JP6042689B2 - 弾性波デバイス及びその設計方法 - Google Patents
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Description
された弾性表面波共振器である並列共振器P2が形成されている。直列共振器S1〜S4と並列共振器P1〜2により、ラダー型フィルタが構成されている。各IDTは、信号の損失を防ぐために反射器に挟まれた構成となっている。並列共振器P1とP2は接地用パッドT3に接続されている。また、ダミーパッドT5はダミーのパッドである。また、素子基板1の主面上に、直列共振器S1〜S4と並列共振器P1〜2、入力用パッドT1、出力用パッドT2、接地用パッドT3、T4、及びダミーパッドT5を、囲うようにシールリングSRが形成されている。シールリングSRの幅d1は例えば10μm、高さは20μmとすることができる。シールリングSRは接地用パッドT4に接続されていて、共振器及び他の共振器と接続されたパッドとは接続されていない。これは、寄生容量成分C1、C2をインダクタンスの付与により調整する前に、素子基板の主面上でシールリングSRをグランドの基準電位と共通化しないようにするためである。
た弾性表面波フィルタ100がフリップチップボンディングされている。パッケージ基板600上にはシールリングSRに対応する位置にフレームFが形成されている。フレームFは、例えば樹脂や金属により形成され、シールリングSRと接着されている。フレームFは、封止性を向上するために、内側の領域を完全に囲うように形成されていることが望ましい。なお、シールリングSRの部材とパッケージ基板の部材の密着性が良い場合やハーメチックに封止する必要がない場合などには、フレームFは特に無くてもよい。
Claims (11)
- 素子基板と、
前記素子基板上に形成された複数の弾性波共振器と、
前記素子基板上に形成され、前記弾性波共振器の少なくとも一つに接続され、電気信号が入力される入力用パッドと、
前記素子基板上に形成され、前記弾性波共振器の少なくとも一つに接続され、電気信号が出力される出力用パッドと、
前記素子基板上に形成され、前記弾性波共振器を囲うように形成されたシールリングと、
前記シールリングとグランドとの間に形成された第一インダクタと、
前記素子基板上に形成され、前記弾性波共振器の少なくとも一つをグランドに接続するための第一接地用パッドと、
前記素子基板上に形成され、前記シールリングと接続され、前記第一接地用パッドと接続されていない、第二接地用パッドと、
を有する弾性波デバイス。 - 前記第一インダクタは、前記素子基板が実装されるパッケージ基板の実装面に形成されている、請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記素子基板の側面と同一平面を形成する絶縁性部材からなる封止部と、前記封止部上であって前記素子基板と対抗する面に形成された複数の接続部とを有する弾性波フィルタであって、前記弾性波フィルタは前記パッケージ基板の内部に形成されている、請求項2に記載の弾性波デバイス。
- 前記パッケージ基板の実装面上であって、前記シールリングと対応する領域に形成されたフレームを有する、請求項2〜3に記載の弾性波デバイス。
- 前記第一インダクタは、U字状またはU字状を含む形状で形成されている請求項1〜4に記載の弾性波デバイス。
- 前記第一インダクタは、ミアンダ状に形成されている請求項1〜4に記載の弾性波デバイス。
- 前記第一インダクタは、少なくとも一つの曲がり角を有するように形成されている請求項1〜4に記載の弾性波デバイス。
- 前記弾性波共振器は、弾性表面波共振器または弾性薄膜共振器からなることを特徴とする請求項1〜7に記載の弾性波デバイス。
- 前記複数の弾性波共振器はラダー型フィルタを構成することを特徴とする請求項1〜8に記載の弾性波デバイス。
- 前記第一接地用パッドは、第二インダクタを介して接地されていることを特徴とする請求項1〜9に記載の弾性波デバイス。
- 素子基板と、前記素子基板上に形成された複数の弾性波共振器と、前記素子基板上に形成され、前記弾性波共振器の少なくとも一つに接続され、電気信号が入力される入力用パッドと、前記素子基板上に形成され、前記弾性波共振器の少なくとも一つに接続され、電気信号が出力される出力用パッドと、前記素子基板上に形成され、前記弾性波共振器を囲うように形成されたシールリングと、前記シールリングと前記グランドとの間に形成されたインダクタと、
を有する弾性波デバイスの通過帯域の高周波側の前記通過帯域の外の帯域において、前記帯域の低周波側における前記フィルタの減衰特性を高める場合には前記インダクタのインダクタンスを小さくし、前記帯域の高周波側における前記フィルタの減衰特性を高める場合には前記インダクタのインダクタンスを大きくすることを特徴とする、弾性波フィルタの設計方法。
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