JP4466655B2 - 弾性境界波装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る弾性境界波装置のさらに別の特定の局面では、前記第1の導体層を構成している金属がAuであり、前記第2の導体層を構成している金属がAl、Mg、Ti、Cr、Ni、Cu、Ag並びにこれらを主体とする合金からなる群から選択した1種の金属である。
また、上記第1の導体層及び第2の導体層を構成している金属が、上記のような1種の金属からなる場合、好ましくは、IDTの膜厚は0.3λ以下とされる。
(発明の効果)
なお、第1の導体層を構成している金属がAuである場合には、第2の導体層を構成している金属がAl、Mg、Ti、Cr、Ni、Cu及びAg並びにこれらを主体とする合金からなる群からなる1種の金属である場合、周波数温度係数TCDの絶対値が10ppm/℃以下のように小さい、良好な特性を容易に実現することができる。
他方、第1の導体層を構成している金属がCuである場合には、第2の導体層を構成している金属として、Al、Mg及びTi並びにこれらを主体とする合金からなる群から選択した1種の金属を用いることにより、ρ1/ρ2>1.8とすることができ、それによって、TCDの絶対値を小さくすることができ、好ましい。
第1の導体層が上記のようにAuやCuで構成されている場合、好ましくは、IDTの膜厚は0.3λ以下とされ、その場合には、TCDの絶対値を10ppm/℃以下とすることが容易となる。
11…第1の媒質
12…第2の媒質
13…IDT
13a,13b…電極指
14,15…反射器
16…第1の導体層
17…第2の導体層
SiO2の密度は2210kg/m3、横波の音響特性インピーダンスは8.3×106kg・s/m2であり、Alの密度は2699kg/m3、横波の音響特性インピーダンスは8.4×106kg・s/m2であり、Cuの密度は8939kg/m3、横波の音響特性インピーダンスは21.4×106kg・s/m2であり、Agの密度は10500kg/m3、横波の音響特性インピーダンスは18.6×106kg・s/m2であり、Auの密度は19300kg/m3、横波の音響特性インピーダンスは24.0×106kg・s/m2である。
本明細書において、基板の切断面と、境界波の鉄板方向を表現するオイラー角(φ,θ,ψ)は、文献「弾性波素子技術ハンドブック」(日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会、第1版第1刷、平成3年11月30日発行、549頁)記載の右手系オイラー角を用いた。すなわち、LNの結晶軸としてX、Y、Zに対し、Z軸を軸としてX軸を反時計廻りにφ回転しXa軸を得る。次に、Xa軸を軸としてZ軸を反時計廻りにθ回転しZ´軸を得る。Xa軸を含み、Z´軸を法線とする面を基板の切断面とした。そして、Z´軸を軸としてXa軸を反時計廻りにψ回転した軸X´方向を境界波の伝搬方向とした。
また、オイラー角の初期値として与えるLiNbO3の結晶軸X、Y、Zは、Z軸をc軸と平行とし、X軸を等価な3方向のa軸のうち任意の一つと平行とし、Y軸はX軸とZ軸を含む面の法線方向とする。
なお、本発明におけるLiNbO3のオイラー角(φ,θ,ψ)は結晶学的に等価であればよい。例えば、文献(日本音響学会誌36巻3号、1980年、140〜145頁)によれば、LiNbO3は三方晶系3m点群に属する結晶であるので、〔4〕式が成り立つ。
=F(60°+φ,−θ,180°−ψ)
=F(φ,180°+θ,180°−ψ)
=F(φ,θ,180°+ψ) 〔4〕
ここで、Fは、電気機械結合係数ks 2、伝搬損失、TCF、PFA、ナチュラル一方向性などの任意の境界波特性である。PFAのナチュラル一方向性は、例えば伝搬方向を正負反転してみた場合、符号は変わるものの絶対量は等しいので実用上等価であると考える。なお、この文献は表面波に関するものであるが、境界波に関しても結晶の対称性は同様に扱える。
LiNbO3については、15°YカットX伝搬のLiNbO3基板を用いた。
IDT:第1の導体層16を構成しているAuの厚みは0.05λまたは可変とした。Alからなる第2の導体層17の厚みは0.1λまたは可変とした。
第1,第2の媒質11,12の厚みは無限大とした。
excitation and propagation directions for excitation of piezoelectric surface
waves 」(J.J.Campbell and W.R.Jones,IEEE Trans. Sonics and Ultrason.,
Vol.SU-15(1968)pp,209-217)に基づいて、求めた。この場合、開放境界の場合には、第1の媒質11と、第2の媒質との境界、第1の媒質11とIDT13との境界、IDT13と第2の媒質12との境界における変位、電位、電束、密度の法線成分及び上下方向応力が連続であるとし、第1の媒質11と第2の媒質12の厚みを無限大とし、IDTなどを構成している導体の比誘電率を1として、音速を求めた。また、短絡境界の場合には、第2の媒質とIDTとの境界、IDTと第1の媒質との境界における電位が0として、音速を求めた。また、電気機械結合係数K2は、下記の式(1)により求めた。なお、式(1)においてVfは開放境界における音速である。
K2=2×│Vf−V│/Vf …式(1)
TCD=(V〔20℃〕−V〔30℃〕)/V〔25℃〕/10+αs
…式(2)
′/E2′は約1.1となる。他方、図11から、E1/E2を求めると、E1/E2は約0.5となる。すなわち、上記実施形態では、E1/E2<E1′/E2′とされていることがわかる。
このような第1,第2の導体層を構成している金属としては、例えば第1の導体層を構成している金属として、Pt、Au、Cu、Ag、Ni、Fe、W、Ta及びCr並びにこれらを主体とする合金からなる群から選択された1種と、第2の導体層を構成している金属として、Mg、Al、Ti、Cr、Ni、Cu及びAg並びにこれらを主体とする合金からなる群から選択した1種の金属を用いた組み合わせが挙げられる。
すなわち、図12〜図14では、第1の導体層が膜厚0.05λのAuからなり、第2の導体層がAlからなり、該Alの規格化膜厚を変化させた場合のTCDの変化を示す。
他方、図13及び図14は、それぞれ、上層の第2の導体層をCu及びAgにより形成した場合に、Cu膜及びAg膜の膜厚を変化させた場合のTCDの変化を示す図である。図13及び図14においても、Auからなる第1の導体層の膜厚は0.05λである。
図12〜図14から明らかなように、IDTの膜厚が0.3λ以下の場合には、第2の導体層を構成している金属が、Alから、Cu、Agと順に密度が大きくなるに従って、TCDの絶対値が10ppm/℃以下の範囲となる領域、すなわち第2の導体層の膜厚範囲が減少していることがわかる。この現象が生じるのは、第1,第2の導体層の密度比によるものであり、Au/Agの密度比は1.83である。
図15及び図16は、第1の導体層を膜厚0.1λのCuとし、第2の導体層をAlまたはTiとし、Al膜またはTi膜の膜厚を変化させた場合のTCDの変化を示す図である。
なお、図15及び図16の縦方向に延びる一点鎖線は、第2の導体層の膜厚が0.2λの位置を示し、この場合第1,第2の導体層の膜厚の合計は0.3λとなる。
図15及び図16から明らかなように、IDTの膜厚が0.5λ以下や0.3λ以下の場合、第1の導体層がCuからなる場合においても、第2の導体層を構成している金属の密度が大きくなるにつれ、TCDの良好な範囲の得られる領域が減少していることがわかる。この現象が生じるのは、第1の導体層の密度と第2の導体層との密度比ρ1/ρ2によるものであり、Cu/Tiの密度比は、1.98であり、ρ1/ρ2>1.8の条件を満たしている。
Claims (13)
- 弾性境界波伝搬方向における遅延時間温度係数が正である第1の媒質と、弾性境界波伝搬方向における遅延時間温度係数が負である第2の媒質と、前記第1,第2の媒質間に配置されており、複数の導体層を積層してなるIDTとを備える弾性境界波装置であって、
前記第1,第2の媒質が積層されている方向が前記IDTの厚み方向であり、該IDTを厚み方向に2等分した面を境界面とし、該境界面から第1の媒質側に存在する弾性境界波のエネルギーをE1、前記境界面から第2の媒質側に存在するエネルギーをE2とし、
前記IDTを構成したときの弾性境界波の音速と、前記IDTを構成する最も密度の大きな導体のみを用いてIDTを構成したときの弾性境界波の音速とが同一となるように、前記最も密度の大きな導体層のみで単一の金属でIDTを構成した条件において弾性境界波のエネルギーが前記境界面から第1の媒質側に存在する弾性境界波のエネルギーをE1′、前記境界面から第2の媒質側に存在するエネルギーをE2′としたときに、E1/E2<E1′/E2′とされていることを特徴とする、弾性境界波装置。 - 前記IDTが、密度が7000〜22000kg/m3の範囲にある金属からなる第1の導体層と、密度が1740kg/m3以上、11000kg/m3より小さい金属からなる第2の導体層とを含む積層構造を有し、
第1の導体層の密度をρ1、第2の導体層の密度をρ2としたときに、ρ1/ρ2>1.8とされており、
前記IDTの前記第2の媒質側に配置される導体層が、前記第1の導体層により構成されている、請求項1に記載の弾性境界波装置。 - 前記第2の導体層の厚みをH、前記IDTの電極指周期をλとしたときに、0.034λ<H<0.5λとされている、請求項2に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDTが前記第1の媒質に接する部分及び/または第2の媒質に接する部分に密着層が設けられていることを特徴とする、請求項2または3に記載の弾性境界波装置。
- 弾性境界波伝搬方向における遅延時間温度係数が正である第1の媒質と、弾性境界波伝搬方向における遅延時間温度係数が負である第2の媒質と、前記第1,第2の媒質間に配置されたIDTとを備える弾性境界波装置であって、
前記IDTが、密度が7000〜22000kg/m3の範囲にある金属からなる第1の導体層と、密度が1740kg/m3以上、11000kg/m3より小さい金属からなる第2の導体層とを含む積層構造を有し、
第1の導体層の密度をρ1、第2の導体層の密度をρ2としたときに、ρ1/ρ2>1.8とされており、
前記IDTの前記第2の媒質側に配置される導体層が、前記第1の導体層であり、
前記第2の導体層の厚みをH、IDTの電極指周期をλとしたときに、0.034λ<H<0.5λとされていることを特徴とする、弾性境界波装置。 - 前記IDTが前記第1の媒質に接する部分及び/または第2の媒質に接する部分に密着層が設けられていることを特徴とする、請求項5に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質が、LiTaO3、LiNbO3、水晶、PZT、LBO、ランガサイト、ランガナイト、及びガラスからなる群から選択された1種により構成されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第2の媒質が、SiO2、水晶、LBO、ランガサイト、ランガナイト、及びガラスからなる群から選択された少なくとも1種により構成されており、かつ第1の媒質の材質とは異なる材料からなる、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の導体層を構成している金属が、Pt、Au、Cu、Ag、Ni、Fe、W、Ta、Cr並びにこれらを主体とする合金からなる群から選択された1種であり、
前記第2の導体層を構成している金属が、Mg、Al、Ti、Cr、Ni、Cu及びAg並びにこれらを主体とする合金からなる群から選択した1種の金属である、請求項2〜6のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。 - 前記第1の導体層を構成している金属がAuであり、前記第2の導体層を構成している金属がAl、Mg、Ti、Cr、Ni、Cu及びAg並びにこれらを主体とする合金からなる群から選択した1種の金属である、請求項2〜9のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の導体層を構成している金属がCuであり、前記第2の導体層を構成している金属がAl、Mg及びTi並びにこれらを主体とする合金からなる群から選択した1種の金属である、請求項2〜9のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDTの膜厚が0.3λ以下とされていること特徴とする請求項10もしくは請求項11に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDTと同じ電極材料で構成されており、かつ前記第1,第2の媒質間に配置されている反射器をさらに備える、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
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