JP2000094319A - 板状体の剥離方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ガラス板１４を研磨テーブル２０から自動で剥
離する。 【解決手段】本発明によれば、ガラス板１４の一方側を
保持した後、ガラス板１４の他方側と吸着パッド２２と
の境界部に向けて圧縮エアを噴出し、ガラス板１４を浮
上させ、そして、浮上したガラス板１４と吸着パッド２
２との隙間に水滴６７を供給して吸着パッド２２の吸着
力を無くす。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は板状体の剥離方法及
びその装置に係り、特に研磨工程で研磨加工が終了した
ガラス板（板状体）を、研磨テーブル（吸着部材）から
剥離させるための板状体の剥離方法及びその装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】連続式研磨装置で研磨されたガラス板
は、研磨テーブルに吸着保持された状態で研磨装置から
搬出される。そして、このガラス板は、スクレーパ等の
剥離治具を用いて手作業で研磨テーブルから剥離された
後、洗浄装置に供給されて洗浄される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ガラス板の剥離方法は、作業者による手作業で実施して
いたので、作業効率が悪く、また、剥離作業は作業者の
熟練に頼るところが大きいため経験を要するという欠点
があった。本発明は、このような事情に鑑みてなされた
もので、吸着部材からの板状体の剥離を自動化すること
ができる板状体の剥離方法及びその装置を提供すること
を目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、吸着部材に吸着保持されている板状体
を、吸着部材から剥離させる板状体の剥離方法におい
て、前記板状体を部分的に保持し、剥離時の板状体の移
動を防ぎながら板状体と吸着部材との境界部に向けて圧
縮エアを噴出し、板状体を吸着部材から浮上させるとと
もに、浮上した板状体と吸着部材との隙間に水を供給し
て吸着部材に対する板状体の吸着を解除し、板状体を吸
着部材から剥離させることを特徴としている。

【０００５】本発明は、前記目的を達成するために、吸
着部材に吸着保持されている板状体を、吸着部材から剥
離させる板状体の剥離方法において、前記板状体の一方
側を押圧手段によって前記吸着部材に押圧保持し、前記
板状体の他方側と吸着部材との境界部に向けて圧縮エア
を噴出し、板状体の他方側を吸着部材から浮上させると
ともに、浮上した板状体の他方側と吸着部材との隙間に
水を供給して板状体の他方側と吸着部材との吸着を解除
し、前記板状体の他方側を押圧手段によって前記吸着部
材に押圧保持し、前記板状体の一方側と吸着部材との境
界部に向けて圧縮エアを噴出し、板状体の一方側を吸着
部材から浮上させるとともに、浮上した板状体の一方側
と吸着部材との隙間に水を供給して板状体の一方側と吸
着部材との吸着を解除することにより、板状体を吸着部
材から剥離させることを特徴としている。

【０００６】また、本発明は、前記目的を達成するため
に、吸着部材に吸着保持されている板状体を、吸着部材
から剥離させる板状体の剥離装置において、前記板状体
を部分的に保持し、剥離時の板状体の移動を防ぐ保持手
段と、前記保持手段で保持された板状体と吸着部材との
境界部に向けて圧縮エアを噴出し、板状体を吸着部材か
ら浮上させるエアノズルと、前記浮上した板状体と吸着
部材との隙間に水を供給して吸着部材に対する板状体の
吸着を解除させる水ノズルと、を備えたことを特徴とし
ている。

【０００７】本発明は、前記目的を達成するために、吸
着部材に吸着保持されている板状体を、吸着部材から剥
離させる板状体の剥離装置において、前記板状体の一方
側を前記吸着部材に押圧保持させる第１押圧手段と、前
記板状体の他方側と吸着部材との境界部に向けて圧縮エ
アを噴出し、板状体の他方側を吸着部材から浮上させる
第１エアノズルと、前記浮上した板状体の他方側と吸着
部材との隙間に水を供給し、板状体の他方側と吸着部材
との吸着を解除させる第１水ノズルと、前記板状体の他
方側を前記吸着部材に押圧保持させる第２押圧手段と、
前記板状体の一方側と吸着部材との境界部に向けて圧縮
エアを噴出し、板状体の一方側を吸着部材から浮上させ
る第２エアノズルと、前記浮上した板状体の一方側と吸
着部材との隙間に水を供給し、板状体の一方側と吸着部
材との吸着を解除させる第２水ノズルと、を備えたこと
を特徴としている。

【０００８】本発明の板状体の剥離方法及びその装置に
よれば、板状体と吸着部材との境界部に圧縮エアと水と
を噴射することにより、板状体を吸着部材から剥離させ
ることを技術思想としている。また、板状体を部分的に
保持手段で保持した状態で剥離させれば、板状体が圧縮
エアで吹き飛ばされないので、板状体の保護の観点から
好ましい。

【０００９】そして、板状体を吸着部材から円滑に剥離
させる方法及び装置によれば、まず、板状体の一方側を
第１押圧手段によって吸着部材に押圧保持する。次に、
板状体の他方側と吸着部材との境界部に向けて圧縮エア
を第１エアノズルから噴出し、板状体の他方側を吸着部
材から浮上させる。そして、浮上した板状体の他方側と
吸着部材との隙間に水を第１水ノズルから供給して板状
体の他方側と吸着部材との吸着を解除する。

【００１０】次いで、板状体の他方側を第２押圧手段に
よって吸着部材に押圧保持する。そして、板状体の一方
側と吸着部材との境界部に向けて圧縮エアを第２エアノ
ズルから噴出し、板状体の一方側を吸着部材から浮上さ
せる。そして、浮上した板状体の一方側と吸着部材との
隙間に水を第２水ノズルから供給して板状体の一方側と
吸着部材との吸着を解除する。これにより、板状体の全
面が吸着部材から剥離される。

【００１１】したがって、本発明は、板状体を吸着部材
から自動で剥離させることができる。また、本発明によ
れば、当該剥離装置を板状体研磨装置と板状体洗浄装置
との間に組み込めば、板状体の研磨工程、剥離工程、洗
浄工程をインライン化することができる。また、本発明
によれば、圧縮エアを供給した時の板状体の浮上量を、
浮上量規制手段によって規制している。これにより、本
発明は、浮上量過大に起因する板状体の折れを防止する
ことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る板状体の剥離方法及びその装置の好ましい実施の形態
について詳説する。図１は、本発明の実施の形態のガラ
ス板剥離装置１０を含むガラス板剥離移載装置１２の全
体構造を示す説明図である。

【００１３】前記ガラス板剥離移載装置１２は、ガラス
板１４の連続式研磨装置（図示せず）とガラス板洗浄装
置（図示せず）とをインライン化させるための装置であ
り、ガラス板剥離装置１０及びガラス板移載装置１６か
ら構成されている。ガラス板剥離装置１０は、前記連続
式研磨装置の出口に接続され、ガラス板移載装置１６は
前記ガラス板洗浄装置の載置台１８に接続されている。

【００１４】まず、前記ガラス板剥離移載装置１２にお
けるガラス板１４の流れについて説明する。前記研磨装
置で研磨されたガラス板１４は、図３に示す研磨テーブ
ル２０の吸着パッド２２に吸着保持された状態で、研磨
装置の出口から１枚ずつ搬出され、図１の剥離装置１０
の入口に供給される。剥離装置１０に供給された前記ガ
ラス板１４は、剥離装置１０において連続搬送されなが
ら、剥離装置１０によって研磨テーブル２０の吸着パッ
ド２２から剥離された後、吸着パッド２２上に載置され
た状態で前記移載装置１６に搬送される。そして、移載
装置１６に４枚のガラス板１４、１４…がストックされ
ると、その４枚のガラス板１４、１４…が吸着パッド２
４、２４…によって一緒に吸着保持される。そして、４
枚のガラス板１４、１４…は、吸着パッド２４、２４…
で吸着保持された状態で、移載装置１６のタクト搬送装
置２６によって洗浄装置の載置台１８に供給される。そ
して、ガラス板１４、１４…は、前記洗浄装置でスクラ
バ洗浄、スピン洗浄された後、図示しない次工程に搬送
される。

【００１５】なお、移載装置１６に残った４枚の研磨テ
ーブル２０、２０…は、次のガラス板１４が移載装置１
６に搬送されてくるまでに図示しない回収装置によって
回収される。以上が、前記剥離移載装置１２におけるガ
ラス板１４の流れである。前記剥離装置１０は図２に示
すように、第１剥離機構２６、第２剥離機構２８、及び
研磨テーブル搬送機構３０等から構成される。前記第１
剥離機構２６は、研磨テーブル搬送機構３０の図２上矢
印Ａ方向で示すガラス板搬送方向に対して上流側に設置
されており、ガラス板押圧ユニット３２、３２…及びエ
ア／水噴射ユニット３４から構成されている。

【００１６】前記押圧ユニット３２、３２…は、ガラス
板搬送方向に対して直交する方向に所定の間隔を以て６
ユニット配設されている。この押圧ユニット３２は、ガ
ラス板押圧ローラ（第１押圧手段）３６及びリフト規制
ローラ３８（浮上量規制手段）等から構成され、リフト
規制ローラ３８は押圧ローラ３６に対して小径で短目に
形成されている。また、これらのローラ３６、３８は、
同軸で回転されるように１本の軸４０に回転自在に支持
されている。

【００１７】前記軸４０は図３に示すように、その一端
部４０Ａがピン４２を介して軸受部４４に上下動自在に
支持されるとともに、その他端部４０Ｂがピン４６を介
して連結部材４８の長孔５０に摺動自在に支持されてい
る。前記連結部材４８は、シリンダ装置５２の昇降ロッ
ド５４の先端部に設けられている。したがって、前記ロ
ッド５４が図３上実線で示す位置から二点鎖線で示す位
置に上昇されると、軸４０がピン４２を支点として図３
上反時計回り方向に所定量回動するので、前記押圧ロー
ラ３６がガラス板１４から退避移動される。また、前記
ロッド５４が下降されると、押圧ローラ３６がガラス板
１４に押圧される。これにより、ガラス板１４の図３上
右半分（一方側）１４Ａが、押圧ローラ３６と研磨テー
ブル２０とによって挟圧保持されるので、ガラス板１４
は研磨テーブル２０から脱落することなく保持される。
なお、押圧ローラ３６の押圧力は、ガラス板１４の板
厚、種類によって予め設定される。

【００１８】前記第１剥離機構２６では、図２上二点鎖
線で示すように１枚のガラス板１４を３本の押圧ローラ
３６、３６、３６で押圧するように、押圧ローラ３６の
間隔が設定されている。したがって、前記第１剥離機構
２６では、一度に２枚のガラス板１４、１４が処理され
る。また、図３に示した前記軸受部４４及び前記シリン
ダ装置５２は、剥離装置１０の本体フレーム１１に固定
されている。更に、この本体フレーム１１内に前記研磨
テーブル搬送機構３０が設置されている。

【００１９】前記リフト規制ローラ３８は図３上実線で
示すように、ガラス板１４の左半分（他方側）１４Ｂに
対して所定量上方に離間した位置に位置される。前記ロ
ーラ３８は、ガラス板１４の前記部分１４Ｂの浮上量を
規制するローラであり、浮上した前記部分１４Ｂがロー
ラ３８に当接（図６参照）することにより、前記部分１
４Ｂの浮上量過多が防止され、前記部分１４Ｂの折れが
防止される。

【００２０】前記エア／水噴射ユニット３４は図４に示
すように、６本のノズルヘッド５６、５６…、及びノズ
ル移動装置５８等から構成されている。前記ノズルヘッ
ド５６は、支持板６０にエア／水供給管６２を介して設
けられるとともに、図２に示すように押圧ユニット３
２、３２…間の隙間に配置される間隔で設けられてい
る。また、ノズルヘッド５６には、エア噴射ノズル（第
１エアノズル）６４及び水噴射ノズル（第１水ノズル）
６６が形成されている。

【００２１】前記エア噴射ノズル６４は、ガラス板１４
の図３上左側端部と吸着パッド２２との境界部１５に向
けて圧縮エアを噴射することができる位置に形成されて
いる。したがって、エア噴射ノズル６４から前記境界部
１５に向けて圧縮エアが噴出されると、この圧縮エアの
エア圧によって、ガラス板１４の左半分１４Ｂが図６の
如く吸着パッド２２から剥がれて浮上される。浮上され
たガラス板１４の左半分１４Ｂは、前述したリフト規制
ローラ３８に当接され、その折れが防止される。なお、
図１において、矢印Ａで示す方向が前記圧縮エアの噴射
方向である。

【００２２】前記水噴射ノズル６６は、エア噴射ノズル
６４の上方に離間して形成されるとともに、エア噴射ノ
ズル６４から噴射された圧縮エアの流路に向けて水滴６
７を噴射することができる位置に形成されている。した
がって、水噴射ノズル６６から水滴６７が噴射される
と、この水滴６７は、エア噴射ノズル６４から噴射され
た圧縮エアに乗って前記境界部１５に導かれる。そし
て、前記水滴６７は、浮上したガラス板１４の左半分１
４Ｂと吸着パッド２２との隙間に供給され、吸着パッド
２２に付着される。

【００２３】この水滴６７によって吸着パッド２２の保
持力が無くなるので、ガラス板１４の左半分１４Ｂが図
３に示す元の状態に戻っても、ガラス板１４の左半分１
４Ｂが吸着パッド２２に再び吸着されることはない。し
たがって、ガラス板１４の左半分１４Ｂが吸着パッド２
２から完全に剥離される。次に、ノズル移動装置５８に
ついて図４、図５を参照して説明する。このノズル移動
装置５８は、前記ノズルヘッド５６を、ガラス板搬送方
向に対して直交方向に進退移動させる装置である。この
ノズル移動装置５８でノズルヘッド５６を前記方向に移
動させることにより、ガラス板１４のサイズに対応した
位置にノズルヘッド５６が位置される。

【００２４】前記ノズル移動装置５８は、サーボモータ
７０、ピニオン７２、ラック７４、及びＬＭ（直動）ガ
イド７６、７６等から構成されている。前記サーボモー
タ７０は、本体フレーム１１（図３参照）に固定された
ベース板７８上に設置されている。サーボモータ７０の
図５に示す出力軸７１には、前記ピニオン７２が取り付
けられ、このピニオン７２は、移動板８０の下面に設け
られた前記ラック７４に噛合されている。また、前記移
動板８０は、ラック７４と平行に設置された前記ＬＭガ
イド７６、７６を介して前記ベース板７８に移動自在に
支持されている。前記移動板８０には、２本の支持バー
８２、８２が突設され、これらの支持バー８２、８２の
先端に、前記支持板６０が連結されている。したがっ
て、サーボモータ７０が駆動されると、その動力がピニ
オン７２からラック７４を介して移動板８０に伝達され
るので、移動板８０がＬＭガイド７６、７６に沿ってス
ライド移動する。これにより、前記ノズルヘッド５６が
ガラス板１４のサイズに対応した位置に移動される。

【００２５】次に、図２に示した第２剥離機構２８につ
いて説明する。なお、第２剥離機構２８を説明するに当
たり、第１剥離機構２６と同一又は類似の部材について
は同一の符号を付してその説明は省略する。前記第２剥
離機構２８は、第１剥離機構２６と同一の部材で構成さ
れるとともに、第１剥離機構２６の押圧ユニット３２と
エア／水噴射ユニット３４とに対して、第２剥離機構の
押圧ユニット３２とエア／水噴射ユニット３４とが左右
逆に配置されている。即ち、ガラス板１４は、第２剥離
機構２８の押圧ローラ３６（第２押圧手段）によって、
その左半分１４Ｂが押圧されるとともに、第２剥離機構
２８のリフト規制ローラ３８（浮上量規制手段）によっ
て、その右半分１４Ａの浮上量が規制される。

【００２６】また、第２剥離機構２８のエア噴射ノズル
（第２エアノズル）６４からは、ガラス板１４の右側端
部と吸着パッド２２との境界部に向けて圧縮エアが噴射
され、第２剥離機構２８の水噴射ノズル（第２水ノズ
ル）６６からは、エア噴射ノズル６４から噴射された圧
縮エアの流路に向けて水滴６７が噴射される。このエア
噴射ノズル６４から噴射される圧縮エアと、水噴射ノズ
ル６６から噴射される水滴６７とによって、ガラス板１
４の右半分１４Ａが吸着パッド２２から完全に剥離され
る。

【００２７】次に、前記の如く構成されたガラス板剥離
装置１０の作用について説明する。まず、事前の設定作
業として、ノズルヘッド５６をガラス板１４のサイズに
対応した位置に位置させるとともに、ガラス板１４の板
厚及び種類に対応した押圧力に押圧ローラ３６の押圧力
を設定する。なお、前記ガラス板剥離装置１０は、研磨
装置から研磨終了したガラス板１４を、連続搬送しなが
ら剥離処理する装置なので、ここでは１枚のガラス板１
４の剥離処理工程について詳説する。

【００２８】１枚目のガラス板１４が研磨装置の出口か
ら剥離装置１０の入口に搬送されてくると、このガラス
板１４は、まず、第１剥離機構２６の押圧ローラ３６、
３６、３６…に順に押圧保持されていく。そして、これ
と同時に、第１剥離機構２６のエア噴射ノズル６４、６
４…から、前記ガラス板１４の図３上左側端部と吸着パ
ッド２２との境界部１５に向けて圧縮エアが噴射され
る。これにより、ガラス板１４の左半分１４Ｂが吸着パ
ッド２２から浮上される。そして、水噴射ノズル６６、
６６…から水滴６７が噴射され、水滴６７を吸着パッド
２２上に付着させることにより、吸着パッド２２の吸着
力を無くしてガラス板１４の左半分１４Ｂを吸着パッド
２２から剥離させる。

【００２９】したがって、前記ガラス板１４は、第１剥
離機構２６を連続搬送される間に、その左半分１４Ｂが
吸着パッド２２から完全に剥離される。また、圧縮エア
の噴射時において、ガラス板１４は押圧ローラ３６、３
６…に押圧保持されているので、研磨テーブル２０から
脱落することなく研磨テーブル２０上に保持される。な
お、１枚目のガラス板１４の後方には、２枚目のガラス
板１４が後続して連続搬送され、この２枚目のガラス板
１４も１枚目のガラス板１４と同様に、第１剥離機構２
６によってその左半分１４Ｂが剥離される。

【００３０】次に、第１剥離機構２６を通過した１枚目
のガラス板１４は、第２剥離機構２８に向けて連続搬送
される。そして、前記ガラス板１４は、第２剥離機構２
８の押圧ローラ３６、３６、３６…に順に押圧保持され
ていく。そして、これと同時に、第２剥離機構２８のエ
ア噴射ノズル６４、６４…から、前記ガラス板１４の図
３上右側端部と吸着パッド２２との境界部に向けて圧縮
エアが噴射される。これにより、ガラス板１４の右半分
１４Ａが吸着パッド２２から浮上される。そして、水噴
射ノズル６６、６６…から水滴６７が噴射され、水滴６
７を吸着パッド２２上に付着させることにより、吸着パ
ッド２２の吸着力を無くしてガラス板１４の右半分１４
Ａを吸着パッド２２から剥離させる。

【００３１】したがって、前記ガラス板１４は、第２剥
離機構２８を連続搬送される間に、その右半分１４Ａが
吸着パッド２２から完全に剥離される。なお、このガラ
ス板１４の後方には、２枚目のガラス板１４が後続して
連続搬送され、更に、２枚目のガラス板１４の後方に
は、３枚目のガラス板１４、及び４枚目のガラス板１４
が所定の間隔をもって連続搬送されている。そして、２
枚目以降のガラス板１４も１枚目のガラス板１４と同様
に、第２剥離機構２８によってその右半分１４Ａが剥離
される。

【００３２】以上により、第１剥離機構２６及び第２剥
離機構を通過したガラス板１４は、その全面が研磨テー
ブル２０から自動で剥離される。そして、剥離されたガ
ラス板１４は、吸着パッド２２上に載置された状態で、
前述した移載装置１６に順に搬送される。したがって、
本実施の形態の剥離装置１０によれば、ガラス板１４を
研磨テーブル２０から自動で剥離させることができる。
また、前記剥離装置１０は、エア噴射ノズル６４から圧
縮エアを供給した時のガラス板１４の浮上量を、リフト
規制ローラ３８によって規制したので、浮上量過大に起
因するガラス板１４の折れを防止することができる。

【００３３】なお、本実施の形態では、剥離対象の板状
体としてガラス板１４を例示したが、これに限られるも
のではなく、シリコンウェーハ等の薄板材も例示するこ
とができる。また、本実施の形態では、水滴６７によっ
て吸着パッド２２の吸着力を無くすようにしたが、これ
に限られるものではない。例えば、圧縮エアでガラス板
１４を浮上させるだけで吸着パッド２２の吸着力を無く
すことができる場合には、水噴射ノズル６６は不要であ
る。また、水滴６７として水道水を使用すれば、簡便で
コスト的にも好ましい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る板状体
の剥離方法及びその装置によれば、板状体の一方側を吸
着部材に押圧保持させた状態で、板状体の他方側と吸着
部材との境界部に圧縮エアと水とを噴出することによ
り、板状体の他方側を吸着部材から剥離させた後、板状
体の他方側を吸着部材に押圧保持させた状態で、板状体
の一方側と吸着部材との境界部に圧縮エアと水とを噴出
することにより、板状体の一方側を吸着部材から剥離さ
せて、板状体を吸着部材から剥離させるようにしたの
で、板状体の剥離を自動化することができる。

【００３５】また、本発明によれば、圧縮エアを供給し
た時の板状体の浮上量を、浮上量規制手段によって規制
したので、浮上量過大に起因する板状体の折れを防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態のガラス板剥離装置を含むガラス
板剥離移載装置の説明図

【図２】図１に示したガラス板剥離装置の平面図

【図３】図２上で２−２線から見たガラス板剥離装置の
側面図

【図４】図１のガラス板剥離装置に適用されたエア／水
噴射ユニットの平面図

【図５】図４上で５−５線から見たエア／水噴射ユニッ
トの側面図

【図６】ガラス板剥離装置の動作説明図

【符号の説明】

１０…ガラス板剥離装置 １２…ガラス板剥離移載装置 １４…板状体（ガラス板） ２０…吸着部材（研磨テーブル） ３２…押圧ユニット ３４…エア／水噴射ユニット ３６…押圧ローラ ３８…リフト規制ローラ ６４…エア噴射ノズル ６６…水噴射ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 泰則 神奈川県横浜市鶴見区末広町１丁目１番地 旭硝子株式会社内 Ｆターム(参考） 3C034 AA13 BB84 BB87 DD20

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】吸着部材に吸着保持されている板状体を、
   吸着部材から剥離させる板状体の剥離方法において、 前記板状体を部分的に保持し、剥離時の板状体の移動を
   防ぎながら板状体と吸着部材との境界部に向けて圧縮エ
   アを噴出し、板状体を吸着部材から浮上させるととも
   に、浮上した板状体と吸着部材との隙間に水を供給して
   吸着部材に対する板状体の吸着を解除し、板状体を吸着
   部材から剥離させることを特徴とする板状体の剥離方
   法。
2. 【請求項２】吸着部材に吸着保持されている板状体を、
   吸着部材から剥離させる板状体の剥離方法において、 前記板状体の一方側を押圧手段によって前記吸着部材に
   押圧保持し、 前記板状体の他方側と吸着部材との境界部に向けて圧縮
   エアを噴出し、板状体の他方側を吸着部材から浮上させ
   るとともに、浮上した板状体の他方側と吸着部材との隙
   間に水を供給して板状体の他方側と吸着部材との吸着を
   解除し、 前記板状体の他方側を押圧手段によって前記吸着部材に
   押圧保持し、 前記板状体の一方側と吸着部材との境界部に向けて圧縮
   エアを噴出し、板状体の一方側を吸着部材から浮上させ
   るとともに、浮上した板状体の一方側と吸着部材との隙
   間に水を供給して板状体の一方側と吸着部材との吸着を
   解除することにより、板状体を吸着部材から剥離させる
   ことを特徴とする板状体の剥離方法。
3. 【請求項３】前記圧縮エアを供給した時の前記板状体の
   浮上量を、浮上量規制手段によって規制することによ
   り、板状体の折れを防止したことを特徴とする請求項
   １、または２記載の板状体の剥離方法。
4. 【請求項４】吸着部材に吸着保持されている板状体を、
   吸着部材から剥離させる板状体の剥離装置において、 前記板状体を部分的に保持し、剥離時の板状体の移動を
   防ぐ保持手段と、 前記保持手段で保持された前記板状体と吸着部材との境
   界部に向けて圧縮エアを噴出し、板状体を吸着部材から
   浮上させるエアノズルと、 前記浮上した板状体と吸着部材との隙間に水を供給して
   吸着部材に対する板状体の吸着を解除させる水ノズル
   と、 を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置。
5. 【請求項５】吸着部材に吸着保持されている板状体を、
   吸着部材から剥離させる板状体の剥離装置において、 前記板状体の一方側を前記吸着部材に押圧保持させる第
   １押圧手段と、 前記板状体の他方側と吸着部材との境界部に向けて圧縮
   エアを噴出し、板状体の他方側を吸着部材から浮上させ
   る第１エアノズルと、 前記浮上した板状体の他方側と吸着部材との隙間に水を
   供給し、板状体の他方側と吸着部材との吸着を解除させ
   る第１水ノズルと、 前記板状体の他方側を前記吸着部材に押圧保持させる第
   ２押圧手段と、 前記板状体の一方側と吸着部材との境界部に向けて圧縮
   エアを噴出し、板状体の一方側を吸着部材から浮上させ
   る第２エアノズルと、 前記浮上した板状体の一方側と吸着部材との隙間に水を
   供給し、板状体の一方側と吸着部材との吸着を解除させ
   る第２水ノズルと、 を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置。
6. 【請求項６】前記吸着部材に対する前記板状体の浮上量
   を規制する浮上量規制手段を設け、該浮上量規制手段に
   よって板状体の折れを防止したことを特徴とする請求項
   ４、または５記載の板状体の剥離装置。