WO2007080714A1 - 板状体の剥離方法及びその装置 - Google Patents

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plate
peeling
sheet
pad
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PCT/JP2006/323740
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Inventor
Yasunari Ikuta
Takeo Suzuki
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Asahi Glass Company, Limited
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    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/005—Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
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    • B23Q3/08—Work-clamping means other than mechanically-actuated
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    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes

Definitions

  • the present invention relates to a plate-like body peeling method and apparatus, and more particularly to a plate-like body such as a glass substrate that has been polished in a polishing process of a continuous polishing line, particularly an FPD used for a liquid crystal display or the like.
  • the present invention relates to a plate-like body peeling method and apparatus for peeling a glass substrate for (Flat Panel Display) from an adsorption sheet.
  • a glass substrate for FPD used for a liquid crystal display or the like is formed by forming molten glass into a plate shape by a plate glass manufacturing method called a float method, and this is used in a polishing process of a continuous polishing line. By polishing and removing the minute irregularities and undulations, the thin plate is produced with a thickness of 0.5 to Llmm.
  • Patent Document 1 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-94319 Disclosure of the invention
  • the peeling device disclosed in Patent Document 1 has a force that exerts a high peeling ability in the vicinity of the nozzle. For example, when the air is separated from the nozzle by 500 mm or more, the peeling ability is reduced because the compressed air is dispersed. There was a problem. Therefore, even if the nozzles are arranged opposite to each other along the opposing sides of the glass substrate, there is a drawback that a sufficient peeling effect cannot be obtained with a large glass substrate having a plate width exceeding 1000 mm. On the other hand, glass substrates in recent years are required to produce large substrates with a side exceeding 1500 mm as the screen size of displays increases. In addition, compressed air has a problem of noise caused by opening to the atmosphere, and there was a demand for reducing noise from the viewpoint of improving the working environment.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and provides a glass substrate peeling method and a peeling device capable of efficiently and stably peeling a glass substrate that has been polished from an adsorbing sheet. For the purpose.
  • the present invention provides a plate-like body peeling method in which a plate-like body that is sucked and held on an suction sheet is peeled off from the suction sheet.
  • the plate-like body is held by a plurality of suction pads opposite to the suction sheet, and the high-pressure water supply nozzle force high-pressure water is ejected toward the boundary between the plate-like body and the suction sheet, thereby forming a plate-like shape.
  • the body edge is separated from the suction sheet, and the high pressure water is further supplied to the gap between the separated plate-like body edge and the suction sheet to release the suction of the plate-like body to the suction sheet.
  • a plate-like body peeling method (hereinafter referred to as the peeling method of the present invention) is provided, wherein the plate-like body is peeled from the suction sheet by moving the suction pad in the peeling direction. .
  • the present invention provides a plate-like body peeling apparatus for peeling a plate-like body held by suction on the suction sheet from the suction sheet.
  • a plurality of suction pads that hold the held plate-like body from the surface opposite to the suction sheet, and high-pressure water is ejected toward the boundary between the plate-like body and the suction sheet to form a plate-like body.
  • a high-pressure water supply nozzle that separates the body edge portion from the suction sheet, and the plate shape that is separated Pad moving means for moving the suction pad in the peeling direction while supplying the high-pressure water to the gap between the body edge and the suction sheet to release the suction of the plate-like body to the suction sheet;
  • a plate-like body peeling device (hereinafter referred to as the peeling device of the present invention) is provided.
  • the present invention instead of compressed air that disperses when the air nozzle force is far away, stripping is performed with high-pressure water that is difficult to disperse even when far away, so that the peeling effect can be achieved even at a position far from the nozzle. Obtainable. Therefore, even a large glass substrate can be efficiently and stably peeled from the adsorption sheet. In addition, since the compressed air force was changed to high-pressure water as the medium for peeling the glass substrate, noise due to the release of compressed air to the atmosphere can be reduced, and the working environment can be improved. In addition, it is preferable that high-pressure water does not contain air other than unavoidable air.
  • the peeling method of the present invention includes a plate-like body peeling method in which the plate-like body held by suction on the suction sheet is peeled off from the suction sheet.
  • Compressed air supply nozzle force toward the boundary portion of the suction sheet causes the edge portion of the plate-like body to be separated from the suction sheet at least partially by ejecting compressed air, and the separated plate-like body and the suction member
  • the peeling device of the present invention ejects compressed air toward the boundary between the plate-like body and the suction sheet before the peeling device of the present invention.
  • the edge of the plate-like body is separated from the suction sheet by the compressed air supply nozzle, and water is supplied to the gap between the separated plate-like body and the suction sheet so that the plate against the suction sheet
  • a water supply nozzle for releasing the adsorption of the solid body.
  • the compressed air supply nozzle force compressed air is ejected toward the boundary between the plate-like body and the suction sheet, and the plate-like shape is obtained. At least part of the edge of the body is separated from the suction sheet, water is supplied to the gap between the separated plate-like body and the suction sheet, water is supplied, and part of the suction of the plate-like body to the suction sheet is released. It is possible to keep. As a result, tact-up is achieved in the peeling step. In addition, the glass substrate can be more stably peeled from the adsorption sheet.
  • the peeling method of the present invention it is preferable that a plurality of the suction pads are arranged, and the force for moving the plurality of suction pads in the peeling direction is time-controlled for each suction pad by the pad moving means.
  • the peeling device of the present invention preferably includes a plurality of the suction pads, and further includes a pad moving means for controlling the time for moving the plurality of suction pads in the peeling direction for each suction pad. .
  • the pad moving means of the present invention when the glass substrate is adsorbed and held by a plurality of adsorbing pads, the separated portion forces are not moved simultaneously in the exfoliating direction.
  • the force for moving the plurality of suction pads in the peeling direction so as to move in the peeling direction can be time-controlled for each suction pad by the pad moving means. Thereby, a glass substrate can be efficiently and stably peeled from the adsorption sheet.
  • the pad moving means first moves the suction pad that sucks and holds the corners of the plate-like body in the peeling direction, and then the plate-like body.
  • the force that moves the suction pads in the peeling direction so that the suction pad that sucks and holds the edge of the plate moves in the peeling direction, and then moves the suction pad that holds the central part of the plate-like body in the peeling direction.
  • the time control is performed for each suction pad, and the plate-like body is sequentially pulled away from the suction sheet by directing the plate-like body from the end portion to the center portion.
  • the pad moving means first moves the suction pad that sucks and holds the corners of the plate-like body in the peeling direction, and then peels the suction pad that sucks and holds the edge of the plate-like body. Move the suction pads that move the suction pads in the peeling direction so that the suction pads that hold the central part of the plate-like body in the peeling direction are moved in the peeling direction. Since the plate-like body is directed away from the adsorption sheet in order from the end of the plate-like body toward the center, the glass substrate can be more efficiently and stably peeled from the adsorption sheet. it can.
  • the invention's effect [0018] According to the method and apparatus for peeling a plate-like body according to the present invention, plate peeling is performed with high-pressure water with little pressure loss in air instead of compressed air with high pressure loss in air. The peeling effect can be obtained even at a position where the nozzle force is far away. Therefore, the heated glass substrate can be efficiently and stably peeled from the suction sheet.
  • the compressed air supply nozzle force compressed air is ejected toward the boundary between the plate-like body and the suction sheet, and at least the edge of the plate-like body is formed. A part of the sheet is separated from the adsorbing sheet, and compressed air mixed with water is injected into the gap between the separated plate and the adsorbing sheet to partially release the adsorbing of the plate to the adsorbing sheet. Therefore, the tact-up can be improved in the peeling step, and the glass substrate can be peeled from the suction sheet more efficiently and stably.
  • a plurality of suction pads are arranged, and a plurality of high-pressure water supply nozzles are arranged along two opposite edges of the plate-like body. Move the suction pad that sucks and holds the corners of the rod-shaped body in the peeling direction, then move the suction pad that sucks and holds the two opposite edges of the plate-shaped body in the peeling direction, and then plate The time control of the force for moving the plurality of suction pads in the peeling direction is performed for each suction pad so that the suction pad that holds the central portion of the body in the peeling direction is moved in the peeling direction.
  • the glass substrate is peeled from the adsorbing sheet in order from the two opposite end portions to the central portion, so that the glass substrate can be more efficiently and stably peeled from the adsorbing sheet.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the overall structure of a glass substrate peeling apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged view of the main part schematically showing the raising operation of the suction pad.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram showing the part peeled off by the upward movement of the suction pad with hatching.
  • FIG. 4 is a block diagram showing a suction pad control system.
  • High pressure water 32——Time tank, 34 ⁇ Water, 36 ⁇ High pressure water pump, 38 ⁇ Header pipe, 40 ⁇ Boundary portion, 42 ⁇ “Frame, 44 ⁇ Guide”, 46 ⁇ Air Cylinder, 48 ⁇ Piston, 50 ⁇ nod, A, 52 "-nod: 6
  • FIG. 1 is a perspective view showing the overall structure of the glass substrate peeling apparatus 10 of this example.
  • the glass substrate peeling apparatus 10 is an apparatus that inlines a continuous polishing apparatus (not shown) for the glass substrate G and a glass substrate cleaning apparatus (not shown). It comprises a glass substrate transfer device 14 provided, and high-pressure water supply devices 18, 18 provided with a number of high-pressure water supply nozzles 16, 16.
  • the glass substrate peeling apparatus 10 is disposed at the outlet of the continuous polishing apparatus, and the glass substrate transfer apparatus 14 can transport the peeled glass substrate G to the glass substrate cleaning apparatus.
  • the glass substrate peeling apparatus 10 of this example is intended for an apparatus that peels a glass substrate G having a thickness of 0.5 to 1.1 mm used for a liquid crystal display from an adsorption sheet 22 of a work holding table 20.
  • the present invention is not limited to this, and can be applied to any apparatus that peels a plate-like body adsorbed and held by an adsorbing sheet from the adsorbing sheet.
  • the glass substrate G in the embodiment is a large substrate of, for example, 1500 ⁇ 1800 mm.
  • the force size is not limited to this, and the size or width may be 1000 mm or less.
  • the glass substrate peeling apparatus 10 according to the embodiment that generates a peeling action with high-pressure water described later is suitable for peeling a glass substrate having a width of 1000 mm or more, which is difficult to achieve stable peeling with compressed air.
  • the glass substrate G polished by the continuous polishing apparatus is attached to the work holding table 20 by an adsorption sheet.
  • a sheet (for example, a porous urethane sheet) 22 is carried out one by one or a plurality of sheets from the outlet of the polishing apparatus in a state where it is held by vacuum suction.
  • the glass substrate G passes through the pre-peeling area 26 by the pre-peeling devices 24, 24 arranged on the upstream side of the glass substrate peeling device 10 and is conveyed to the peeling area 28 by the glass substrate peeling device 10.
  • the glass substrate G transported to the peeling area 28 is adsorbed by the suction pads 12, 12 of the glass substrate transfer device 14, peeled off from the suction sheet 22, and then sucked by the suction pads 12, 12,.
  • the glass substrate transfer device 14 is supplied to the mounting table of the substrate cleaning device while being sucked and held. Then, after the glass substrate G is cleaned by the cleaning device, it is transported to the next process (not shown).
  • the high-pressure water supply devices 18, 18 are arranged on opposite two sides of the glass substrate G conveyed to the peeling area 28, and the high-pressure water supply nozzles 16, 16, 16. It is arranged at a predetermined interval along the boundary between the side and the suction pad.
  • the high-pressure water 30 sprayed from the high-pressure water supply nozzles 16, 16... As shown in FIG. It is generated by sucking and pumping with the high-pressure water pump 36.
  • the high-pressure water 30 is normally sprayed from the high-pressure water supply nozzles 16, 16... To the side of the glass substrate G through the header pipe 38 at a pressure of 0.1 to 0.3 MPa.
  • a plurality of high-pressure water supply nozzles 16, 16... are arranged at a pitch of 100 to 150 mm along the two opposite sides. Further, the high-pressure water supply nozzles 16, 16... Are swung horizontally along the sides of the glass substrate G by a horizontal rocking mechanism (not shown).
  • the injection angle and the injection position of the high-pressure water 30 by the high-pressure water supply nozzles 16, 16... are very important. In order to effectively act on the boundary portion 40 between the portion and the adsorbing sheet 22, it is preferably set in the range of 0 to 40 degrees with respect to the horizontal glass substrate G, preferably about 30 degrees. Further, the high pressure water supply nozzles 16, 16... Are provided with a vertical tilt mechanism, and the glass substrate G peels off from the adsorption sheet 22 during the injection of the high pressure water 30. The inclination angle of the high-pressure water supply nozzle 16 (pressure angle of high-pressure water) can be adjusted so that the high-pressure water 30 reaches the bonding boundary of Even better.
  • the initial ejection position is not limited to the boundary 40 between the edge of the glass substrate and the suction sheet, and may be set so as to aim at the suction sheet 22 just before that.
  • the high pressure water supply nozzle 16 is swung horizontally by the horizontal rocking mechanism, the high pressure water 30 is jetted over the entire boundary 40, so that the edge of the glass substrate G is evenly peeled off. I can do it.
  • a plurality of high-pressure water supply nozzles 16, 16... Arranged along two opposite sides of the glass substrate G are capable of simultaneously injecting high-pressure water 30. Preference for management (control)
  • a plurality of suction pads 12, 12,... are arranged above the glass substrate G as shown in FIG. These suction pads 12, 12... Need not have an equal pitch in the force arrangement arranged in a grid pattern on the frame 42 of the glass substrate transfer device 14.
  • the frame 42 is moved downward along the guides 44, 44... So that the suction pads 12, 12... Hit the surface of the glass substrate G (the surface opposite to the suction sheet 22).
  • the descending movement is stopped by a lifting device (not shown) at the timing immediately before contact.
  • the appropriate size (for example, ⁇ 50 to 80 mm) and the number of the suction pads 12 are selected according to the size and thickness of the glass substrate G.
  • the suction pads 12, 12... are connected to the piston 48 of the independent air cylinder 46, and the suction pad 12 is moved up and down by the expansion and contraction of the piston 48.
  • the suction pad 12 is pressed and brought into contact with the glass substrate G by the lowering operation of the suction pad 12, and the glass substrate G is sucked by the suction pad 12, and the glass substrate G is peeled off from the suction sheet 22 by the upward movement of the suction pad 12. Is done.
  • FIG. 4 is a block diagram showing a control system of the suction pad 12.
  • FIG. 2 to 4 the four suction pads 12, 12,... That separate the four corners of the glass substrate G are connected to the pad A group 50, and the upper force excluding the pad A group 50 in FIG.
  • pads D group 56 are pad B group 52, the second row from the top and the second row of suction pads 12, 1 2 ... are the pad c group 54, the third row from the top, and so on.
  • the suction pads 12, 12 in the third row from the bottom are referred to as pads D group 56 for convenience.
  • solenoid valves 58 are provided for each of the air cylinders 46, 46 in the pad A group 50 to D group 56 as shown in FIG. 60, 62, 64 force S, and the opening / closing timing of these solenoid valves 58, 60, 62, 64 is time-controlled by the control unit (pad moving means) 66.
  • the force at which the adsorption power is eliminated by the high-pressure water 30 is also controlled so as to be moved up and down the pad A group 50 to D group 56 in order at predetermined time intervals.
  • the glass substrate G can be prevented from being damaged by forcibly raising the portion where the adsorption force remains.
  • electropneumatic regulators 68, 70, 72, and 74 are connected to a pump 76 and are controlled by a controller 66.
  • the controller 66 controls the electropneumatic regulators 68, 70, 72, 74, respectively, and gradually increases the amount of air supplied to the air cylinders 46, 46 ... It can be raised gradually.
  • the suction pads 12, 12,... are connected to a vacuum pump 82 via a valve 78 that is controlled to open and close by a control unit 66 and an electropneumatic regulator 80.
  • the air pressure of the suction pad 12 is controlled by the electropneumatic regulator 80.
  • the timing of raising the suction pad 12 and the raising force can be set to an arbitrary value by the operator by operating a switch (not shown) such as a touch panel provided on the operation panel of the control unit 66.
  • high-pressure water 30 is sprayed from all the high-pressure water supply nozzles 16, 16 ... toward two opposite sides of the glass substrate G (see Fig. 2 (A)). The edges of the two sides are separated by pressure.
  • the control unit 66 controls the electromagnetic valve 58 shown in FIG. 4 and moves the pad A group 50 holding the corner 1 of the glass substrate G as shown in FIG. The corner 1 of G is separated from the suction sheet 22 (see FIG. 3 (A)).
  • control unit 66 controls the opening of the electromagnetic valve 60 in FIG. 4, and as shown in FIG. 2C, the pad B group 52 that holds the edge 2 of the glass substrate G by suction is moved upward in the peeling direction. Then, the edge 2 of the glass substrate G is separated from the suction sheet 22 (see FIG. 3B).
  • control unit 66 controls to open the electromagnetic valve 62 in FIG. 4, and moves the nozzle / node C group 54 upward in the peeling direction, so that the portion located inside the edge 2 of the glass substrate G. 3 is peeled from the suction sheet 22 (see Fig. 3 (C)).
  • control unit 66 controls the opening of the electromagnetic valve 64 of FIG. 4 to move the pad D group 56 upward in the peeling direction, and the central portion 4 of the glass substrate G is separated from the suction sheet 22 ( (See Figure 3 (D)). Thereby, the glass substrate G completely peels from the adsorption sheet 22.
  • the glass substrate peeling apparatus 10 of this example instead of the compressed air that is dispersed when it is far away from the nozzle, stripping is performed with the high-pressure water 30 that is difficult to disperse even when it is far away. Nozzle force Even if the nozzle force is far away, a sufficient peeling effect can be obtained.
  • the glass substrate G can be efficiently and stably peeled from the suction sheet 22.
  • the compressed air force has been changed to high-pressure water as a medium for separating the glass substrate G, noise due to the release of compressed air to the atmosphere can be reduced.
  • Work environment is improved. Specifically, when stripping with compressed air, the noise level due to release to the atmosphere is 90 dB or higher, and the noise is greatly reduced by changing to high pressure water that can be treated as an earplug workplace by the Labor Standards Act. Cease to be a specific workplace.
  • the time control of the force for moving the nodes A group 50 to D group 56 in the peeling direction is performed for each of the pads A group 50 to D group 56.
  • the glass substrate G is separated from the suction sheet 22 in order from the corner 1 to the end 2 and from the end 2 to the center 4 of the glass substrate G. On the other hand, it can be peeled off more efficiently and stably.
  • the rising movement start timing of the suction pad 12 is not limited to control by time management, and the position of the glass substrate G sucked by the pad group in the upward movement of the previous group of pad groups is not limited.
  • a sensor for detecting whether or not the film has been completely peeled may be provided, and control may be performed so that the next pad group is raised when the sensor detects the peeling.
  • a pre-peeling area 26 by the pre-peeling apparatuses 24 and 24 is provided on the upstream side of the peeling area 28.
  • the pre-peeling device 24 includes compressed air supply nozzles 84, 84... For supplying a large amount of compressed air, and a water supply nozzle force for supplying water to the tips of the compressed air supply nozzles 84 and mixing the compressed air with water.
  • These compressed air supply nozzles 84, 84... Eject compressed air mixed with water toward the boundary portion 40 between the glass substrate G and the adsorption sheet 22 in the same manner as the high pressure water supply nozzle 16.
  • the water supply nozzle may have a double tube structure with the compressed air supply nozzles 84, 84,... Or may be provided independently at the tip of the compressed air supply nozzles 84, 84,. Also, the compressed air supply nozzles 84, 84... Upstream of the pre-peeling device 24 may eject only compressed air! ,.
  • the glass substrate G that has been transported to the pre-peeling area 26 is compressed with the compressed air supply nozzles 84, 84... 2 are separated from the suction sheet 22 and the adsorption of the edges 2 and 2 of the glass substrate G to the suction sheet 22 is released by the water mixed in the compressed air. Thereafter, the glass substrate G is transported to the peeling area 28, and the above-described stripping is performed.
  • the adsorption of the edges 2 and 2 of the glass substrate G to the suction sheet 22 is canceled in advance, whereby the peeling process in the peeling area 28 is performed.
  • the tact-up can be further improved and the glass substrate G can be more efficiently and stably peeled from the suction sheet.
  • the present invention is particularly suitable for peeling a thin large plate-like body such as a glass substrate for FPD from an adsorbing sheet.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

　本発明は、ガラス基板を吸着シートから効率よく安定して剥離することができるガラス基板の剥離装置を提供する。 　吸着シートに吸着保持されている板状体を、前記吸着シートから剥離させる板状体の剥離方法において、前記吸着シートに吸着保持された前記板状体を、吸着シートと反対の面から複数の吸着パッドによって保持し、前記板状体と前記吸着シートの境界部に向けて高圧水供給ノズルから高圧水を噴出することにより、前記板状体縁部を吸着シートから離間させ、離間した前記板状体縁部と前記吸着シートとの間の隙間に更に前記高圧水を供給して吸着シートに対する板状体の吸着を解除しながら、前記吸着パッドを剥離方向に移動させることにより、前記板状体を前記吸着シートから剥離させることを特徴とする。

Description

明 細 書
板状体の剥離方法及びその装置
技術分野
[0001] 本発明は板状体の剥離方法及びその装置に係り、特に連続研磨ラインの研磨ェ 程で研磨加工が終了したガラス基板等の板状体、特に液晶ディスプレイ用等に使用 される FPD (Flat Panel Display)用のガラス基板を、吸着シートから剥離させるため の板状体の剥離方法及びその装置に関する。
背景技術
[0002] 液晶ディスプレイ用等に使用される FPD用のガラス基板は、フロート法と称される板 ガラス製法により溶融ガラスを板状に成形し、これを連続研磨ラインの研磨工程にお いて、表面の微小な凹凸やうねりを研磨除去することにより、厚さ 0.5〜： Llmmの薄 板状に製造される。
[0003] また、ガラス基板は、ワーク保持テーブルに接着された吸着シートに吸着保持され て研磨ラインを搬送されるため、研磨加工が終了したガラス基板を、研磨ラインの基 板剥離エリアで吸着シートから板取り（剥離)する必要がある。しかし、上部移載機と 称される搬送装置の剥離方向への力だけで剥離しょうとすると、前記吸着シートの吸 着保持力に対して剥離方向への力が強い場合には、一度に力をかけてしまうとガラ ス基板が吸着シートの吸着保持力に負けて破損してしまうことがあるので、力を徐々 に上げる必要があり、また弱すぎる場合には剥離に長時間を要してしまう。よって、上 部移載機のみによる剥離は、スループットを上げる観点から困難であった。
[0004] そこで従来は、特許文献 1の如ぐガラス基板の端部と吸着シートとの境界部に、圧 縮エア供給ノズルに水を供給して、水を混ぜた通常 0. 3〜0. 5MPaの圧力の圧縮 エアを噴射し、圧縮エアの圧力によってガラス基板の端部を吸着シートから離間させ 、この後、離間した端部と吸着シートとの間の隙間に前記圧縮エアを供給し、この圧 縮エアに混在する水により吸着シートの吸着力を解除することにより、ガラス基板を吸 着シートから効率よく剥離させて 、た。
特許文献 1：特開 2000— 94319号公報 発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] し力しながら、特許文献 1の剥離装置は、ノズル周辺では圧縮エアが高い剥離能力 を発揮する力 例えばノズルから 500mm以上離れると、圧縮エアが分散するため剥 離能力が低下するという問題があった。したがって、ガラス基板の対向する辺部に沿 つてノズルを対向配置しても、板幅が 1000mmを超えるような大型のガラス基板では 、十分な剥離効果を得ることができないという欠点があった。一方で近年のガラス基 板は、ディスプレイの大画面化に伴い、一辺が 1500mmを超えるような大型基板の 製造が要求されている。また、圧縮エアは、大気開放に伴う騒音の問題があり、作業 環境改善の点から騒音を低減した 、と 、う要望もあった。
[0006] 本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、研磨加工終了したガラス基板 を吸着シートから効率よく安定して剥離することができるガラス基板の剥離方法及び 剥離装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0007] 本発明は、前記目的を達成するために、吸着シートに吸着保持されている板状体 を、前記吸着シートから剥離させる板状体の剥離方法において、前記吸着シートに 吸着保持された前記板状体を、吸着シートと反対の面力 複数の吸着パッドによって 保持し、前記板状体と前記吸着シートの境界部に向けて高圧水供給ノズル力 高圧 水を噴出することにより、板状体縁部を吸着シートから離間させ、離間した前記板状 体縁部と前記吸着シートとの間の隙間に更に前記高圧水を供給して吸着シートに対 する板状体の吸着を解除しながら、前記吸着パッドを剥離方向に移動させることによ り、前記板状体を前記吸着シートから剥離させることを特徴とする板状体の剥離方法 (以下、本発明の剥離方法という）を提供する。
[0008] また、本発明は、前記目的を達成するために、吸着シートに吸着保持されている板 状体を、前記吸着シートから剥離させる板状体の剥離装置において、前記吸着シー トに吸着保持された前記板状体を、吸着シートと反対の面から保持する複数の吸着 パッドと、前記板状体と前記吸着シートの境界部に向けて高圧水を噴出することによ り、板状体縁部を吸着シートから離間させる高圧水供給ノズルと、離間した前記板状 体縁部と前記吸着シートとの間の隙間に更に前記高圧水を供給して吸着シートに対 する板状体の吸着を解除しながら、前記吸着パッドを剥離方向に移動させるパッド移 動手段と、を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置 (以下、本発明の剥離装置と いう）を提供する。
[0009] 本発明によれば、エアノズル力 遠く離れると分散する圧縮エアに代えて、遠く離れ ても分散しにくい高圧水により板剥がしを実施するので、ノズルから遠く離れた位置 においても剥離効果を得ることができる。よって、大型のガラス基板であってもガラス 基板を吸着シートから効率よく安定して剥離することができる。また、ガラス基板を剥 離させる媒体として、圧縮エア力も高圧水に変更したので、圧縮エアの大気開放によ る騒音を低減でき、作業環境が改善される。なお、高圧水は不回避的な空気以外の 空気を含まな 、ことが好まし 、。
[0010] 本発明の剥離方法は、前記目的を達成するために、吸着シートに吸着保持されて いる板状体を、前記吸着シートから剥離させる板状体の剥離方法において、前記板 状体と前記吸着シートの境界部に向けて圧縮エア供給ノズル力 圧縮エアを噴出す ることにより、板状体の縁部を少なくとも一部分において吸着シートから離間させると ともに、離間した前記板状体と前記吸着シートとの間の隙間に水供給ノズル力も水を 供給して吸着シートに対する板状体の吸着を解除した後、本発明の剥離方法を実行 することが好ましい。
[0011] また、本発明の剥離装置は、前記目的を達成するために、本発明の剥離装置の前 段に、前記板状体と前記吸着シートの境界部に向けて圧縮エアを噴出することにより 、板状体の縁部を少なくとも一部分において吸着シートから離間させる圧縮エア供給 ノズルと、離間した前記板状体と前記吸着シートとの間の隙間に水を供給して吸着シ ートに対する板状体の吸着を解除する水供給ノズルと、を備えていることが好ましい。
[0012] 本発明のこのような実施形態によれば、前記剥離工程に先行して、板状体と吸着シ ートの境界部に向けて圧縮エア供給ノズル力 圧縮エアを噴出し、板状体の縁部を 少なくとも一部分において吸着シートから離間させ、離間した板状体と吸着シートとの 間の隙間に水供給ノズル力 水を供給し、吸着シートに対する板状体の吸着を一部 解除しておくことが可能となる。これにより、前記剥離工程においてタクトアップを図る ことができるとともにガラス基板を吸着シートに対してより安定して剥離させることがで きる。
[0013] 本発明の剥離方法は、前記吸着パッドは複数配置されるとともに、複数の吸着パッ ドを剥離方向へ移動させる力がパッド移動手段により吸着パッド毎に時間制御される ことが好ましい。
[0014] 本発明の剥離装置は、前記吸着パッドは複数配置されるとともに、複数の吸着パッ ドを剥離方向へ移動させる力を吸着パッド毎に時間制御するパッド移動手段を備え ていることが好ましい。
[0015] 本発明の前記パッド移動手段によれば、複数の吸着パッドによってガラス基板を吸 着保持する場合に、これらの吸着パッドを剥離方向へ一斉に移動するのではなぐ剥 離した箇所力 順番に剥離方向に移動するように、複数の吸着パッドの剥離方向へ 移動させる力を、パッド移動手段によって吸着パッド毎に時間制御することが可能と なる。これにより、ガラス基板を吸着シートから効率よく安定して剥離することができる
[0016] 本発明の剥離方法及び本発明の剥離装置は、上記パッド移動手段により、まず、 前記板状体の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次に、板状体 の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次いで、板状体の中央部 を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させるように、複数の吸着パッドを剥離 方向へ移動させる力の時間制御を吸着パッド毎に行 、、前記板状体を板状体の端 部から中央部に向力つて順に吸着シートから引き離すことが好ましい。
[0017] 本発明において上記パッド移動手段は、まず、板状体の角部を吸着保持する吸着 パッドを剥離方向に移動させ、次に、板状体の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥 離方向に移動させ、次いで、板状体の中央部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向 に移動させるように、複数の吸着パッドを剥離方向へ移動させる力の時間制御を吸 着パッド毎に行い、前記板状体を板状体の端部から中央部に向力つて順に吸着シ ートから引き離すようにしたので、ガラス基板を吸着シートに対してより一層効率よく 安定して剥離させることができる。
発明の効果 [0018] 本発明に係る板状体の剥離方法及びその装置によれば、空気中で圧力損失の高 い圧縮エアに代えて空気中で圧力損失の少ない高圧水により板剥がしを実施する ので、ノズル力も遠く離れた位置においても剥離効果を得ることができる。よって、加 ェ終了したガラス基板を吸着シートから効率よく安定して剥離することができる。
[0019] また、本発明によれば、この剥離工程に先行して、板状体と吸着シートの境界部に 向けて圧縮エア供給ノズル力 圧縮エアを噴出し、板状体の縁部を少なくとも一部分 において吸着シートから離間させるとともに、離間した板状体と吸着シートとの間の隙 間に、水を混入させた圧縮エアを噴射し、吸着シートに対する板状体の吸着を一部 解除しておくようにしたので、剥離工程においてタクトアップを図ることができるととも にガラス基板を吸着シートに対して更に効率よく安定して剥離させることができる。
[0020] 更に、本発明によれば、吸着パッドを複数配置するとともに、高圧水供給ノズルを板 状体の対向する二辺の縁部に沿って複数配置し、パッド移動手段によって、まず、板 状体の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次に、前記板状体の 対向する二辺の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次いで、板 状体の中央部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させるように、複数の吸 着パッドを剥離方向へ移動させる力の時間制御を吸着パッド毎に行 、、前記板状体 を板状体の対向する二辺の端部から中央部に向力つて順に吸着シートから引き離す ようにしたので、ガラス基板を吸着シートに対してより一層効率よく安定して剥離させ ることがでさる。
図面の簡単な説明
[0021] [図 1]本発明の好ましい実施の形態のガラス基板剥離装置の全体構造を示した斜視 図。
[図 2]吸着パッドの上昇動作を模式的に示した要部拡大図。
[図 3]吸着パッドの上昇移動により剥離された箇所を斜線で示した説明図。
[図 4]吸着パッドの制御系を示したブロック図。
符号の説明
[0022] 1…角部、 2…縁部、 3…内側に位置する部分、 4…中央部、 10…ガラス基板剥離 装置、 12· ··吸着パッド、 14· ··ガラス基板移載装置、 16…高圧水供給ノズル、 18· ·· 高圧水供給装置、 20···ワーク保持テーブル、 22···吸着シート、 24···プレ剥離装置 、 26···プレ剥離エリア、 28···剥離エリア、 30···高圧水、 32——時受けタンク、 34··· 水、 36···高圧水ポンプ、 38···ヘッダー管、 40···境界部、 42· "フレーム、 44· "ガイド 、 46···エアーシリンダ、 48·· 'ピストン、 50···ノ ゝノド、 A 、 52"-ノ ノド：6|¥、 54···ノ ゝノド C群、 56-"ノ ッド。群、 58、 60、 62、 64···電磁弁、 66···制御部、 68、 70、 72、 74 ···レギユレ一夕、 76···エアーポンプ、 78···ノ ノレブ、 80··· ¾レギユレ一夕、 82···ノ キュームポンプ、 84···圧縮エア供給ノズル
発明を実施するための最良の形態
[0023] 以下添付図面に従って、本発明に係る板状体の剥離方法及びその装置の好まし い実施の形態 (以下、本例とする）について詳説する。
[0024] 図 1は、本例のガラス基板剥離装置 10の全体構造を示した斜視図である。ガラス基 板剥離装置 10は、ガラス基板 Gの連続式研磨装置（図示せず)とガラス基板洗浄装 置（図示せず)とをインライン化させる装置であり、多数の吸着パッド 12、 12…を備え たガラス基板移載装置 14及び多数の高圧水供給ノズル 16、 16…を備えた高圧水 供給装置 18、 18から構成される。このガラス基板剥離装置 10は、前記連続式研磨 装置の出口に配置され、また、ガラス基板移載装置 14は、剥離したガラス基板 Gを前 記ガラス基板洗浄装置に搬送することができる。
[0025] なお、本例のガラス基板剥離装置 10は、液晶ディスプレイに使用される厚み 0. 5 〜1. 1mmのガラス基板 Gをワーク保持テーブル 20の吸着シート 22から剥離させる 装置を対象とするが、これに限定されるものではなぐ吸着シートに吸着保持された 板状体を吸着シートから剥離させる装置であれば適用可能である。また、実施の形 態のガラス基板 Gは、例えば 1500 X 1800mmの大型基板である力 サイズはこれ に限定されるものではなぐそれ以上のサイズ又は幅が 1000mm以下のものでもよ い。但し、後述する高圧水により剥離作用を発生させる実施の形態のガラス基板剥 離装置 10は、圧縮エアでは安定した剥離を達成することが困難な幅 1000mm以上 のガラス基板の剥離に好適である。
[0026] まず、連続研磨ラインにおけるガラス基板 Gの流れにっ 、て説明する。前記連続式 研磨装置で研磨されたガラス基板 Gは、ワーク保持テーブル 20に接着された吸着シ ート (例えば、多孔質ウレタンシート） 22に真空吸着保持された状態で、研磨装置の 出口から 1枚ずつ又は複数枚ずつ搬出される。そして、ガラス基板 Gは、ガラス基板 剥離装置 10の上流側に配置されたプレ剥離装置 24、 24によるプレ剥離エリア 26を 通過してガラス基板剥離装置 10による剥離エリア 28に搬送される。剥離エリア 28に 搬送されたガラス基板 Gは、ガラス基板移載装置 14の吸着パッド 12、 12· ··に吸着さ れて吸着シート 22から剥離された後、吸着パッド 12、 12· ··によって吸着保持された 状態で、ガラス基板移載装置 14により前記基板洗浄装置の載置台に供給される。そ して、ガラス基板 Gは、前記洗浄装置によって洗浄された後、図示しない次工程に搬 送される。
[0027] 高圧水供給装置 18、 18は、剥離エリア 28に搬送されたガラス基板 Gの対向する二 辺部に配置され、各々の装置 18、 18の高圧水供給ノズル 16、 16· ··がその辺部と吸 着パッドの境界部に沿って所定の間隔をもって配置されている。
[0028] 図 2 (A)の如ぐ高圧水供給ノズル 16、 16· ··からガラス基板 Gの辺部に向けて噴射 される高圧水 30は、一時受けタンク 32に貯留された水 34を高圧水ポンプ 36にて吸 引し圧送することにより発生する。この高圧水 30は、ヘッダー管 38を経由して各高圧 水供給ノズル 16、 16· ··からガラス基板 Gの辺部に向けて通常 0. 1〜0. 3MPaの圧 力で噴射される。
[0029] 高圧水供給ノズル 16、 16· ··は、例えば 1500mmX 1800mmサイズの長方形ガラ ス基板 Gの場合、その対向する二辺に沿って 100〜150mmピッチで複数配置され る。また、高圧水供給ノズル 16、 16· ··は、不図示の水平揺動機構によってガラス基 板 Gの辺部に沿って水平方向に揺動される。
[0030] 高圧水供給ノズル 16、 16· ··による高圧水 30の噴射角度や噴射位置は非常に重 要であり、剥離開始時の噴射角度は、高圧水 30の圧力がガラス基板 Gの端部と吸着 シート 22との境界部 40に有効に作用するように、水平なガラス基板 Gに対して 0〜4 0度の範囲、好ましくは約 30度に設定されることが好ましい。更に、高圧水供給ノズ ル 16、 16…に上下傾動機構を設け、高圧水 30の噴射中にガラス基板 Gが吸着シー ト 22から剥離して 、くに従 、、ガラス基板 Gと吸着シート 22との接着境界部に高圧水 30が届くように、高圧水供給ノズル 16の傾斜角度 (高圧水の噴射角度）が調整でき るとなおよい。
[0031] なお、開始当初の噴射位置は、ガラス基板の端部と吸着シートとの境界部 40に限 らず、その少し手前の吸着シート 22を狙うように設定してもよい。更に、高圧水供給ノ ズル 16を前記水平揺動機構によって水平方向に揺動させることによって、境界部 40 全域に高圧水 30が噴射されるので、ガラス基板 Gの縁部を均等に剥離することがで きる。また、ガラス基板 Gの対向する二辺に沿って配置された複数台の高圧水供給ノ ズル 16、 16· ··は、高圧水 30を同時に噴射すること力 後述する吸着パッド 12の上 昇時間管理 (制御)の観点力 好ま 、。
[0032] 吸着パッド 12、 12· ··は、図 1に示すようにガラス基板 Gの上方に複数個配置される 。これらの吸着パッド 12、 12· ··は、ガラス基板移載装置 14のフレーム 42に碁盤目状 に配置されている力 配置は等ピッチでなくてもよい。このフレーム 42は、ガラス基板 Gの剥離時にガイド 44、 44· ··に沿って下降移動され、吸着パッド 12、 12· ··がガラス 基板 Gの表面（吸着シート 22と反対の面）に当接する直前のタイミングでその下降移 動が、不図示の昇降装置によって停止される。
[0033] 吸着パッド 12のサイズに関しては、サイズが小さいと、ガラス基板 Gの保持力が不 足して吸着パッド 12、 12· ··の個数が多くなり不経済となる。また、吸着パッド 12のサ ィズが大き過ぎると、真空引きにより吸着中央部のガラス基板 Gの変形が大きくなるた め、場合によってはガラス基板 Gの損傷の原因になる。このような事情から、吸着パッ ド 12の適正なサイズ (例えば、 φ 50〜80mm)及び個数は、ガラス基板 Gの大きさ及 び厚み等によって選定されて 、る。
[0034] 吸着パッド 12、 12· ··は、それぞれ独立したェアーシリンダ 46のピストン 48に連結さ れ、そのピストン 48の伸縮動作により吸着パッド 12が昇降移動される。吸着パッド 12 の下降動作によって、吸着パッド 12がガラス基板 Gに押圧当接されて吸着パッド 12 にガラス基板 Gが吸着され、吸着パッド 12の上昇動作によってガラス基板 Gが吸着シ ート 22から剥離される。
[0035] ところで、吸着パッド 12、 12· ··の上昇動作は、ガラス基板 G全域の吸着パッド 12、 1 2"·を一斉に上昇動作させるのではなく、ガラス基板 Gの角部から中央に向けて順番 に上昇動作するように制御される。 [0036] 図 2 (A)〜（C)は、吸着パッド 12、 12· ··の上昇動作を模式的に示した要部拡大図 、図 3 (A)〜(D)は、吸着パッド 12、 12· ··の上昇移動により剥離された箇所を斜線で 示した説明図、図 4は吸着パッド 12の制御系を示したブロック図である。なお、図 2〜 図 4において、ガラス基板 Gの四隅部を離間させる 4台の吸着パッド 12、 12· ··をパッ ド A群 50、図 3においてパッド A群 50を除く上力も一列目及び下から一列目の吸着 パッド 12、 12· ··をパッド B群 52、上から二列目及び下から二列目の吸着パッド 12、 1 2…をパッド c群 54、上から三列目及び下から三列目の吸着パッド 12、 12· ··をパッド D群 56とそれぞれ便宜上称する。
[0037] これらのパッド A群 50〜D群 56がそれぞれ独立して動作するように、図 4の如くパッ ド A群 50〜D群 56のエアーシリンダ 46、 46· ··毎に電磁弁 58、 60、 62、 64力 S設けら れるとともに、これらの電磁弁 58、 60、 62、 64の開閉タイミングが制御部 (パッド移動 手段） 66によって時間管理されている。すなわち、高圧水 30によって吸着力を無くし た箇所力も順番にパッド A群 50〜D群 56を所定時間間隔で上昇移動されるように制 御されている。これにより、吸着力が残存する箇所を無理に上昇させることによるガラ ス基板 Gの破損を防止できる。
[0038] また、ノッド A群 50〜D群 56のエアーシリンダ 46、 46· ··ίま、電磁弁 58、 60、 62、 6 4と電空レギユレータ 68、 70、 72、 74を介してエアーポンプ 76に接続され、これらの 電空レギユレータ 68、 70、 72、 74が制御部 66によって各々制御されている。すなわ ち、制御部 66によって電空レギユレータ 68、 70、 72、 74を各々制御し、ェアーシリン ダ 46、 46…に供給するエア量を徐々に増加させることにより、吸着パッド 12の上昇 する力を徐々に上げることができる。このような力制御を実行することによって、最初 力も無理に上昇する力を上げることに起因するガラス基板 Gの損傷問題を回避でき、 且つ、剥離に要する必要な時間を最低限に短縮することができる。
[0039] 一方、吸着パッド 12、 12· ··は、制御部 66によって開閉制御されるバルブ 78と電空 レギユレータ 80とを介してバキュームポンプ 82に接続されている。吸着パッド 12のェ ァ圧の制御は、電空レギユレータ 80によって行われている。吸着パッド 12の上昇のタ イミングと上昇する力は、制御部 66の操作盤に設けられたタツチパネル等のスィッチ (不図示)を操作することで、オペレータが任意の値に設定することができる。 [0040] 次に、前記の如く構成されたガラス基板剥離装置 10の作用について説明する。
[0041] 吸着シート 22に吸着されたガラス基板 Gが剥離エリア 28に搬送されて停止すると、 ガラス基板移載装置 14のフレーム 42が下降移動していき、吸着パッド 12、 12· ··がガ ラス基板 Gの表面に当接する直前のタイミングでその下降移動が停止する。次に、ェ アーシリンダ 46のピストン 48を伸長し、吸着パッド 12、 12…を下降移動させてガラス 基板 Gに押圧当接する。そして、吸着パッド 12、 12· ··のエア圧を電空レギユレータ 8 0によって制御し、吸着パッド 12、 12· ··のエア圧をある程度の時間をかけて前記設 定圧に高める。これにより、全ての吸着パッド 12、 12· ··がガラス基板 Gに吸着する。
[0042] この後、全ての高圧水供給ノズル 16、 16· ··からガラス基板 Gの対向する二辺部に 向けて高圧水 30を噴射（図 2 (A)参照）させ、高圧水 30の圧力によって二辺部の縁 部を離間させる。そして、制御部 66が図 4の電磁弁 58を制御し、図 2 (B)の如ぐガラ ス基板 Gの角部 1を吸着保持するパッド A群 50を剥離方向に上昇移動させ、ガラス 基板 Gの角部 1を吸着シート 22から離間する（図 3 (A)参照)。
[0043] 次に、制御部 66は図 4の電磁弁 60を開放制御し、図 2 (C)の如くガラス基板 Gの縁 部 2を吸着保持するパッド B群 52を剥離方向に上昇移動させ、ガラス基板 Gの縁部 2 を吸着シート 22から離間する（図 3 (B)参照)。
[0044] 次いで、制御部 66は図 4の電磁弁 62を開放制御し、ノ¾ /ド C群 54を剥離方向に上 昇移動させ、ガラス基板 Gの縁部 2よりも内側に位置する部分 3を吸着シート 22から 剥離する（図 3 (C)参照)。
[0045] そして最後に、制御部 66は図 4の電磁弁 64を開放制御し、パッド D群 56を剥離方 向に上昇移動させ、ガラス基板 Gの中央部 4を吸着シート 22から離間する（図 3 (D) 参照)。これにより、吸着シート 22からガラス基板 Gが完全に剥離する。
[0046] このように本例のガラス基板剥離装置 10によれば、ノズルから遠く離れると分散す る圧縮エアに代えて、遠く離れても分散しにくい高圧水 30により板剥がしを実施する ので、ノズル力 遠く離れた位置にぉ 、ても剥離効果を十分に得ることができる。
[0047] よって、大型のガラス基板 Gであってもガラス基板 Gを吸着シート 22から効率よく安 定して剥離することができる。また、ガラス基板 Gを剥離させる媒体として、圧縮エア 力も高圧水に変更したので、圧縮エアの大気開放による騒音を低減することができ、 作業環境が改善する。具体的には、圧縮エアによる板剥しでは、大気開放による騒 音レベルが 90dB以上であり、労働基準法で耳栓職場扱いとなる力 高圧水に変更 することで、騒音が大幅に低減するので、特定職場でなくなる。
[0048] また、本例のガラス基板剥離装置 10によれば、ノ ッド A群 50〜D群 56を剥離方向 へ移動させる力の時間制御をパッド A群 50〜D群 56毎に行 ヽ、ガラス基板 Gをガラ ス基板 Gの角部 1から端部 2に、そして端部 2から中央部 4に向かって順に吸着シート 22から離間させるようにしたので、ガラス基板 Gを吸着シート 22に対して更に効率よ く安定して剥離させることができる。
[0049] なお、吸着パッド 12の上昇移動開始タイミングは、時間管理による制御に限定され るものではなぐ前群のパッド群の上昇移動において、そのパッド群に吸着されたガ ラス基板 Gの箇所が完全に剥離されたかを検知するセンサを設け、このセンサが剥 離を検知した際に次のパッド群を上昇させるように制御してもよい。
[0050] ところで、本例のガラス基板剥離装置 10は、剥離エリア 28の上流側にプレ剥離装 置 24、 24によるプレ剥離エリア 26が設けられている。プレ剥離装置 24は、多数の圧 縮エアを供給する圧縮エア供給ノズル 84、 84· ··と前記圧縮エア供給ノズル 84先端 に水を供給して圧縮エアに水を混入させる水供給ノズル力 構成され、これらの圧縮 エア供給ノズル 84、 84· ··は、高圧水供給ノズル 16と同様にガラス基板 Gと吸着シー ト 22の境界部 40に向けて水の混入した圧縮エアを噴出する。前記水供給ノズルは、 圧縮エア供給ノズル 84、 84· ··と二重管構造であってもよいし、圧縮エア供給ノズル 8 4、 84…の先端部に独立して設けてもよい。また、プレ剥離装置 24の上流部の圧縮 エア供給ノズル 84、 84· ··は圧縮エアのみを噴出させるようにしてもよ！、。
[0051] したがって、プレ剥離エリア 26に搬送されてきたガラス基板 Gは、圧縮エア供給ノズ ル 84、 84…力 の水の混入した圧縮エアによって、ガラス基板 Gの対向する二辺の 縁部 2、 2が吸着シート 22から離間させるとともに、前記圧縮エアに混在する水によつ て吸着シート 22に対するガラス基板 Gの縁部 2、 2の吸着が解除される。この後、ガラ ス基板 Gを剥離エリア 28に搬送し、前述した板剥がしを実行する。
[0052] このように、剥離エリア 28での剥離工程に先行して、吸着シート 22に対するガラス 基板 Gの縁部 2、 2の吸着を予め解除しておくことにより、剥離エリア 28での剥離工程 においてより一層のタクトアップを図ることができるとともにガラス基板 Gを吸着シート に対してより一層効率よく安定して剥離させることができる。
産業上の利用可能性
本発明は、特に FPD用のガラス基板のような薄厚の大型板状体を吸着シートから 剥離させるのに好適である。 なお、 2006年 1月 11曰に出願された曰本特許出願 2006— 004053号の明細書 、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開 示として、取り入れるものである。

Claims

請求の範囲
[1] 吸着シートに吸着保持されている板状体を、前記吸着シートから剥離させる板状体 の剥離方法において、
前記吸着シートに吸着保持された前記板状体を、吸着シートと反対の面力も複数 の吸着パッドによって保持し、
前記板状体と前記吸着シートの境界部に向けて高圧水供給ノズルから高圧水を噴 出することにより、前記板状体縁部を吸着シートから離間させ、
離間した前記板状体縁部と前記吸着シートとの間の隙間に更に前記高圧水を供給 して吸着シートに対する板状体の吸着を解除しながら、前記吸着パッドを剥離方向 に移動させることにより、前記板状体を前記吸着シートから剥離させることを特徴とす る板状体の剥離方法。
[2] 吸着シートに吸着保持されている板状体を、前記吸着シートから剥離させる板状体 の剥離方法において、
前記板状体と前記吸着シートの境界部に向けて圧縮エア供給ノズル力 圧縮エア を噴出することにより、板状体の縁部を少なくとも一部分において吸着シートから離間 させるとともに、離間した前記板状体と前記吸着シートとの間の隙間に水供給ノズル 力 水を供給して吸着シートに対する板状体の吸着を解除した後、請求項 1に記載 の剥離方法を実行することを特徴とする板状体の剥離方法。
[3] 前記吸着パッドは複数配置されるとともに、複数の吸着パッドを剥離方向へ移動さ せる力がノ¾ド移動手段により吸着パッド毎に時間制御されていることを特徴とする 請求項 1又は 2に記載の板状体の剥離方法。
[4] 前記板状体の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次に、板状 体の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ、次いで、板状体の中央 部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させるように、複数の吸着パッドを剥 離方向へ移動させる力の時間制御を吸着パッド毎に行 、、前記板状体を板状体の 端部から中央部に向かって順に吸着シートから引き離すことを特徴とする請求項 3に 記載の板状体の剥離方法。
[5] 吸着シートに吸着保持されている板状体を、前記吸着シートから剥離させる板状体 の剥離装置において、
前記吸着シートに吸着保持された前記板状体を、吸着シートと反対の面力も保持 する複数の吸着パッドと、
前記板状体縁部と前記吸着シートの境界部に向けて高圧水を噴出することにより、 板状体縁部を吸着シートから離間させる高圧水供給ノズルと、
離間した前記板状体と前記吸着シートとの間の隙間に更に前記高圧水を供給して 吸着シートに対する板状体の吸着を解除しながら、前記吸着パッドを剥離方向に移 動させるパッド移動手段と、
を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置。
[6] 請求項 5に記載の板状体の剥離装置の前段に、
前記板状体と前記吸着シートの境界部に向けて圧縮エアを噴出することにより、板 状体の縁部を少なくとも一部分において吸着シートから離間させる圧縮エア供給ノズ ルと、
離間した前記板状体と前記吸着シートとの間の隙間に水を供給して吸着シートに 対する板状体の吸着を解除する水供給ノズルと、
を備えて 、ることを特徴とする板状体の剥離装置。
[7] 前記吸着パッドは複数配置されるとともに、複数の吸着パッドを剥離方向へ移動さ せる力を吸着パッド毎に時間制御するパッド移動手段を備えたことを特徴とする請求 項 5又は 6に記載の板状体の剥離装置。
[8] 前記パッド移動手段は、前記板状体の角部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向 に移動させ、次に、板状体の縁部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させ
、次いで、板状体の中央部を吸着保持する吸着パッドを剥離方向に移動させることを 特徴とする請求項 7に記載の板状体の剥離装置。
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