WO2009057699A1 - 弾性波装置 - Google Patents

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Abstract

 保護カバーの変形に起因した電気特性の劣化を抑制することができる信頼性に優れた弾性波装置及びその製造方法を提供する。弾性波装置は、弾性波を伝搬させる圧電基板1と、圧電基板1の第1の主面上に配置された励振電極と、励振電極と電気的に接続される柱状の外部接続用電極10と、励振電極が収容される中空の収容空間8を有し、第1の主面上に配置される保護カバー17と、保護カバー17上に配置され、外部接続用電極10と接続されている導体層18と、を備える。
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