JP5307970B2 - 大型ガラス基板の剥離方法及びその装置 - Google Patents

Description

本発明は板状体の剥離方法及びその装置に係り、特に連続研磨ラインの研磨工程で研磨加工が終了したガラス基板等の板状体、特に液晶ディスプレイ用等に使用されるＦＰＤ（Flat Panel Display）用のガラス基板を、吸着シートから剥離させるための板状体の剥離方法及びその装置に関する。

液晶ディスプレイ用等に使用されるＦＰＤ（Flat Panel Display）用のガラス基板は、フロート法と称されるガラス製法により溶融ガラスを板状に成形し、これを連続研磨ラインの研磨工程において、表面の微小な凹凸やうねりを研磨除去することにより、厚さ０.5〜１.1ｍｍの薄板状に製造される。

また、ガラス基板は、ワーク保持テーブルに接着された吸着シートに吸着保持されて研磨ラインを搬送されるため、研磨加工が終了したガラス基板を、研磨ラインの基板剥離エリアで吸着シートから板取り（剥離）する必要がある。しかし、上部移載機と称される搬送装置の剥離方向への力だけで剥離しようとすると、前記吸着シートの吸着保持力に対して剥離方向への力が強すぎる場合にはガラス基板が吸着シートの吸着保持力に負けて破損するので、力を徐々に上げる必要があり、弱すぎる場合には剥離に長時間を要してしまう。よって、上部移載機のみによる剥離は、スループットを上げる観点から困難であった。

そこで従来は、特許文献１の如く、ガラス基板の端面と吸着シートとの境界部に、圧縮エア供給ノズルに水を供給して、水を混ぜた通常０．３〜０．５ＭＰａの圧力の圧縮エアを噴射し、圧縮エアの圧力によってガラス基板の端面を吸着シートから離間させ、この後、離間した端面と吸着シートとの間の隙間に前記圧縮エアを供給し、この圧縮エアに混在する水により吸着シートの吸着力を解除することにより、ガラス基板を吸着シートから効率よく剥離させていた。
特開２０００−９４３１９号公報

しかしながら、特許文献１の剥離装置は、圧縮エアが圧縮性流体なので、ノズル周辺では高い剥離能力を発揮するが、例えばノズルから５００ｍｍ以上離れると、圧縮エアが分散するため剥離能力が低下するという問題があった。したがって、ガラス基板の対向する辺部に沿ってノズルを対向配置しても、ガラス幅が１０００ｍｍを超えるような大型のガラス基板では、十分な剥離効果を得ることができないという欠点があった。近年のガラス基板は、ディスプレイの大画面化に伴い、一辺が１５００ｍｍを超えるような大型基板が製造されている。また一方で、圧縮エアは、大気開放に伴う騒音の問題があり、作業環境改善の点からも騒音を低減したいという要望があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、研磨加工終了したガラス基板を吸着シートから効率よく安定して剥離することができるガラス基板の剥離装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、前記目的を達成するために、吸着シートに吸着保持されている板幅１０００ｍｍ以上、厚み０．５〜１．１ｍｍの大型ガラス基板を、前記吸着シートから剥離させる大型ガラス基板の剥離方法において、前記吸着シートに吸着保持された前記大型ガラス基板を、吸着シートと反対の面から複数の吸着パッドによって保持し、前記大型ガラス基板と前記吸着シートの境界部に向けて高圧水供給ノズルから０．１〜０．３ＭＰａの高圧水を噴出することにより、前記大型ガラス基板縁部を吸着シートから離間させ、離間した前記大型ガラス基板縁部と前記吸着シートとの間の隙間に更に前記高圧水を供給して吸着シートに対する大型ガラス基板の吸着を解除しながら、前記吸着パッドを剥離方向に移動させることにより、前記大型ガラス基板を前記吸着シートから剥離させる大型ガラス基板の剥離方法であって、前記吸着パッドを剥離方向に移動させて、前記大型ガラス基板を前記吸着シートから剥離させる際に、前記大型ガラス基板の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次に、大型ガラス基板の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次いで、大型ガラス基板の中央部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させるように、複数の吸着パッドを剥離方向へ移動させる力の時間制御を吸着パッド毎に行い、前記大型ガラス基板を大型ガラス基板の端部から中央部に向かって順に吸着シートから引き離すとともに、前記大型ガラス基板が前記吸着シートの吸着保持力に負けて、当該大型ガラス基板が破損しないように、吸着パッドの上昇する力を徐々に上げて前記吸着パッドを剥離方向に移動させることを特徴とする大型ガラス基板の剥離方法を提供する。

請求項２に記載の発明は、前記目的を達成するために、吸着シートに吸着保持されている板幅１０００ｍｍ以上、厚み０．５〜１．１ｍｍの大型ガラス基板を、前記吸着シートから剥離させる大型ガラス基板の剥離装置において、前記吸着シートに吸着保持された前記大型ガラス基板を、吸着シートと反対の面から保持する複数の吸着パッドと、前記大型ガラス基板縁部と前記吸着シートの境界部に向けて０．１〜０．３ＭＰａの高圧水を噴出することにより、大型ガラス基板縁部を吸着シートから離間させる高圧水供給ノズルと、離間した前記大型ガラス基板と前記吸着シートとの間の隙間に更に前記高圧水を供給して吸着シートに対する大型ガラス基板の吸着を解除しながら、前記吸着パッドを剥離方向に移動させるパッド移動手段であって、前記大型ガラス基板の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次に、大型ガラス基板の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次いで、大型ガラス基板の中央部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させるように、複数の吸着パッドを剥離方向へ移動させる力の時間制御を吸着パッド毎に行うとともに、前記大型ガラス基板が前記吸着シートの吸着保持力に負けて、当該大型ガラス基板が破損しないように、吸着パッドの上昇する力を徐々に上げて前記吸着パッドを剥離方向に移動させるパッド移動手段と、を備えたことを特徴とする大型ガラス基板の剥離装置を提供する。

請求項１、２に記載の発明によれば、エアノズルから遠く離れると分散する圧縮エアに代えて、遠く離れても分散しにくい高圧水により板剥がしを実施するので、ノズルから遠く離れた位置においても剥離効果を得ることができる。よって、大型のガラス基板を吸着シートから効率よく安定して剥離することができる。また、ガラス基板を剥離させる媒体として、圧縮エアから高圧水に変更したので、圧空大気開放による騒音を低減でき、作業環境が改善する。なお、高圧水は不回避的な空気以外の空気を含まないものとする。

また、請求項１、２に記載の発明によれば、複数の吸着パッドによって大型ガラス基板を吸着保持する場合には、これらの吸着パッドを剥離方向へ一斉に移動するのではなく、剥離した箇所から順番に剥離方向に移動するように、複数の吸着パッドの剥離方向へ移動させる力を、パッド移動手段によって吸着パッド毎に時間制御する。これにより、大型ガラス基板を吸着シートから効率よく安定して剥離することができる。

また、請求項１、２に記載の発明のパッド移動手段は、まず、大型ガラス基板の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次に、大型ガラス基板の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次いで、大型ガラス基板の中央部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させるように、複数の吸着パッドを剥離方向へ移動させる力の時間制御を吸着パッド毎に行い、前記大型ガラス基板を大型ガラス基板の端部から中央部に向かって順に吸着シートから引き離すようにしたので、ガラス基板を吸着シートに対してより一層効率よく安定して剥離させることができる。

本発明に係る板状体の剥離方法及びその装置によれば、空気中で圧力損失の高い圧縮エアに代えて空気中で圧力損失の少ない高圧水により板剥がしを実施したので、ノズルから遠く離れた位置においても剥離効果を得ることができる。よって、加工終了したガラス基板を吸着シートから効率よく安定して剥離することができる。

また、本発明によれば、この剥離工程に先行して、板状体と吸着シートの境界部に向けて圧縮エア供給ノズルから圧縮エアを噴出し、板状体の縁部を少なくとも一部分において吸着シートから離間させ、離間した板状体と吸着シートとの間の隙間に、水を混入させた圧縮エアを噴射し、吸着シートに対する板状体の吸着を一部解除しておくようにしたので、剥離工程においてタクトアップを図ることができるとともにガラス基板を吸着シートに対して更に効率よく安定して剥離させることができる。

更に、本発明によれば、吸着パッドを複数配置するとともに、高圧水供給ノズルを板状体の対向する二辺の縁部に沿って複数配置し、パッド移動手段によって、まず、板状体の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次に、前記板状体の対向する二辺の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次いで、板状体の中央部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させるように、複数の吸着パッドを剥離方向へ移動させる力の時間制御を吸着パッド毎に行い、前記板状体を板状体の対向する二辺の端部から中央部に向かって順に吸着シートから引き離すようにしたので、ガラス基板を吸着シートに対してより一層効率よく安定して剥離させることができる。

以下添付図面に従って、本発明に係る板状体の剥離方法及びその装置の好ましい実施の形態について詳説する。

図１は、本発明の実施の形態のガラス基板剥離装置１０の全体構造を示した斜視図である。ガラス基板剥離装置１０は、ガラス基板Ｇの連続式研磨装置（図示せず）とガラス基板洗浄装置（図示せず）とをインライン化させる装置であり、多数の吸着パッド１２、１２…を備えたガラス基板移載装置１４及び多数の高圧水供給ノズル１６、１６…を備えた高圧水供給装置１８、１８から構成される。このガラス基板剥離装置１０は、前記連続式研磨装置の出口に配置され、また、ガラス基板移載装置１４は、剥離したガラス基板Ｇを前記ガラス基板洗浄装置に搬送することができる。

なお、実施の形態のガラス基板剥離装置１０は、液晶ディスプレイに使用される厚み０．５〜１．１ｍｍのガラス基板Ｇを吸着シートから剥離させる装置を対象とするが、これに限定されるものではなく、吸着シートに吸着保持された板状体を吸着シートから剥離させる装置であれば適用可能である。また、実施の形態のガラス基板Ｇは、例えば１５００×１８００ｍｍの大型基板であるが、サイズはこれに限定されるものではなく、それ以上のサイズ又は幅が１０００ｍｍ以下のものでもよい。但し、後述する高圧水により剥離作用を発生させる実施の形態のガラス基板剥離装置１０は、圧縮エアでは安定した剥離を達成することが困難な幅１０００ｍｍ以上のガラス基板の剥離に好適である。

まず、連続研磨ラインにおけるガラス基板Ｇの流れについて説明すると、前記連続式研磨装置で研磨されたガラス基板Ｇは、ワーク保持テーブル２０に接着された吸着シート（例えば、多孔質ウレタンシート）２２に真空吸着保持された状態で、研磨装置の出口から１枚ずつ又は複数枚ずつ搬出される。そして、ガラス基板Ｇは、ガラス基板剥離装置１０の上流側に配置されたプレ剥離装置２４、２４によるプレ剥離エリア２６を通過してガラス基板剥離装置１０による剥離エリア２８に搬送される。剥離エリア２８に搬送されたガラス基板Ｇは、ガラス基板移載装置１４の吸着パッド１２、１２…に吸着されて吸着シート２２から剥離された後、吸着パッド１２、１２…によって吸着保持された状態で、ガラス基板移載装置１４により前記基板洗浄装置の載置台に供給される。そして、ガラス基板Ｇは、前記洗浄装置によって洗浄された後、図示しない次工程に搬送される。

高圧水供給装置１８、１８は、剥離エリア２８に搬送されたガラス基板Ｇの対向する二辺部に配置され、各々の装置１８、１８の高圧水供給ノズル１６、１６…がその辺部と吸着パッドの境界部に沿って所定の間隔をもって配置されている。

図２（Ａ）の如く、高圧水供給ノズル１６、１６…からガラス基板Ｇの辺部に向けて噴射される高圧水３０は、一時受けタンク３２に貯留された水３４を高圧水ポンプ３６にて吸引し圧送することにより発生する。この高圧水３０は、ヘッダー管３８を経由して各高圧水供給ノズル１６、１６…からガラス基板Ｇの辺部に向けて通常０．１〜０．３ＭＰａの圧力で噴射される。

高圧水供給ノズル１６、１６…は、例えば１５００ｍｍ×１８００ｍｍサイズの長方形ガラス基板Ｇの場合、その対向する二辺に沿って１００〜１５０ｍｍピッチで複数台配置される。また、高圧水供給ノズル１６、１６…は、不図示の水平揺動機構によって水平方向に揺動される。

高圧水供給ノズル１６、１６…による高圧水３０の噴射角度や噴射位置は非常に重要であり、剥離開始時の噴射角度は、高圧水３０の圧力がガラス基板Ｇの端部と吸着シート２２との境界部４０に有効に作用するように、水平なガラス基板Ｇに対して０〜４０度の範囲、好ましくは３０度に設定される。更に、高圧水供給ノズル１６、１６…に上下傾動機構を設け、高圧水３０の噴射中にガラス基板Ｇが吸着シート２２から剥離していくに従い、ガラス基板Ｇと吸着シート２２との接着境界部に高圧水３０が届くように、高圧水供給ノズル１６の傾斜角度（高圧水の噴射角度）が調整できるとなおよい。

なお、開始当初の噴射位置は、ガラス基板の端部と吸着シートとの境界部４０に限らず、その少し手前の吸着シート２２を狙うように設定してもよい。更に、高圧水供給ノズル１６を前記水平揺動機構によって水平方向に揺動させることによって、境界部４０全域に高圧水３０が噴射されるので、ガラス基板Ｇの縁部を均等に剥離することができる。また、ガラス基板Ｇの対向する二辺に沿って配置された複数台の高圧水供給ノズル１６、１６…は、高圧水３０を同時に噴射することが、後述する吸着パッド１２の上昇時間管理（制御）の観点から好ましい。

吸着パッド１２、１２…は、図１に示すようにガラス基板Ｇの上方に複数個配置される。これらの吸着パッド１２、１２…は、ガラス基板移載装置１４のフレーム４２に碁盤目状に配置されているが、配置は等ピッチでなくてもよい。このフレーム４２は、ガラス基板Ｇの剥離時にガイド４４、４４…に沿って下降移動され、吸着パッド１２、１２…がガラス基板Ｇの表面（吸着シート２２と反対の面）に当接する直前のタイミングでその下降移動が、不図示の昇降装置によって停止される。

吸着パッド１２のサイズに関しては、サイズが小さいと、ガラス基板Ｇの保持力が不足して吸着パッド１２、１２…の個数が多くなり不経済となる。また、吸着パッド１２のサイズが大き過ぎると、真空引きにより吸着中央部のガラス基板Ｇの変形が大きくなるため、場合によってはガラス基板Ｇの損傷の原因になる。このような事情から、吸着パッド１２の適正なサイズ（例えば、φ５０〜８０ｍｍ）及び個数は、ガラス基板Ｇの大きさ及び厚み等によって選定されている。

吸着パッド１２、１２…は、それぞれ独立したエアーシリンダ４６のピストン４８に連結され、そのピストン４８の伸縮動作により吸着パッド１２が昇降移動される。吸着パッド１２の下降動作によって、吸着パッド１２がガラス基板Ｇに押圧当接されて吸着パッド１２にガラス基板Ｇが吸着され、吸着パッド１２の上昇動作によってガラス基板Ｇが吸着シート２２から剥離される。

ところで、吸着パッド１２、１２…の上昇動作は、ガラス基板Ｇ全域の吸着パッド１２、１２…を一斉に上昇動作させるのではなく、ガラス基板Ｇの角部から中央に向けて順番に上昇動作するように制御される。

図２（Ａ）〜（Ｃ）は、吸着パッド１２、１２…の上昇動作を模式的に示した要部拡大図、図３（Ａ）〜（Ｄ）は、吸着パッド１２、１２…の上昇移動により剥離された箇所を斜線で示した説明図、図４は吸着パッド１２の制御系を示したブロック図である。なお、図２〜図４において、ガラス基板Ｇの四隅部を離間させる４台の吸着パッド１２、１２…をパッドＡ群５０、図３においてパッドＡ群５０を除く上から一列目及び下から一列目の吸着パッド１２、１２…をパッドＢ群５２、上から二列目及び下から二列目の吸着パッド１２、１２…をパッドＣ群５４、上から三列目及び下から三列目の吸着パッド１２、１２…をパッドＤ群５６とそれぞれ便宜上称する。

これらのパッドＡ群５０〜Ｄ群５６がそれぞれ独立して動作するように、図４の如くパッドＡ群５０〜Ｄ群５６のエアーシリンダ４６、４６…毎に電磁弁５８、６０、６２、６４が設けられるとともに、これらの電磁弁５８、６０、６２、６４の開閉タイミングが制御部（パッド移動手段）６６によって時間管理されている。すなわち、高圧水３０によって吸着力を無くした箇所から順番にパッドＡ群５０〜Ｄ群５６を所定時間間隔で上昇移動されるように制御されている。これにより、吸着力が残存する箇所を無理に上昇させることによるガラス基板Ｇの破損を防止できる。

また、パッドＡ群５０〜Ｄ群５６のエアーシリンダ４６、４６…は、電磁弁５８、６０、６２、６４と電空レギュレータ６８、７０、７２、７４を介してエアーポンプ７６に接続され、これらの電空レギュレータ６８、７０、７２、７４が制御部６６によって各々制御されている。すなわち、制御部６６によって電空レギュレータ６８、７０、７２、７４を各々制御し、エアーシリンダ４６、４６…に供給するエア量を徐々に増加させることにより、吸着パッド１２の上昇する力を徐々に上げることができる。このような力制御を実行することによって、最初から無理に上昇する力を上げることに起因するガラス基板Ｇの損傷問題を回避でき、且つ、剥離に要する必要な時間を最低限に短縮することができる。

一方、吸着パッド１２、１２…は、制御部６６によって開閉制御されるバルブ７８と電空レギュレータ８０とを介してバキュームポンプ８２に接続されている。吸着パッド１２のエア圧の制御は、レギュレータ８０によって行われている。吸着パッド１２の上昇のタイミングと上昇する力は、制御部６６の操作盤に設けられたタッチパネル等のスイッチ（不図示）を操作することで、オペレータが任意の値に設定することができる。

次に、前記の如く構成されたガラス基板剥離装置１０の作用について説明する。

吸着シート２２に吸着されたガラス基板Ｇが剥離エリア２８に搬送されて停止すると、ガラス基板移載装置１４のフレーム４２が下降移動していき、吸着パッド１２、１２…がガラス基板Ｇの表面に当接する直前のタイミングでその下降移動が停止する。次に、エアーシリンダ４６のピストン４８を伸長し、吸着パッド１２、１２…を下降移動させてガラス基板Ｇに押圧当接する。そして、吸着パッド１２、１２…のエア圧を電空レギュレータ８０によって制御し、吸着パッド１２、１２…のエアー圧をある程度の時間をかけて前記設定圧に高める。これにより、全ての吸着パッド１２、１２…がガラス基板Ｇに吸着する。

この後、全ての高圧水供給ノズル１６、１６…からガラス基板Ｇの対向する二辺部に向けて高圧水３０を噴射（図２（Ａ）参照）させ、高圧水３０の圧力によって二辺部の縁部を離間させる。そして、制御部６６が図４の電磁弁５８を制御し、図２（Ｂ）の如く、ガラス基板Ｇの角部１を吸着保持するパッドＡ群５０を剥離方向に上昇移動させ、ガラス基板Ｇの角部１を吸着シート２２から離間する（図３（Ａ）参照）。

次に、制御部６６は図４の電磁弁６０を開放制御し、図２（Ｃ）の如くガラス基板Ｇの縁部２を吸着保持するパッドＢ群５２を剥離方向に上昇移動させ、ガラス基板Ｇの縁部２を吸着シート２２から離間する（図３（Ｂ）参照）。

次いで、制御部６６は図４の電磁弁６２を開放制御し、パッドＣ群５４を剥離方向に上昇移動させ、ガラス基板Ｇの縁部２よりも内側に位置する部分３を吸着シート２２から剥離する（図３（Ｃ）参照）。

そして最後に、制御部６６は図４の電磁弁６４を開放制御し、パッドＤ群５６を剥離方向に上昇移動させ、ガラス基板Ｇの中央部４を吸着シート２２から離間する（図３（Ｄ）参照）。これにより、吸着シート２２からガラス基板Ｇが完全に剥離する。

このように実施の形態のガラス基板剥離装置１０によれば、ノズルから遠く離れると分散する圧縮エアに代えて、遠く離れても分散しにくい高圧水３０により板剥がしを実施するので、ノズルから遠く離れた位置においても剥離効果を得ることができる。

よって、大型のガラス基板Ｇであってもガラス基板Ｇを吸着シート２２から効率よく安定して剥離することができる。また、ガラス基板Ｇを剥離させる媒体として、圧縮エアから高圧水に変更したので、圧空大気開放による騒音を低減することができ、作業環境が改善する。具体的には、圧縮エアによる板剥しでは、大気開放による騒音レベルが９０ｄＢ以上であり、労働基準法で耳栓職場扱いとなるが、高圧水に変更することで、騒音が大幅に低減するので、特定職場でなくなる。

また、実施の形態のガラス基板剥離装置１０によれば、パッドＡ群５０〜Ｄ群５６を剥離方向へ移動させる力の時間制御をパッドＡ群５０〜Ｄ群５６毎に行い、ガラス基板Ｇをガラス基板Ｇの角部１から端部２に、そして端部２から中央部４に向かって順に吸着シート２２から離間させるようにしたので、ガラス基板Ｇを吸着シート２２に対して更に効率よく安定して剥離させることができる。

なお、吸着パッド１２の上昇移動開始タイミングは、時間管理による制御に限定されるものではなく、前群のパッド群の上昇移動において、そのパッド群に吸着されたガラス基板Ｇの箇所が完全に剥離されたかを検知するセンサを設け、このセンサが剥離を検知した際に次のパッド群を上昇させるように制御してもよい。

ところで、実施の形態のガラス基板剥離装置１０は、剥離エリア２８の上流側にプレ剥離装置２４、２４によるプレ剥離エリア２６が設けられている。プレ剥離装置２４は、多数の圧縮エアを供給するノズル８４、８４…と前記圧縮エアノズル８４先端に水を供給して圧縮エアに水を混入させる水供給ノズルから構成され、これらのノズル８４、８４…は、高圧水供給ノズル１６と同様にガラス基板Ｇと吸着シート２２の境界部４０に向けて水の混入した圧縮エアを噴出する。

したがって、プレ剥離エリア２６に搬送されてきたガラス基板Ｇは、ノズル８４、８４…からの水の混入した圧縮エアによって、ガラス基板Ｇの対向する二辺の縁部２、２が吸着シート２２から離間させるとともに、前記圧縮エアに混在する水によって吸着シート２２に対するガラス基板Ｇの縁部 2、2 の吸着を解除する。この後、ガラス基板Ｇを剥離エリア２８に搬送し、前述した板剥がしを実行する。

このように、剥離エリア２８での剥離工程に先行して、吸着シート２２に対するガラス基板Ｇの縁部 2、2 の吸着を予め解除しておくことにより、剥離エリア２８での剥離工程においてタクトアップを図ることができるとともにガラス基板Ｇを吸着シートに対してより一層効率よく安定して剥離させることができる。

実施の形態のガラス基板剥離装置の全体構造を示した斜視図 吸着パッドの上昇動作を模式的に示した要部拡大図 吸着パッドの上昇移動により剥離された箇所を斜線で示した説明図 吸着パッドの制御系を示したブロック図

符号の説明

１０…ガラス基板剥離装置、１２…吸着パッド、１４…ガラス基板移載装置、１６…高圧水供給ノズル、１８…高圧水供給装置、２０…ワーク保持テーブル、２２…吸着シート、２４…プレ剥離装置、２６…プレ剥離エリア、２８…剥離エリア、３０…高圧水、３２…一時受けタンク、３４…水、３６…高圧水ポンプ、３８…ヘッダー管、４０…境界部、４２…フレーム、４４…ガイド、４６…エアーシリンダ、４８…ピストン、５０…パッドＡ群、５２…パッドＢ群、５４…パッドＣ群、５６…パッドＤ群、５８、６０、６２、６４…電磁弁、６６…制御部、６８、７０、７２、７４…レギュレータ、７６…エアーポンプ、７８…バルブ、８０…電空レギュレータ、８２…バキュームポンプ、８４…ノズル

Claims (2)

1. 吸着シートに吸着保持されている板幅１０００ｍｍ以上、厚み０．５〜１．１ｍｍの大型ガラス基板を、前記吸着シートから剥離させる大型ガラス基板の剥離方法において、
   前記吸着シートに吸着保持された前記大型ガラス基板を、吸着シートと反対の面から複数の吸着パッドによって保持し、
   前記大型ガラス基板と前記吸着シートの境界部に向けて高圧水供給ノズルから０．１〜０．３ＭＰａの高圧水を噴出することにより、前記大型ガラス基板縁部を吸着シートから離間させ、
   離間した前記大型ガラス基板縁部と前記吸着シートとの間の隙間に更に前記高圧水を供給して吸着シートに対する大型ガラス基板の吸着を解除しながら、前記吸着パッドを剥離方向に移動させることにより、前記大型ガラス基板を前記吸着シートから剥離させる大型ガラス基板の剥離方法であって、
   前記吸着パッドを剥離方向に移動させて、前記大型ガラス基板を前記吸着シートから剥離させる際に、前記大型ガラス基板の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次に、大型ガラス基板の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次いで、大型ガラス基板の中央部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させるように、複数の吸着パッドを剥離方向へ移動させる力の時間制御を吸着パッド毎に行い、前記大型ガラス基板を大型ガラス基板の端部から中央部に向かって順に吸着シートから引き離すとともに、前記大型ガラス基板が前記吸着シートの吸着保持力に負けて、当該大型ガラス基板が破損しないように、吸着パッドの上昇する力を徐々に上げて前記吸着パッドを剥離方向に移動させることを特徴とする大型ガラス基板の剥離方法。
2. 吸着シートに吸着保持されている板幅１０００ｍｍ以上、厚み０．５〜１．１ｍｍの大型ガラス基板を、前記吸着シートから剥離させる大型ガラス基板の剥離装置において、
   前記吸着シートに吸着保持された前記大型ガラス基板を、吸着シートと反対の面から保持する複数の吸着パッドと、
   前記大型ガラス基板縁部と前記吸着シートの境界部に向けて０．１〜０．３ＭＰａの高圧水を噴出することにより、大型ガラス基板縁部を吸着シートから離間させる高圧水供給ノズルと、
   離間した前記大型ガラス基板と前記吸着シートとの間の隙間に更に前記高圧水を供給して吸着シートに対する大型ガラス基板の吸着を解除しながら、前記吸着パッドを剥離方向に移動させるパッド移動手段であって、前記大型ガラス基板の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次に、大型ガラス基板の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次いで、大型ガラス基板の中央部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させるように、複数の吸着パッドを剥離方向へ移動させる力の時間制御を吸着パッド毎に行うとともに、前記大型ガラス基板が前記吸着シートの吸着保持力に負けて、当該大型ガラス基板が破損しないように、吸着パッドの上昇する力を徐々に上げて前記吸着パッドを剥離方向に移動させるパッド移動手段と、
   を備えたことを特徴とする大型ガラス基板の剥離装置。

Images