JPWO2019009246A1 - 弾性波装置、分波器および通信装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、弾性波装置1の要部の構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線における断面図である。
基板3は、後述する説明から理解されるように、直接的には、弾性波装置1の電気的特性に影響しない。従って、基板3の材料および寸法は適宜に設定されてよい。基板3の材料は、例えば、絶縁材料であり、絶縁材料は、例えば、樹脂またはセラミックである。なお、基板3は、LT層7等に比較して熱膨張係数が低い材料によって構成されていてもよい。この場合、例えば、温度変化によって弾性波装置1の周波数特性が変化してしまうおそれを低減することができる。このような材料としては、例えば、シリコン等の半導体、サファイア等の単結晶および酸化アルミニウム質焼結体等のセラミックを挙げることができる。なお、基板3は、互いに異なる材料からなる複数の層が積層されて構成されていてもよい。基板3の厚さは、例えば、LT層7よりも厚い。
導電層9は、例えば、金属により形成されている。金属は、適宜な種類のものとされてよく、例えば、アルミニウム(Al)またはAlを主成分とする合金(Al合金)である。Al合金は、例えば、アルミニウム−銅(Cu)合金である。なお、導電層9は、複数の金属層から構成されていてもよい。例えば、AlまたはAl合金と、LT層7との間に、これらの接合性を強化するためのチタン(Ti)からなる比較的薄い層が設けられていてもよい。
1対の櫛歯電極23に電圧が印加されると、複数の電極指27によってLT層7に電圧が印加され、圧電体であるLT層7が振動する。これにより、D1軸方向に伝搬する弾性波が励振される。弾性波は、複数の電極指27によって反射される。そして、複数の電極指27のピッチpを概ね半波長(λ/2)とする定在波が立つ。定在波によってLT層7に生じる電気信号は、複数の電極指27によって取り出される。このような原理により、弾性波装置1は、ピッチpを半波長とする弾性波の周波数を共振周波数とする共振子として機能する。なお、λは、通常、波長を示す記号であり、また、実際の弾性波の波長は2pからずれることもあるが、以下でλの記号を用いる場合、特に断りがない限り、λは2pを意味するものとする。
本願発明者は、多層膜5の材料および厚さ、圧電体層(本実施形態ではLT層7)のオイラー角、材料および厚さ、ならびに導電層9の厚さを種々変更して、弾性波装置1の周波数特性についてシミュレーション計算を行った。そして、スラブモードの弾性波を利用して比較的高い周波数領域(例えば5GHz以上)の共振を実現できる条件を見出した。具体的には、以下のとおりである。なお、以下のシミュレーションでは種々の膜厚は波長λで規格化した値を示した。シミュレーション(図3(a)〜図15(b)および図18(a)〜図49(b))はピッチpを1μmとして行なったが、ピッチを変化させた場合も、λ=2pで表される波長にしたがって実際の膜厚を変化させれば、共振特性は周波数依存性が全体的にシフトするだけで同様の結果となる。
まず、圧電体層(LT層7)および多層膜5の材料を種々変更してシミュレーションを行った。その結果、圧電体層の材料としてLiTaO3の単結晶を用い、第1層11の材料としてSiO2を用い、第2層13の材料としてTa2O5、HfO2、ZrO2、TiO2およびMgOのいずれか1つを用いることによって、スラブモードの弾性波を利用して比較的高い周波数領域の共振を実現できることを見出した。
圧電体層:
材料:LiTaO3
厚さ:0.2λ
オイラー角:(0°,15°,0°)
多層膜:
材料:第1層11はSiO2
積層数:8層
導電層:
材料:Al
厚さ:0.08λ
ピッチp:1μm(λ=2μm)
なお、積層数は、第1層11および第2層13の数の合計(例えば図2の例では6)である(以下、同様。)。
以下では、便宜上、図2に示すように、導電層9(AlまたはAl合金)の厚さを「tAl」で、LT層7の厚さを「tLT」で、第1層11(SiO2)の厚さ「t1」で、第2層13の厚さを「t2」で表わすことがある。また、LT層7のオイラー角を「E」又は「(φ,θ,ψ)」で表わすことがある。
第2層13の材料がTa2O5である場合のパラメータの値の範囲の例については、以下のとおりである。
シミュレーション計算を行った結果、比較的良好な周波数特性を示す実施例3、実施例4および実施例5が得られた。
実施例3:
tAl=0.06λ、tLT=0.20λ、t1=0.10λ、t2=0.98λ、E=(0°,24°,0°)(114°回転YカットX伝搬)
実施例4:
tAl=0.06λ、tLT=0.18λ、t1=0.10λ、t2=0.33λ、E=(0°,16°,0°)(106°回転YカットX伝搬)
実施例5:
tAl=0.06λ、tLT=0.175λ、t1=0.10λ、t2=0.088λ、E=(0°,25°,0°)(115°回転YカットX伝搬)
図6(a)および図6(b)は、ケース1において、導電層9の厚さtAlについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図4(a)および図4(b)と同様の図である。図中、0.5%、4%、6%、8%および9%は、厚さtAlが0.005λ、0.04λ、0.06λ、0.08λおよび0.09λであることを示している。なお、厚さtAl以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例3の値と同じである。)。
図7(a)および図7(b)は、ケース1において、LT層7の厚さtLTについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図4(a)および図4(b)と同様の図である。図中、18%、19%、20%、21%および22%は、厚さtLTが0.18λ、0.19λ、0.20λ、0.21λおよび0.22λであることを示している。なお、厚さtLT以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例3の値と同じである。)。
図8(a)および図8(b)は、ケース1において、第1層11の厚さt1について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図4(a)および図4(b)と同様の図である。図中、6%、7%、10%、13%および14%は、厚さt1が0.06λ、0.07λ、0.10λ、0.13λおよび0.14λであることを示している。なお、厚さt1以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例3の値と同じである。)。
図9(a)および図9(b)は、ケース1において、第2層13の厚さt2について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図4(a)および図4(b)と同様の図である。図中、92.5%、95%、97.5%、100%および102.5%は、厚さt2が0.925λ、0.95λ、0.975λ、1.00λおよび1.025λであることを示している。なお、厚さt2以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例3の値と同じである。)。
図10(a)および図10(b)は、ケース1において、LT層7のオイラー角(φ,θ,ψ)のうちのθについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図4(a)および図4(b)と同様の図である。図中の角度16°、18°、24°、34°および36°は、θに対応している。なお、θ以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例3の値と同じである。)。
図11(a)および図11(b)は、ケース2において、導電層9の厚さtAlについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図5(a)および図5(b)と同様の図である。図中、0.5%、4%、6%、8%および9%は、厚さtAlが0.005λ、0.04λ、0.06λ、0.08λおよび0.09λであることを示している。なお、厚さtAl以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例4の値と同じである。)。
図12(a)および図12(b)は、ケース2において、LT層7の厚さtLTについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図5(a)および図5(b)と同様の図である。図中、15.5%、16.5%、17.5%、18.5%および19.5%は、厚さtLTが0.155λ、0.165λ、0.175λ、0.185λおよび0.195λであることを示している。なお、厚さtLT以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例4の値と同じである。)。
図13(a)および図13(b)は、ケース2において、第1層11の厚さt1について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図5(a)および図5(b)と同様の図である。図中、5%、6%、10%、13%および14%は、厚さt1が0.05λ、0.06λ、0.10λ、0.13λおよび0.14λであることを示している。なお、厚さt1以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例4の値と同じである。)。
図14(a)および図14(b)は、ケース2において、第2層13の厚さt2について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図5(a)および図5(b)と同様の図である。図中、30%、31%、32.5%、34%および35%は、厚さt2が0.30λ、0.31λ、0.325λ、0.34λおよび0.35λであることを示している。なお、厚さt2以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例4の値と同じである。)。
図15(a)および図15(b)は、ケース2において、LT層7のオイラー角(φ,θ,ψ)のうちθについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図5(a)および図5(b)と同様の図である。図中の角度0°、4°、16°、50°および55°は、θに対応している。なお、θ以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例4の値と同じである。)。
図19(a)および図19(b)は、ケース3において、導電層9の厚さtAlについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図18(a)および図18(b)と同様の図である。図中、4%、5%、6%、7%および8%は、厚さtAlが0.04λ、0.05λ、0.06λ、0.07λおよび0.08λであることを示している。なお、厚さtAl以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例5の値と同じである。)。
図20(a)および図20(b)は、ケース3において、LT層7の厚さtLTについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図18(a)および図18(b)と同様の図である。図中、14%、15%、17.5%、20.5%および21%は、厚さtLTが0.14λ、0.15λ、0.175λ、0.205λおよび0.21λであることを示している。なお、厚さtLT以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例5の値と同じである。)。
図21(a)および図21(b)は、ケース3において、第1層11の厚さt1について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図18(a)および図18(b)と同様の図である。図中、5%、6.25%、10%、13.75%および15%は、厚さt1が0.05λ、0.0625λ、0.10λ、0.1375λおよび0.15λであることを示している。なお、厚さt1以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例5の値と同じである。)。
図22(a)および図22(b)は、ケース3において、第2層13の厚さt2について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図18(a)および図18(b)と同様の図である。図中、5%、6.25%、8.75%、10%および11.25%は、厚さt2が0.05λ、0.0625λ、0.0875λ、0.10λおよび0.1125λであることを示している。なお、厚さt2以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例5の値と同じである。)。
図23(a)および図23(b)は、ケース3において、LT層7のオイラー角(φ,θ,ψ)のうちθについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図18(a)および図18(b)と同様の図である。図中の角度−5°、5°、25°、55°および65°は、θに対応している。なお、θ以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例5の値と同じである。)。
第2層13の材料がHfO2である場合のパラメータの値の範囲の例については、以下のとおりである。
シミュレーション計算を行った結果、比較的良好な周波数特性を示す実施例6が得られた。実施例6における各種のパラメータの値は、以下のとおりである。
tAl=0.06λ、tLT=0.175λ、t1=0.13λ、t2=0.08λ、E=(0°,25°,0°)(115°回転YカットX伝搬)
図26(a)および図26(b)は、HfO2ケースにおいて、導電層9の厚さtAlについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図25(a)および図25(b)と同様の図である。図中、1.00%、1.50%、4.00%、7.00%および7.50%は、厚さtAlが0.01λ、0.015λ、0.04λ、0.07λおよび0.075λであることを示している。なお、厚さtAl以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例6の値と同じである。)。
図27(a)および図27(b)は、HfO2ケースにおいて、LT層7の厚さtLTについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図25(a)および図25(b)と同様の図である。図中、12.50%、13.75%、16.25%、18.75%および20.00%は、厚さtLTが0.125λ、0.1375λ、0.1625λ、0.1875λおよび0.2λであることを示している。なお、厚さtLT以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例6の値と同じである。)。
図28(a)および図28(b)は、HfO2ケースにおいて、第1層11の厚さt1について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図25(a)および図25(b)と同様の図である。図中、4.50%、5.00%、9.00%、13.00%および13.50%は、厚さt1が0.045λ、0.05λ、0.09λ、0.13λおよび0.135λであることを示している。なお、厚さt1以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例6の値と同じである。)。
図29(a)および図29(b)は、HfO2ケースにおいて、第2層13の厚さt2について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図25(a)および図25(b)と同様の図である。図中、3.00%、4.00%、7.00%、11.00%および12.00%は、厚さt2が0.03λ、0.04λ、0.07λ、0.11λおよび0.12λであることを示している。なお、厚さt2以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例6の値と同じである。)。
図30(a)および図30(b)は、HfO2ケースにおいて、LT層7のオイラー角(φ,θ,ψ)のうちのθについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図25(a)および図25(b)と同様の図である。図中の角度0°、5°、25°、65°および70°は、θに対応している。なお、θ以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例6の値と同じである。)。
第2層13の材料がZrO2である場合のパラメータの値の範囲の例については、以下のとおりである。
シミュレーション計算を行った結果、比較的良好な周波数特性を示す実施例7が得られた。実施例7における各種のパラメータの値は、以下のとおりである。
tAl=0.06λ、tLT=0.15λ、t1=0.12λ、t2=0.09λ、E=(0°,25°,0°)(115°回転YカットX伝搬)
図32(a)および図32(b)は、ZrO2ケースにおいて、導電層9の厚さtAlについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図31(a)および図31(b)と同様の図である。図中、1.00%、1.50%、4.00%、7.00%および7.50%は、厚さtAlが0.01λ、0.015λ、0.04λ、0.07λおよび0.075λであることを示している。なお、厚さtAl以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例7の値と同じである。)。
図33(a)および図33(b)は、ZrO2ケースにおいて、LT層7の厚さtLTについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図31(a)および図31(b)と同様の図である。図中、11.25%、12.50%、15.00%、17.50%および18.75%は、厚さtLTが0.1125λ、0.125λ、0.15λ、0.175λおよび0.1875λであることを示している。なお、厚さtLT以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例7の値と同じである。)。
図34(a)および図34(b)は、ZrO2ケースにおいて、第1層11の厚さt1について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図31(a)および図31(b)と同様の図である。図中、8.00%、8.50%、12.00%、14.00%および14.50%は、厚さt1が0.08λ、0.085λ、0.12λ、0.14λおよび0.145λであることを示している。なお、厚さt1以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例7の値と同じである。)。
図35(a)および図35(b)は、ZrO2ケースにおいて、第2層13の厚さt2について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図31(a)および図31(b)と同様の図である。図中、5.00%、6.00%、9.00%、12.00%および13.00%は、厚さt2が0.05λ、0.06λ、0.09λ、0.12λおよび0.13λであることを示している。なお、厚さt2以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例7の値と同じである。)。
図36(a)および図36(b)は、ZrO2ケースにおいて、LT層7のオイラー角(φ,θ,ψ)のうちのθについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図31(a)および図31(b)と同様の図である。図中の角度10°、15°、25°、60°および65°は、θに対応している。なお、θ以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例7の値と同じである。)。
第2層13の材料がTiO2である場合のパラメータの値の範囲の例については、以下のとおりである。
シミュレーション計算を行った結果、比較的良好な周波数特性を示す実施例8が得られた。実施例8における各種のパラメータの値は、以下のとおりである。
tAl=0.06λ、tLT=0.175λ、t1=0.1λ、t2=0.18λ、E=(0°,25°,0°)(115°回転YカットX伝搬)
図38(a)および図38(b)は、TiO2ケースにおいて、導電層9の厚さtAlについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図37(a)および図37(b)と同様の図である。図中、1.00%、1.50%、5.00%、8.50%および9.00%は、厚さtAlが0.01λ、0.015λ、0.05λ、0.085λおよび0.09λであることを示している。なお、厚さtAl以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例8の値と同じである。)。
図39(a)および図39(b)は、TiO2ケースにおいて、LT層7の厚さtLTについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図37(a)および図37(b)と同様の図である。図中、13.75%、15.00%、17.50%、21.25%および22.50%は、厚さtLTが0.1375λ、0.15λ、0.175λ、0.2125λおよび0.225λであることを示している。なお、厚さtLT以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例8の値と同じである。)。
図40(a)および図40(b)はTiO2ケースにおいて、第1層11の厚さt1について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図37(a)および図37(b)と同様の図である。図中、5.00%、5.50%、10.00%、15.00%および15.50%は、厚さt1が0.05λ、0.055λ、0.1λ、0.15λおよび0.155λであることを示している。なお、厚さt1以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例8の値と同じである。)。
図41(a)および図41(b)は、TiO2ケースにおいて、第2層13の厚さt2について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図37(a)および図37(b)と同様の図である。図中、10.00%、11.00%、17.00%、24.00%および25.00%は、厚さt2が0.1λ、0.11λ、0.17λ、0.24λおよび0.25λであることを示している。なお、厚さt2以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例8の値と同じである。)。
図42(a)および図42(b)は、TiO2ケースにおいて、LT層7のオイラー角(φ,θ,ψ)のうちのθについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図37(a)および図37(b)と同様の図である。図中の角度−10°、−5°、25°、35°および40°は、θに対応している。なお、θ以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例8の値と同じである。)。
第2層13の材料がMgOである場合のパラメータの値の範囲の例については、以下のとおりである。
シミュレーション計算を行った結果、比較的良好な周波数特性を示す実施例9が得られた。実施例9における各種のパラメータの値は、以下のとおりである。
tAl=0.06λ、tLT=0.175λ、t1=0.12λ、t2=0.15λ、E=(0°,25°,0°)(115°回転YカットX伝搬)
図44(a)および図44(b)は、MgOケースにおいて、導電層9の厚さtAlについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図43(a)および図43(b)と同様の図である。図中、1.00%、1.50%、5.00%、8.50%および9.00%は、厚さtAlが0.01λ、0.015λ、0.05λ、0.085λおよび0.09λであることを示している。なお、厚さtAl以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例9の値と同じである。)。
図45(a)および図45(b)は、MgOケースにおいて、LT層7の厚さtLTについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図43(a)および図43(b)と同様の図である。図中、12.50%、13.75%、17.50%、20.00%および21.25%は、厚さtLTが0.125λ、0.1375λ、0.175λ、0.2λおよび0.2125λであることを示している。なお、厚さtLT以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例9の値と同じである。)。
図46(a)および図46(b)はMgOケースにおいて、第1層11の厚さt1について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図43(a)および図43(b)と同様の図である。図中、6.00%、6.50%、10.50%、15.00%および15.50%は、厚さt1が0.06λ、0.065λ、0.105λ、0.15λおよび0.155λであることを示している。なお、厚さt1以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例9の値と同じである。)。
図47(a)および図47(b)は、MgOケースにおいて、第2層13の厚さt2について種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図43(a)および図43(b)と同様の図である。図中、8.00%、9.00%、16.00%、23.00%および24.00%は、厚さt2が0.08λ、0.09λ、0.16λ、0.23λおよび0.24λであることを示している。なお、厚さt2以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例9の値と同じである。)。
図48(a)および図48(b)は、MgOケースにおいて、LT層7のオイラー角(φ,θ,ψ)のうちのθについて種々の値を仮定したシミュレーション計算の結果を示す、図43(a)および図43(b)と同様の図である。図中の角度−5°、0°、25°、35°および40°は、θに対応している。なお、θ以外のパラメータの値は、基準の値である(実施例9の値と同じである。)。
第2層13の材料が互いに同一(Ta2O5)のケース1〜3間で、各パラメータの値の範囲例を比較する。導電層9の厚さtAlについては、範囲例がケース1〜3間で概ね共通している。また、オイラー角については、ケース2の範囲例とケース3の範囲例とは大部分が重複しており、また、ケース1の範囲例はケース2および3の範囲例に含まれている。一方で、第2層13の厚さt2については、範囲例がケース1〜3間で重複していない。他の厚さにもずれがあり、特に、ケース1とケース2とではLT層7の厚さtLTが重複していない。
上記では、オイラー角(φ,θ,ψ)のうち、φ及びψの値については0°を仮定し、θの値のみを変化させた。以下では、逆に、θを固定して、φ及びψの値について変化させたシミュレーション計算の結果を示す。
tAl=0.07λ、tLT=0.155λ、t1=0.11λ、t2=0.07λ。
第2層13の材料はTa2O5である。
θは25°とした。φは−180°〜180°の範囲で10°ずつ変化させた(ただし、−180°と180°とは等価である。)。ψは0°〜90°の範囲で10°ずつ変化させた。
LT層7のオイラー角を(φ,θ,ψ)とし、nを0、1または2としたときに、
θ=25±5°、
ψ=0°±10°、かつ
−0.608ψ−139.5+120n≦φ≦−0.608ψ−102.0+120n、である。
当該範囲例は、既に述べた種々の第2層13の材料、および各種の層の厚さの範囲例と組み合わされてよい。
弾性波装置1は、公知の種々の工程を組み合わせて製造されてよい。例えば、基板3となるウェハ上に、CVD(chemical vapor deposition)等の薄膜形成法によって、第1層11および第2層13を順次形成していく。一方で、一般的なLT基板のウェハと同様の作製工程によってLT層7となるウェハを準備しておく。そして、LT層7となるウェハを、基板3および多層膜5となるウェハに対して貼り合わせる。貼り合わせでは、多層膜5の最上層(例えば第1層)に対してLT層7を直接に当接させる。その当接の前または後に熱処理等がなされてもよい。その後、LT層7となるウェハの上面に対して導電層9となる金属層の形成およびパターニングが行われ、ウェハがダイシングされる。これにより、弾性波装置1が作製される。パッケージの態様等に応じて適宜な工程が追加されてよいことはもちろんである。
図16は、弾性波装置1の利用例としての分波器101の構成を模式的に示す回路図である。この図の紙面左上に示された符号から理解されるように、この図では、櫛歯電極23が二叉のフォーク形状によって模式的に示され、反射器21は両端が屈曲した1本の線で表わされている。
図17は、弾性波装置1(分波器101)の利用例としての通信装置151の要部を示すブロック図である。通信装置151は、電波を利用した無線通信を行うものであり、分波器101を含んでいる。
Claims (19)
- 基板と、
前記基板上に位置している多層膜と、
前記多層膜上に位置している、LiTaO3の単結晶により構成されているLT層と、
前記LT層上に位置しているIDT電極と、
を有しており、
前記LT層の厚さが、前記IDT電極の電極指のピッチの2倍をλとしたときに、0.3λ以下であり、
前記LT層のオイラー角が、
(0°±20°,−5°以上65°以下,0°±10°)、
(−120°±20°,−5°以上65°以下,0°±10°)、または
(120°±20°,−5°以上65°以下,0°±10°)であり、
前記多層膜が、第1層と第2層とを交互に積層して構成されており、
前記第1層が、SiO2からなり、
前記第2層が、Ta2O5、HfO2、ZrO2、TiO2およびMgOのいずれか1つからなる
弾性波装置。 - 前記第2層が、Ta2O5からなり、
前記LT層の厚さが、0.19λ以上0.21λ以下であり、
前記第1層の厚さが、0.07λ以上0.13λ以下であり、
前記第2層の厚さが、0.95λ以上1.00λ以下である
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記LT層のオイラー角が、(0°±20°,18°以上34°以下,0°±10°)、(−120°±20°,18°以上34°以下,120°±10°)または(120°±20°,18°以上34°以下,120°±10°)である
請求項2に記載の弾性波装置。 - 前記第2層が、Ta2O5からなり、
前記LT層の厚さが、0.165λ以上0.185λ以下であり、
前記第1層の厚さが、0.06λ以上0.13λ以下であり、
前記第2層の厚さが、0.31λ以上0.34λ以下である
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記LT層のオイラー角が、(0°±20°,4°以上50°以下,0°±10°)、(−120°±20°,4°以上50°以下,0°±10°)または(120°±20°,4°以上50°以下,0°±10°)である
請求項4に記載の弾性波装置。 - 前記第2層が、Ta2O5からなり、
前記LT層の厚さが、0.15λ以上0.205λ以下であり、
前記第1層の厚さが、0.0625λ以上0.1375λ以下であり、
前記第2層の厚さが、0.0625λ以上0.10λ以下である
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記LT層のオイラー角が、(0°±20°,5°以上65°以下,0°±10°)、(−120°±20°,5°以上65°以下,0°±10°)または(120°±20°,5°以上65°以下,0°±10°)である
請求項6に記載の弾性波装置。 - 前記第2層が、HfO2からなり、
前記LT層の厚さが、0.1375λ以上0.1875λ以下であり、
前記第1層の厚さが、0.05λ以上0.13λ以下であり、
前記第2層の厚さが、0.04λ以上0.11λ以下である
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記LT層のオイラー角が、(0°±20°,5°以上65°以下,0°±10°)、(−120°±20°,5°以上65°以下,0°±10°)または(120°±20°,5°以上65°以下,0°±10°)である
請求項8に記載の弾性波装置。 - 前記第2層が、ZrO2からなり、
前記LT層の厚さが、0.125λ以上0.175λ以下であり、
前記第1層の厚さが、0.085λ以上0.14λ以下であり、
前記第2層の厚さが、0.06λ以上0.12λ以下である
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記LT層のオイラー角が、(0°±20°,15°以上60°以下,0°±10°)、(−120°±20°,15°以上60°以下,0°±10°)または(120°±20°,15°以上60°以下,0°±10°)である
請求項10に記載の弾性波装置。 - 前記第2層が、TiO2からなり、
前記LT層の厚さが、0.15λ以上0.2125λ以下であり、
前記第1層の厚さが、0.055λ以上0.15λ以下であり、
前記第2層の厚さが、0.11λ以上0.24λ以下である
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記LT層のオイラー角が、(0°±20°,−5°以上35°以下,0°±10°)、(−120°±20°,−5°以上35°以下,0°±10°)または(120°±20°,−5°以上35°以下,0°±10°)である
請求項12に記載の弾性波装置。 - 前記第2層が、MgOからなり、
前記LT層の厚さが、0.1375λ以上0.20λ以下であり、
前記第1層の厚さが、0.065λ以上0.15λ以下であり、
前記第2層の厚さが、0.09λ以上0.23λ以下である
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記LT層のオイラー角が、(0°±20°,0°以上35°以下,0°±10°)、(−120°±20°,0°以上35°以下,0°±10°)または(120°±20°,0°以上35°以下,0°±10°)である
請求項14に記載の弾性波装置。 - 前記複数の電極指の厚みが、0.02λ以上0.085λ以下である
請求項1〜15のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 基板と、
前記基板上に位置している多層膜と、
前記多層膜上に位置している、LiTaO3の単結晶により構成されているLT層と、
前記LT層上に位置しているIDT電極と、
を有しており、
前記LT層の厚さが、前記IDT電極の電極指のピッチの2倍をλとしたときに、0.3λ以下であり、
前記LT層のオイラー角を(φ,θ,ψ)とし、nを0、1または2としたときに、
θ=25±5°、
ψ=0°±10°、かつ
−0.608ψ−139.5+120n≦φ≦−0.608ψ−102.0+120n、であり、
前記多層膜が、第1層と第2層とを交互に積層して構成されており、
前記第1層が、SiO2からなり、
前記第2層が、Ta2O5、HfO2、ZrO2、TiO2およびMgOのいずれか1つからなる
弾性波装置。 - アンテナ端子と、
前記アンテナ端子へ出力される信号をフィルタリングする送信フィルタと、
前記アンテナ端子から入力される信号をフィルタリングする受信フィルタと、
を有しており、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの少なくとも一方が請求項1〜17のいずれか1項に記載の弾性波装置を含んでいる
分波器。 - アンテナと、
前記アンテナに前記アンテナ端子が接続されている請求項18に記載の分波器と、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタに対して信号経路に関して前記アンテナ端子とは反対側に接続されているICと、
を有している通信装置。
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