JP2013090228A - 弾性波装置、電子部品および弾性波装置の製造方法 - Google Patents
弾性波装置、電子部品および弾性波装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 枠状の溝部10を上面に有する素子基板3と、素子基板3の上面3aのうち枠状の溝部10によって囲まれた領域に位置している励振電極5と、励振電極5を囲む内周面を有して溝部10に嵌め込まれている枠体2および枠体2に重なって枠体2を塞いでいる蓋体4を有するカバー9とを備えた構成とする。
【選択図】 図2
Description
図1(a)は、本発明の実施形態に係るSAW装置1の平面図であり、図1(b)は図1(a)におけるSAW装置1の蓋体4を外した状態の平面図である。また、図2(a)は図1(a)のA−A’線における断面図であり、図2(b)は図1のB−B’線における断面図である。
枠体2の素子基板3への固定が強固なものとなり、枠体2の素子基板3からの剥がれを抑制することができる。また、枠体2が溝部10に嵌め込まれている分、枠体2と素子基板3との界面の長さが長くなるため、その分だけ外部から振動空間21へ浸入しうる水分の浸入経路が長くなり振動空間21へ水分が浸入しにくくなる。よってSAW装置1によれば、振動空間21の気密性を長期にわたって良好な状態に保持することができる。
Transducer)であり、一対の櫛歯状電極を有している。各櫛歯状電極は、素子基板3における弾性表面波の伝搬方向に延びるバスバーと、バスバーから弾性表面波の伝搬方向に直交する方向に伸びる複数の電極指とを有している。2つの櫛歯状電極同士は、それぞれの電極指が互いに噛み合うように設けられている。
絶縁体を介して配置される配線15を例えば下から順にCr/Ni/Au、あるいはCr/Alとした多層構造の配線によって形成する。
図5(a)〜図7(d)は、SAW装置1の製造方法を説明する断面図(図1のA−A’線に対応)である。製造工程は、図5(a)から図7(d)まで順に進んでいく。
さまで素子基板3の上面側を削ることによって形成される。
レジスト層32を除去することによって、図7(d)に示すように補強層17、柱部14の上側部分14bおよびフランジ部16が完成する。柱部14の上側部分14bおよびフランジ部16が完成することによって、柱部14およびフランジ部16からなる端子22が完成する。
2・・・枠体
3・・・素子基板
4・・・蓋体
5・・・励振電極
6・・・接続強化層
7・・・電極パッド
8・・・保護膜
9・・・カバー
10・・・溝部
Claims (11)
- 枠状の溝部を上面に有する素子基板と、
該素子基板の上面のうち前記枠状の溝部によって囲まれた領域に位置している励振電極と、
該励振電極を囲む内周面を有して前記溝部に嵌め込まれている枠体および該枠体に重なって該枠体を塞いでいる蓋体を有するカバーとを備えている弾性波装置。 - 前記枠体は金属を主成分とする材料からなる請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記蓋体は樹脂を主成分とする材料からなる請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記枠状の溝部によって囲まれた領域に位置して前記素子基板の上面と前記蓋体の下面との間に介在する支柱をさらに備えた請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記支柱は、前記励振電極を取り囲むようにして該励振電極の周囲に設けられている請求項4に記載の弾性波装置。
- 前記蓋体の上面のうち、前記素子基板の上面のうちの前記支柱が前記励振電極を取り囲んでいる領域に対して厚み方向において重なる領域に配置された、金属を主成分とする材料からなる補強層をさらに備えた請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記励振電極に電気的に接続された、前記素子基板の上面のうち前記枠状の溝部によって囲まれた領域に位置している電極パッドと、
該電極パッドから厚み方向に伸びて前記蓋体の上面に露出している、前記蓋部を厚み方向に貫いている柱部を有する端子とをさらに備えた請求項1乃至6のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 実装基板と、
該実装基板の上面に配置された実装パッドに前記蓋体の上面に露出している前記端子を対面させた状態で導電性の接合材を介して接合されて、前記実装基板に実装された請求項7に記載の弾性波装置と、
該弾性波装置を被覆する外装樹脂とを備えた電子部品。 - 枠状の溝部を上面に有し、該上面のうち前記枠状の溝部によって囲まれた領域に励振電極が形成された素子基板を用意する工程と、
前記溝部に枠体を嵌め込む工程と、
前記枠体に蓋体を重ねて前記枠体を塞ぐ工程とを含む弾性波装置の製造方法。 - 前記素子基板を用意する工程は、前記素子基板の上面に導電性の膜を形成した後、該膜をパターニングすることによって前記励振電極を形成する工程と、前記励振電極を取り囲む枠状の前記溝部を形成する工程とを含む請求項9に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記枠体を嵌め込む工程において、前記溝部に前記枠体をめっき法によって形成する請求項9または10に記載の弾性波装置の製造方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5729526B1 (ja) * | 2013-08-13 | 2015-06-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2015159465A1 (ja) * | 2014-04-14 | 2015-10-22 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及びその製造方法 |
WO2016039038A1 (ja) * | 2014-09-09 | 2016-03-17 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス、圧電デバイス製造方法、及び電子部品 |
JP2016225727A (ja) * | 2015-05-28 | 2016-12-28 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置および通信装置 |
US9998095B2 (en) | 2015-03-31 | 2018-06-12 | Wisol Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter having metal parts on a passivation part |
JP2018098599A (ja) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子、モジュール部品及びそれらの製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003188294A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-04 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
WO2005122645A1 (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Sanyo Electric Co., Ltd. | 表示パネルの製造方法および表示パネル |
JP2006311218A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス及び電子機器 |
JP2007013261A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Kyocera Corp | 弾性表面波素子およびこれを用いた高周波モジュール |
JP2008270594A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Kyocera Corp | 電子装置 |
WO2009057699A1 (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-07 | Kyocera Corporation | 弾性波装置 |
JP2010135959A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Panasonic Corp | 弾性表面波デバイス |
-
2011
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003188294A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-04 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
WO2005122645A1 (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Sanyo Electric Co., Ltd. | 表示パネルの製造方法および表示パネル |
JP2006311218A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス及び電子機器 |
JP2007013261A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Kyocera Corp | 弾性表面波素子およびこれを用いた高周波モジュール |
JP2008270594A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Kyocera Corp | 電子装置 |
WO2009057699A1 (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-07 | Kyocera Corporation | 弾性波装置 |
JP2010135959A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Panasonic Corp | 弾性表面波デバイス |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5729526B1 (ja) * | 2013-08-13 | 2015-06-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2015159465A1 (ja) * | 2014-04-14 | 2015-10-22 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及びその製造方法 |
US10637431B2 (en) | 2014-04-14 | 2020-04-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component and manufacturing method therefor |
WO2016039038A1 (ja) * | 2014-09-09 | 2016-03-17 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス、圧電デバイス製造方法、及び電子部品 |
US9998095B2 (en) | 2015-03-31 | 2018-06-12 | Wisol Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter having metal parts on a passivation part |
JP2016225727A (ja) * | 2015-05-28 | 2016-12-28 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置および通信装置 |
JP2018098599A (ja) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子、モジュール部品及びそれらの製造方法 |
US10938370B2 (en) | 2016-12-12 | 2021-03-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator unit, module component, and manufacturing method for same |
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