JP2018050203A - 弾性波デバイス並びに複合基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
圧電基板10の材料:ストイキオメトリ組成の42°YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
圧電基板10の厚さ:20μm
支持基板12の材料:シリコン
支持基板12の厚さ:550μm
基板の接合方法 :アモルファス層による常温接合
圧電基板10の除去方法:図2(d)を研削法、図2(e)をCMP法
金属膜15の材料 :アルミニウム
金属膜15の膜厚 :400nm
電極指16のピッチ:4μm
開口長 :120μm
電極指16の対数 :100対
電極指のデュティ比:50%
保護膜24の材料 :酸化シリコン膜
保護膜24の膜厚 :15nm
共振周波数fr :976MHz
反共振周波数fa:1020MHz
比較例1の作製条件は以下である。
圧電基板10の材料:コングルエント組成の42°YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
支持基板12の材料:サファイア
共振周波数fr :965MHz
反共振周波数fa:1001MHz
その他の条件は実施例1と同じである。
比較例2の作製条件は以下である。
圧電基板10の材料:コングルエント組成の領域上にストイキオメトリ組成の領域を設けた42°YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
圧電基板10の厚さ:コングルエント組成の領域:330μm、ストイキオメトリ組成の領域:20μm
圧電基板10の材料:コングルエント組成の領域の42°YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
圧電基板10の厚さ:150μm
10a 第1領域
10b 第3領域
10c 第2領域
12 支持基板
14 アモルファス層
16 電極指
21 IDT
22 反射器
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
Claims (9)
- 支持基板と、
前記支持基板上に接合され、弾性波の伝搬方向における線熱膨張係数が前記伝搬方向における前記支持基板の線熱膨張係数より大きく、厚さが1μmより大きいストイキオメトリ組成であるタンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムからなる圧電基板と、
前記圧電基板の上面上に設けられたIDTと、
を具備する弾性波デバイス。 - 前記支持基板と前記圧電基板との間にアモルファス層を具備する請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板の下面のリチウム組成比は前記圧電基板の上面のリチウム組成比より大きい請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 前記支持基板はシリコン基板であり、前記圧電基板は回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板である請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 共通端子と第1端子との間に直列に接続された第1直列共振器と、前記共通端子と前記第1端子との間に並列に接続された第1並列共振器と、を有する第1ラダー型フィルタと、
前記共通端子と第2端子との間に直列に接続された第2直列共振器と、前記共通端子と前記第2端子との間に並列に接続された第2並列共振器と、を有し、前記第1ラダー型フィルタより通過帯域の高い第2ラダー型フィルタと、
を具備し、
前記第1直列共振器および前記第2並列共振器は前記IDTを含む請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波デバイス。 - 前記第1並列共振器および第2直列共振器は、コングルエント組成の圧電基板上に形成されたIDTを含む共振器、または圧電薄膜共振器である請求項5記載の弾性波デバイス。
- 支持基板と、
前記支持基板上に接合され、弾性波の伝搬方向における線熱膨張係数が前記伝搬方向における前記支持基板の線熱膨張係数より大きく、厚さが1μmより大きいストイキオメトリ組成であるタンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムからなる圧電基板と、
を具備する複合基板。 - コングルエント組成のタンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムからなる圧電基板の両面にリチウムを導入することにより、ストイキオメトリ組成の第1領域および第2領域と前記第1領域と前記第2領域との間に設けられたコングルエント組成の第3領域を形成する工程と、
前記圧電基板の前記第1領域側を支持基板に接合する工程と、
前記第1領域が露出するように、前記支持基板に接合された前記圧電基板の前記第2領域および第3領域を除去する工程と、
を含む複合基板の製造方法。 - 前記第2領域および前記第3領域を除去する工程は、
前記第3領域が露出するように、前記第2領域をCMP法以外の方法で除去する工程と、
前記第1領域が露出するように、前記第3領域をCMP法で除去する工程と、
を含み、
前記CMP法以外の方法による前記第1領域および前記第2領域の除去速度は、前記CMP法による前記第1領域および前記第2領域の除去速度より大きい請求項8記載の複合基板の製造方法。
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