 대해서 판정회로(6)가 이하와 같은 판정을 더 실시한다. 즉, 특성값(Z)의 값이 블레이드(3)의 이동 속도(V)를 느리게 할지, 블레이드(3)의 이동을 정지시킬지의 스레숄드가 되는 기준값(Z1) 이하인 경우(Z0＜Z≤Z1: 이하, 패턴 21이라고 한다)와, Z1보다 크고 또한 블레이드(3)의 이동을 정지시킬지, 블레이드(3)를 X 방향과는 역방향으로 이동시킬지의 스레숄드가 되는 기준값(Z2) 이하인 경우(Z1＜Z≤Z2: 이하, 패턴 22라고 한다)와, Z2보다 큰 경우(Z＞Z2: 이하, 패턴 23이라고 한다) 중 어느 경우인지를 판정한다. 또한, 이들의 기준값(Z1, Z2)은 임의인 방법에 의해 정해서 좋다. 예를 들면, 기준값(Z1, Z2)은 기준값(Z0)을 정수배로 해서 산출해도 좋지만 상술의 기준값(Z0)과 마찬가지로 시험에 의해 미리 적절한 값을 산출해 두는 것이 바람직하다.
그리고, 패턴 21의 경우에는 판정 결과로서 신호(S3)가 서보앰프를 통해 서보모터(7)에 전달된 후, 신호(S3)를 수신한 서보모터(7)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 감소시킨다. 이것에 의해 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동 속도(V)를 느리게 하는 제어를 실행한다. 또한, 패턴 22의 경우에는 서보모터(7)가 구동 롤러를 정지시켜 블레이드(3)의 이동을 정지시키는 제어가 실행된다. 또한, 패턴 23의 경우에는 서보모터(7)가 구동 롤러를 역방향으로 전동시켜 블레이드(3)를 X 방향에 대하여 역방향으로 이동시키는 제어가 실행된다. 여기서, 본 실시형태에 있어서는 판정회로(6)와 양 서보모터(7, 8)가 제어수단을 구성하고 있다. 또한, 패턴 21의 경우에 있어서의 블레이드(3)의 이동 속도(V)는 검출된 특성값(Z)과 기준값(Z0)의 차분량과 연동시켜 차분량이 커질수록 이동 속도(V)가 느려지도록 제어해도 좋고, 차분량에 관계없이 일정 속도만큼 감속하도록 제어해도 좋다. 또한, 패턴 21의 경우에는 압축 에어(A)의 분사량(Q)을 저감하도록 서보모터(8)에 의해 조절 밸브의 개도가 좁아진다. 또한, 패턴 22, 23의 경우에는 압축 에어(A)의 분사량(Q)이 제로가 되도록 서보모터(8)에 의해 조절 밸브가 완전히 닫혀진다.
패턴 3의 경우에는 판정 결과로서 신호(S3)가 서보앰프를 통해 서보모터(7)에 전달된 후, 신호(S3)를 수신한 서보모터(7)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 유지한다. 이것에 의해 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동 속도(V)가 유지된다. 또한, 판정 결과로서의 신호(S4)가 서보앰프를 통해 서보모터(8)에 전달된 후, 신호(S4)를 수신한 서보모터(8)이 조정 밸브의 개도를 유지한다. 이것에 의해 에어(A)의 분사량(Q)이 유지된다.
이상과 같이 검출된 특성값(Z)과, 상기 특성값의 소정의 기준값(Z0)(기준값(Z1, Z2)에 의거하여 블레이드(3)의 이동이 제어된다. 그리고, 이 제어가 실행됨으로써 블레이드(3)가 이동할 때에 상기 블레이드(3)에 작용하는 항력(R)의 크기가 변화된다. 이 변화된 항력(R)을 로드셀(4)이 다시 검출한다는 일련의 루프가 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리가 완료될 때까지 연속적으로 반복된다. 또한, 본 실시형태에서는 항력(R)에 의거한 계산값으로서 Z=(R1+R2)/W를 특성값(Z)으로서 검출하고 있다. 그러나, 본 실시형태에 있어서는 박리 진행부(GFc)의 폭 길이(W)의 값은 실질적으로 변화되지 않기(유리 필름(GF)의 폭 길이와 실질적으로 동일) 때문에 특성값(Z)을 항력으로 하여 Z=(R1+R2)를 검출하는 구성으로 해도 좋다.
이하, 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리에 사용한 경우의 작용·효과에 대해서 설명한다.
상기 유리 필름 박리장치(1)에 의하면 로드셀(4)과 연산장치(5)가 유리 필름(GF)을 박리시킬 때의 저항의 크기에 따라 변화되는 특성값(Z)을 검출함으로써 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)가 밀착된 밀착부의 각 부위에 있어서 양 유리(GF, SG) 사이에 작용하는 밀착력의 크기를 독립적으로 검출하는 것이 가능해진다.
그리고, 검출된 특성값(Z)과, 상기 특성값(Z)의 소정의 기준값(Z0)에 의거하여 판정회로(6)와 서보모터(7)가 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)의 밀착력이 작은 부위에 있어서는 블레이드(3)의 이동 속도(V)를 빠르게 하는 제어(패턴 1의 경우)를 실행함으로써 상기 부위에서의 유리 필름(GF)의 박리를 보다 고속으로 실시하는 것이 가능해진다. 또한, 서보모터(8)의 제어에 의해 블레이드(3)로부터 박리 진행부(GFc)측에 압축 에어(A)가 분사됨으로써 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리를 더 촉진시킬 수 있다.
한편, 양 유리(GF, SG)의 밀착력이 큰 부위에 있어서는 판정회로(6)와 서보모터(7)가 단계적으로 블레이드(3)의 이동 속도(V)를 느리게 하는 제어(패턴 21의 경우), 블레이드(3)의 이동을 정지시키는 제어(패턴 22의 경우), 블레이드(3)를 X 방향에 대하여 역방향으로 이동시키는 제어(패턴 23의 경우)를 실행한다. 이것에 의해 유리 필름(GF)에 균열이 생기는 것을 확실하게 방지하는 것이 가능해진다. 또한, 이들의 제어의 실행 시에는 에어(A)의 분사량(Q)에 대해서도 분사량(Q)을 저감하는 등 적절한 제어가 행해진다. 그 때문에 유리 필름(GF)의 균열이 보다 확실하게 방지된다.
이상으로부터 유리 필름(GF)의 균열을 방지하면서 가급적으로 고속으로 박리 작업을 실시하는 것이 가능해진다. 또한, 상기 유리 필름 박리장치(1)에 의하면 후술하는 각 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치와는 달리 유리 필름(GF)의 박리의 진행에 따라 변화되는 파라미터가 블레이드(3)에 작용하는 항력(R)만이 된다. 그 때문에 취급하는 데이터량을 적게 할 수 있다는 이점을 갖고 있다. 또한, 특성값(Z)을 항력으로 하여 Z=(R1+R2)를 검출하는 구성으로 한 경우에는 연산장치(5)의 연산 부하가 저감되기 때문에 처리를 빠르게 행할 수 있다.
<제 2 실시형태>
이하, 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치에 대하여 설명한다. 또한, 이후의 제 2, 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 설명에 있어서 상술한 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 구성 요소와 동일한 기능, 또는 형상을 갖는 구성 요소에 대해서는 제 2, 제 3 실시형태에 대하여 설명하기 위한 도면에 동일 부호를 붙임으로써 중복되는 설명을 생략하고 있다. 또한, 이후의 제 2, 제 3 실시형태에 있어서는 제 1 실시형태와 상위한 점에 대해서만 설명한다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 나타내는 평면도이며, 도 6은 유리 필름 박리장치(1)의 제어 기구를 나타내는 블록도이다. 또한, 도 7은 제어 플로우 차트를 나타내는 도면이다. 이들의 도면에 나타내는 바와 같이 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)가 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치와 상위한 점은 블레이드(3)가 유리 필름 적층체(G)의 대각선 방향을 따라 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)의 상호 간을 횡단 이동하고 있는 점과, 유리 필름 박리장치(1)가 그 제어 기구로서 새롭게 유리 필름 적층체(G)를 촬영하는 카메라(9)(도 5에 있어서 도시를 생략하고 있다)와, 카메라(9)로 촬영된 화상의 화상 데이터(GD)를 처리하는 화상 처리장치(10)를 구비하고 있는 점이다.
카메라(9)는 테이블(2)의 상방에 고정해서 설치되고, 유리 필름 적층체(G)의 전체를 촬영하도록 구성되어 있다. 카메라(9)로 촬영된 화상의 화상 데이터(GD)는 화상 처리장치(10)에 전달된다. 또한, 카메라(9)는 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동에 추종하도록 X 방향으로 이동하여 박리 진행부(GFc)의 근방만을 촬영하는 구성이어도 좋다.
화상 처리장치(10)는 카메라(9)로부터의 화상 데이터(GD)를 수신함과 아울러 화상 데이터(GD)로부터 엣지 검출에 의해 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동에 따라 점차 변화되는 박리 진행부(GFc)의 폭 길이(W)를 검출한다. 그리고, 검출 결과를 신호(S5)로서 연산장치(5)에 송신하도록 구성되어 있다.
연산장치(5)는 로드셀(4)로부터 수신한 신호(S1)와, 화상 처리장치(10)로부터 수신한 신호(S5)에 의거하여 유리 필름(GF)을 지지 유리(SG)로부터 박리시킬 때의 저항의 크기에 따라 변화되는 특성값(Z)(항력(R)에 의거한 계산값)으로서 Z=(R1+R2)/W를 검출(산출)한다. 그리고, 상기 특성값(Z)을 신호(S2)로서 판정회로(6)로 송신한다. 여기서, 본 실시형태에 있어서는 로드셀(4)과, 카메라(9)와, 화상 처리장치(10)와, 연산장치(5)에 의해 검출수단이 구성되어 있다.
이 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리에 사용한 경우에 있어서도 상술한 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치와 동일한 작용·효과를 향수할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동에 따라 박리 진행부(GFc)의 폭 갈이(W)가 변화된다. 이 경우, 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)의 밀착부에 있어서의 부위 사이에서 양 유리(GF, SG)의 밀착력의 크기에 차이가 없었다고 해도 로드셀(4)이 검출하는 항력(R)의 크기가 변화되어 버린다(폭 길이(W)가 길수록 항력(R)이 커진다). 그러나, 상기 항력(R)을 폭 길이(W)로 나눈 값을 특성값(Z)으로 하고 있기 때문에 폭 길이(W)의 변화와는 무관하며, 또한 양 유리(GF, SG)의 밀착력의 대소에 의거하여 변화되는 값을 검출하는 것이 가능해진다.
<제 3 실시형태>
이하, 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치에 대하여 설명한다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 나타내는 평면도이며, 도 9는 유리 필름 박리장치(1)에 구비된 블레이드(3)의 근방을 확대해서 표시한 종단 측면도이다. 또한, 도 10은 유리 필름 박리장치(1)의 제어 기구를 나타내는 도면이고, 도 11은 제어 플루우 차트를 나타내는 도면이다. 이들의 도면에 나타내는 바와 같이 이 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)가 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치와 상위한 점은 로드셀(4)이 제거되어 있는 점과, 유리 필름 박리장치(1)가 그 제어 기구로서 새롭게 유리 필름 적층체(G)를 촬영하는 복수의 카메라(9)(도 8, 도 9에 있어서 도시를 생략하고 있다)와, 각 카메라(9)로 촬영된 화상의 화상 데이터(GD)를 처리하는 복수의 화상 처리장치(10)를 구비하고 있는 점이다.
각 카메라(9)는 테이블(2)의 상방에 고정해서 설치되어 있고, 유리 필름 적층체(G)의 폭 방향을 따라 서로가 늘어서 있다. 그리고, 각 카메라(9)는 그 하방을 X 방향으로 통과하는 블레이드(3)의 근방(후술하는 박리 진행부(GFc)와, 블레이드(3)와 지지 유리(SG)의 접촉부에 있어서의 선단(P)을 포함하는 영역)을 각각의 설치 위치에 있어서 촬영하도록 구성되어 있다. 각 카메라(9)로 촬영된 화상의 화상 데이터(GD)는 각 카메라(9)와 접속된 화상 처리장치(10)로 전달된다.
각 화상 처리장치(10)는 카메라(9)로부터의 화상 데이터(GD)를 수신함과 아울러 화상 데이터(GD)로부터 엣지 검출에 의해 박리 진행부(GFc)와, 블레이드(3)와 지지 유리(SG)의 접촉부에 있어서의 선단(P)을 검출한다. 그리고, 박리 진행부(GFc)와 선단(P) 사이의 거리(D)를 신호(S6)로서 연산장치(5)에 송신하도록 구성되어 있다.
연산장치(5)는 각 화상 처리장치(10)로부터 수신한 신호(S6)에 의거하여 유리 필름(GF)을 지지 유리(SG)로부터 박리시킬 때의 저항의 크기에 따라 변화되는 특성값(Z)으로서 박리 진행부(GFc)와 선단(P) 사이의 거리(D)의 평균값(D')을 검출(산출)한다. 그리고, 상기 특성값(Z)(=D')을 신호(S2)로서 판정회로(6)에 송신한다. 여기서, 본 실시형태에 있어서는 카메라(9) 각각이 촬영 수단, 화상 처리장치(10) 각각이 화상 처리수단을 구성하고 있다. 또한, 복수의 카메라(9)와, 복수의 화상 처리장치(10)와, 연산장치(5)에 의해 검출수단이 구성되어 있다.
연산장치(5)로부터의 신호(S2)를 수신한 판정회로(6)는 우선 수신한 신호(S2)로서의 특성값(Z)이 그 소정의 기준값(Z0)에 대하여 큰 경우(Z＞Z0: 이하, 패턴 4라고 한다)와, 작은 경우(Z＜Z0: 이하, 패턴 5라고 한다)와, 같은 경우(Z=Z0: 이하, 패턴 6이라고 한다) 중 어느 경우인지를 판정한다. 여기서, 기준값(Z0)의 값은 예를 들면, 상술의 제 1 실시형태와 동일한 순서에 따라 결정하면 좋다.
그리고, 패턴 4의 경우에는 판정 결과로서 신호(S3)가 서보앰프를 통해 서보모터(7)에 전달된 후, 신호(S3)를 수신한 서보모터(7)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 증대시킨다. 이것에 의해 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동 속도(V)를 빠르게 하는 제어가 실행된다. 또한, 패턴 4의 경우에는 판정 결과로서의 신호(S4)가 서보앰프를 통해 서보모터(8)에 전달된 후, 신호(S4)를 수신한 서보모터(8)가 조절 밸브의 개도를 확장시킨다. 이것에 의해 압축 에어(A)의 분사량(Q)을 증가시키는 제어가 실행된다.
패턴 5의 경우에는 특성값(Z)의 값에 대하여 판정회로(6)가 이하와 같은 판정을 더 실시한다. 즉, 특성값(Z)의 값이 블레이드(3)의 이동 속도(V)를 느리게 할지, 블레이드(3)의 이동을 정지시킬지의 스레숄드가 되는 기준값(Z1) 이상인 경우(Z1≤Z＜Z0: 이하, 패턴 51이라고 한다)와, Z1보다 작고 또한 블레이드(3)의 이동을 정지시킬지, 블레이드(3)를 X 방향과는 역방향으로 이동시킬지의 스레숄드가 되는 기준값(Z2) 이상인 경우(Z2≤Z＜Z1: 이하, 패턴 52라고 한다)와, Z2보다 작은 경우(Z＜Z2: 이하, 패턴 53이라고 한다) 중 어느 경우일지를 판정한다. 또한, 이들의 기준값(Z1, Z2)은 상기 제 1 실시형태와 마찬가지로 임의의 방법에 의해 정해도 좋다. 예를 들면, 기준값(Z1, Z2)은 기준값(Z0)을 정수배로 해서 산출해도 좋다.
그리고, 패턴 51의 경우에는 판정 결과로서 신호(S3)가 서보앰프를 통해 서보모터(7)에 전달된 후, 신호(S3)를 수신한 서보모터(7)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 감소시킨다. 이것에 의해 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동 속도(V)를 느리게 하는 제어가 실행된다. 또한, 패턴 52의 경우에는 서보모터(7)가 구동 롤러를 정지시켜 블레이드(3)의 이동을 정지시키는 제어가 실행된다. 또한, 패턴 53의 경우에는 서보모터(7)가 구동 롤러를 역방향으로 전동시켜 블레이드(3)를 X 방향에 대하여 역방향으로 이동시키는 제어가 실행된다. 또한, 패턴 51의 경우에는 압축 에어(A)의 분사량(Q)을 저감하도록 서보모터(8)에 의해 조절 밸브의 개도가 좁아진다. 또한, 패턴 52, 53의 경우에는 압축 에어(A)의 분사량(Q)이 제로가 되도록 서보모터(8)에 의해 조절 밸브가 완전히 닫혀진다.
패턴 6의 경우에는 판정 결과로서 신호(S3)가 서보앰프를 통해 서보모터(7)에 전달된 후, 신호(S3)를 수신한 서보모터(7)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 유지한다. 이것에 의해 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동 속도(V)가 유지된다. 또한, 판정 결과로서의 신호(S4)가 서보앰프를 통해 서보모터(8)에 전달된 후, 신호(S4)를 수신한 서보모터(8)가 조정 밸브의 개도를 유지한다. 이것에 의해 에어(A)의 분사량(Q)이 유지된다.
이상과 같이 검출된 특성값(Z)과, 상기 특성값의 소정의 기준값(Z0)(기준값(Z1, Z2))에 의거하여 블레이드(3)의 이동이 제어된다. 그리고, 이 제어가 실행됨으로써 블레이드(3)가 이동할 때의 박리 진행부(GFc)와 선단(P) 사이의 거리(D), 나아가서는 그 평균값(D')이 변화된다. 이 변화된 거리(D)를 카메라(9)가 다시 검출한다는 일련의 루프가 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리가 완료될 때까지 연속적으로 반복된다.
이 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리에 사용한 경우에 있어서도 박리 진행부(GFc)와 선단(P) 사이의 거리(D)의 평균값(D')으로부터 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG) 밀착부에 있어서의 각 부위에서 양 유리(GF, SG)의 밀착력의 크기를 독립적으로 검출하는 것이 가능해진다. 이것에 의해 상술한 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치와 동일한 작용·효과를 향수할 수 있다. 또한, 본 실시형태에서는 엣지 검출에 의해 박리 진행부(GFc)와 선단(P) 사이의 거리(D)를, 나아가서는 특성값(Z(=D'))의 값을 확실하게 검출할 수 있다. 이 때문에 블레이드(3)가 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)의 밀착부의 각 부위에 따른 적절한 이동을 행함에 있어서 그 정밀도를 향상시키는 것이 가능하다.
또한, 본 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)는 상술의 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치와 같이 유리 필름 적층체(G)의 대각선 방향을 따라 블레이드(3)가 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG) 상호 간을 횡단 이동하는 구성으로 하는 것도 가능한다.
여기서, 상술한 제 1~제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)는 블레이드(3)의 중앙부를 기준으로 한 양측에서 블레이드(3)의 X 방향으로의 이동 속도(V)를 개별적으로 제어(이하, 양측 개별 제어라고 한다)하도록 구성할 수도 있다. 이러한 구성으로 한 경우에 있어서의 유리 필름 박리장치(1)의 제어 기구를 도 12a~도 12c에 나타낸다.
도 12a는 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)에 있어서 양측 개별 제어를 실시하는 경우의 제어 기구를 나타내는 도면이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이 블레이드(3)의 양단에 구비된 로드셀(4a, 4b) 각각이 각각 항력(R1, R2)을 검출하여 신호(S1)로서 2기의 연산장치(5)에 각각 전달한다. 로드셀(4a, 4b)로부터의 신호(S1)를 수신한 연산장치(5)는 항력(R1, R2)을 각각 박리 진행부(GFc)의 폭 길이(W)로 나눔으로써 특성값(Z)을 검출(산출)한다. 즉, 특성값(Z)은 항력(R)에 의거한 계산값으로서 Z=R1/W, Z=R2/W로 나타내어진다. 그리고, 상기 특성값(Z)을 신호(S2)로서 판정회로(6)에 각각 송신한다. 그리고, 제 1 실시형태와 마찬가지로 해서 각 신호가 전달되어 간다. 이것에 의해 블레이드(3)에 있어서의 중앙부를 기준으로 한 일방측과 타방측에서 블레이드(3)의 이동 속도(V1, V2)와, 압축 에어(A)의 분사(Q1(블레이드(3)의 일방에 있어서의 압축 에어(A)의 분사량), Q2(블레이드(3)의 타방에 있어서의 압축 에어(A)의 분사량))이 개별적으로 제어된다.
도 12b는 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)에 있어서 양측 개별 제어를 실시하는 경우의 제어 기구를 나타내는 도면이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이 블레이드(3)의 양단에 구비된 로드셀(4a, 4b) 각각이 각각 항력(R1, R2)을 검출하여 신호(S1)로서 2기의 연산장치(5)에 각각 전달한다. 또한, 화상 처리장치(10)로부터 점차 변화되는 박리 진행부(GFc)의 폭 길이(W)가 신호(S5)로서 2기의 연산장치(5) 각각에 전달된다. 연산장치(5)는 특성값(Z)으로서 Z=R1/W, Z=R2/W를 검출(산출)한다. 그리고, 상기 특성값(Z)을 신호(S2)로서 판정회로(6)에 각각 송신한다. 그리고, 제 2 실시형태와 마찬가지로 해서 각 신호가 전달되어 간다. 이것에 의해 블레이드(3)에 있어서의 중앙부를 기준으로 한 일방측과 타방측에서 블레이드(3)의 이동 속도(V1, V2)와, 압축 에어(A)의 분사(Q1, Q2)가 개별적으로 제어된다.
도 12c는 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)에 있어서 양측 개별 제어를 실시하는 경우의 제어 기구를 나타내는 도면이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이 블레이드(3)의 중앙부를 기준으로 해서 일방측에 구비된 각 카메라(9a)와, 타방측에 구비된 각 카메라(9b) 모두가 각각의 설치 위치에 있어서 촬영한 화상 데이터(GD)를 화상 처리장치(10)에 전달한다. 각 화상 처리장치(10)는 박리 진행부(GFc)와 선단(P) 사이의 거리(D)를 신호(S6)로서 연산장치(5)에 송신한다. 이 때, 카메라(9a)와 접속된 화상 처리장치(10)로부터 송신되는 신호(S6)와, 카메라(9b)와 접속된 화상 처리장치(10)로부터 송신되는 신호(S6)는 다른 연산장치(5)에 각각 송신된다. 연산장치(5)는 특성값(Z)으로서 Z=D'1(블레이드(3)의 일방측에 있어서의 D의 평균값), Z=D'2(블레이드(3)의 타방측에 있어서의 D의 평균값)을 검출(산출)한다. 그리고, 상기 특성값(Z)을 신호(S2)로서 판정회로(6)에 각각 송신한다. 그리고, 제 3 실시형태와 마찬가지로 해서 각 신호가 전달되어 간다. 이것에 의해 블레이드(3)에 있어서의 중앙부를 기준으로 한 일방측과 타방측에서 블레이드(3)의 이동 속도(V1, V2)와, 압축 에어(A)의 분사(Q1, Q2)가 개별적으로 제어된다.
또한, 이들과 같이 양측 개별 제어를 실시하는 경우에 있어서도 특성값(Z)의 기준값(Z0) 및 기준값(Z1, Z2)의 값은 유리 필름(GF)의 판 두께 등 각종 조건에 따라 다르기 때문에 미리 시험 등에 의해 적절한 값을 산출해 두는 것이 바람직하다.
이러한 양측 개별 제어에 의하면 블레이드(3)의 중앙부를 기준으로 한 양측의 부위에서 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)의 밀착력의 크기가 다른 경우에 블레이드(3)의 양측 중 일방측이 타방측에 대하여 선행된 상태에서 이동하는 것이 가능해진다. 이것에 의해 본래적으로 보다 고속으로 박리 작업을 실시하는 것이 가능한 측(밀착력이 작은 부위의 측)이 저속으로밖에 박리 작업을 실시할 수 없는 측(밀착력이 큰 부위의 측)에 맞춘 속도로 박리 작업을 실시하지 않을 수 없게 되는 사태를 회피할 수 있다. 그 결과, 유리 필름(GF)을 고속으로 더 박리시키는 것이 가능해진다.
<제 4 실시형태>
이하, 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치에 대하여 설명한다.
도 13은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(11)를 나타내는 측면도이며, 도 14는 유리 필름 박리장치(11)를 나타내는 평면도이다. 이들의 도면에 나타내는 바와 같이 유리 필름 박리장치(11)는 유리 필름(GF)의 표면을 흡착한 상태에서 지지 유리(SG)로부터 이반되는 이반방향(Y)으로 이동가능한 박리수단으로서의 복수의 흡착 부재(12)와, 복수의 흡착 부재(12) 각각을 이반방향(Y) 및 이반방향(Y)의 역방향으로 이동시키기 위한 복수의 승강장치(13)와, 각 흡착 부재(12)가 이동할 때에 상기 흡착 부재(12)에 대하여 이반방향(Y)과는 역방향으로 작용하는 항력(R)을 특성값(Z)으로서 검출하는 검출수단으로서의 복수의 로드셀(14)을 구비하고 있다.
도 15는 유리 필름 박리장치(11)의 제어 기구를 나타내는 블록도이며, 도 16은 제어 플로우 차트를 나타내는 도면이다. 이들의 도면에 나타내는 바와 같이 유리 필름 박리장치(11)는 그 제어 기구로서 로드셀(14)이 검출한 특성값(Z)(항력(R))을 신호(S7)로서 수신하고, 특성값(Z)에 대하여 후술의 판정을 실시하는 판정회로(15)와, 판정회로(15)로부터의 신호(S8)에 의거하여 흡착 부재(12)의 이동을 제어하는 서보모터(16)를 구비하고 있다. 여기서, 본 실시형태에 있어서는 판정회로(15)와 서보모터(16)가 제어수단을 구성하고 있다.
복수의 승강장치(13) 각각은 서보모터(16)를 내장하고, 또한 유리 필름(GF)과 대향하도록 배치된 판에 고정되는 본체부(13a)와, 서보모터(16)의 동력에 의해 승강하는 봉 형상으로 형성된 승강부(13b)를 구비하고 있다. 본체부(13a) 및 판에는 승강부(13b)를 삽입하기 위한 구멍이 각각 형성되어 있고, 이들의 구멍을 관통한 승강부(13b)를 서보모터(16)의 동력에 의해 회전하는 구동 롤러가 이동가능하게 유지되어 있다. 그리고, 구동 롤러를 통해 서보모터(16)로부터의 동력을 승강부(13b)에 전달함으로써 흡착 부재(12)를 이동시킴과 아울러 그 이동 속도(V)를 제어하는 구성으로 되어 있다.
복수의 흡착 부재(12) 각각은 유리 필름(GF)의 표면과의 접촉부에 다수의 흡인 구멍이 형성된 복수의 흡착 패드(12a)와, 복수의 흡착 패드(12a)를 하나로 모아 유지하는 유지판(12b)을 구비하고 있다. 각 흡착 패드(12a)에 형성된 다수의 흡인 구멍은 진공 펌프와 접속되어 있고, 상기 진공 펌프의 가동에 의해 유리 필름(GF)에 부압을 발생시킴으로써 흡착 패드(12a)가 유리 필름(GF)의 표면을 흡착한다. 유지판(12b)은 승강장치(13)의 가동에 의해 유지판(12b) 자신이 이동함으로써 복수의 흡착 패드(12a)를 일괄해서 이동시킨다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 복수의 흡착 부재(12) 각각이 같은 개수의 흡착 패드(12a)를 구비하고 있다.
또한, 복수의 흡착 부재(12) 각각은 경계선(L1~L4)에 의해 유리 필름(GF)의 표면이 복수로 구획되어 이루어지는 각 영역(AR1~AR5)을 각각 흡착한다. 경계선(L1~L4)은 양 유리(GF, SG)가 적층된 적층부(GFa)와 박리한 박리부(GFb)의 경계가 되는 박리 진행부(GFc)의 횡단 이동 예정 방향(C)과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 그리고, 횡단 이동 예정 방향(C)의 상류측에 위치하는 흡착 부재(12)로부터 차례로 인접하는 흡착 부재(12)가 이반방향(Y)으로 이동함으로써 박리 진행부(GFc)를 횡단 이동시킨다. 또한, 복수의 흡착 부재(12) 각각은 자신이 이반방향(Y)으로의 이동을 개시하고 나서 인접하는 흡착 부재(12)가 이반방향(Y)으로의 이동을 개시하기까지 동안 그 이동을 제어하는 구성으로 되어 있다. 또한, 박리 진행부(GFc)의 횡단 이동예정 방향(C)은 유리 필름(GF)의 길이방향과 평행하게 되어 있다.
로드셀(14)은 승강장치(13)에 구비된 승강부(13b)와, 흡착 부재(12)에 구비된 유지판(12b) 사이에 개재됨과 아울러 이들의 쌍방에 고정된 상태에서 부착되어 있다. 그리고, 흡착 부재(12)의 이반방향(Y)으로의 이동 시에 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)의 밀착부의 각 부위에 있어서 양 유리(GF, SG)의 밀착력의 크기에 의해 변화되는 항력(R)을 특성값(Z)으로서 검출하는 구성으로 되어 있다.
이어서, 상기 유리 필름 박리장치(11)의 제어 기구의 상세에 대해서 도 15 및 도 16을 참조해서 설명한다. 횡단 이동 예정 방향(C)의 최상류에 위치하는 흡착 부재(12)가 영역(AR1)을 흡착한 상태에서 지지 유리(SG)로부터 이반되는 이반방향(Y)으로의 이동을 개시하면 판정회로(15)가 이하와 같은 판정을 실시한다.
로드셀(14)로부터의 신호(S7)를 수신한 판정회로(15)는 우선 수신한 신호(S7)로서의 특성값(Z)(항력(R))이 그 소정의 기준값(Z0)에 대하여 작은 경우(Z＜Z0: 이하, 패턴 7이라고 한다)와, 큰 경우(Z＞Z0: 이하, 패턴 8이라고 한다)와, 같은 경우(Z=Z0: 이하, 패턴 9라고 한다) 중 어느 경우인지를 판정한다. 여기서, 기준값(Z0)의 값은 예를 들면, 이하와 같은 순서에 따라 결정하면 좋다. (순서 1) 양 유리(GF, SG)가 수소결합에 의해 밀착되어 있는 부위를 박리시킬 때에 유리 필름(GF)에 균열이 생기지 않고 흡착 부재(12)를 이동시키는 것이 가능한 한계 이동 속도(V)를 산출한다. (순서 2) 산출된 한계 이동 속도(V)로 흡착 부재(12)가 이동하고 있을 때에 로드셀(14)이 검출하는 특성값(Z)(항력(R))의 값을 기준값(Z0)으로서 결정한다. 또한, 이 기준값(Z0)의 값은 유리 필름(GF)의 판 두께 등 다양한 조건에 의해 달라지기 때문에 유리 필름(GF)의 박리 작업을 실시하기 전에 미리 시험 등에 의해 적절한 값을 산출해 두는 것이 바람직하다.
그리고, 패턴 7의 경우에는 판정 결과로서 신호(S8)가 서보앰프를 통해 서보모터(16)에 전달된 후, 신호(S8)를 수신한 서보모터(16)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 증대시킨다. 이것에 의해 흡착 부재(12)의 이반방향(Y)으로의 이동 속도(V)를 빠르게 하는 제어가 실행된다. 또한, 이동 속도(V)는 검출된 특성값(Z)과 기준값(Z0)의 차분량과 연동시켜 차분량이 커질수록 이동 속도(V)가 빨라지도록 제어해도 좋고, 차분량에 관계없이 일정 속도만큼 가속하도록 제어해도 좋다.
패턴 8의 경우에는 특성값(Z)의 값에 대하여 판정회로(15)가 이하와 같은 판정을 더 실시한다. 즉, 특성값(Z)의 값이 흡착 부재(12)의 이동 속도(V)를 느리게 할지. 흡착 부재(12)의 이동을 정지시킬지의 스레숄드가 되는 기준값(Z1) 이하인 경우(Z0＜Z≤Z1: 이하, 패턴 81이라고 한다)와, Z1보다 크고 또한 흡착 부재(12)의 이동을 정지시킬지, 흡착 부재(12)를 이반방향(Y)과는 역방향으로 이동시킬지의 스레숄드가 되는 기준값(Z2) 이하인 경우(Z1＜Z≤Z2: 이하, 패턴 82라고 한다)와, Z2보다 큰 경우(Z＞Z2: 이하, 패턴 83이라고 한다) 중 어느 경우인지를 판정한다. 또한, 이들의 기준값(Z1, Z2)은 임의의 방법에 의해 정해서 좋다. 예를 들면, 기준값(Z1, Z2)은 기준값(Z0)을 정수배로 해서 산출해도 좋지만 상술의 기준값(Z0)과 마찬가지로 시험에 의해 미리 적절한 값을 산출해 두는 것이 바람직하다.
그리고, 패턴 81의 경우에는 판정 결과로서 신호(S8)가 서보앰프를 통해 서보모터(16)에 전달된 후, 신호(S8)를 수신한 서보모터(16)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 감소시킨다. 이것에 의해 흡착 부재(12)의 이반방향(Y)으로의 이동 속도(V)를 느리게 하는 제어를 실행한다. 또한, 패턴 82의 경우에는 서보모터(16)가 구동 롤러를 정지시켜 흡착 부재(12)의 이동을 정지시키는 제어가 실행된다. 또한, 패턴 81의 경우에 있어서의 흡착 부재(12)의 이동 속도(V)는 검출된 특성값(Z)과 기준값(Z0)의 차분량을 연동시켜 차분량이 커질수록 이동 속도(V)가 느려지도록 제어해도 좋고, 차분량에 관게없이 일정 속도만큼 감속되도록 제어해도 좋다.
패턴 83의 경우에는 특성값(Z)의 값에 대해서 판정회로(15)가 이하와 같은 판정을 더 실시한다. 즉, 특성값(Z)의 값이 제어 대상이 되는 흡착 부재(12)를 스위칭할지 아닐지의 스레숄드가 되는 기준값(Zmax) 이하인 경우(Zmax≥Z＞Z2: 이하, 패턴 831이라고 한다)와, Zmax보다 큰 경우(Z＞Zmax: 이하, 패턴 832라고 한다) 중 어느 경우인지를 판정한다. 여기서, 기준값(Zmax)의 값은 예를 들면, 이하와 같은 순서에 따라 결정하면 좋다. (순서 1) 영역(AR2)을 흡착하는 흡착 부재(12)가 지지 유리(SG)로부터 미박리의 유리 필름(GF)의 표면과 접촉한 상태 하에서 영역(AR1)을 흡착한 흡착 부재(12)를 이반방향(Y)으로 이동시킨다. 이 때, 영역(AR2)을 흡착하는 흡착 부재(12)가 유리 필름(GF)과 접촉하고 있는 것에 의해 영역(AR1)을 흡착한 흡착 부재(12)의 이반방향(Y)으로의 이동에 따라 점차 유리 필름(GF)에 작용하는 응력 및 검출되는 특성값(Z)(항력(R))의 값이 커져 간다. (순서 2) 유리 필름(GF)에 균열이 생기지 않는 한계의 위치까지 흡착 부재(12)를 이반방향(Y)으로 이동시켰을 때에 검출되는 특성값(Z)의 값을 기준값(Zmax)으로서 결정한다. 이 기준값(Zmax)의 값은 상술의 기준값(Z0)과 마찬가지로 시험에 의해 미리 적절한 값을 산출해 두는 것이 바람직하다.
그리고, 패턴 831의 경우에는 판정 결과로서 신호(S8)가 서보앰프를 통해 서보모터(16)에 전달된 후, 신호(S8)를 수신한 서보모터(16)가 구동 롤러를 역방향으로 전동시켜 흡착 부재(12)를 이반방향(Y)에 대하여 역방향으로 이동시키는 제어가 실행된다. 또한, 패턴 832의 경우에는 제어 대상이 되는 흡착 부재(12)가 횡단 이동 예정 방향(C)에 있어서 하류측에 인접하는 흡착 부재(12)로 스위칭된다. 즉, 영역(AR1)을 흡착하는 흡착 부재(12)로부터 영역(AR2)을 흡착하는 흡착 부재(12)로 제어 대상이 스위칭되고, 영역(AR2)을 흡착하는 흡착 부재(12)가 이반방향(Y)으로의 이동을 개시한다(이후의 제어 대상의 스위칭에 대해서도 마찬가지로 행해진다).
패턴 9의 경우에는 판정 결과로서 신호(S8)가 서보앰프를 통해 서보모터(16)에 전달된 후, 신호(S8)를 수신한 서보모터(16)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 유지한다. 이것에 의해 흡착 부재(12)의 이반방향(Y)으로의 이동 속도(V)가 유지된다.
이상과 같이 검출된 특성값(Z)(항력(R))과, 상기 특성값의 소정의 기준값(Z0)(기준값(Z1, Z2)) 에 의거하여 흡착 부재(12)의 이동이 제어된다. 또한, 검출된 특성값(Z)과, 기준값(Zmax)에 의거하여 제어 대상이 되는 흡착 부재(12)가 스위칭된다. 그리고, 이들의 제어가 실행됨으로써 흡착 부재(12)가 이동할 때에 상기 흡착 부재(12)에 작용하는 항력(R)의 크기가 변화된다. 이 변화된 항력(R)을 로드셀(14)이 다시 검출한다는 일련의 루프가 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리가 완료될 때까지 연속적으로 반복된다.
이 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(11)에 의해서도 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)와 같은 작용·효과를 얻을 수 있다. 또한, 이 유리 필름 박리장치(11)는 유리 필름(GF)의 표면이 복수로 구획되어 이루어지는 각 영역(AR1~AR5)이 각각 흡착하는 복수의 흡착 부재(12)를 구비하고 있다. 이 때문에 흡착 부재(12) 1개당 지지 유리(SG)로부터 박리시켜야 할 유리 필름(GF)의 부위를 세분화하는 것이 가능해진다. 이것에 의해 유리 필름(GF)과 지지 유리(SG)가 밀착된 밀착부의 각 부위에 있어서 양 유리(GF, SG) 사이에 작용하는 밀착력의 크기를 보다 정확하게 특성값(Z)으로서 검출하는 것이 가능해진다. 그 결과, 흡착 부재(12) 각각이 적절한 박리 동작을 행함에 있어서 유리해진다.
<제 5 실시형태>
이하, 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치에 대하여 설명한다. 또한, 이 제 5 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 설명에 있어서 상술한 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치의 구성 요소와 동일 기능, 또는 형상을 갖는 구성 요소에 대해서는 제 5 실시형태에 대하여 설명하기 위한 도면에 동일 부호를 붙임으로써 중복되는 설명을 생략하고 제 4 실시형태와 상위한 점에 대해서만 설명한다.
도 17은 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(11)를 나타내는 측면도이며, 도 18은 유리 필름 박리장치(11)의 제어 기구를 나타내는 블록도이다. 또한, 도 19는 제어 플로우 차트를 나타내는 도면이다. 이들의 도면에 나타내는 바와 같이 제 5 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(11)가 상기 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(11)와 상위한 점은 로드셀(14)이 제거되어 있는 점과, 제어 기구로서 유리 필름 적층체(G)를 촬영하는 카메라(17)와, 카메라(17)로 촬영된 화상의 화상 데이터(GD)를 처리하는 화상 처리장치(18)와, 화상 처리장치(18)의 처리 결과에 의거하여 후술의 특성값(Z)을 검출(산출)하기 위한 연산장치(19)를 구비하고 있는 점이다.
카메라(17)는 박리 진행부(GFc)의 횡단 이동 예정 방향(C)과 평행하게 연장되는 유리 필름 적층체(G)의 측면(단부)에 대해서 그 전체 길이를 시야에 포함시키도록 설치되어 있다. 그리고, 박리 진행부(GFc)가 횡단 이동할 때에 유리 필름 적층체(G)의 측면을 일정한 시간 간격으로 연속적으로 촬영하도록 구성되어 있다. 카메라(17)로 연속적으로 촬영된 각 화상의 화상 데이터(GD)는 카메라(17)와 접속된 화상 처리장치(18)에 전달된다.
화상 처리장치(18)는 카메라(17)로부터의 화상 데이터(GD)를 수신함과 아울러 각 화상이 촬영된 시점에 있어서의 박리 진행부(GFc)의 위치를 검출한다. 그리고, 검출된 각 시점에 있어서의 박리 진행부(GFc)의 위치를 신호(S9)로서 연산장치(19)에 송신한다.
연산장치(19)는 화상 처리장치(18)로부터 수신한 신호(S9)에 의거하여 시계열적으로 연속해서 검출된 2개의 박리 진행부(GFc)의 위치로부터 카메라(17)가 촬영을 행하는 시간 간격당 박리 진행부(GFc)가 횡단 이동한 거리(DD)를 산출한다. 그 후, 산출된 거리(DD)를 카메라(17)가 촬영을 행하는 시간 간격으로 나눔으로써 박리 진행부(GFc)가 횡단 이동할 때의 이동 속도(VV)를 특성값(Z)으로서 연속적으로 검출(산출)한다. 그리고, 검출된 특성값(Z)을 신호(S10)로서 판정회로(15)에 송신한다. 여기서, 본 실시형태에 있어서는 카메라(17)와, 화상 처리장치(18)와, 연산장치(19)에 의해 검출수단이 구성되어 있다.
이어서, 상기 유리 필름 박리장치(11)의 제어 기구의 상세에 대해서 도 18 및 도 19를 참조해서 설명한다. 횡단 이동 예정 방향(C)의 최상류에 위치하는 흡착 부재(12)가 영역(AR1)을 흡착한 상태에서 지지 유리(SG)로부터 이반되는 이반방향(Y)으로의 이동을 개시하면 판정회로(15)가 이하와 같은 판정을 실시한다.
연산장치(19)로부터의 신호(S10)를 수신한 판정회로(15)는 우선 수신한 신호(S10)로서의 특성값(Z)(이동 속도(VV))이 그 소정의 기준값(Z0)에 대하여 큰 경우(Z＞Z0: 이하, 패턴 10이라고 한다)와, 작은 경우(Z＜Z0: 이하, 패턴 11이라고 한다)와, 같은 경우(Z=Z0: 이하, 패턴 12라고 한다) 중 어느 경우인지를 판정한다. 여기서, 기준값(Z0)의 값은 예를 들면, 이하와 같은 순서에 따라 결정하면 좋다. (순서 1) 양 유리(GF, SG)가 수소결합에 의해 밀착되어 있는 부위를 박리시킬 때에 유리 필름(GF)에 균열이 생기지 않고 흡착 부재(12)를 이동시키는 것이 가능한 한계의 이동 속도(V)를 산출한다. (순서 2) 산출된 한계 이동 속도(V)로 흡착 부재(12)가 이동하고 있을 때에 연산장치(19)가 검출하는 특성값(Z)(이동 속도(VV))의 값을 기준값(Z0)으로서 결정한다. 또한, 이 기준값(Z0)의 값에 대해서도 유리 필름(GF)의 박리 작업을 실시하기 전에 미리 시험 등에 의해 적절한 값을 산출해 두는 것이 바람직하다.
그리고, 패턴 10의 경우에는 판정 결과로서 신호(S11)가 서보앰프를 통해 서보모터(16)에 전달된 후, 신호(S11)를 수신한 서보모터(16)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 증대시킨다. 이것에 의해 흡착 부재(12)의 이반방향(Y)으로의 이동 속도(V)를 빠르게 하는 제어가 실행된다.
패턴 11의 경우에는 특성값(Z)의 값에 대해서 판정회로(15)가 이하와 같은 판정을 더 실시한다. 즉, 특성값(Z)의 값이 흡착 부재(12)의 이동 속도(V)를 느리게 할지, 흡착 부재(12)의 이동을 정지시킬지의 스레숄드가 되는 기준값(Z1) 이상인 경우(Z1≤Z＜Z0: 이하, 패턴 111이라고 한다)와, Z1보다 작고 또한 흡착 부재(12)의 이동을 정지시킬지, 흡착 부재(12)를 이반방향(Y)과는 역방향으로 이동시킬지의 스레숄드가 되는 기준값(Z2) 이상인 경우(Z2≤Z＜Z1: 이하, 패턴 112라고 한다)와, Z2보다 작은 경우(Z＜Z2: 이하, 패턴 113이라고 한다) 중 어느 경우인지를 판정한다. 또한, 이들의 기준값(Z1, Z2)은 상기 제 4 실시형태와 마찬가지로 임의의 방법에 의해 정해도 좋다. 예를 들면, 기준값(Z1, Z2)은 기준값(Z0)을 정수배로 해서 산출해도 좋다.
그리고, 패턴 111의 경우에는 판정 결과로서 신호(S11)가 서보앰프를 통해 서보모터(16)에 전달된 후, 신호(S11)를 수신한 서보모터(16)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 감소시킨다. 이것에 의해 흡착 부재(12)의 이반방향(Y)으로의 이동 속도(V)를 느리게 하는 제어가 실행된다. 또한, 패턴 112의 경우에는 서보모터(16)가 구동 롤러를 정지시켜 흡착 부재(12)의 이동을 정지시키는 제어가 실행된다. 또한, 패턴 113의 경우에는 서보모터(16)가 구동 롤러를 역방향으로 전동시켜 흡착 부재(12)의 이반방향(Y)에 대하여 역방향으로 이동시키는 제어가 실행된다.
패턴 12의 경우에는 판정 결과로서 신호(S11)가 서보앰프를 통해 서보모터(16)에 전달된 후, 신호(S11)를 수신한 서보모터(16)가 구동 롤러에 전달하는 동력을 유지한다. 이것에 의해 흡착 부재(12)의 이반방향(Y)으로의 이동 속도(V)가 유지된다.
또한, 이 제 5 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(11)에서는 제어 대상이 되는 흡착 부재(12)의 스위칭에 대해서 상기 제 4 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(11)와는 달리 박리 진행부(GFc)의 위치를 검출함으로써 행하고 있다. 상세하게 설명하면 영역(AR1)을 흡착한 흡착 부재(12)가 이반방향(Y)으로 이동을 개시한 후, 박리 진행부(GFc)가 영역(AR2)을 흡착하는 흡착 부재(12)에 구비된 흡착 패드(12a)의 바로 아래까지 도달하면 제어 대상이 되는 흡착 부재(12)가 영역(AR2)을 흡착하는 흡착 부재(12)로 스위칭된다. 그리고, 상기 흡착 부재(12)가 이반방향(Y)으로의 이동을 개시한다(이후의 제어 대상의 스위칭에 대해서도 마찬가지로 행해진다).
이상과 같이 검출된 특성값(Z)(이동 속도(VV))과, 상기 특성값의 소정의 기준값(Z0)(기준값(Z1, Z2))에 의거하여 흡착 부재(12)의 이동이 제어된다. 그리고, 이 제어가 실행됨으로써 박리 진행부(GFc)가 횡단 이동할 때의 이동 속도(VV)가 변화된다. 이 이동 속도(VV)가 변화된 박리 진행부(GFc)를 카메라(17)가 다시 촬영한다는 일련의 루프가 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리가 완료될 때까지 연속적으로 반복된다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 박리 진행부(GFc)가 횡단 이동할 때의 이동 속도(VV)를 특성값(Z)으로서 검출하고 있지만 이동 속도(VV) 대신에 가속도를 특성값(Z)으로서 검출하고, 이 특성값(Z)(가속도)에 의거하여 흡착 부재(12)의 이동을 제어하는 구성으로 해도 좋다. 예를 들면, 연산장치(19)가 검출한 이동 속도(VV)를 기억하는 기억장치를 설치하고, 시계열적으로 연속해서 검출된 2개의 이동 속도(VV)의 값을 기억시킨다. 그 후, 기억장치로부터 2개의 이동 속도(VV)의 값을 신호로서 별도로 설치한 연산장치에 송신시킨다. 그리고, 상기 연산장치에 의해 두개의 이동 속도(VV)의 값의 차분을 카메라(17)가 촬영을 행하는 시간 간격으로 나누는 연산을 실행시킴으로써 박리 진행부(GFc)가 횡단 이동할 때의 가속도를 특성값(Z)으로서 검출하는 구성으로 해도 좋다.
이 제 5 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(11)에 의해서도 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)와 같은 작용·효과를 얻는 것이 가능하다.
여기서, 본 발명에 의한 유리 필름 박리장치는 지지 유리에 지지된 유리 필름만을 박리의 대상으로 하는 것은 아니다. 예를 들면, 실리콘 등 지지 유리 이외로 구성된 지지체로부터 유리 필름을 박리시키는 경우에도 본 발명에 의한 유리 필름 박리장치를 사용하는 것이 가능하다. 또한, 상기 각 실시형태에 있어서는 유리 필름과 지지 유리를 직접적으로 면 접촉시켜 적층한 유리 필름 적층체에 대해서 지지 유리로부터 유리 필름을 박리시키는 실시형태로 되어 있다. 그러나, 유리 필름과 지지체가 접착층을 통해 적층된 적층체에 대해서 지지체로부터 유리 필름을 박리시키는 경우에 있어서도 본 발명에 의한 유리 필름 박리장치를 사용할 수 있다. 또한, 예를 들면 지지체와 유리 필름의 밀착력이 서로 다른 복수의 유리 필름 적층체에 대해서 연속적으로 각 지지체로부터 각 유리 필름을 박리시키는 경우에도 사용하는 것이 가능하다.
또한, 본 발명에 의한 유리 필름 박리장치는 상기 각 실시형태에서 설명한 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 제 1 실시형태~제 3 실시형태에 있어서는 테이블 상에 고정된 상태의 유리 필름 적층체에 대하여 블레이드가 이동함으로써 지지 유리로부터 유리 필름을 박리시키는 구성으로 되어 있다. 그러나, 블레이드를 고정한 상태에서 유리 필름 적층체를 재치한 테이블을 이동시킴과 아울러 그 이동 속도를 제어해서 유리 필름을 박리시키는 구성으로 해도 좋다. 또한, 블레이드(3)의 이동방향에 대해서도 유리 필름 적층체의 길이방향이나, 대각선 방향에 한정되지 않고 임의의 방향으로 하는 것이 가능하다.
또한, 상기 제 1 실시형태~제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치에는 유리 필름의 표면을 흡착하면서 상기 유리 필름에 인장력을 작용시킴으로써 유리 필름의 박리를 보조하는 복수의 흡착 패드를 설치해도 좋다. 이 경우, 블레이드의 이동방향을 따라 각 흡착 패드를 설치하고, 특성값에 의거하여 각 흡착 패드로부터 유리 필름에 작용시키는 인장력의 크기를 제어하는 구성으로 해도 좋다. 또한, 특성값에 의거하여 전체 흡착 패드 중에서 유리 필름에 인장력을 작용시키는 흡착 패드를 선택하는 구성으로 해도 좋다.
더불어, 상기 제 1 실시형태~제 3 실시형태에 있어서 카메라는 모두 적층체를 상방으로부터 촬영하도록 구성되어 있지만 하방으로부터 촬영을 실시하는 구성으로 해도 좋다. 이 때, 카메라로서는 각종의 것을 사용할 수 있다. 예를 들면, 실리콘 등의 가시광선에 대하여 불투명한 재료를 지지체로서 사용하는 경우이어도 적외선 카메라를 채용함으로써 그 지지체를 투시해서 엣지 검출을 실시할 수 있는 경우가 있다.
또한, 상술의 각 실시형태에 있어서 유리 필름 박리장치의 제어 기구에 어떠한 외란이 작용한 경우에의 대책으로서 피드백 제어를 실시하는 구성으로 해도 좋다. 이러한 경우의 일례로서 유리 필름 박리장치에 블레이드(흡착 부재)의 이동 속도를 검출하는 검출기 등을 새롭게 설치한다. 그리고, 검출기가 검출한 속도를 신호로서 블레이드(흡착 부재)의 이동 속도를 제어하는 서보모터(서보앰프)에 피드백하는 구성으로 하는 것이 가능하다.
또한, 상술의 각 실시형태에서는 특성값의 기준값을 미리 시험 등에 의해 구하는 예에 대해서 설명했지만 다른 방법을 이용하여 구해도 좋다. 예를 들면, 시뮬레이션에 의해 구해도 좋고, 전후 공정의 택트 타임 등에 따라 임의로 정해도 좋다.
또한, 상술의 제 1 실시형태~제 3 실시형태 및 제 5 실시형태에서는 연산장치와 판정회로가 개별의 하드웨어로서 구성되어 있는 경우를 예로서 설명했지만 연산장치 및 판정회로의 기능 구성은 단일 컴퓨터 및 그 컴퓨터가 ㄹ구비하는 소프트웨어에 의해 실현되어도 상관없다.
또한, 상기 제 1 실시형태~제 3 실시형태에서는 블레이드 대신에 끈이나 수지 시트를 사용해서 유리 필름을 박리시키는 구성으로 해도 좋다. 끈의 재질로서는 예를 들면 폴리에틸렌, 나일론(등록상표), 테플론(등록상표)을 사용할 수 있다. 또한, 수지 시트의 재질로서는 예를 들면 테플론(등록상표)을 사용할 수 있다. 끈이나 수지 시트는 블레이드와 비교해서 그 두께가 얇기 때문에 이것들을 사용하면 끈이나 수지 시트가 횡단 이동할 때에 로드셀이 검출하는 항력의 값을 작게 하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 제 4 실시형태 및 제 5 실시형태에서는 흡착 부재가 유리 필름의 표면을 흡착한 상태에서 지지 유리로부터 이반되는 이반방향으로 이동함으로써 유리 필름을 박리시키는 구성으로 되어 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 흡착 부재가 지지 유리의 표면을 흡착한 상태에서 유리 필름으로부터 이반되는 이반방향으로 이동함으로써 유리 필름을 박리시키는 구성으로 해도 좋다.
또한, 상기 제 5 실시형태에서는 박리 진행부가 횡단 이동할 때에 카메라가 유리 필름 적층체의 측면(단부)을 연속적으로 촬영하는 구성으로 되어 있지만 유리 필름 적층체의 표면, 또는 이면을 연속적으로 촬영하는 구성으로 해도 좋다. 이렇게 해도 박리 진행부가 횡단 이동할 때의 이동 속도, 또는 가속도를 특성값으로서 검출할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는 복수로 구획된 각 영역에 배치되는 흡착 패드의 개수가 동수인 경우를 일례로서 설명했지만 복수로 구획된 각 영역에 배치되는 흡착 패드의 개수는 영역마다 변경해도 좋다. 즉, 흡착 패드의 배치에 분포를 갖게 한 형태로 해도 좋다. 예를 들면, 유리 필름 또는 지지 유리의 단면 부근의 흡착 패드의 개수를 다른 부분보다 많게 함으로써 유리의 단면에의 부분적인 응력 집중을 저감하여 박리 시의 균열을 방지할 수 있다. 또한, 이러한 형태의 경우 각 영역에 배치된 흡착 패드의 개수에 따라 기준값을 정하는 것이 바람직하다. 구체적으로는 흡착 패드의 개수가 상대적으로 많은 구획에 있어서는 각 흡착 패드에 부수되는 로드셀이 검출하는 항력이 상대적으로 작아지기 때문에 기준값을 상대적으로 낮게 설정하면 좋다. 한편, 흡착 패드의 개수가 상대적으로 적은 구획에 있어서는 각 흡착 패드에 부수되는 로드셀이 검출하는 항력이 상대적으로 커지기 때문에 기준값을 상대적으로 높게 설정하면 좋다.
실시예
본 발명의 실시예로서 상기 제 1 실시형태~제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 사용하고, 도 20에 나타내는 유리 필름 적층체(G)에 대해서 후술하는 4개의 조건(실시예 3개, 비교예 1개) 하에서 지지 유리(SG)로부터 유리 필름(GF)을 박리시켰다. 그리고, 박리시킬 때에 유리 필름(GF)에 균열이 생기는지 아닌지를 검증했다.
우선 실시예 및 비교예에 있어서 박리의 대상이 되는 유리 필름(GF), 지지 유리(SG), 유리 필름 적층체(G)에 대해서 설명한다. 유리 필름(GF) 및 지지 유리(SG)로서 Nippon Electric Glass Co.,Ltd. 제작의 무알칼리 유리 OA-10G를 사용했다. 양 유리(GF, SG)의 판 두께는 각각 유리 필름(GF): 0.2㎜, 지지 유리(SG): 0.5㎜이며, 면의 치수(세로×가로)는 쌍방 동시에 1000㎜×1000㎜이다. 그리고, 양 유리(GF, SG)가 서로 접촉하는 측의 면이 되는 맞댐면의 표면 거칠기 Ra를 양 유리(GF, SG) 각각에서 2.0㎚ 이하로 하고, 양 유리(GF, SG)를 직접적으로 면 접촉시켜 적층하여 유리 필름 적층체(G)를 제작했다.
그리고, 제작한 유리 필름 적층체(G)에 이하의 처리를 실시했다. 우선, 유리 필름 적층체(G)의 전체를 200℃에서 30분간 가열했다. 그 후, 유리 필름(GF) 및 지지 유리(SG)의 면의 중심으로부터 반경 50㎜의 부위(도 20 중에 해칭을 실시한 범위이며, 동 도면에 있어서는 설명을 간편하게 하기 위해 과장되게 도시하고 있다)만을 300℃까지 가열했다. 이것에 의해 상기 부위에 있어서의 양 유리(GF, SG) 사이에 작용하는 밀착력의 크기를 다른 부위보다 크게 했다.
이하, 3개의 실시예 1~3 및 비교예에 있어서의 유리 필름 박리장치의 동작 에 대하여 설명한다.
실시예 1에 있어서는 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 사용하고, 도 20에 나타내는 T 방향으로 블레이드(3)를 이동시킴으로써 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리를 실시했다. 여기서, 실시예 1에 있어서는 특성값(Z)의 기준값(Z0)의 값은 Z0=0.04[N/㎜]로 했다. 또한, 블레이드(3)의 이동 속도(V)의 기준 속도(V0)(Z=Z0의 경우의 블레이드(3)의 이동 속도)의 값은 V0=30[㎜/min]로 했다. 그리고, 특성값(Z)의 값이 Z0보다 커진 경우(Z＞Z0의 경우)에는 블레이드(3)의 이동 속도(V)를 기준 속도(V0)로부터 V=10[㎜/min]으로 감속시켰다. 또한, 특성값(Z)의 값이 기준값(Z0)으로 되돌아간 경우에는 블레이드(3)를 가속시켜 이동 속도(V)를 기준 속도(V0)로 되돌렸다. 또한, 실시예 1에 있어서 블레이드(3)의 이동을 정지시키는 제어 및 블레이드(3)를 역방향으로 이동시키는 제어에 대해서는 생략하고 있다.
실시예 2에 있어서는 상기 제 2 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 사용하고, 도 20에 나타내는 U 방향으로 블레이드(3)를 이동시킴으로써 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리를 실시했다. 여기서, 실시예 2에 있어서의 특성값(Z)의 기준값(Z0)의 값 및 블레이드(3)의 이동 속도(V)의 기준 속도(V0)의 값은 실시예 1과 동일하다. 또한, 블레이드(3)의 이동 속도(V)의 제어 상태에 대해서도 실시예 1과 동일하다. 또한, 이 실시예 2에 있어서도 블레이드(3)의 이동을 정지시키는 제어 및 블레이드(3)를 역방향으로 이동시키는 제어에 대해서는 생략하고 있다.
실시예 3에 있어서는 상기 제 3 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 사용하고, 도 20에 나타내는 T 방향으로 블레이드(3)를 이동시킴으로써 지지 유리(SG)로부터의 유리 필름(GF)의 박리를 실시했다. 여기서, 실시예 3에 있어서는 특성값(Z)의 기준값(Z0)의 값은 Z0=10[㎜]으로 했다. 또한, 블레이드(3)의 이동 속도(V)의 기준 속도(V0)(Z=Z0의 경우의 블레이드(3)의 이동 속도)의 값은 V0=30[㎜/min]으로 했다. 그리고, 특성값(Z)의 값이 Z0보다 작아진 경우(Z＜Z0의 경우)에는 블레이드(3)의 이동 속도(V)를 기준 속도(V0)로부터 V=10[㎜/min]으로 감속시켰다. 또한, 특성값(Z)의 값이 기준값(Z0)으로 되돌아간 경우에는 블레이드(3)를 가속시켜 이동 속도(V)를 기준 속도(V0)로 되돌렸다. 또한, 이 실시예 3에 있어서도 블레이드(3)의 이동을 정지시키는 제어 및 블레이드(3)를 역방향으로 이동시키는 제어에 대해서는 생략하고 있다.
비교예에 있어서는 상기 제 1 실시형태에 의한 유리 필름 박리장치(1)를 사용함과 아울러 유리 필름(GF)의 박리의 개시로부터 종료까지 특성값(Z)의 변화와는 무관하게 블레이드(3)를 V=30[㎜/min]의 일정한 이동 속도(V)로 이동시킴으로써 유리 필름(GF)을 지지 유리(SG)로부터 박리시켰다.
이하에 실시예 1~3 및 비교예의 검증의 결과를 나타낸다. 실시예 1~3에서는 유리 필름(GF)에 균열이 생기는 일 없이 지지 유리(SG)로부터 유리 필름(GF)을 박리시키는 것이 가능했다. 한편, 비교예에서는 유리 필름(GF)에 균열이 생기는 결과가 되었다. 이 결과로부터 본 발명에 의한 유리 필름 박리장치에 의하면 지지체로부터 유리 필름을 박리시킬 때에 상기 유리 필름의 균열을 방지하면서 유리 필름을 가급적으로 고속으로 박리시키는 것이 가능해지는 것으로 추인된다.
1 유리 필름 박리장치 2 테이블
2a 재치면 2b 장측면
2c 단측면 3 블레이드
3a 선단부 3b 분사구
4 로드셀 5 연산장치
6 판정회로 7 서보모터
8 서보모터 9 카메라
10 화상 처리장치
11 유리 필름 박리장치
12 흡착 부재 12a 흡착 패드
12b 유지판 13 승강장치
13a 본체부 13b 승강부
14 로드셀 15 판정회로
16 서보모터 17 카메라
18 화상 처리장치 19 연산장치
G 유리 필름 적층체 SG 지지 유리
GF 유리 필름 GFa 적층부
GFb 박리부 GFc 박리 진행부
W 폭 길이
X 블레이드의 이동방향
T 블레이드의 이동방향
U 블레이드의 이동방향
V 블레이드(흡착 부재)의 이동 속도
R 항력 A 압축 에어
Q 압축 에어의 분사량 Z 특성값
Z0 기준값 Z1 기준값
Z2 기준값 Zmax 기준값
P 선단
D 박리 진행부와 선단 사이의 거리
D' 거리의 평균값 GD 화상 데이터
S1~S11 신호
VV 박리 진행부의 이동 속도
Y 이반방향
C 박리 진행부의 횡단 이동 예정 방향
L1~L4 경계선
AR1~AR5 영역
DD 박리 진행부가 횡단 이동한 거리

Claims (14)

  1. 지지체 상에 적층된 가요성을 갖는 유리 필름을 상기 지지체로부터 박리시키는 박리수단을 구비한 유리 필름 박리장치로서,
    상기 유리 필름을 박리시킬 때의 저항의 크기에 따라 변화되는 특성값을 검출하는 검출수단과, 검출된 상기 특성값에 의거하여 상기 박리수단에 의한 박리 동작을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리수단은 상기 유리 필름과 상기 지지체의 상호 간을 횡단 이동함으로써 양자가 적층된 적층부와 박리한 박리부의 경계가 되는 박리 진행부를 횡단 이동시키는 박리구인 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 특성값은 상기 박리구에 대하여 이동방향 역방향으로 작용하는 항력 또는 그 항력에 의거한 계산값인 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 계산값은 상기 항력을 상기 박리 진행부에 있어서의 상기 박리구의 선단부를 따르는 방향의 길이가 되는 폭 길이로 나눈 값인 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 특성값은 상기 박리구와 상기 지지체의 접촉부에 있어서의 선단과, 상기 박리 진행부 사이의 거리인 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 검출수단은,
    상기 박리구와 상기 지지체의 접촉부에 있어서의 선단 및 상기 박리 진행부를 포함하는 화상을 촬상하는 촬상수단과,
    상기 화상을 처리함으로써 상기 거리를 검출하는 화상 처리수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  7. 제 2 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어수단은 상기 특성값과 그 특성값의 소정의 기준값에 의거하여 (1) 상기 박리구의 이동 속도를 빠르게 하는 제어, (2) 상기 박리구의 이동 속도를 느리게 하는 제어, (3) 상기 박리구를 정지시키는 제어, (4) 상기 박리구를 역방향으로 이동시키는 제어 중 어느 하나의 제어를 실행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  8. 제 2 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검출수단은 상기 박리구의 이동방향에 직교하는 방향의 중앙부를 기준으로 한 양측에서 상기 특성값을 개별적으로 검출하도록 구성됨과 아울러,
    상기 제어수단은 상기 박리구의 중앙부를 기준으로 한 각 측에서 검출된 특성값에 의거하여 그 박리구의 이동 속도를 개별적으로 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  9. 제 2 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 박리구는 그 박리구로부터 상기 박리 진행부측에 유체를 분사하는 유체 분사수단을 갖고,
    상기 제어수단은 상기 특성값에 의거하여 상기 유체 분사수단에 의한 상기 유체의 분사량을 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리수단은 상기 유리 필름과 상기 지지체 중 한쪽 표면을 흡착한 상태에서 다른 쪽으로부터 이반되는 이반방향으로 이동함으로써 양자가 적층된 적층부와 박리한 박리부의 경계가 되는 박리 진행부를 횡단 이동시키는 흡착 부재인 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 특성값은 상기 흡착 부재에 대하여 상기 이반?항과는 역방향으로 작용하는 항력인 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 특성값은 상기 박리 진행부가 횡단 이동할 때의 이동 속도 또는 가속도인 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  13. 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어수단은 상기 특성값과 그 특성값의 소정의 기준값에 의거하여 (1) 상기 흡착 부재의 상기 이반방향으로의 이동 속도를 빠르게 하는 제어, (2) 상기 흡착 부재의 상기 이반방향으로의 이동 속도를 느리게 하는 제어, (3) 상기 흡착 부재를 정지시키는 제어, (4) 상기 흡착 부재를 상기 이반향방과는 역방향으로 이동시키는 제어 중 어느 하나의 제어를 실행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
  14. 제 10 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 흡착 부재를 복수 구비하고,
    복수의 상기 흡착 부재 각각은 상기 박리 진행부의 횡단 이동 예정 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 경계선에 의해 상기 한쪽 표면이 복수로 구획되어 이루어지는 각 영역을 각각 흡착함과 아울러 상기 횡단 이동 예정 방향의 상류측에 위치하는 상기 흡착 부재로부터 차례차례 인접하는 상기 흡착 부재가 상기 이반방향으로 이동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 필름 박리장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180107727A (ko) * 2017-03-22 2018-10-02 가부시기가이샤 디스코 테이프 박리 장치
KR20210145659A (ko) * 2020-05-25 2021-12-02 (주) 피엔피 불림을 이용한 초박형 유리블록의 박리 방법

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6398622B2 (ja) * 2014-11-06 2018-10-03 オムロン株式会社 剥離装置および剥離方法
JP6519951B2 (ja) * 2015-07-24 2019-05-29 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法
CN105825774A (zh) * 2016-04-15 2016-08-03 宁波金格奥电器有限公司 一种去除屏幕镀膜的方法
DE102016108880A1 (de) * 2016-05-13 2017-11-16 Joachim Jakob Hybridsetter
JP2019135180A (ja) * 2016-06-13 2019-08-15 Ａｇｃ株式会社 剥離方法及び剥離装置
JP7234109B2 (ja) 2016-11-15 2023-03-07 コーニング インコーポレイテッド 基板を加工する方法
CN110014532A (zh) * 2018-01-10 2019-07-16 英利能源（中国）有限公司 光伏组件的回收装置及光伏组件的回收方法
KR20200010731A (ko) * 2018-07-23 2020-01-31 주식회사 제우스 디스플레이부 세정장치 및 그 세정방법
CN110969931B (zh) * 2018-09-29 2022-08-23 杰宜斯科技有限公司 显示部模块的返工装置及方法
GB201819249D0 (en) 2018-11-27 2019-01-09 Rolls Royce Plc Layer debonding
DE112021002574T5 (de) * 2020-06-02 2023-03-02 Fanuc Corporation Werkzeugmaschine

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008197131A (ja) * 2007-02-08 2008-08-28 Sharp Corp 偏光板の剥離装置及び剥離方法
JP4918537B2 (ja) * 2008-12-11 2012-04-18 日東電工株式会社 半導体ウエハの保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置
WO2010090147A1 (ja) * 2009-02-06 2010-08-12 旭硝子株式会社 電子デバイスの製造方法およびこれに用いる剥離装置
KR101254418B1 (ko) * 2009-08-31 2013-04-15 아사히 가라스 가부시키가이샤 박리 장치
JP5375586B2 (ja) * 2009-12-22 2013-12-25 株式会社スリーボンド 剥離装置及び剥離方法
WO2011078253A1 (ja) * 2009-12-25 2011-06-30 日東電工株式会社 液晶表示素子の連続製造方法及び装置
JP2013055307A (ja) * 2011-09-06 2013-03-21 Asahi Glass Co Ltd 剥離装置、及び電子デバイスの製造方法
JP5807554B2 (ja) * 2012-01-19 2015-11-10 旭硝子株式会社 剥離装置、及び電子デバイスの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180107727A (ko) * 2017-03-22 2018-10-02 가부시기가이샤 디스코 테이프 박리 장치
KR20210145659A (ko) * 2020-05-25 2021-12-02 (주) 피엔피 불림을 이용한 초박형 유리블록의 박리 방법

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Publication number Publication date
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