DE69637246T2 - Leiterplatte zur montage elektronischer bauelemente - Google Patents

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Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Leiterplatte, die sowohl auf ihrer Oberseite als auch auf ihrer Rückseite Verbindungsklemmen aufweist und die mit elektronischen Schaltungsteilen bestückt werden soll.
  • Allgemeiner Stand der Technik
  • Eine Verdrahtungsplatte 21 zur Bestückung mit elektronischen Schaltungsteilen, wie in 8 gezeigt, ist zum Beispiel als herkömmliche gedruckte Leiterplatte zur Bestückung mit einem nackten Chip, wie einem Flip-Chip, oder einem Gehäuse, wie BGA (Bump Grid Array), bekannt.
  • Diese Art von Verdrahtungsplatte 21 weist ein Substrat 22 auf, das Leiterschichten aufweist, die sowohl auf der Oberseite als auch auf der Rückseite hauptsächlich durch ein Subtraktivverfahren ausgebildet sind. Ein Teilebestückungsbereich ist in der Mitte der Oberseite des Substrats 22 zur Verfügung gestellt. In diesem Bereich sind zahlreiche Anschlussflächen 23 in dichter Anordnung ausgebildet, welche eine erste Anschlussflächengruppe darstellen. Die einzelnen Anschlussflächen 23 entsprechen Kontakthöckern BP, die unten an einem nackten Chip C1 positioniert sind.
  • Zahlreiche Anschlussflächen 24, welche eine zweite Anschlussflächengruppe darstellen, sind auf dem umlaufenden Abschnitt der Rückseite des Substrats 22 ausgebildet. Auf diesen Anschlussflächen 24 sind Kontakthöcker 25 als hervorstehende Elektroden zur Verbindung mit einer Hauptplatine ausgebildet. Zahlreiche Durchgangslöcher 26 sind durch das Substrat 22 hindurch an dem umlaufenden Abschnitt des Substrats 22 ausgebildet. Diese Durchgangslöcher 26 sind mit den Anschlussflächen 23 auf der Oberseite mittels eines Leitermusters 27 verbunden, welches auf der Oberseite des Substrats 22 ausgebildet ist. Die Durchgangslöcher 26 sind auch mit den Anschlussflächen 24 auf der Rückseite mittels eines Leitermusters 28 verbunden, welches auf der Rückseite des Substrats 22 ausgebildet ist. Folglich ist auf dieser Verdrahtungsplatte 21 die erste Gruppe von Anschlussflächen 23 jeweils mit der zweiten Gruppe von Anschlussflächen 24 elektrisch verbunden.
  • Gemäß der herkömmlichen Verdrahtungsplatte 21, wie in 8 gezeigt, werden Drähte, die vorübergehend zu dem umlaufenden Abschnitt auf der Oberseite geführt sind, auf der Rückseite zu der Mitte zurückgeführt. Die Drähte zum Verbinden der Anschlussflächen 23 mit den Anschlussflächen 24 sind deswegen länger als notwendig, was zu einer geringen Verdrahtungseffizienz führt. Die Verwendung dieser Verdrahtungsplatte 21 erschwert es, die Geschwindigkeit von Signalübertragung zwischen elektronischen Schaltungsteilen, mit denen sie bestückt werden soll, und der Hauptplatine zu erhöhen.
  • Um die Anschlussflächen 23 und 24 durch die kürzesten Drähte miteinander zu verbinden, können die Durchgangslöcher 26 in dem mittleren Abschnitt der Leiterplatte, nicht ihrem umlaufenden Abschnitt, ausgebildet werden. In diesem Fall wird allerdings, wo keine Verdrahtung möglich ist, Totraum in dem Abschnitt ausgebildet, wo die Durchgangslöcher 26 ausgebildet sind. Infolgedessen würde die Leiterplatte selbst, um Verdrahtungsraum sicherzustellen, unweigerlich größer.
  • In Bezug auf eine andere herkömmliche Verdrahtungsplatte 60, die in 9 dargestellt ist, weisen Signalleitungen 62, die mit Anschlussflächen 61 verbunden sind, unabhängig von den Positionen der Signalleitungen, eine gegebene Breite auf. In diesem Fall ist es notwendig, die Breiten der Signalleitungen 62 kleiner einzurichten, so dass der Verdrahtungswiderstand wahrscheinlich ansteigen wird und eine Leitungsunterbrechung leicht auftreten kann. Dies reduziert die Zuverlässigkeit der Verdrahtungsplatte 60.
  • Es wird eine Lösung für diese Unzulänglichkeit vorgeschlagen, wonach jede Signalleitung 62 aus einem ersten Leiterbild 62b mit einer vorbestimmten Breite und einem zweiten Leiterbild 62a mit einer größeren Breite als derjenigen des ersten Leiterbilds 62a besteht, wie durch die strichpunktierten Linen in 9 gezeigt. In diesem Fall sind die ersten Leiterbilder 62b in einem Abschnitt hoher Verdrahtungsdichte angeordnet und die zweiten Leiterbilder 62a sind in einem Abschnitt niedriger Verdrahtungsdichte angeordnet, um die Verdrahtung zu erleichtern und das Auftreten einer Leitungsunterbrechung zu unterdrücken.
  • Weil das erste Leiterbild 62b in diesem Fall direkt mit dem zugehörigen zweiten Leiterbild 62a verbunden ist, werden zwei scharfe Ecken an dem verbundenen Abschnitt ausgebildet. Mechanische Spannung konzentriert sich wahrscheinlich an diesen Ecken, wodurch ein anderes Problem entsteht, nämlich dass sich Bruchstellen 64 leicht in einem permanenten Schutzlack 63 in der Nähe der Ecken bildet, wie in 10 gezeigt.
  • JP-A-3222348 offenbart eine Halbleitervorrichtung, welche Leiterbilder 2 aufweist. Jedes Leiterbild 2 weist ein sich verjüngendes Muster auf, das ein schmales Teilstück des Musters mit einem breiten Teilstück des Musters verbindet. Ein Metallvorsprung 4 ist mit dem schmalen Teilstück des Musters verbunden. Der Metallvorsprung dient zur Verbindung mit einer Halbleitervorrichtung. Die in diesem Dokument offenbarte Erfindung betrifft die Reduzierung des Abstandes zwischen einer Substratendfläche und einem Halbleiterelement.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • Mit der Absicht, die vorstehend erwähnten Probleme zu lösen, ist die vorliegende Erfindung erstellt worden, und es ist eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung, die Verdrahtungseffizienz zu verbessern, während gleichzeitig die Vergrößerung der gesamten Leiterplatte vermieden wird. Ferner besteht eine andere Aufgabe dieser Erfindung darin, die Verdrahtungseffizienz zu verbessern, während gleichzeitig eine Erhöhung bei dem Verdrahtungswiderstand und das Auftreten einer Leitungsunterbrechung unterdrückt wird und dem Auftreten von Rissen in einem permanenten Schutzlack vorgebeugt wird.
  • Um die vorstehenden Ziele zu erreichen, weist eine Leiterplatte zur Bestückung mit elektronischen Schaltungsteilen, gemäß einem Aspekt der Erfindung, eine Vielzahl von Verbindungsklemmen und eine Vielzahl von auf einer Isolierschicht ausgebildeten Signalleitungen auf, wobei die Vielzahl von Verbindungsklemmen in dichter Anordnung ausgebildet und jeweils mit den Signalleitungen verbunden sind, wobei die Verbindungsklemmen innere Anschlussflächen und äußere Anschlussflächen enthalten, welche sich in einem Teilebestückungsbereich befinden, wobei jede der Signalleitungen Folgendes aufweist: eine Vielzahl von Leiterbildern mit unterschiedlichen Breiten und ein sich verjüngendes Muster, welches die Leiterbilder mit den unterschiedlichen Breiten verbindet, so dass eine sich kontinuierlich ändernde Breite vorliegt, wobei jede der Signalleitungen in einem Bereich mit einer relativ hohen Verdrahtungsdichte, bei dem es sich um den mittleren Abschnitt der Leiterplatte handelt, eine geringere Breite hat als in einem Bereich mit einer relativ niedrigen Verdrahtungsdichte, bei dem es sich um den äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte handelt, wobei die inneren Anschlussflächen jeweils über ein Leiterbild mit einem in einem Zwischenraum liegenden und in der Leiterplatte ausgebildeten Via verbunden sind, wobei die äußeren Anschlussflächen außerhalb der inneren Anschlussflächen angeordnet und mit einem Leiterbild verbunden sind, das sich zu dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte hin erstreckt.
  • Weil jede Signalleitung so ausgebildet ist, dass sie in einem Bereich, der eine relativ hohe Verdrahtungsdichte aufweist, eine schmalere Breite aufweist als in einem Bereich, der eine relativ niedrige Verdrahtungsdichte aufweist, ist es möglich, ein Leiterbild mit schmalen Leitungsbreiten in dem Bereich hoher Verdrahtungsdichte und mit breiten Leitungsbreiten in dem Bereich niedriger Verdrahtungsdichte auszubilden. Dies unterdrückt den Widerstand und verhindert eine Leitungsunterbrechung. Es ist außerdem möglich, die Isolierung zwischen Mustern in dem Bereich hoher Verdrahtungsdichte sicherzustellen.
  • Weil Leiterbilder mit unterschiedlichen Breiten durch das sich verjüngende Muster verbunden werden können, kann eine Isolierung zwischen Signalleitungen sichergestellt werden, ohne Risse in dem permanenten Schutzlack zu verursachen und der Verdrahtungswiderstand wird nicht erhöht.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine schematische Querschnittsansicht einer Verdrahtungsplatte;
  • 2 ist eine schematische Querschnittsansicht einer Verdrahtungsplatte gemäß einer Modifizierung dessen, was in 1 gezeigt ist;
  • 3 ist eine teilweise Draufsicht auf eine Verdrahtungsplatte gemäß der ersten Ausführungsform dieser Erfindung;
  • 4 ist eine perspektivische Querschnittsansicht, die Teile von Signalleitungen zeigt, die auf der Verdrahtungsplatte von 3 verwendet werden;
  • 5A bis 5C sind teilweise Draufsichten, welche einige Varianten der Signalleitungen von 3 darstellen;
  • 6 ist eine teilweise vergrößerte Draufsicht, die eine Anordnung von Anschlussflächen zeigt, die für die Verdrahtungsplatte von 3 verwendet werden;
  • 7 ist eine teilweise Draufsicht auf eine Verdrahtungsplatte gemäß einer Modifizierung der ersten Ausführungsform;
  • 8 ist eine schematische Querschnittsansicht einer herkömmlichen Verdrahtungsplatte;
  • 9 ist eine teilweise Draufsicht, die eine herkömmliche Verdrahtungsplatte entsprechend der Verdrahtungsplatte von 3 zeigt; und
  • 10 ist eine perspektivische Querschnittsansicht, die Teile von Signalleitungen abbildet, die auf der Verdrahtungsplatte von 9 verwendet werden.
  • BESTE AUSFÜHRUNGSFORM DER ERFINDUNG
  • 1 und 2 zeigen eine Verdrahtungsplatte, welche nicht zu dem Umfang der beanspruchten Erfindung gehört, welche aber das Verständnis für die nachfolgenden Anordnungen fördert, die zu dem Umfang der Erfindung gehören. Die Verdrahtungsplatte 1 zur Bestückung mit elektronischen Schaltungsteilen weist ein Substrat 2 auf, dessen Oberseite S1 und Rückseite S2 beide verwendbar sind. Das Substrat 2 weist Leiterschichten 3 und 4 auf, die sowohl auf der Oberseite S1 als auch auf Rückseite S2 eines Basismaterials 5 aus Harz durch ein Subtraktivverfahren ausgebildet sind. Eine Vielzahl von Durchgangslöchern 6 sind in dem Substrat 2 ausgebildet, um den Leiterschichten 3 und 4 zu erlauben, durch das Substrat 2 hindurch zu gehen und sowohl über die Oberseite als auch die Rückseite des Substrats 2. Diese Durchgangslöcher 6 sind mit einem wärmebeständigen Harz 7 gefüllt.
  • Auf der Oberseite S1 und der Rückseite S2 des Substrats 2 sind aufgebaute, mehrschichtige Verbindungsschichten B1 und B2 ausgebildet, die jeweils dielektrische Zwischenschichten 8a und 8b und Leiterschichten 9a und 9b aufweisen, die abwechselnd übereinander gestapelt sind.
  • Auf der aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschicht B1 auf der Oberseite S1 ist ein permanenter Schutzlack 10 eines lichtempfindlichen Harzes oben auf der ersten dielektrischen Zwischenschicht 8a örtlich ausgebildet, welche nahe der Oberseite S1 liegt. Die innere Leiterschicht 9a ist in dem Abschnitt ausgebildet, wo der permanente Schutzlack 10 nicht ausgebildet ist. Diese innere Leiterschicht 9a ist elektrisch mit der inneren Leiterschicht 3 auf der Oberseite S1 des Substrats 2 durch Vias 11 verbunden, die in der ersten dielektrischen Zwischenschicht 8a ausgebildet sind.
  • Gleichfalls ist ein anderer permanenter Schutzlack 10 auf der zweiten dielektrischen Zwischenschicht 8b örtlich ausgebildet, der auf der ersten dielektrischen Zwischenschicht 8a zur Verfügung gestellt ist. Die äußere Leiterschicht 9b ist dort ausgebildet, wo dieser permanente Schutzlack 10 nicht ausgebildet ist. Die äußere Leiterschicht 9b ist mit der inneren Leiterschicht 9a über Vias 11 elektrisch verbunden, die in der zweiten dielektrischen Zwischenschicht 8b ausgebildet sind.
  • Der mittlere Abschnitt der Oberseite der zweiten dielektrischen Zwischenschicht 8b bildet, auf der Seite der Oberseite (S1) oder dem mittleren Abschnitt der ersten Oberfläche des Substrats 1, einen Bereich aus, wo ein nackter Chip C1, als elektronische Schaltungsteile, montiert werden soll. Zahlreiche Anschlussflächen 12A und 12B, welche eine erste Verbindungsklemmengruppe oder eine Anschlussflächengruppe darstellen, sind in diesem Bereich in dichter Anordnung ausgebildet. Diese Anschlussflächen 12A und 12B entsprechen Kontakthöckern BP, die unten an dem Chip C1 ausgebildet sind. Die äußersten Anschlussflächen in der ersten Anschlussflächengruppe werden „äußere Anschlussflächen 12B" genannt. Die Anschlussflächen, die sich in dem mittleren Abschnitt in der ersten Anschlussflächengruppe befinden, oder die Anschlussflächen, die sich innerhalb der äußeren Anschlussflächen 12B befinden, werden „innere Anschlussflächen 12A" genannt.
  • Obwohl diese Anordnung nur eine äußerste Reihe von äußeren Anschlussflächen 12B aufweist, können die erste bis fünfte Reihe von äußeren Anschlussflächen, angefangen bei der äußersten Reihe, als äußere Anschlussflächen verwendet werden. In diesem Fall sind die Anschlussflächen, ausgenommen dieser äußeren Anschlussflächen, die inneren Anschlussflächen 12A.
  • Auf der aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschicht B2 auf der Rückseite S2 ist ein permanenter Schutzlack 10 oben auf der ersten dielektrischen Zwischenschicht 8a örtlich ausgebildet, welche nahe an der Rückseite S2 liegt. Die innere Leiterschicht 9a ist dort ausgebildet, wo der permanente Schutzlack 10 nicht ausgebildet ist. Diese innere Leiterschicht 9a ist mit der inneren Leiterschicht 4 auf der Rückseite S2 des Substrats 2 durch Vias 11 elektrisch verbunden, die in der ersten dielektrischen Zwischenschicht 8a ausgebildet sind.
  • Gleichfalls ist ein anderer permanenter Schutzlack 10 auf der zweiten dielektrischen Zwischenschicht 8b örtlich ausgebildet, die auf der ersten dielektrischen Zwischenschicht 8a auf der Rückseite S2 zur Verfügung gestellt ist. Die äußere Leiterschicht 9b ist dort ausgebildet, wo dieser permanente Schutzlack 10 nicht ausgebildet ist. Die äußere Leiterschicht 9b ist mit der inneren Leiterschicht 9a über Vias 11 elektrisch verbunden, die in der zweiten dielektrischen Zwischenschicht 8b auf der Rückseite S2 ausgebildet sind. Zahlreiche Anschlussflächen 13, welche eine zweite Verbindungsklemmengruppe oder eine Anschlussflächengruppe darstellen, sind an dem äußeren umlaufenden Abschnitt der zweiten dielektrischen Zwischenschicht 8b auf der Seite der Rückseite oder an dem äußeren umlaufenden Abschnitt der zweiten Oberfläche der Verdrahtungsplatte 1 einzeln angeordnet. Auf diesen Anschlussflächen 13 sind Kontakthöcker 14 als hervorstehende Elektroden ausgebildet, um eine elektrische Verbindung zu einer nicht dargestellten Hauptplatine herzustellen.
  • Die äußeren Anschlussflächen 12B in der ersten Anschlussflächengruppe sind mit den zugehörigen Vias 11 mittels der äußeren Leiterschicht 9b elektrisch verbunden, welche sich zu dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte erstreckt. Die inneren Anschlussflächen 12A bestehen aus den Vias 11, welche hergestellt werden, indem Metallfilme auf den Seitenwänden und Bodenwänden von Löchern ausgebildet werden, die in der dielektrischen Zwischenschicht 8b ausgebildet sind, und indem die Leiterschichten 9b und 9a mit diesen Metallfilmen verbunden werden.
  • Lötmittel SL wird in jedes Via 11 gefüllt und steht aus dem Loch 11 hervor, um einen so genannten Lötkontakthöcker darzustellen. Die Kontakthöcker des Lötmittels SL werden mit dem nackten Chip C1 verbunden. Hinsichtlich der inneren Anschlussflächen 12A ist es unnötig, Drähte zu dem Umfang der Leiterplatte hinaus zu führen, und es ist möglich, die Drahtlängen zu verkürzen und die Drahtdichte zu erhöhen.
  • Die Vias 11 der zweiten dielektrischen Zwischenschicht 8b sind ferner mit den zugehörigen Durchgangslöchern 6 durch die innere Leiterschicht 9a, die Vias 11 und die innere Leiterschicht 3 elektrisch verbunden. Die innere Leiterschicht 4, welche mit den Durchgangslöchern 6 verbunden ist, ist mit den Anschlussflächen 13 in der zweiten Anschlussflächengruppe über die Vias 11, die innere Leiterschicht 9a und die äußere Leiterschicht 9b elektrisch verbunden. Die inneren Leiterschichten 3, 4 und 9a und die äußere Leiterschicht 9b, welche die erste Anschlussflächengruppe mit der zweiten Anschlussflächengruppe verbinden, sind ausgelegt und erstrecken sich in eine Richtung von dem mittleren Abschnitt zu dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte, das heißt in die radiale Richtung.
  • Wie in 1 und 2 gezeigt, ist Lötabdecklack 19 auf den Oberflächen der aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschichten und auf der Verbindungsfläche zu der Hauptplatine ausgebildet. Der Lötabdecklack 19 ist zur Verfügung gestellt, um die Leiterschichten zu schützen und um geschmolzenes Lötmittel daran zu hindern, auszufließen und dadurch Kurzschlüsse zwischen den Mustern zu verursachen.
  • Die dielektrischen Zwischenschichten 8a, 8b, welche die jeweiligen aufgebauten Schichten B1, B2 darstellen, sind vorzugsweise unter Verwendung einer Mischung aus (a) einem lichtempfindlichen Harz ausgebildet, welches in Säuren oder Oxidationsmitteln nur schwer löslich ist, und (b) aus gehärteten wärmebeständigen Harzpartikeln, welche in Säuren oder Oxidationsmitteln löslich sind. Der Grund dafür besteht darin, dass die dielektrischen Zwischenschichten, die solche gehärteten wärmebeständigen Harzpartikel enthalten, eine Entwicklungsbehandlung unterstützen, und sogar, wenn Reste von entwickelten Abschnitten auf dem Substrat zurückbleiben, können solche Restabschnitte in einer Aufraubehandlung entfernt werden. Folglich haben es, selbst wenn die Vias 11 ein hohes Seitenverhältnis aufweisen, solche entwickelten Restabschnitte schwer sich auszubilden. In dem Fall, wo nur ein lichtempfindliches Harz verwendet wird, wird die Ausbildung von Vias 11, die einen Durchmesser von ungefähr 80 μm oder weniger aufweisen, schwierig.
  • Die dielektrischen Zwischenschichten 8a, 8b werden vorzugsweise unter Verwendung einer Mischung ausgebildet, die durch Hinzufügen von (b) gehärteten wärmebeständigen Harzpartikeln, welche in Säuren oder Oxidationsmitteln löslich sind, zu einem Verbundharz erhalten wird, einschließlich (a1) eines in Säuren oder Oxidationsmitteln nur schwer löslichen Harzes, welches erhalten wird, indem ein wärmehärtendes Harz und (a2) ein thermoplastisches Harz lichtempfindlich gemacht werden. Mit den hier angesprochenen Säuren oder Oxidationsmitteln sind Chromsäure, Chromate, Permanganate, Chlorwasserstoffsäure, Phosphorsäure, Ameisensäure, Schwefelsäure und Fluorwasserstoffsäure gemeint.
  • Das in diesen Säuren oder Oxidationsmitteln nur schwer lösliche Harz (a1), welches erhalten wird, indem das wärmehärtende Harz lichtempfindlich gemacht wird, ist vorzugsweise mindestens ein Harz, das aus Epoxidacrylaten und lichtempfindlichen Polyimiden (lichtempfindlichem PI) ausgewählt wird. Der Grund dafür ist, dass diese Harze eine hohe Wärmebeständigkeit und große Festigkeit aufweisen.
  • Das thermoplastische Harz (a2) ist vorzugsweise mindestens ein Harz, das aus Polyethersulfonen (PES), Polysulfonen (PSF), Phenoxyharzen und Polyethylenen (PE) ausgewählt wird. Der Grund dafür ist, dass den dielektrischen Zwischenschichten 8a, 8b eine hohe Glasübergangstemperatur Tg und ein hohes Elastizitätsmodul verliehen werden können, ohne die Eigenschaften des wärmehärtenden Harzes (a1) zu beeinträchtigen.
  • Das granuläre wärmebeständige Harz (b) ist vorzugsweise mindestens eines, das aus Aminoharzpartikeln und Epoxidharzpartikeln (EP-Harzen) ausgewählt wird. Der Grund dafür ist, dass die Partikel von solchen Harzen die Eigenschaften der dielektrischen Zwischenschichten nicht verschlechtern. Nebenbei bemerkt weist ein Epoxidharz, das durch ein aminoartiges Härtemittel gehärtet wird, einen Hydroxyether-Aufbau auf, und Körner eines solchen Harzes weisen die Eigenschaft auf, dass sie sich vorteilhafterweise leicht in dem Harz (a1) oder (a2) auflösen. Das Aminoharz kann beispielsweise aus Melaninharzen, Harnstoffharzen und Guanaminharzen ausgewählt werden. Die Auswahl eines Melaninharzes wird anderen gegenüber nicht nur wegen seiner elektrischen Eigenschaften vorgezogen, sondern auch weil Eigenschaften verbessert werden können, die durch PCT (pressure cooker test) und HHBT (high humidity bias test) bestimmt werden sollen.
  • Die wärmebeständigen Partikel (b) weisen vorzugsweise eine Größe von 10 μm oder weniger auf. Dies ist so, weil die Dicke der dielektrischen Zwischenschichten reduziert werden kann, und feine Muster ausgebildet werden können. Die wärmebeständigen Harzpartikel können aus unterschiedlichen Formen wie Kugeln, Splittern und Aggregaten ausgewählt werden.
  • Die somit erstellte Verdrahtungsplatte 1 kann beispielsweise gemäß den nachfolgenden Prozeduren hergestellt werden. Erstens kann ein Klebstoff, der zum Ausbilden der dielektrischen Zwischenschichten 8a, 8b mittels des Additivverfahrens eingesetzt werden soll, folgendermaßen zubereitet werden. Dieser Klebstoff enthält eine Komponente, welche in Säuren oder Oxidationsmitteln nur schwer löslich ist, und eine Komponente, welche in ihnen löslich ist.
    • 1. Ein lichtempfindlich gemachtes Oligomer, das durch Acrylieren von 25 % Epoxidgruppen in einem Epoxidharz der Art Creosol-Novolak (CNA 25; Molekulargewicht: 4.000) zubereitet wird, ein PES (Molekulargewicht: 17.000), ein Imidazol Härtemittel (2B4MZ-CN, Handelsbezeichnung, hergestellt von Shikoku Chemicals Corporation), Trimethyltriacrylat (TMPTA) als lichtempfindliches Monomer und ein Photoinitiator (I-907, Handelsbezeichnung, hergestellt von Ciby Geigy) werden in einem vorbestimmten Verhältnis mit N-Methylpyrrolidon gemischt. Das Mischungsverhältnis der Bestandteile ist wie folgt:
    Oligomer 70 Masseteile
    PES 30 Masseteile
    Imidazol 4 Masseteile
    TMPTA 10 Masseteile
    Photoinitiator 5 Masseteile
    N-Methylpyrrolidon 80 Masseteile
    • 2. Ferner werden 20 Masseteile eines pulvrigen Epoxidharzes (TOREPAL EP-B, Handelsbezeichnung, hergestellt von Toray Industries, Inc.) mit einer mittleren Korngröße von 5,5 μm und 10 Masseteile desselben pulvrigen Epoxidharzes mit einer mittleren Korngröße von 0,5 μm der Mischung zugesetzt.
    • 3. Die Viskosität der daraus resultierenden Mischung wird dann unter Verwendung eines homodispergierenden Elementes auf 120 cps eingestellt, gefolgt von Kneten in einer dreifachen Walzenmühle, um einen Klebstoff zu erhalten.
    • 4. Als Nächstes werden beide Oberflächen eines Substrats 2, das Leiterschichten 3, 4, Durchgangslöcher 6 und ein wärmebeständiges Harz 7 aufweist, vollständig mit diesem Klebstoff beschichtet, nacheinander gefolgt von Vakuumtrocknen bei 25°C oder Lufttrocknen bei 80°C, Ausbilden von Öffnungen für Vias durch Ultravioletthärten und Entwicklungsbehandlungen und Wärmehärten. Somit ist eine erste dielektrische Zwischenschicht 8a auf jeder Oberfläche ausgebildet.
    • 5. Anschließend wird die Oberfläche von jeder ersten dielektrischen Zwischenschicht 8a mit einem Aufraumittel wie beispielsweise Chromsäure behandelt, um eine raue Oberfläche mit einer Multiplizität von Verankerungsgrübchen auszubilden.
    • 6. Danach werden das Aufbringen von Katalysatorkernen, das Ausbilden eines permanenten Schutzlacks 10, eine Aktivierungsbehandlung und eine stromlose Kupferplattierung durch die herkömmlichen Prozeduren ausgeführt, um innere Leiterschichten 9a und Vias 11 auszubilden. Die Vias 11 werden ausgebildet, indem die Wandflächen und der Boden von jedem Loch, das in dem die Schicht isolierenden Material definiert ist, mit einem Plattierungsfilm dergestalt bedeckt werden, dass die unteren und oberen Leiterschichten 9a und 9b elektrisch verbunden sind. Die Wandfläche von jedem Loch wird aufgeraut (nicht gezeigt), so dass die Plattierung eng daran anhaftet und nur schwer davon getrennt werden kann.
    • 7. Ferner wird derselbe Klebstoff auf die somit behandelte erste dielektrische Zwischenschicht 8a aufgebracht und danach gehärtet, um eine zweite dielektrische Zwischenschicht 8b auf jeder Seite auszubilden.
    • 8. Die Oberfläche der daraus resultierenden zweiten dielektrischen Zwischenschicht 8b wird danach mit einem Aufraumittel behandelt, um eine raue Oberfläche auszubilden. Anschließend werden das Aufbringen von Katalysatorkernen, Ausbilden eines permanenten Schutzlacks 10, eine Aktivierungsbehandlung und eine stromlose Kupferplattierung ausgeführt, um äußere Leiterschichten 9b, Anschlussflächen 12A, 12B und 13, und Vias 11 an vorbestimmten Stellen auszubilden. Auf jede Oberfläche der so behandelten Leiterplatte wird ein lichtempfindliches Harz aufgetragen, und die daraus resultierende Leiterplatte wird einer Belichtung und Entwicklungsbehandlungen unterzogen, um einen Lötabdecklack 19 auszubilden, wobei die Anschlussflächen 12A, 12B und 13 freiliegen.
    • 9. Eine Lötmittelschicht SL wird auf diesen Anschlussflächen 12A, 12B und 13 ausgebildet. Erstens wird eine Nickel-Gold-Plattierung (nicht gezeigt) auf die Anschlussflächen 12A, 12B und 13 aufgetragen, und danach wird Lötpaste mittels des Druckverfahrens darauf gedruckt und wird einem Schmelzvorgang unterzogen, um Lötkontakthöcker auszubilden, oder ein Film mit einem darauf ausgebildeten Lötmuster wird über die Anschlussflächen 12A, 12B und 13 gelegt, um das Lötmuster darauf unter Erwärmen zu übertragen und um Lötschichten (Lötkontakthöcker) auszubilden.
  • Die gewünschte Verdrahtungsplatte 1 wird fertig gestellt, indem die vorstehend beschriebenen Prozeduren durchlaufen werden. Wenn die so ausgebildete Verdrahtungsplatte 1 mit einem Nacktchip C1 bestückt wird, kann eine mit elektronischen Schaltungsteilen bestückte Vorrichtung M1, wie in 1 gezeigt, erhalten werden.
  • Keine der inneren Anschlussflächen 12A, die in dem mittleren Abschnitt in der ersten Anschlussflächengruppe angeordnet sind, ist mit der äußeren Leiterschicht 9b verbunden, aber die Vias 11 dienen als die inneren Anschlussflächen 12A, die direkt mit der inneren Leiterschicht 9a elektrisch verbunden werden sollen. Das heißt, dass die einzelnen inneren Anschlussflächen 12A mit der inneren Leiterschicht 9a über die zugehörigen Vias 11 elektrisch verbunden werden.
  • Deswegen ist es unnötig, die äußere Leiterschicht 9a in Richtung des äußeren umlaufenden Abschnittes der Leiterplatte auf der zweiten dielektrischen Zwischenschicht 8b heraus zu führen, wo die erste Anschlussflächengruppe ausgebildet ist. Sogar wenn die äußeren Anschlussflächen 12B außerhalb der inneren Anschlussflächen 12A angeordnet sind, stören sie daher die Verbindung nicht. Weil es keine äußere Leiterschicht 9b gibt, die von den inneren Anschlussflächen 12A herausgeführt werden muss, ist es möglich, die äußere Leiterschicht 9b, die von den äußeren Anschlussflächen 12B herausgeführt wird, in dichter Anordnung auszulegen. Anders ausgedrückt, die gesamte Verdrahtungsdichte kann, verglichen mit dem herkömmlichen Aufbau, erhöht werden.
  • Ferner wird ein Klebstoff eingesetzt, welcher aus einer Mischung eines in Säuren oder Oxidationsmitteln nur schwer löslichen lichtempfindlichen Harzes und aus in Säuren oder Oxidationsmitteln löslichen wärmebeständigen Harzpartikeln besteht, wenn die dielektrischen Zwischenschichten 8a, 8b ausgebildet werden, welche die aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschichten B1, B2 darstellen. Deswegen verbleiben, wenn die dielektrischen Zwischenschichten 8a, 8b ultravioletter Belichtung ausgesetzt werden, um Vias auszubilden, nur geringe Reste von entwickelten Abschnitten an den Stellen, wo die Vias ausgebildet werden.
  • Obwohl der Grund dafür nicht geklärt ist, wird vermutet, dass im Fall, wo die wärmebeständigen Harzpartikel vorhanden sind, die gesamte aufzulösende Harzmenge kleiner ist als in dem Fall, wo nur das liphtempfindliche Harz aufgelöst werden soll, und selbst wenn Reste von entwickelten Abschnitten vorhanden sind, werden die wärmebeständigen Harzpartikel und das lichtempfindliche Harz zusammen aufgelöst, wenn die wärmebeständigen Harzpartikel durch die Aufraubehandlung aufgelöst werden sollen.
  • Somit ist es möglich, kleinere Vias 11 als die herkömmlichen Vias einfach und sicher auszubilden. Selbstverständlich werden die durch ein Additivverfahren ausgebildeten Leiterschichten 9a und b feiner als die durch das Subtraktivverfahren ausgebildeten herkömmlichen Leiterschichten. Somit kann die Verdrahtungsdichte verglichen mit dem herkömmlichen Aufbau verbessert werden.
  • Die inneren Leiterschichten 3, 4 und 9a und die äußere Leiterschicht 9b, welche die erste Anschlussflächengruppe 12 mit der zweiten Anschlussflächengruppe 13 verbinden, sind durch die Vias 11 verbunden und in die radiale Richtung ausgelegt (ausgehend von dem mittleren Abschnitt zu dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte). Dieser Aufbau unterscheidet sich von dem herkömmlichen Aufbau, der in 8 gezeigt ist, in welchem Drähte, die zu dem äußeren umlaufenden Abschnitt herausgeführt sind, zu dem mittleren Abschnitt zurückgeführt werden. Die Drähte, welche die Anschlussflächen 12 mit den Anschlussflächen 13 verbinden, werden durch das Wegfallen solcher herkömmlicher zurückgeführter Drähte kürzer, folglich wird die Verdrahtungseffizienz positiv verbessert. Deswegen ist es möglich, eine schnellere Verarbeitungsgeschwindigkeit zu erhalten.
  • Die Verdrahtungsplatte 1 ist auch dadurch gekennzeichnet, dass Drähte sowohl auf den Leiterschichten 9a und 9b der aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschichten B1 und B2 als auch auf den Leiterschichten 3 und 4 des Substrats 2 ausgebildet sind. Obwohl die Durchgangslöcher 6 in dem Substrat 2 ausgebildet sind, beeinträchtigt eine solche Ausbildung die Verdrahtung nicht, und der Raum auf dem Substrat 2 kann effektiv genutzt werden. Das bedeutet, dass die Vergrößerung der Leiterplatte 1 zur Bestückung mit elektronischen Schaltungsteilen vermieden werden kann.
  • Die aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschichten B1 und B2, die im Wesentlichen dieselbe Dicke aufweisen, sind jeweils auf der Oberseite S1 und der Rückseite S2 zur Verfügung gestellt. Somit werden mechanische Spannungen, die auf beide Seiten des Substrats 2 ausgeübt werden können, im Wesentlichen gleichwertig und heben sich gegenseitig auf. Deswegen verformt sich die Verdrahtungsplatte 1 nicht so leicht.
  • Weil die aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschichten B1 und B2 in dieser Ausführungsform jeweils auf beiden Seiten des Substrats 2 zur Verfügung gestellt sind, kann die Verdrahtungsplatte 1 bei höherer Dichte kompakter gemacht werden im Vergleich zu dem Fall, wo die aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschichten nur auf beispielsweise der Oberseite S1 ausgebildet sind.
  • Diese Anordnung kann folgendermaßen modifiziert werden.
  • 2 stellt eine mit elektronischen Schaltungsteilen bestückte Vorrichtung M2 dar, bei welcher eine andere Verdrahtungsplatte 18 mit dem Nacktchip C1 bestückt ist. Diese Verdrahtungsplatte 18 ist nur auf der Oberseite S1 mit einer dreischichtigen, aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschicht B3 versehen. Die Anschlussflächen 13, welche die zweite Anschlussflächengruppe ausbilden, sind mit der Leiterschicht 4 verbunden, die auf der Rückseite S2 ausgebildet ist. Die Leiterschicht 4 auf der Rückseite S2 ist vollständig mit dem Lötschutzlack 19 bedeckt. Dieser Aufbau hat dieselbe Funktion und dieselben Vorteile wie der in 1 gezeigte Aufbau.
  • Die Anzahl von gestapelten Schichten in jeder der aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschichten B1-B3, d.h. die Anzahl der dielektrischen Zwischenschichten 8a und 8b ist nicht auf zwei oder drei begrenzt, sondern kann auch auf andere Anzahlen festgesetzt werden. Ferner muss die Anzahl von gestapelten Schichten auf der Oberseite S1 nicht notwendigerweise gleichwertig zu der Anzahl von gestapelten Schichten auf der Rückseite S2 sein.
  • Ein Mehrschichtsubstrat, das vier bis acht Schichten einschließt, kann als das Substrat verwendet werden. Vom Standpunkt der Kostenreduzierung aus ist es vorteilhaft, ein Einzelschichtsubstrat 2 auszuwählen, wohingegen ein Mehrschichtsubstrat vorteilhaft ist, um eine höhere Dichte und eine kleinere Größe zu erreichen.
  • Anstelle der Kontakthöcker 14 in den Ausführungsformen, können Stifte auf den Anschlussflächen 13 zur Verfügung gestellt sein, welche die zweite Anschlussklemmengruppe darstellen. Es ist auch möglich, die Bereitstellung von entweder den Kontakthöckern 14 oder den Stiften wegfallen zu lassen. Im Gegensatz zu den Anordnungen von 1, kann es eine Vielzahl von Bereichen zur Bestückung mit Teilen geben.
  • Die Anschlussflächen 13, welche die zweite Anschlussflächengruppe darstellen, können insgesamt auf der aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschicht B2 auf der Rückseite S2 zur Verfügung gestellt sein. Dieser Aufbau ermöglicht, mehr Anschlussflächen 13 zur Verfügung zu stellen.
  • Die Leiterschichten 9a und 9b, welche die aufgebauten, mehrschichtigen Verbindungsschichten B1-B3 darstellen, können durch eine von stromloser Kupferplattierung verschiedene Metallplattierung ausgebildet werden (z.B. stromlose Nickelplattierung oder stromlose Goldplattierung). Anstelle von Metallschichten, die durch ein chemisches einen Film bildendes Verfahren, wie Plattierung, ausgebildet werden, können Metallschichten ausgewählt werden, welche durch ein einen physisch dünnen Film ausbildendes Verfahren, wie Zerstäubung, ausgebildet werden.
  • Elektronische Schaltungsteile, mit denen die Verdrahtungsplatte 1 bestückt werden soll, können aus einem Halbleitergehäuse wie beispielsweise BGA (Bump Grid Array), QFN (Quad Flat Non-Leaded Array) oder PGA (Pin Grid Array) mit kurzen Stiften bestehen, als Alternativen zu dem Nacktchip 2 wie in der vorstehend beschriebenen Anordnung.
  • Die inneren Anschlussflächen 12A müssen nicht direkt mit den Oberseiten der Vias 11 verbunden sein, sondern können mit den Vias 11 mittels der äußeren Leitungsschicht 9b verbunden werden, welche sich nicht bis zu dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte erstreckt.
  • Die Kombination des Harzes, die erhalten wird, indem ein wärmehärtendes Harz, das thermoplastische Harz und das wärmebeständige Harz (a1 + a2 + b) lichtempfindlich gemacht werden, schließt zusätzlich zu derjenigen, die in der Ausführungsform beschrieben wird, jene ein, die nachstehend aufgeführt sind:
    a1 + a2 + b =
    Epoxidacrylat + PES + Aminoharz,
    Epoxidacrylat + PSF + EP,
    Epoxidacrylat + Phenoxyharz + EP,
    Epoxidacrylat + PE + EP,
    Epoxidacrylat + PSF + Aminoharz,
    Epoxidacrylat + Phenoxyharz + Aminoharz,
    Epoxidacrylat + PE + Aminoharz,
    Epoxidacrylat + PES + Aminoharz und EP,
    Epoxidacrylat + PSF + Aminoharz und EP,
    Epoxidacrylat + Phenoxyharz + Aminoharz und EP,
    Epoxidacrylat + PE + Aminoharz und EP,
    lichtempfindliches PI + PES + EP,
    lichtempfindliches PI + PES + Aminoharz,
    lichtempfindliches PI + PSF + EP,
    lichtempfindliches PI + Phenoxyharz + EP,
    lichtempfindliches PI + PE + EP,
    lichtempfindliches PI + PSF + Aminoharz,
    lichtempfindliches PI + Phenoxyharz + Aminoharz,
    lichtempfindliches PI + PE + Aminoharz,
    lichtempfindliches PI + PES + Aminoharz und EP,
    lichtempfindliches PI + PSF + Aminoharz und EP,
    lichtempfindliches PI + Phenoxyharz + Aminoharz und EP,
    lichtempfindliches PI + PE + Aminoharz und EP,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + PES + Aminoharz,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + PSF + EP,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + Phenoxyharz + EP,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + PE + EP,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + PSF + Aminoharz,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + Phenoxyharz + Aminoharz,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + PE + Aminoharz,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + PES + Aminoharz und EP,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + PSF + Aminoharz und EP,
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + Phenoxyharz + Aminoharz und EP, und
    Epoxidacrylat und lichtempfindliches PI + PE + Aminoharz und EP.
  • Selbstverständlich sind andere Kombinationen als diejenigen, die hier aufgelistet sind, akzeptabel.
  • Nun wird eine Ausführungsform dieser Erfindung unter Bezugnahme auf 3 bis 7 ausführlich beschrieben.
  • 3 zeigt ungefähr ein Viertel einer Verdrahtungsplatte 51 zur Bestückung mit elektronischen Schaltungsteilen. Die Verdrahtungsplatte 51 weist ein Epoxid-Glassubstrat 54 als Kernmaterial auf. Es ist auch möglich, andere Substrate als das Epoxid-Glassubstrat 54 einzusetzen, wie beispielsweise ein Polyimidsubstrat und ein BT (Bismaleimidotriazin) Harzsubstrat. Eine Klebstoffschicht (dielektrischer Film) 55 wird auf jeder Oberfläche des Substrats 54 unter Verwendung eines Klebstoffes ausgebildet, der für das Additivverfahren spezifisch ist. Die Oberfläche von jeder Klebstoffschicht 55 wird dergestalt aufgeraut, dass sie eine Multiplizität von Verankerungsgrübchen aufweist. Als der hier einzusetzende Klebstoff wird eine Mischung aus einem lichtempfindlichen Harz, welches, durch eine Härtungsbehandlung, in Säuren oder Oxidationsmitteln nur schwer löslich gemacht werden kann, und einem gehärteten granulären, wärmebeständigen Harz eingesetzt, das in Säuren oder Oxidationsmitteln löslich ist. Der Klebstoff mit einer solchen Zusammensetzung ist zum Ausbilden von feinen Bildern mit hoher Präzision geeignet. Einzelheiten der Zusammensetzung des Klebstoffes sind dieselben wie in der vorhergehenden Ausführungsform.
  • Jede Klebstoffschicht 55 weist einen permanenten Schutzlack 56 auf, welcher aus einem lichtempfindlichem Harz besteht, das auf ihrer aufgerauten Oberfläche ausgebildet ist. Die Abschnitte, welche keinen permanenten Schutzlack 56 aufweisen, weisen eine Leiterschicht auf, wie beispielsweise Anschlussflächen 53, die durch stromlose Kupferplattierung ausgebildet werden. Eine andere (nicht gezeigte) Leiterschicht wird auf der hinteren Seite der Verdrahtungsplatte 51 ausgebildet, d.h. auf der Oberfläche, die der Hauptplatine gegenüberliegt.
  • Ein Teilebestückungsbereich 1 ist ungefähr in der Mitte der Oberseite der Verdrahtungsplatte 51 definiert, wo ein Chip montiert werden soll. Eine Vielzahl von Signalleitungen 52 und eine Vielzahl von kreisförmigen Anschlussflächen 53 sind auf der Oberseite der Verdrahtungsplatte 51 an dem umlaufenden Abschnitt des Teilebestückungsbereichs A1 ausgebildet. Diese Anschlussflächen 53 sind zu vier Reihen von Anschlussflächen L1 bis L4 an dem umlaufenden Abschnitt des Teilestückungsbereichs A1 gruppiert, welche im Zickzack verlaufend angeordnet sind. Eine Signalleitung 52 ist mit jeder Anschlussfläche 53 verbunden. Die meisten der Signalleitungen 52 erstrecken sich radial zu dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte. Eines der Enden von solchen Signalleitungen 52 ist jeweils mit einer Vielzahl von Anschlussflächen (nicht gezeigt) verbunden, welche auf der Rückseite der Leiterplatte 51 einzeln angeordnet sind, die mittels Durchgangslöchern (nicht gezeigt) an dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte einzeln ausgebildet sind. Einige der Signalleitungen 52 sind sehr kurz und sind mit angrenzenden in einem Zwischenraum liegenden Vias 57 verbunden.
  • Gemäß dieser Ausführungsform weist jede Signalleitung 52 ein erstes Leiterbild 58 mit einer vorbestimmten Breite, ein zweites Leiterbild 59, das breiter als das erste Leiterbild 58 ist, und ein fast trapezförmiges, sich verjüngendes Muster 60 auf, welches beide Leiterbilder 58 und 59 verbindet. Das erste Leiterbild 58 ist im Wesentlichen in dem mittleren Abschnitt der Leiterplatte angeordnet, welcher eine relativ hohe Verdrahtungsdichte aufweist und mit der zugehörigen Anschlussfläche 53 verbunden ist. Das zweite Leiterbild 59 ist in dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte angeordnet, welcher eine relativ niedrige Verdrahtungsdichte aufweist. Deswegen variiert die Breite von jeder Signalleitung 52 gemäß einer Änderung der Verdrahtungsdichte. Das erste Leiterbild 58 und das zweite Leiterbild 59 sind miteinander entlang einer gemeinsamen Mittellinie CL durch das sich verjüngende Muster 60 verbunden. Beide Seitenränder T1 des sich verjüngenden Musters 60 und beide Seitenränder von jedem Leiterbild 59 sind unter einem vorbestimmten Winkel θ zu der Mittellinie CL geneigt (siehe 5).
  • Die Breite des sich verjüngenden Musters 60 ist so festgesetzt, dass sie in Richtung der Breite des zweiten Leiterbilds 59 von der Breite des ersten Leiterbilds 58 aus zunimmt.
  • Wie in 5A gezeigt, sollte der Winkel θ im Bereich von 10° bis 45°, vorzugsweise von 15° bis 40° und insbesondere von 20° bis 35° liegen. Der Winkel θ, wenn er auf 10° bis 45° festgesetzt ist, ist in dem Fall geeignet, wo automatische Verdrahtung durch ein CAD-System (Computerunterstütztes Design) ausgeführt wird. Wenn der Winkel θ weniger als 10° beträgt, wie in 5c beispielhaft ausgeführt, wird das sich verjüngende Muster 60 lang, was zu einigen Schwierigkeiten beim Durchführen der Verdrahtung führen kann. Allerdings, wenn der Winkel θ 45° überschreitet, wie in 5b beispielhaft ausgeführt, könnte es sein, dass es nicht mehr möglich ist, das Auftreten von Rissen in dem permanenten Schutzlack 86 zu verhindern.
  • Wie in 4 gezeigt, sind die Abschnitte C1 und C2 des sich verjüngenden Musters 60, welches Seitenränder sind, die mit dem ersten und zweiten Leiterbild 58 und 59 gekoppelt werden sollen, gerundet, um die scharfen Ecken zu entfernen.
  • Die Größen W1 bis W9 der einzelnen Teile auf der Verdrahtungsplatte 51 in dieser Ausführungsform sind in den nachfolgenden Bereichen festgesetzt. Der Pitch zwischen den Anschlussflächen 53, angegeben durch W1 in 6, liegt in dem Bereich von 0,28 bis 0,43 mm (11 mil bis 17 mil), und der Pitch zwischen den Anschlussflächen 53, angegeben durch W2, liegt in dem Bereich von 0,14 bis 0,215 mm (5,5 mil bis 8,5 mil). Der Pitch zwischen den Anschlussflächen 53, angegeben durch W3, reicht von 0,20 bis 0,30 mm (8 mil bis 12 mil). Der maximale Innendurchmesser der in dem Zwischenraum liegenden Vias 57, angegeben durch W4, liegt in dem Bereich von 0,10 bis 0,15 mm (4 mil bis 6 mil). Der Durchmesser der Anschlussflächen 53 ist gleichwertig zu diesem Innendurchmesser. Der minimale Innendurchmesser der in dem Zwischenraum liegenden Vias 57, angegeben durch W5, reicht von 0,076 bis 0,10 mm (3 mil bis 4 mil). Die Breite des ersten Leiterbilds 58, angegeben durch W6, reicht von 0,033 bis 0,051 mm (1,3 mil bis 2 mil). Der Raum zwischen den ersten Leiterbildern 58, angegeben durch W7, reicht von 0,033 bis 0,051 mm (1,3 mil bis 2 mil). Die Breite des zweiten Leiterbilds 59, angegeben durch W8 in 3, reicht von 0,071 bis 0,147 mm (2,8 mil bis 5,8 mil), und der Raum zwischen den zweiten Leiterbildern 59, angegeben durch W9, reicht von 0,046 bis 0,097 mm (1,8 mil bis 3,8 mil). Es sollte angemerkt werden, dass 1 „Mil" ein Tausendstel eines Zolls ist, was gleichwertig zu ungefähr 0,0254 mm ist.
  • Gemäß dieser Ausführungsform ist das schmalere erste Leiterbild 58, das in dem mittleren Abschnitt der Leiterplatte ausgebildet ist, mit dem breiteren zweiten Leiterbild 59, das an dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte ausgebildet ist, durch das sich verjüngende Muster 60 verbunden. Die Breite W6 der Signalleitung 52 ist schmaler festgesetzt, fast in dem mittleren Abschnitt der Leiterplatte, welcher eine relativ hohe Verdrahtungsdichte aufweist. Somit ist es möglich, den Raum W7 zwischen den ersten Leiterbildern 58 ausreichend abzusichern, damit relativ einfach ein geeigneter Isolierungszwischenraum zur Verfügung gestellt wird. Dadurch kann die Schwierigkeit, Verdrahtung auf einem Bereich mit einer relativ hohen Verdrahtungsdichte zur Verfügung zu stellen, überwunden werden. Genauer gesagt kann, sogar wenn die Anschlussflächen 53 dicht nebeneinander ausgebildet sind, eine Vielzahl von Signalleitungen 52 zwischen den Anschlussflächen 53 ausgelegt werden.
  • Bei dieser Ausführungsform ist die Breite W8 der Signalleitung 52 an dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte breiter gemacht, welcher eine niedrige Verdrahtungsdichte aufweist, wie in 3 gezeigt. Deswegen wird der Verdrahtungswiderstand kleiner als derjenige des herkömmlichen Aufbaus (siehe 9), bei welchem einfach die Signalleitungen 62 mit schmalen und einheitlichen Breiten verwendet werden, damit es unwahrscheinlich ist, dass eine Schaltungsstörung auftritt. Bei dieser Ausführungsform sind das erste Leiterbild 58 und das zweite Leiterbild 59, welche verschiedene Breiten aufweisen, durch das sich verjüngende Muster 60 miteinander verbunden, dessen Breite sich kontinuierlich verändert. Deswegen ist es unwahrscheinlich, dass sich mechanische Spannung an einem spezifischen Abschnitt des permanenten Schutzlacks 56 konzentriert, verglichen mit dem Stand der Technik (siehe 9), welche das zweite Leiterbild 62a mit dem ersten Leiterbild 62b direkt verbindet. Somit ist es möglich, das Auftreten von Rissen 64 in dem permanenten Schutzlack 63 zu verhindern, welche beim Stand der Technik auftreten, wie 10 angegeben. Die Verdrahtungsplatte 51 zur Bestückung mit elektronischen Schaltungsteilen gemäß dieser Ausführungsform weist deswegen eine ausgezeichnete Zuverlässigkeit auf.
  • Diese Ausführungsform kann folgendermaßen modifiziert werden.
  • Auf der in 7 gezeigten Verdrahtungsplatte 65 werden das erste und zweite Leiterbild 58 und 59 durch das sich verjüngende Muster 66 miteinander verbunden. In diesem Beispiel weist der verbundene Abschnitt 66 einen ersten Seitenrand 66a, der sich parallel zu den Mittellinien CL1 und CL2 von beiden Leiterbildern 58 und 59 erstreckt, und einen zweiten Seitenrand 66b auf, der zu beiden Mittellinien CL1 und CL2 geneigt ist. Auch dieser Aufbau hat dieselbe Funktion und dieselben Vorteile der zweiten Ausführungsform. In diesem Fall wird die Anzahl von Schnittpunkten reduziert, wo sich mechanische Spannung wahrscheinlich konzentriert, so dass bei diesem Aufbau Risse weniger wahrscheinlich auftreten, als bei der in 3 gezeigten Ausführungsform.
  • Die Arten von Leiterbildern 58 und 59, die jede Signalleitung 52 darstellen, sind nicht auf zwei beschränkt, wie in der Ausführungsform gezeigt, sondern die Verdrahtungsbreite kann in Übereinstimmung mit der Verdrahtungsdichte auf der Oberfläche der Leiterplatte in drei oder mehr Stufen erhöht werden.
  • Industrielle Anwendbarkeit
  • Wie insbesondere vorstehend diskutiert, kann diese Erfindung eine höhere Dichte und kompakte Größe einer Verdrahtungsplatte erzielen, was das Design von Verbindungen erleichtert.

Claims (5)

  1. Leiterplatte (51, 65) zur Bestückung elektronischer Schaltungsteile (C1), wobei die Leiterplatte (51, 65) eine Vielzahl von Verbindungsklemmen (53) und eine Vielzahl von auf einer Isolierschicht (55) ausgebildeten Signalleitungen (52) aufweist, wobei die Vielzahl von Verbindungsklemmen in dichter Anordnung ausgebildet und jeweils mit den Signalleitungen (52) verbunden sind, wobei die Verbindungsklemmen (53) innere Anschlussflächen (L1) und äußere Anschlussflächen (L2, L3, L4) enthalten, welche sich in einem Teilebestückungsbereich (A1) befinden, wobei jede der mit einer äußeren Anschlussfläche verbundenen Signalleitungen (52) Folgendes aufweist: eine Vielzahl von Leiterbildern (58, 59) unterschiedlicher Breite und ein sich verjüngendes Muster (60), welches die Leiterbilder (58, 59) mit den unterschiedlichen Breiten verbindet, sodass eine sich kontinuierlich ändernde Breite vorliegt, wobei jede der Signalleitungen (52) in einem Bereich mit einer relativ hohen Verdrahtungsdichte, bei dem es sich um den mittleren Abschnitt der Leiterplatte (52) handelt, jeweils ein Leiterbild mit einer geringeren Breite hat als in einem Bereich mit einer relativ niedrigen Verdrahtungsdichte, bei dem es sich um den äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte (51, 65) handelt, wobei jede der inneren Anschlussflächen (L1) jeweils über eine Signalleitung (58) mit einem in einem Zwischenraum liegenden und in der Leiterplatte ausgebildeten Via (57) verbunden ist, wobei die äußeren Anschlussflächen (L2, L3, L4) außerhalb der inneren Anschlussflächen (L1) angeordnet und mit einer Signalleitung (58) verbunden sind, die sich zu dem äußeren umlaufenden Abschnitt der Leiterplatte (51, 65) hin erstreckt.
  2. Leiterplatte nach Anspruch 1, wobei Seitenränder jedes sich verjüngenden Musters (60, 66) mit zugehörigen Seitenrändern der Leiterbilder (58, 59) verbunden sind und die dazwischenliegenden Verbindungsabschnitte abgerundet sind.
  3. Leiterplatte nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei die Leiterbilder (58, 59) unterschiedlicher Breite jeweils ein erstes Leiterbild (58) und ein zweites Leiterbild (59), welches breiter als das erste Leiterbild (58) ist, umfassen, wobei jedes sich verjüngende Muster (60) zur Verbindung des entsprechenden ersten Leiterbildes (58) mit dem entsprechenden zweiten Leiterbild (59) Seitenränder aufweist, welche zu einer gemeinsamen Mittellinie des ersten Leiterbildes (58) und des zweiten Leiterbildes (59) hin um einen Winkel von 10 bis 45 Grad geneigt ist.
  4. Leiterplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Isolierschicht (55) eine raue Oberfläche aufweist.
  5. Leiterplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Isolierschicht (55) wärmebeständige Harzpartikel, welche in Säuren oder Oxidationsmitteln nur schwer löslich sind, sowie gehärtete wärmebeständige Harzpartikel aufweist, welche in Säuren oder Oxidationsmitteln löslich sind.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6141870A (en) 1997-08-04 2000-11-07 Peter K. Trzyna Method for making electrical device
DE19861009B4 (de) * 1997-08-28 2004-08-19 Mitsubishi Denki K.K. Halbleitereinrichtung
US6317333B1 (en) 1997-08-28 2001-11-13 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Package construction of semiconductor device
JP4190602B2 (ja) * 1997-08-28 2008-12-03 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置
EP1083779B1 (de) * 1998-05-19 2007-01-24 Ibiden Co., Ltd. Gedruckte leiterplatte und verfahren zur herstellung
US6534872B1 (en) * 1998-10-13 2003-03-18 Sun Microsystems, Inc. Apparatus and system with increased signal trace routing options in printed wiring boards and integrated circuit packaging
AU2855400A (en) * 1999-01-22 2000-08-07 Interworks Computer Products, Inc. System and method for interconnecting layers in a printed circuit board
JP2000315843A (ja) * 1999-04-30 2000-11-14 Fujitsu Ltd プリント基板及び半導体装置
JP3213292B2 (ja) * 1999-07-12 2001-10-02 ソニーケミカル株式会社 多層基板、及びモジュール
US6518663B1 (en) * 1999-08-30 2003-02-11 Texas Instruments Incorporated Constant impedance routing for high performance integrated circuit packaging
EP1744606A3 (de) 1999-09-02 2007-04-11 Ibiden Co., Ltd. Gedruckte Schaltungsplatte und Verfahren zur Herstellung
US6430058B1 (en) 1999-12-02 2002-08-06 Intel Corporation Integrated circuit package
KR20140134479A (ko) * 2013-05-14 2014-11-24 삼성전기주식회사 인쇄회로기판
US9508635B2 (en) * 2013-06-27 2016-11-29 STATS ChipPAC Pte. Ltd. Methods of forming conductive jumper traces
JP6329027B2 (ja) * 2014-08-04 2018-05-23 ミネベアミツミ株式会社 フレキシブルプリント基板
JP2019125674A (ja) * 2018-01-16 2019-07-25 東芝デバイス&ストレージ株式会社 中間基板及び積層プリント基板
KR20220064117A (ko) 2020-11-11 2022-05-18 삼성전기주식회사 플렉서블 인쇄회로기판 및 이를 포함하는 전자장치

Family Cites Families (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3589000A (en) 1969-01-13 1971-06-29 Du Pont Method for attaching integrated circuit chips to thick film circuitry
US3716761A (en) 1972-05-03 1973-02-13 Microsystems Int Ltd Universal interconnection structure for microelectronic devices
JPS6041859B2 (ja) * 1980-02-13 1985-09-19 三菱電機株式会社 半導体容器
JPS582054A (ja) 1981-06-26 1983-01-07 Fujitsu Ltd 半導体装置
US4649417A (en) 1983-09-22 1987-03-10 International Business Machines Corporation Multiple voltage integrated circuit packaging substrate
US4739448A (en) 1984-06-25 1988-04-19 Magnavox Government And Industrial Electronics Company Microwave multiport multilayered integrated circuit chip carrier
US4615763A (en) 1985-01-02 1986-10-07 International Business Machines Corporation Roughening surface of a substrate
JPS61177762A (ja) 1985-02-01 1986-08-09 Toshiba Corp 半導体装置
JPS6234469A (ja) 1985-08-07 1987-02-14 Hitachi Ltd ビデオカメラの電子ビユ−フアインダ−内表示方式
JPS63152159A (ja) 1986-12-17 1988-06-24 Kyocera Corp 半導体パツケ−ジの製法
JPS63172490A (ja) 1987-01-12 1988-07-16 日本電気株式会社 多層配線基板
JPS63257306A (ja) * 1987-04-15 1988-10-25 Toshiba Corp 半導体集積回路パツケ−ジ
JPS6432662A (en) 1987-07-29 1989-02-02 Hitachi Ltd Structure of semiconductor package
JPH01164086A (ja) * 1987-12-21 1989-06-28 Toshiba Corp 印刷配線板
KR900701043A (ko) * 1988-02-05 1990-08-17 원본미기재 단축 전기전도성 물품
JPH0828558B2 (ja) 1988-03-30 1996-03-21 株式会社日立製作所 セラミツク基板及びその製造方法
JP2570381B2 (ja) 1988-05-13 1997-01-08 ミノルタ株式会社 フレキシブルプリント基板へのicチツプ搭載構造
JPH0294460A (ja) 1988-09-30 1990-04-05 Hitachi Ltd 半導体素子の実装構造
JPH02148862A (ja) 1988-11-30 1990-06-07 Hitachi Ltd 回路素子パッケージ、キャリヤ基板および製造方法
US5300402A (en) 1988-12-30 1994-04-05 International Business Machines Corporation Composition for photo imaging
JPH0734505B2 (ja) 1989-01-18 1995-04-12 イビデン株式会社 多層プリント配線板およびその製造方法
JPH02250392A (ja) 1989-03-24 1990-10-08 Ngk Insulators Ltd 配線基板の製造方法
JPH02268456A (ja) 1989-04-11 1990-11-02 Denki Kagaku Kogyo Kk 半導体素子パッケージ
JP2810143B2 (ja) 1989-09-13 1998-10-15 株式会社日立製作所 厚膜薄膜混成多層配線基板
JPH0371649A (ja) 1989-08-11 1991-03-27 Hitachi Ltd 半導体集積回路装置およびその製造方法
JP2864612B2 (ja) * 1990-01-26 1999-03-03 セイコーエプソン株式会社 半導体装置
JPH05251511A (ja) 1991-03-29 1993-09-28 Hitachi Cable Ltd 銅・ポリイミド積層構造体の製造方法
JP3004071B2 (ja) * 1991-04-16 2000-01-31 日本特殊陶業株式会社 集積回路用パッケージ
US5344893A (en) * 1991-07-23 1994-09-06 Ibiden Co., Ltd. Epoxy/amino powder resin adhesive for printed circuit board
JPH05235199A (ja) * 1991-08-30 1993-09-10 Oki Electric Ind Co Ltd パターンの厚膜印刷方法
JPH05109922A (ja) * 1991-10-21 1993-04-30 Nec Corp 半導体装置
JPH0614215A (ja) 1991-11-20 1994-01-21 Sanyo Electric Co Ltd デジタル信号処理装置
DE4235019C1 (de) 1992-10-16 1994-04-21 Ame Gmbh Leiterplattenherstellung sowie Montage- und Kontaktierungsverfahren für Bauelemente durch stromlose Metallabscheidung
JPH05206591A (ja) * 1992-01-28 1993-08-13 Hitachi Ltd プリント配線板およびその製造方法
JP3137483B2 (ja) 1992-02-21 2001-02-19 イビデン株式会社 多層プリント配線板およびその製造方法
JP3138520B2 (ja) 1992-02-21 2001-02-26 イビデン株式会社 多層プリント配線板およびその製造方法
JPH05299846A (ja) 1992-04-20 1993-11-12 Sumitomo Metal Ind Ltd 配線基板の製造方法
JPH05327224A (ja) * 1992-05-22 1993-12-10 Dainippon Printing Co Ltd 多層配線基板の製造方法及びその製造方法で製造される多層配線基板
JP2789406B2 (ja) 1992-08-21 1998-08-20 北陸電気工業 株式会社 回路基板
JPH06112355A (ja) * 1992-09-29 1994-04-22 Toshiba Corp セラミックパッケージ
EP0612812B1 (de) * 1993-02-24 2001-07-11 Ibiden Co, Ltd. Harzzusammensetzungen und Verfahren für Ihre Herstellung
JPH06275959A (ja) 1993-03-22 1994-09-30 Hitachi Ltd 多層配線基板とその製造方法および両面プリント配線板の製造方法
JP3135739B2 (ja) 1993-04-28 2001-02-19 イビデン株式会社 電子部品搭載用基板
JP3166442B2 (ja) 1993-10-01 2001-05-14 株式会社日立製作所 多層配線基板およびその製造方法
US5336370A (en) 1993-12-09 1994-08-09 Chipalkatti Makarand H Pre-treatment for plating technique
EP0657932B1 (de) * 1993-12-13 2001-09-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Vorrichtung mit Chipgehäuse und Verfahren zu Ihrer Herstellung
JPH07249627A (ja) * 1994-03-10 1995-09-26 Hitachi Ltd 半導体集積回路装置の製造方法および半導体集積回路装置
JPH0850353A (ja) * 1994-08-05 1996-02-20 Hitachi Ltd 感光性樹脂組成物およびそれを用いたプリント配線板
JPH0892332A (ja) * 1994-09-22 1996-04-09 Ibiden Co Ltd 複合樹脂組成物および樹脂複合体
US5487218A (en) * 1994-11-21 1996-01-30 International Business Machines Corporation Method for making printed circuit boards with selectivity filled plated through holes
JP3404939B2 (ja) 1994-12-19 2003-05-12 富士通株式会社 電子モジュール搭載回路基板ユニット
US5699613A (en) * 1995-09-25 1997-12-23 International Business Machines Corporation Fine dimension stacked vias for a multiple layer circuit board structure
JP3050812B2 (ja) * 1996-08-05 2000-06-12 イビデン株式会社 多層プリント配線板

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990067487A (ko) 1999-08-25
WO1998011605A1 (fr) 1998-03-19
DE69637246D1 (de) 2007-10-25
EP1397031A3 (de) 2005-01-19
EP0883173B1 (de) 2007-09-12
EP0883173A1 (de) 1998-12-09
EP1397031A2 (de) 2004-03-10
EP0883173A4 (de) 2001-05-09
USRE44251E1 (en) 2013-06-04
KR100327887B1 (ko) 2002-10-19

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