JP5596970B2 - 弾性波装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(SAW装置の構成)
図1は、本発明の第1の実施形態に係るSAW装置1の外観斜視図である。
図3(a)〜図5(c)は、SAW装置1の製造方法を説明する、図1のV−V線における断面図である。なお、図2において蓋部17の破断面はV−V線に対応している。製造工程は、図3(a)から図5(c)まで順に進んでいく。
図6は、第2の実施形態のSAW装置101の外観斜視図である。図7は、SAW装置101のカバー105の一部を破断して示すSAW装置101の斜視図である。
図9は、第3の実施形態のSAW装置201の外観斜視図である。
図10は、第4の実施形態のSAW装置301の外観斜視図である。
<第5の実施形態>
図11は、第5の実施形態のSAW装置401の一部を示す外観斜視図である。
図12は、第6の実施形態に係るSAW装置501における、図5(c)に対応する断面図である。
図13は、第7の実施形態に係るSAW装置601における、図5(c)に対応する断面図である。
Claims (7)
- 基板と、
前記基板の主面に設けられた弾性波素子と、
前記弾性波素子を囲む枠部と、前記枠部に積層され、前記枠部の開口を塞ぐ蓋部とを有するカバーと、
前記主面に立てて設けられ、前記枠部を貫通する端子と、
を有し、
前記蓋部には、前記蓋部を厚み方向に貫通している溝が設けられ、
前記溝は、前記端子を起点とする放射方向において延びるように設けられている
弾性波装置。 - 前記溝は、前記端子から前記蓋部の外側への方向において延びている
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記端子は、前記溝により、前記枠部よりも上方側部分の全体が露出している
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記カバーは、平面視において所定方向に長く形成されており、前記溝は、当該カバーをその短手方向に横切るように形成されている
請求項1に記載の弾性波装置。 - 基板と、
前記基板の主面に設けられた弾性波素子と、
前記弾性波素子を囲む枠部と、前記枠部に積層され、前記枠部の開口を塞ぐ蓋部とを有するカバーと、
前記主面に立てて設けられ、前記枠部を貫通する複数の端子と、
を有し、
前記蓋部には、溝が設けられており、
前記溝は、前記端子を起点とする放射方向であって前記複数の端子のうち隣り合う2つの端子を結ぶ方向に延びている
弾性波装置。 - 基板と、
前記基板の主面に設けられた弾性波素子と、
前記弾性波素子を囲む枠部と、前記枠部に積層され、前記枠部の開口を塞ぐ蓋部とを有するカバーと、
を有し、
前記蓋部には、前記蓋部を厚み方向に貫通している溝が設けられており、
前記カバーは、前記溝により、前記蓋部が2以上に分割されている
弾性波装置。 - 基板の主面に弾性波素子を設ける工程と、
前記弾性波素子を囲む枠部を設ける工程と、
前記枠部に積層され、前記枠部の開口を塞ぐ蓋部構成層を設ける工程と、
前記蓋部構成層をパターニングして、前記枠部の上面を露出させる溝を形成する工程と、
前記枠部を下面から上面へ貫通する貫通孔に金属を充填して前記枠部を貫通する端子を形成する工程と、
を有し、
前記溝を形成する工程では、前記貫通孔を起点とする放射方向に延びるように前記溝を形成する
弾性波装置の製造方法。
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