KR101213522B1

KR101213522B1 - 판상체의 박리 방법 및 그 장치

Info

Publication number: KR101213522B1
Application number: KR1020087010963A
Authority: KR
Inventors: 야스나리 이쿠타; 다케오 스즈키
Original assignee: 아사히 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2006-01-11
Filing date: 2006-11-28
Publication date: 2012-12-18
Also published as: TWI362308B; KR20080079240A; WO2007080714A1; JP5307970B2; JP2007185725A; TW200738401A

Abstract

본 발명은 유리 기판을 흡착 시트로부터 효율적이고 안정적으로 박리할 수 있는 유리 기판의 박리 장치를 제공한다.

흡착 시트에 흡착 유지되어 있는 판상체를, 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 판상체의 박리 방법에 있어서, 상기 흡착 시트에 흡착 유지된 상기 판상체를, 흡착 시트와 반대의 면으로부터 복수의 흡착 패드에 의해 유지하고, 상기 판상체와 상기 흡착 시트의 경계부를 향하여 고압수 공급 노즐로부터 고압수를 분출함으로써, 상기 판상체 가장자리부를 흡착 시트로부터 이간시키고, 이간된 상기 판상체 가장자리부와 상기 흡착 시트 사이의 간극에 추가로 상기 고압수를 공급하여 흡착 시트에 대한 판상체의 흡착을 해제하면서, 상기 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시킴으로써, 상기 판상체를 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 것을 특징으로 한다.

Description

판상체의 박리 방법 및 그 장치 {METHOD OF DETACHING PLATELIKE SUBSTANCE AND APPARATUS THEREFOR}

본 발명은 판상체의 박리 방법 및 그 장치에 관련되는 것으로서, 특히 연속 연마 라인의 연마 공정에서 연마 가공이 종료된 유리 기판 등의 판상체, 특히 액정 디스플레이용 등에 사용되는 FPD (Flat Panel Display) 용의 유리 기판을, 흡착 시트로부터 박리시키기 위한 판상체의 박리 방법 및 그 장치에 관한 것이다.

액정 디스플레이용 등에 사용되는 FPD 용의 유리 기판은, 플로트법으로 불리는 판유리 제법에 의해 용융 유리를 판상으로 성형하고, 이를 연속 연마 라인의 연마 공정에 있어서, 표면의 미소한 요철이나 굴곡을 연마 제거함으로써, 두께 0.5 ～ 1.1mm 의 박판상으로 제조된다.

또, 유리 기판은, 작업물 유지 테이블에 접착된 흡착 시트에 흡착 유지되어 연마 라인을 반송되기 때문에, 연마 가공이 종료된 유리 기판을 연마 라인의 기판 박리 구역(area)에서 흡착 시트로부터 판을 떼어낼 (박리) 필요가 있다. 그러나, 상부 이재기 (移載機) 로 불리는 반송 장치의 박리 방향에 대한 힘만으로 박리하려고 하면, 상기 흡착 시트의 흡착 유지력에 대하여 박리 방향에 대한 힘이 강한 경우에는, 한번에 힘을 가해 버리면 유리 기판이 흡착 시트의 더욱 강한 흡착 유지력에 의해서 파손되어 버리는 경우가 있으므로 힘을 서서히 높일 필요가 있고, 또 지나치게 약한 경우에는 박리에 장시간을 요한다. 따라서, 상부 이재기만에 의지한 박리는, 작업 처리량을 높이는 관점에서 곤란하였다.

그래서 종래에는, 특허 문헌 1 과 같이, 유리 기판의 단부와 흡착 시트의 경계부에, 압축 공기 공급 노즐에 물을 공급하고, 물을 혼합한 통상 0.3 ～ 0.5MPa 압력의 압축 공기를 분사하고, 압축 공기의 압력에 의해 유리 기판의 단부를 흡착 시트로부터 이간시키고, 그 후, 이간된 단부와 흡착 시트 사이의 간극에 상기 압축 공기를 공급하고, 이 압축 공기에 혼재하는 물에 의해 흡착 시트의 흡착력을 해제함으로써, 유리 기판을 흡착 시트로부터 효율적으로 박리시켰다.

특허 문헌 1 ; 일본 공개특허공보 2000-94319호

발명의 개시

발명이 해결하고자 하는 과제

그러나, 특허 문헌 1 의 박리 장치는, 노즐 주변에서는 압축 공기가 높은 박리 능력을 발휘하지만, 예를 들어 노즐로부터 500mm 이상 떨어지면, 압축 공기가 분산되기 때문에 박리 능력이 저하된다는 문제가 있었다. 따라서, 유리 기판의 대향하는 변부를 따라 노즐을 대향 배치해도, 판폭이 1000mm 를 초과하는 대형 유리 기판에서는, 충분한 박리 효과를 얻을 수 없다는 결점이 있었다. 한편으로 최근의 유리 기판은, 디스플레이의 대화면화에 수반하여, 한 변이 1500mm 를 초과하는 대형 기판의 제조가 요구되고 있다. 또, 압축 공기는, 대기 개방에 수반하는 소음의 문제가 있고, 작업 환경 개선의 면에서 소음을 저감하고자 하는 요망도 있었다.

본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 연마 가공 종료된 유리 기판을 흡착 시트로부터 효율적이고 안정적으로 박리할 수 있는 유리 기판의 박리 방법 및 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

과제를 해결하기 위한 수단

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 흡착 시트에 흡착 유지되어 있는 판상체를, 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 판상체의 박리 방법에 있어서, 상기 흡착 시트에 흡착 유지된 상기 판상체를, 흡착 시트와 반대의 면으로부터 복수의 흡착 패드에 의해 유지하고, 상기 판상체와 상기 흡착 시트의 경계부를 향하여 고압수 공급 노즐로부터 고압수를 분출함으로써, 판상체 가장자리부를 흡착 시트로부터 이간시키고, 이간된 상기 판상체 가장자리부와 상기 흡착 시트 사이의 간극에 추가로 상기 고압수를 공급하여 흡착 시트에 대한 판상체의 흡착을 해제하면서, 상기 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시킴으로써, 상기 판상체를 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 것을 특징으로 하는 판상체의 박리 방법 (이하, 본 발명의 박리 방법이라고 한다) 을 제공한다.

또, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 흡착 시트에 흡착 유지되어 있는 판상체를, 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 판상체의 박리 장치에 있어서, 상기 흡착 시트에 흡착 유지된 상기 판상체를, 흡착 시트와 반대의 면으로부터 유지하는 복수의 흡착 패드와, 상기 판상체와 상기 흡착 시트의 경계부를 향하여 고압수를 분출함으로써, 판상체 가장자리부를 흡착 시트로부터 이간시키는 고압수 공급 노즐과, 이간된 상기 판상체 가장자리부와 상기 흡착 시트 사이의 간극에 추가로 상기 고압수를 공급하여 흡착 시트에 대한 판상체의 흡착을 해제하면서, 상기 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 패드 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 판상체의 박리 장치 (이하, 본 발명의 박리 장치라고 한다) 를 제공한다.

본 발명에 의하면, 공기 노즐로부터 멀리 떨어지면 분산되는 압축 공기 대신, 멀리 떨어져도 분산되기 어려운 고압수에 의해 판 박리를 실시하기 때문에, 노즐로부터 멀리 떨어진 위치에서도 박리 효과를 얻을 수 있다. 따라서, 대형 유리 기판이어도 유리 기판을 흡착 시트로부터 효율적이고 안정적으로 박리할 수 있다. 또, 유리 기판을 박리시키는 매체로서, 압축 공기에서 고압수로 변경하였기 때문에, 압축 공기의 대기 개방에 의한 소음을 저감할 수 있어, 작업 환경이 개선된다. 또한, 고압수는 불가피적인 공기 이외의 공기를 포함하지 않는 것이 바람직하다.

본 발명의 박리 방법은, 상기 목적을 달성하기 위하여, 흡착 시트에 흡착 유지되어 있는 판상체를, 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 판상체의 박리 방법에 있어서, 상기 판상체와 상기 흡착 시트의 경계부를 향하여 압축 공기 공급 노즐로부터 압축 공기를 분출함으로써, 판상체의 가장자리부를 적어도 일부분에 있어서 흡착 시트로부터 이간시킴과 함께, 이간된 상기 판상체와 상기 흡착 시트 사이의 간극에 물 공급 노즐로부터 물을 공급하여 흡착 시트에 대한 판상체의 흡착을 해제한 후, 본 발명의 박리 방법을 실행하는 것이 바람직하다.

또, 본 발명의 박리 장치는, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 박리 장치의 전단에, 상기 판상체와 상기 흡착 시트의 경계부를 향하여 압축 공기를 분출함으로써, 판상체의 가장자리부를 적어도 일부분에 있어서 흡착 시트로부터 이간시키는 압축 공기 공급 노즐과, 이간된 상기 판상체와 상기 흡착 시트 사이의 간극에 물을 공급하여 흡착 시트에 대한 판상체의 흡착을 해제하는 물 공급 노즐을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 이와 같은 실시형태에 의하면, 상기 박리 공정에 선행하여, 판상체와 흡착 시트의 경계부를 향하여 압축 공기 공급 노즐로부터 압축 공기를 분출하여, 판상체의 가장자리부를 적어도 일부분에 있어서 흡착 시트로부터 이간시키고, 이간된 판상체와 흡착 시트 사이의 간극에 물 공급 노즐로부터 물을 공급하여, 흡착 시트에 대한 판상체의 흡착을 일부 해제해 둘 수 있게 된다. 이로써, 상기 박리 공정에 있어서 택트 업 (takt up) 을 도모할 수 있음과 함께 유리 기판을 흡착 시트에 대하여 보다 안정적으로 박리시킬 수 있다.

본 발명의 박리 방법은, 상기 흡착 패드는 복수 배치됨과 함께, 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 힘이 패드 이동 수단에 의해 흡착 패드마다 시간 제어되는 것이 바람직하다.

본 발명의 박리 장치는, 상기 흡착 패드는 복수 배치됨과 함께, 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 힘을 흡착 패드마다 시간 제어하는 패드 이동 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 상기 패드 이동 수단에 의하면, 복수의 흡착 패드에 의해 유리 기판을 흡착 유지하는 경우에, 이들 흡착 패드를 박리 방향으로 일제히 이동시키는 것이 아니라, 박리한 지점으로부터 차례로 박리 방향으로 이동하도록, 복수의 흡착 패드의 박리 방향으로 이동시키는 힘을, 패드 이동 수단에 의해 흡착 패드마다 시간 제어할 수 있게 된다. 이로써, 유리 기판을 흡착 시트로부터 효율적이고 안정적으로 박리할 수 있다.

본 발명의 박리 방법 및 본 발명의 박리 장치는, 상기 패드 이동 수단에 의해, 먼저, 상기 판상체의 모서리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 판상체의 가장자리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 판상체의 중앙부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키도록, 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 힘의 시간 제어를 흡착 패드마다 실시하고, 상기 판상체를 판상체의 단부에서 중앙부를 향하여 순서대로 흡착 시트로부터 떼어내는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서 상기 패드 이동 수단은, 먼저, 판상체의 모서리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 판상체의 가장자리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 판상체의 중앙부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키도록, 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 힘의 시간 제어를 흡착 패드마다 실시하고, 상기 판상체를 판상체의 단부에서 중앙부를 향하여 순서대로 흡착 시트로부터 떼어내도록 하였기 때문에, 유리 기판을 흡착 시트에 대하여 보다 더욱 효율적이고 안정적으로 박리시킬 수 있다.

발명의 효과

본 발명에 관련된 판상체의 박리 방법 및 그 장치에 의하면, 공기 중에서 압력 손실이 높은 압축 공기 대신 공기 중에서 압력 손실이 적은 고압수에 의해 판 박리를 실시하기 때문에, 노즐로부터 멀리 떨어진 위치에서도 박리 효과를 얻을 수 있다. 따라서, 가공 종료된 유리 기판을 흡착 시트로부터 효율적이고 안정적으로 박리할 수 있다.

또, 본 발명에 의하면, 이 박리 공정에 선행하여, 판상체와 흡착 시트의 경계부를 향하여 압축 공기 공급 노즐로부터 압축 공기를 분출하여, 판상체의 가장자리부를 적어도 일부분에 있어서 흡착 시트로부터 이간시킴과 함께, 이간된 판상체와 흡착 시트 사이의 간극에, 물을 혼입시킨 압축 공기를 분사하고, 흡착 시트에 대한 판상체의 흡착을 일부 해제해 두게 하였기 때문에, 박리 공정에 있어서 택트 업을 도모할 수 있음과 함께 유리 기판을 흡착 시트에 대하여 더욱 효율적이고 안정적으로 박리시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 흡착 패드를 복수 배치함과 함께, 고압수 공급 노즐을 판상체의 대향하는 두 변의 가장자리부를 따라 복수 배치하고, 패드 이동 수단에 의해, 먼저, 판상체의 모서리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 상기 판상체의 대향하는 두 변의 가장자리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 판상체의 중앙부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키도록, 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 힘의 시간 제어를 흡착 패드마다 실시하고, 상기 판상체를 판상체의 대향하는 두 변의 단부에서 중앙부를 향하여 순서대로 흡착 시트로부터 떼어내도록 하였기 때문에, 유리 기판을 흡착 시트에 대하여 보다 더욱 효율적이고 안정적으로 박리시킬 수 있다.

도 1 은 본 발명의 바람직한 실시형태의 유리 기판 박리 장치의 전체 구조를 나타낸 사시도이다.

도 2 는 흡착 패드의 상승 동작을 모식적으로 나타낸 주요부 확대도이다.

도 3 은 흡착 패드의 상승 이동에 의해 박리된 지점을 사선으로 나타낸 설명도이다.

도 4 는 흡착 패드의 제어계를 나타낸 블록도이다.

부호의 설명

1 … 모서리부 2 … 가장자리부

3 … 내측에 위치하는 부분 4 … 중앙부

10 … 유리 기판 박리 장치 12 … 흡착 패드

14 … 유리 기판 이재 장치 16 … 고압수 공급 노즐

18 … 고압수 공급 장치 20 … 작업물 유지 테이블

22 … 흡착 시트 24 … 예비 박리 장치

26 … 예비 박리 구역 28 … 박리 구역

30 … 고압수 32 … 일시 수용 탱크

34 … 물 36 … 고압수 펌프

38 … 헤더관 40 … 경계부

42 … 프레임 44 … 가이드

46 … 공기 실린더 48 … 피스톤

50 … 패드 A 군 52 … 패드 B 군

54 … 패드 C 군 56 … 패드 D 군

58, 60, 62, 64 … 전자 밸브 66 … 제어부

68, 70, 72, 74 … 레귤레이터 76 … 공기 펌프

78 … 밸브 80 … 전공 (電空) 레귤레이터

82 … 진공 펌프 84 … 압축 공기 공급 노즐

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

이하 첨부 도면에 따라, 본 발명에 관련된 판상체의 박리 방법 및 그 장치의 바람직한 실시형태 (이하, 본 예라고 한다) 에 대하여 상세히 설명한다.

도 1 은, 본 예의 유리 기판 박리 장치 (10) 의 전체 구조를 나타낸 사시도이다. 유리 기판 박리 장치 (10) 는, 유리 기판 (G) 의 연속식 연마 장치 (도시 생략) 와 유리 기판 세정 장치 (도시 생략) 를 인라인화시키는 장치로서, 다수의 흡착 패드 (12, 12 …) 를 구비한 유리 기판 이재 장치 (14) 및 다수의 고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 을 구비한 고압수 공급 장치 (18, 18) 로 구성된다. 이 유리 기판 박리 장치 (10) 는, 상기 연속식 연마 장치의 출구에 배치되고, 또한 유리 기판 이재 장치 (14) 는, 박리된 유리 기판 (G) 을 상기 유리 기판 세정 장치로 반송할 수 있다.

또한, 본 예의 유리 기판 박리 장치 (10) 는, 액정 디스플레이에 사용되는 두께 0.5 ～ 1.1mm 의 유리 기판 (G) 을 작업물 유지 테이블 (20) 의 흡착 시트 (22) 로부터 박리시키는 장치를 대상으로 하는데, 이에 한정되지 않고, 흡착 시트에 흡착 유지된 판상체를 흡착 시트로부터 박리시키는 장치이면 적용할 수 있다. 또, 실시형태의 유리 기판 (G) 은, 예를 들어 1500 × 1800mm 의 대형 기판인데, 사이즈는 이에 한정되지 않고, 그 이상의 사이즈 또는 폭이 1000mm 이하인 것이어도 된다. 단, 후술하는 고압수에 의해 박리 작용을 발생시키는 실시형태의 유리 기판 박리 장치 (10) 는, 압축 공기로는 안정적인 박리를 달성하는 것이 곤란한 폭 1000mm 이상의 유리 기판의 박리에 바람직하다.

먼저, 연속 연마 라인에 있어서의 유리 기판 (G) 의 흐름에 대하여 설명한다. 상기 연속식 연마 장치로 연마된 유리 기판 (G) 은, 작업물 유지 테이블 (20) 에 접착된 흡착 시트 (예를 들어, 다공질 우레탄 시트) (22) 에 진공 흡착 유지된 상태에서, 연마 장치의 출구로부터 1 장씩 또는 복수장씩 반출된다. 그리고, 유리 기판 (G) 은, 유리 기판 박리 장치 (10) 의 상류측에 배치된 예비 박리 장치 (24, 24) 에 의한 예비 박리 구역 (26) 를 통과하여 유리 기판 박리 장치 (10) 에 의한 박리 구역 (28) 으로 반송된다. 박리 구역 (28) 으로 반송된 유리 기판 (G) 은, 유리 기판 이재 장치 (14) 의 흡착 패드 (12, 12 …) 에 흡착되어 흡착 시트 (22) 로부터 박리된 후, 흡착 패드 (12, 12 …) 에 의해 흡착 유지된 상태에서, 유리 기판 이재 장치 (14) 에 의해 상기 기판 세정 장치의 탑재대에 공급된다. 그리고, 유리 기판 (G) 은, 상기 세정 장치에 의해 세정된 후, 도시되지 않은 다음 공정으로 반송된다.

고압수 공급 장치 (18, 18) 는, 박리 구역 (28) 으로 반송된 유리 기판 (G) 의 대향하는 두 변부에 배치되고, 각각의 장치 (18, 18) 의 고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 이 그 변부와 흡착 패드의 경계부를 따라 소정의 간격을 두고 배치되어 있다.

도 2(A) 와 같이, 고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 로부터 유리 기판 (G) 의 변부를 향하여 분사되는 고압수 (30) 는, 일시 수용 탱크 (32) 에 저류된 물 (34) 을 고압수 펌프 (36) 로 흡인하여 압송함으로써 발생한다. 이 고압수 (30) 는, 헤더관 (38) 을 경유하여 각 고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 로부터 유리 기판 (G) 의 변부를 향하여 통상 0.1 ～ 0.3MPa 의 압력으로 분사된다.

고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 은, 예를 들어 1500mm × 1800mm 사이즈의 직사각형 유리 기판 (G) 의 경우, 그 대향하는 두 변을 따라 100 ～ 150mm 피치로 복수 배치된다. 또, 고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 은, 도시하지 않은 수평 요동 기구에 의해 유리 기판 (G) 의 변부를 따라 수평 방향으로 요동된다.

고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 에 의한 고압수 (30) 의 분사 각도나 분사 위치는 매우 중요하고, 박리 개시시의 분사 각도는 고압수 (30) 의 압력이 유리 기판 (G) 의 단부와 흡착 시트 (22) 의 경계부 (40) 에 유효하게 작용하도록, 수평인 유리 기판 (G) 에 대하여 0 ～ 40 도의 범위, 바람직하게는 약 30 도로 설정되는 것이 바람직하다. 또한, 고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 에 상하 경동 (傾動) 기 구를 형성하고, 고압수 (30) 의 분사 중에 유리 기판 (G) 이 흡착 시트 (22) 로부터 박리되어 감에 따라, 유리 기판 (G) 과 흡착 시트 (22) 의 접착 경계부에 고압수 (30) 가 도달하도록, 고압수 공급 노즐 (16) 의 경사 각도 (고압수의 분사 각도) 를 조정할 수 있으면 더욱 좋다.

또한, 개시 당초의 분사 위치는, 유리 기판의 단부와 흡착 시트의 경계부 (40) 에 한정되지 않고, 그 조금 앞의 흡착 시트 (22) 를 노리도록 설정해도 된다. 또한, 고압수 공급 노즐 (16) 을 상기 수평 요동 기구에 의해 수평 방향으로 요동시킴으로써, 경계부 (40) 전역에 고압수 (30) 가 분사되기 때문에, 유리 기판 (G) 의 가장자리부를 균등하게 박리할 수 있다. 또한, 유리 기판 (G) 의 대향하는 두 변을 따라 배치된 복수대의 고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 은, 고압수 (30) 를 동시에 분사하는 것이, 후술하는 흡착 패드 (12) 의 상승 시간 관리 (제어) 의 관점에서 바람직하다.

흡착 패드 (12, 12 …) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이 유리 기판 (G) 의 상방에 복수개 배치된다. 이들 흡착 패드 (12, 12 …) 는, 유리 기판 이재 장치 (14) 의 프레임 (42) 에 바둑판 눈금 형상으로 배치되어 있는데, 배치는 등 (等) 피치가 아니어도 된다. 이 프레임 (42) 은, 유리 기판 (G) 의 박리시에 가이드 (44, 44…) 를 따라 하강 이동되고, 흡착 패드 (12, 12 …) 가 유리 기판 (G) 의 표면 (흡착 시트 (22) 와 반대의 면) 에 맞닿기 직전의 타이밍으로 그 하강 이동이 도시하지 않는 승강 장치에 의해 정지된다.

흡착 패드 (12) 의 사이즈에 관해서는, 사이즈가 작으면 유리 기판 (G) 의 유지력이 부족하고 흡착 패드 (12, 12 …) 의 개수가 많아져 비경제적이 된다. 또, 흡착 패드 (12) 의 사이즈가 지나치게 크면, 진공화에 의해 흡착 중앙부의 유리 기판 (G) 의 변형이 커지기 때문에, 경우에 따라서는 유리 기판 (G) 손상의 원인이 된다. 이와 같은 사정에서, 흡착 패드 (12) 의 적정한 사이즈 (예를 들어, φ50 ～ 80mm ) 및 개수는, 유리 기판 (G) 의 크기 및 두께 등에 따라 선정되고 있다.

흡착 패드 (12, 12 …) 는, 각각 독립적인 공기 실린더 (46) 의 피스톤 (48) 에 연결되고, 그 피스톤 (48) 의 신축 동작에 의해 흡착 패드 (12) 가 승강 이동된다. 흡착 패드 (12) 의 하강 동작에 의해, 흡착 패드 (12) 가 유리 기판 (G) 에 가압되고 맞닿아 흡착 패드 (12) 에 유리 기판 (G) 이 흡착되고, 흡착 패드 (12) 의 상승 동작에 의해 유리 기판 (G) 이 흡착 시트 (22) 로부터 박리된다.

그런데, 흡착 패드 (12, 12 …) 의 상승 동작은, 유리 기판 (G) 전역의 흡착 패드 (12, 12…) 를 일제히 상승 동작시키는 것이 아니라, 유리 기판 (G) 의 모서리부로부터 중앙을 향하여 차례로 상승 동작하도록 제어된다.

도 2(A) ～ (C) 는, 흡착 패드 (12, 12 …) 의 상승 동작을 모식적으로 나타낸 주요부 확대도, 도 3(A) ～ (D) 는, 흡착 패드 (12, 12 …) 의 상승 이동에 의해 박리된 지점을 사선으로 나타낸 설명도, 도 4 는 흡착 패드 (12) 의 제어계를 나타낸 블록도이다. 또한, 도 2 ～ 도 4 에 있어서, 유리 기판 (G) 의 네 구석부를 이간시키는 4 대의 흡착 패드 (12, 12 …) 를 패드 A 군 (50), 도 3 에 있어서 패드 A 군 (50) 을 제외한 위로부터 1 열째 및 아래로부터 1 열째의 흡착 패드 (12, 12 …) 를 패드 B 군 (52), 위로부터 2 열째 및 아래로부터 2 열째의 흡착 패드 (12, 12 …) 를 패드 C 군 (54), 위로부터 3 열째 및 아래로부터 3 열째의 흡착 패드 (12, 12 …) 를 패드 D 군 (56) 으로 각각 편의상 칭한다.

이들 패드 A 군 (50) ～ D 군 (56) 이 각각 독립적으로 동작하도록, 도 4 와 같이 패드 A 군 (50) ～ D 군 (56) 의 공기 실린더 (46, 46 …) 마다 전자 밸브 (58, 60, 62, 64) 가 형성됨과 함께, 이들 전자 밸브 (58, 60, 62, 64) 의 개폐 타이밍이 제어부 (패드 이동 수단) (66) 에 의해 시간 관리되고 있다. 즉, 고압수 (30) 에 의해 흡착력을 없앤 지점으로부터 차례로 패드 A 군 (50) ～ D 군 (56) 이 소정 시간 간격으로 상승 이동되도록 제어되고 있다. 이로써, 흡착력이 잔존하는 지점을 무리하게 상승시킴에 의한 유리 기판 (G) 의 파손을 방지할 수 있다.

또, 패드 A 군 (50) ～ D 군 (56) 의 공기 실린더 (46, 46 …) 는, 전자 밸브 (58, 60, 62, 64) 와 레귤레이터 (68, 70, 72, 74) 를 개재하여 공기 펌프 (76) 에 접속되고, 이들 레귤레이터 (68, 70, 72, 74) 가 제어부 (66) 에 의해 각각 제어되고 있다. 즉, 제어부 (66) 에 의해 레귤레이터 (68, 70, 72, 74) 를 각각 제어하여, 공기 실린더 (46, 46 …) 에 공급하는 공기량을 서서히 증가시킴으로써, 흡착 패드 (12) 의 상승하는 힘을 서서히 높일 수 있다. 이와 같은 힘 제어를 실행함으로써, 처음부터 무리하게 상승하는 힘을 높이는 것에 기인하는 유리 기판 (G) 의 손상 문제를 회피할 수 있고, 또한 박리에 요하는 필요한 시간을 최저한으로 단축시킬 수 있다.

한편, 흡착 패드 (12, 12 …) 는, 제어부 (66) 에 의해 개폐 제어되는 밸브 (78) 와 전공 레귤레이터 (80) 를 개재하여 진공 펌프 (82) 에 접속되어 있다. 흡착 패드 (12) 의 공기압의 제어는, 전공 레귤레이터 (80) 에 의해 실시되고 있다. 흡착 패드 (12) 의 상승 타이밍과 상승하는 힘은, 제어부 (66) 의 조작반에 형성된 터치 패널 등의 스위치 (도시 생략) 를 조작함으로써, 오퍼레이터가 임의의 값으로 설정할 수 있다.

이어서, 상기와 같이 구성된 유리 기판 박리 장치 (10) 의 작용에 대하여 설명한다.

흡착 시트 (22) 에 흡착된 유리 기판 (G) 이 박리 구역 (28) 으로 반송되어 정지하면, 유리 기판 이재 장치 (14) 의 프레임 (42) 이 하강 이동하고, 흡착 패드 (12, 12 …) 가 유리 기판 (G) 의 표면에 맞닿기 직전의 타이밍에서 그 하강 이동이 정지한다. 이어서, 공기 실린더 (46) 의 피스톤 (48) 을 신장하고, 흡착 패드 (12, 12 …) 를 하강 이동시켜 유리 기판 (G) 에 가압하여 맞닿는다. 그리고, 흡착 패드 (12, 12 …) 의 공기압을 전공 레귤레이터 (80) 에 의해 제어하여, 흡착 패드 (12, 12 …) 의 공기압을 어느 정도 시간을 들여 상기 설정압으로 높인다. 이로써, 모든 흡착 패드 (12, 12 …) 가 유리 기판 (G) 에 흡착된다.

그 후, 모든 고압수 공급 노즐 (16, 16 …) 로부터 유리 기판 (G) 이 대향하는 두 변부를 향하여 고압수 (30) 를 분사 (도 2(A) 참조) 하고, 고압수 (30) 의 압력에 의해 두 변부의 가장자리부를 이간시킨다. 그리고, 제어부 (66) 가 도 4 의 전자 밸브 (58) 를 제어하여, 도 2(B) 와 같이, 유리 기판 (G) 의 모서리부 (1) 를 흡착 유지하는 패드 A 군 (50) 을 박리 방향으로 상승 이동시키고, 유리 기판 (G) 의 모서리부 (1) 를 흡착 시트 (22) 로부터 이간시킨다 (도 3(A) 참조).

이어서, 제어부 (66) 는 도 4 의 전자 밸브 (60) 를 개방 제어하여, 도 2(C) 와 같이 유리 기판 (G) 의 가장자리부 (2) 를 흡착 유지하는 패드 B 군 (52) 을 박리 방향으로 상승 이동시키고, 유리 기판 (G) 의 가장자리부 (2) 를 흡착 시트 (22) 로부터 이간시킨다 (도 3(B) 참조).

이어서, 제어부 (66) 는 도 4 의 전자 밸브 (62) 를 개방 제어하여, 패드 C 군 (54) 을 박리 방향으로 상승 이동시키고, 유리 기판 (G) 의 가장자리부 (2) 보다 내측에 위치하는 부분 (3) 을 흡착 시트 (22) 로부터 박리한다 (도 3(C) 참조).

그리고 마지막으로, 제어부 (66) 는 도 4 의 전자 밸브 (64) 를 개방 제어하여, 패드 D 군 (56) 을 박리 방향으로 상승 이동시키고, 유리 기판 (G) 의 중앙부 (4) 를 흡착 시트 (22) 로부터 이간시킨다 (도 3(D) 참조). 이로써, 흡착 시트 (22) 로부터 유리 기판 (G) 이 완전히 박리된다.

이와 같이 본 예의 유리 기판 박리 장치 (10) 에 의하면, 노즐로부터 멀리 떨어지면 분산되는 압축 공기 대신, 멀리 떨어져도 분산되기 어려운 고압수 (30) 에 의해 판 박리를 실시하기 때문에, 노즐로부터 멀리 떨어진 위치에서도 박리 효과를 충분히 얻을 수 있다.

따라서, 대형 유리 기판 (G) 이어도 유리 기판 (G) 을 흡착 시트 (22) 로부터 효율적이고 안정적으로 박리할 수 있다. 또, 유리 기판 (G) 을 박리시키는 매체로서, 압축 공기에서 고압수로 변경하였기 때문에, 압축 공기의 대기 개방에 의한 소음을 저감시킬 수 있어, 작업 환경이 개선된다. 구체적으로는, 압축 공기에 의한 판 박리에서는, 대기 개방에 의한 소음 레벨이 90dB 이상이며, 노동 기준법에서 귀마개를 사용해야 하는 직장으로 취급되지만, 고압수로 변경함으로써 소음이 대폭 저감되므로, 특정 직장이 아니게 된다.

또, 본 예의 유리 기판 박리 장치 (10) 에 의하면, 패드 A 군 (50) ～ D 군 (56) 을 박리 방향으로 이동시키는 힘의 시간 제어를 패드 A 군 (50) ～ D 군 (56) 마다 실시하고, 유리 기판 (G) 을 유리 기판 (G) 의 모서리부 (1) 로부터 단부 (2) 를, 그리고 단부 (2) 로부터 중앙부 (4) 를 향하여 순서대로 흡착 시트 (22) 로부터 이간시키도록 하였기 때문에, 유리 기판 (G) 을 흡착 시트 (22) 에 대하여 더욱 효율적이고 안정적으로 박리시킬 수 있다.

또한, 흡착 패드 (12) 의 상승 이동 개시 타이밍은, 시간 관리에 의한 제어에 한정되지 않고, 앞 군의 패드군의 상승 이동에 있어서, 그 패드군에 흡착된 유리 기판 (G) 의 지점이 완전히 박리되었는지를 검지하는 센서를 설치하고, 이 센서가 박리를 검지하였을 때에 다음의 패드군을 상승시키도록 제어해도 된다.

그런데, 본 예의 유리 기판 박리 장치 (10) 는, 박리 구역 (28) 의 상류측에 예비 박리 장치 (24, 24) 에 의한 예비 박리 구역 (26) 이 형성되어 있다. 예비 박리 장치 (24) 는, 다수의 압축 공기를 공급하는 압축 공기 공급 노즐 (84, 84 …) 과 상기 압축 공기 공급 노즐 (84) 선단에 물을 공급하여 압축 공기에 물을 혼입시키는 물 공급 노즐로 구성되고, 이들 압축 공기 공급 노즐 (84, 84 …) 은, 고압수 공급 노즐 (16) 과 동일하게 유리 기판 (G) 과 흡착 시트 (22) 의 경계부 (40) 를 향하여 물이 혼입된 압축 공기를 분출한다. 상기 물 공급 노즐은, 압축 공기 공급 노즐 (84, 84 …) 과 이중관 구조이어도 되고, 압축 공기 공급 노즐 (84, 84 …) 의 선단부에 독립적으로 형성해도 된다. 또, 예비 박리 장치 (24) 의 상류부의 압축 공기 공급 노즐 (84, 84 …) 은 압축 공기만을 분출시키도록 해도 된다.

따라서, 예비 박리 구역 (26) 으로 반송된 유리 기판 (G) 은, 압축 공기 공급 노즐 (84, 84 …) 로부터의 물이 혼입된 압축 공기에 의해, 유리 기판 (G) 의 대향하는 두 변의 가장자리부 (2, 2) 를 흡착 시트 (22) 로부터 이간시킴과 함께, 상기 압축 공기에 혼재하는 물에 의해 흡착 시트 (22) 에 대한 유리 기판 (G) 의 가장자리부 (2, 2) 의 흡착이 해제된다. 그 후, 유리 기판 (G) 을 박리 구역 (28) 으로 반송하여, 전술한 판 박리를 실행한다.

이와 같이, 박리 구역 (28) 에서의 박리 공정에 선행하여, 흡착 시트 (22) 에 대한 유리 기판 (G) 의 가장자리부 (2, 2) 의 흡착을 미리 해제해 둠으로써, 박리 구역 (28) 에서의 박리 공정에 있어서 보다 더 택트 업을 도모할 수 있음과 함께 유리 기판 (G) 을 흡착 시트에 대하여 보다 더욱 효율적이고 안정적으로 박리시킬 수 있다.

본 발명은 특히 FPD 용의 유리 기판과 같은 두께의 대형 판상체를 흡착 시트로부터 박리시키는 데에 바람직하다.

또한, 2006년 1월 11일에 출원된 일본 특허 출원2006-004053호의 명세서, 특 허 청구의 범위, 도면 및 요약서의 전체 내용을 여기에 인용하여, 본 발명의 명세서의 개시로서 받아 들이는 것이다.

Claims

흡착 시트에 흡착 유지되어 있는 판폭 1000 mm 이상의 대형 유리 기판을, 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 대형 유리 기판의 박리 방법에 있어서,

상기 흡착 시트에 흡착 유지된 상기 대형 유리 기판을, 흡착 시트와 반대의 면으로부터 복수의 흡착 패드에 의해 유지하고,

상기 대형 유리 기판과 상기 흡착 시트의 경계부를 향하여 고압수 공급 노즐로부터 0.1 ~ 0.3 MPa 의 고압수를 분출함으로써, 상기 대형 유리 기판 가장자리부를 흡착 시트로부터 이간시키고,

이간된 상기 대형 유리 기판 가장자리부와 상기 흡착 시트 사이의 간극에 추가로 상기 고압수를 공급하여 흡착 시트에 대한 대형 유리 기판의 흡착을 해제하면서,

상기 대형 유리 기판이 상기 흡착 시트의 흡착 유지력에 견디지 못해서 당해 대형 유리 기판이 파손되지 않도록, 흡착 패드의 상승하는 힘을 서서히 높임으로써 상기 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 대형 유리 기판의 박리 방법.
흡착 시트에 흡착 유지되어 있는 판폭 1000 mm 이상의 대형 유리 기판을, 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 대형 유리 기판의 박리 방법에 있어서,

상기 대형 유리 기판과 상기 흡착 시트의 경계부를 향하여 압축 공기 공급 노즐로부터 압축 공기를 분출함으로써, 대형 유리 기판의 가장자리부를 적어도 일부분에 있어서 흡착 시트로부터 이간시킴과 함께, 이간된 상기 대형 유리 기판과 상기 흡착 시트 사이의 간극에 물 공급 노즐로부터 물을 공급하여 흡착 시트에 대한 대형 유리 기판의 흡착을 해제한 후, 제 1 항에 기재된 박리 방법을 실행하는 것을 특징으로 하는 대형 유리 기판의 박리 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 흡착 패드는 복수 배치됨과 함께, 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 힘이 패드 이동 수단에 의해 흡착 패드마다 시간 제어되어 있는 것을 특징으로 하는 대형 유리 기판의 박리 방법.
제 3 항에 있어서,

상기 대형 유리 기판의 모서리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 대형 유리 기판의 가장자리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 대형 유리 기판의 중앙부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키도록, 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 힘의 시간 제어를 흡착 패드마다 실시하고, 상기 대형 유리 기판을 대형 유리 기판의 단부에서 중앙부를 향해 순서대로 흡착 시트로부터 떼어내는 것을 특징으로 하는 대형 유리 기판의 박리 방법.
흡착 시트에 흡착 유지되어 있는 판폭 1000 mm 이상의 대형 유리 기판을, 상기 흡착 시트로부터 박리시키는 대형 유리 기판의 박리 장치에 있어서,

상기 흡착 시트에 흡착 유지된 상기 대형 유리 기판을, 흡착 시트와 반대의 면으로부터 유지하는 복수의 흡착 패드와,

상기 대형 유리 기판 가장자리부와 상기 흡착 시트의 경계부를 향하여 0.1 ~ 0.3 MPa 의 고압수를 분출함으로써, 대형 유리 기판 가장자리부를 흡착 시트로부터 이간시키는 고압수 공급 노즐과,

이간된 상기 대형 유리 기판과 상기 흡착 시트 사이의 간극에 추가로 상기 고압수를 공급하여 흡착 시트에 대한 대형 유리 기판의 흡착을 해제하면서,

상기 대형 유리 기판이 상기 흡착 시트의 흡착 유지력에 견디지 못해서 당해 대형 유리 기판이 파손되지 않도록, 흡착 패드의 상승하는 힘을 서서히 높임으로써,

상기 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 패드 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 대형 유리 기판의 박리 장치.
제 5 항에 기재된 대형 유리 기판의 박리 장치의 전단에,

상기 대형 유리 기판과 상기 흡착 시트의 경계부를 향하여 압축 공기를 분출함으로써, 대형 유리 기판의 가장자리부를 적어도 일부분에 있어서 흡착 시트로부터 이간시키는 압축 공기 공급 노즐과,

이간된 상기 대형 유리 기판과 상기 흡착 시트 사이의 간극에 물을 공급하여 흡착 시트에 대한 대형 유리 기판의 흡착을 해제하는 물 공급 노즐을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 대형 유리 기판의 박리 장치.
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,

상기 흡착 패드는 복수 배치됨과 함께, 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 힘을 흡착 패드마다 시간 제어하는 패드 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 대형 유리 기판의 박리 장치.
제 7 항에 있어서,

상기 패드 이동 수단은, 상기 대형 유리 기판의 모서리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 대형 유리 기판의 가장자리부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서, 대형 유리 기판의 중앙부를 흡착 유지하는 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키도록, 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 힘의 시간 제어를 흡착 패드마다 실시하는 것을 특징으로 하는 대형 유리 기판의 박리 장치.