JP4337816B2 - 弾性境界波装置 - Google Patents
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Description
「Piezoelectric Acoustic Boundary Waves Propagating Along the Interface Between SiO2 and LiTaO3」IEEE Trans. Sonics and ultrason.,VOL.SU-25,No.6,1978IEEE 「Si/SiO2/LiNbO3構造を伝搬する高圧電性境界波」(第26回EMシンポジウム,H9年5月,pp53−58)
本発明では、弾性波を散乱する構造が備えられることにより、所望でないスプリアスが抑制される。
図1(a)及び(b)は、本発明の弾性境界波装置の第1の実施形態を説明するための模式的正面断面図及び模式的斜視図である。
第2の実施形態の弾性境界波装置は、第1の実施形態の弾性境界波装置1と同様の構造を有する。従って、第2の形態の弾性境界波装置については、第1の実施形態の弾性境界波装置について行った説明を援用することとする。第2の実施形態の弾性境界波装置は、第1の実施形態の弾性境界波装置と異なるところは、(1)SiO2膜3の上面に溝が付与されていないこと、並びに(2)SiO2膜の膜厚が7λ以上とされていることにある。
Claims (10)
- 第1,第2の媒質層の境界面を伝搬する弾性境界波を利用した弾性境界波装置において、
前記第2の媒質層の音速が第1の媒質層の音速よりも遅く、前記第2の媒質層の境界面とは反対側の面に弾性波を散乱する構造が設けられており、かつ前記第1の媒質層の境界面とは反対側の面には弾性波を散乱する構造が設けられておらず、かつ第2の媒質層の厚みが第1の媒質層の厚みより小さくされていることを特徴とする、弾性境界波装置。 - 前記弾性波を散乱する構造が、媒質層の前記境界面とは反対側の面に設けられた凹部及び/または凸部である、請求項1に記載の弾性境界波装置。
- 前記弾性境界波の波長をλとしたときに、前記凹部の溝の深さまたは凸部の高さが0.05λ以上である、請求項2に記載の弾性境界波装置。
- 前記弾性境界波の波長をλとしたときに、前記凹部及び/または凸部のピッチが1λ以上である、請求項2または3に記載の弾性境界波装置。
- 前記弾性波を散乱する構造が設けられている媒質層の前記境界面と該境界面と反対側の面との間の寸法である厚みが、弾性境界波の波長をλとしたときに7λ以下である、請求項1〜4のいずれかに記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質層がLi含有圧電体基板からなり、前記第2の媒質層がSiO2からなり、前記SiO2からなる第2の媒質層の表面に凹部及び/または凸部が形成されている、請求項1〜5のいずれかに記載の弾性境界波装置。
- 前記第1,第2の媒質層間に、境界波を励振するための電気音響変換器が形成されている、請求項1〜6のいずれかに記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質層と第2の媒質層との間の境界に設けられた反射器をさらに備える、請求項7に記載の弾性境界波装置。
- 前記媒質層の弾性波を散乱する構造が設けられている面上に設けられた外層材をさらに備えることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の弾性境界波装置。
- 前記第1,第2の媒質層間に、第1,第2の媒質層よりも音速が遅い第3の媒質層が設けられており、該第3の媒質層が弾性境界波が伝搬する境界層とされている、請求項1〜9のいずれかに記載の弾性境界波装置。
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