JP2016225727A - 弾性波装置および通信装置 - Google Patents
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Abstract
Description
波装置および通信装置に関する。
LP構造の弾性波装置は、弾性波装置を圧電基板のウエハー状態で形成できるように、圧電基板に形成された励振電極に電気的に接続された導体が、励振電極を封止するカバー体内またはカバー体外に配置された構造である。
図1は、本発明の第1実施形態に係るSAW装置1の上面図である。
よび短辺の長さは0.5mm〜3mmである。
される。これらの厚さとしては、例えば50nm以上500nm以下に設定することができる。
主面に形成する。その後、その金属膜を微小投影露光機(ステッパー)またはRIE(Reactive Ion Etching)装置を用いたフォトリソグラフィ法によりパターニングすることにより、励振電極3、端子部4および配線5を形成することができる。
mm以上3mm以下となるように設定することができる。
隙間が生じることを抑制することは、導体パターン6が端子部4よりも外側(圧電基板2の外縁側)に配置されるときに特に有効となる。
図6に第2の実施形態に係るSAW装置1Aの構成を示す平面図を示す。図6は、カバ
ー9を取り除いた状態を示す。
図8に第3の実施形態に係るSAW装置1Bの構成を示す平面図を示す。図8は、カバー9を取り除いた状態の圧電基板2の上面2Aにおける要部拡大図である。破線で囲んだ領域が開口部7aとなる。
9によって抑制され、ひいては、弾性波(例えばSAW)の発生が抑制される。その結果、導体パターン6Bの弾性波を介した共振が抑制され、SAW装置1Bの特性が導体パターン6Bの弾性波を介した共振によって低下することが抑制される。具体的には、例えば、導体パターン6Bによるスプリアスが低減され、その結果、例えば、挿入損失が低減される。
図9に第4の実施形態に係るSAW装置1Cの構成を示す平面図を示す。図9は、蓋部8を取り除いた状態の上面図である。
することを低減することができる。また、第2導体パターン11が励振電極3と重ならない領域に配置されている。そのため、第2導体パターン11は、励振電極3との間で浮遊容量等の発生を低減することができる。その結果、SAW装置1Cは、安定した電気特性を得ることができる。
図10(a),(b)に第5の実施形態に係るSAW装置1D,1D’の構成を示す断面図を示す。図10は、図3のV−V線に相当する部位における断面図である。
あってもよいし、弾性境界波装置(ただし、広義のSAW装置に含まれる)であってもよい。なお、弾性境界波装置においては、励振電極上に空隙(振動空間)は不要である。
SAW装置1は、図12に示すように、アンテナ端子13、送信フィルタ14および受信フィルタ15を有する分波器100に適用してもよい。アンテナ端子13は、移動体端末等の通信装置において、アンテナに接続される端子である。送信フィルタ14は送信端子14aから入力された送信信号TSをフィルタリングしてアンテナ端子13に出力するフィルタである。受信フィルタ15はアンテナ端子13から入力された受信信号RSをフィルタリングするフィルタである。フィルタリングされた受信信号RSは出力端子15aから出力される。送信フィルタ14および受信フィルタ15はアンテナ端子13に電気的に接続されている。なお、図12において、Gはグランドを示しており、Lはインダクタを示すものである。また、受信フィルタ15は、ダブルモードSAWフィルタDを示すものである。
図13に示すように、アンテナ16と、アンテナ16に電気的に接続された分波器100と、分波器100に電気的に接続されたRF−IC17とを備える通信装置200であってもよい。通信装置200によれば、図14に示すように、SAW装置1(または分波器100)を回路基板14に実装した場合でも、カバー体6と圧電基板2との接合強度が確保された信頼性の高いものとすることができる。
2 圧電基板
2A 上面
3 励振電極
3b バスバー電極
3c 電極指
3d 反射器
4 端子部
5 配線
6 導体パターン
7 枠部
7a 開口部
8 蓋部
9 カバー
11 第2導体パターン
20 回路基板
Claims (8)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の主面に位置する複数の励振電極と、
前記圧電基板の前記主面に位置する端子部と、
前記圧電基板の前記主面に位置する、前記励振電極間または前記励振電極と前記端子部との間を接続する配線と、
前記圧電基板の前記主面に位置する、導体パターン部と、
前記励振電極を囲むとともに前記導体パターン部と重なる枠部と、前記枠部の開口を塞ぐ蓋部とを備えるカバーと、を備える弾性波装置。 - 前記導体パターン部は、前記配線または前記端子部に接続されたレジスタ、キャパシタまたはインダクタ成分である、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記導体パターンは、ミアンダ状もしくは渦巻き状となっている、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記蓋部は、前記端子部に電気的に接続された第2導体パターンを備える、請求項1乃至3のいずれかに記載の弾性波装置。
- 前記導体パターンと前記第2導体パターンとは前記枠部を挟んで対向している、請求項4に記載の弾性波装置。
- 前記第2導体パターンは、前記枠部と前記蓋部との間に配置されている、請求項4または5に記載の弾性波装置。
- 前記導体パターンは、平面視で前記端子部よりも前記圧電基板の外縁側に位置する、請求項1乃至6のいずれかに記載の弾性波装置。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載の弾性波装置と、前記弾性波装置が実装される回路基板と、を備える通信装置。
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