JPS5830217A - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置Info
- Publication number
- JPS5830217A JPS5830217A JP12780381A JP12780381A JPS5830217A JP S5830217 A JPS5830217 A JP S5830217A JP 12780381 A JP12780381 A JP 12780381A JP 12780381 A JP12780381 A JP 12780381A JP S5830217 A JPS5830217 A JP S5830217A
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- Japan
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- acoustic wave
- elastic
- wave device
- wave
- boundary
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性波装置に関するものであル、更に詳しくは
基板端面からの反射を抑圧し、周波数特性の良好な弾性
波装置に関するものである。
基板端面からの反射を抑圧し、周波数特性の良好な弾性
波装置に関するものである。
弾性波装置としては、弾性境界波装置と弾性表面波装置
がＴｏ＃）、前者は第１図（α）（ｂ）に示す様に、圧
電性基板１上にすだれ状電極２．３ヲ設け、更にその上
に圧電性基板１と弾性定数もしくは密度の異なる薄膜４
全形成したものである。そして、この構造によって圧電
基板１と薄膜４との境界面５に１１とんど全てのエネル
ギを集中させることによυ、圧電性を有するストンリー
波に類似する波を発生させ、これをフィルタや遅延線等
の各極電子デバイスに応用した奄のである。
がＴｏ＃）、前者は第１図（α）（ｂ）に示す様に、圧
電性基板１上にすだれ状電極２．３ヲ設け、更にその上
に圧電性基板１と弾性定数もしくは密度の異なる薄膜４
全形成したものである。そして、この構造によって圧電
基板１と薄膜４との境界面５に１１とんど全てのエネル
ギを集中させることによυ、圧電性を有するストンリー
波に類似する波を発生させ、これをフィルタや遅延線等
の各極電子デバイスに応用した奄のである。
しかし、この様な弾性境界波装置では、第２図に示す様
に入力用すだれ状電極２で励起された弾性波が境界面５
に沿って矢印Ａ、Ｂで示す様に左右両方向に伝搬し、そ
の一部は主信号として出力用すだれ状電極３で受信され
る。しかし、その他にも圧電性基板１の端面、即ち境界
面５の端部６．７で反射され比弾性波Ａ’ 、 Ｂ’
も出力用すだれ状電極３で受信される。この弾性波Ａ’
、Ｂ’に基づいて出力用すだれ状電極３で発生される電
気信号は、主信号よりも遅相した信号となるため、周波
数特性上リップルとなって現われるという不都合が生じ
る。
に入力用すだれ状電極２で励起された弾性波が境界面５
に沿って矢印Ａ、Ｂで示す様に左右両方向に伝搬し、そ
の一部は主信号として出力用すだれ状電極３で受信され
る。しかし、その他にも圧電性基板１の端面、即ち境界
面５の端部６．７で反射され比弾性波Ａ’ 、 Ｂ’
も出力用すだれ状電極３で受信される。この弾性波Ａ’
、Ｂ’に基づいて出力用すだれ状電極３で発生される電
気信号は、主信号よりも遅相した信号となるため、周波
数特性上リップルとなって現われるという不都合が生じ
る。
上記と類似の現象は弾性波表面装置においても生じる。
そして、この圧電性基板端面からの反射波を抑圧する手
段として、圧電性基板端面近傍の基板表面に弾性表面波
の吸収材を塗布する方法が一般に用いられている。
段として、圧電性基板端面近傍の基板表面に弾性表面波
の吸収材を塗布する方法が一般に用いられている。
しかし、弾性境界波装置に−７・いては、前述のごとく
、圧電性基板１と薄膜４との境界面５にそのほとんどの
エネルギを集中させ、装置表面のエネルギはほぼ零に等
しいため、弾性表面波装置の場合と同様に、圧電性基板
端６．７の近傍の薄膜４の表面に弾性波吸収材を塗布し
ても、目的とする弾性波の反射波の抑圧にはほとんど寄
与しない。従って、弾性境界波装置を実用化する上で、
上記した基板端面からの反射弾性波を有効に抑制するこ
とが大きな問題となっている。また、弾性表面波装置に
おいても、反射波をより有効に抑圧する手段の開発が期
待されていた。
、圧電性基板１と薄膜４との境界面５にそのほとんどの
エネルギを集中させ、装置表面のエネルギはほぼ零に等
しいため、弾性表面波装置の場合と同様に、圧電性基板
端６．７の近傍の薄膜４の表面に弾性波吸収材を塗布し
ても、目的とする弾性波の反射波の抑圧にはほとんど寄
与しない。従って、弾性境界波装置を実用化する上で、
上記した基板端面からの反射弾性波を有効に抑制するこ
とが大きな問題となっている。また、弾性表面波装置に
おいても、反射波をより有効に抑圧する手段の開発が期
待されていた。
本発明は、かかる従来の弾性波装置の欠点に鑑みなされ
たもので、従来の不具合を改善し、良好な周波数特性を
有する弾性波装置を提供することを目的としている。
たもので、従来の不具合を改善し、良好な周波数特性を
有する弾性波装置を提供することを目的としている。
本発明の弾性波装置は、９＃性波の反射波発生部分を粗
くして九反射させ、反射波全抑圧するものである。
くして九反射させ、反射波全抑圧するものである。
以下添付の図面に示す実施例によって、更に詳細に本発
明につめて説明する。
明につめて説明する。
ｔｌｃ４図は本発明の第１の実施例をボ丁もので、テレ
ビジ日ン受信−の中間周波数段に用いるフィルタを本発
明の弾性境界波で形成したものである。圧電性基板１と
しては、１２８°回転Ｙ軸カットのニオブ酸リチウムを
用い、弾性境界波の伝搬方向はＸ軸とした０すだれ状電
極２．３としては、中心周波数５７ＭＨｚ 、 ′＃１
４ｆｉ対数１５ 対、ｔｌｔ［幅８μ虞の二重電極と、
電価交差−と電極間隔を変化させた重み付きｗｔ極を用
い、いずれの電極もα５μ虞のアルミニウム蒸着膜をフ
ォトエツチングすることにより圧電性基板１上に形成し
た。
ビジ日ン受信−の中間周波数段に用いるフィルタを本発
明の弾性境界波で形成したものである。圧電性基板１と
しては、１２８°回転Ｙ軸カットのニオブ酸リチウムを
用い、弾性境界波の伝搬方向はＸ軸とした０すだれ状電
極２．３としては、中心周波数５７ＭＨｚ 、 ′＃１
４ｆｉ対数１５ 対、ｔｌｔ［幅８μ虞の二重電極と、
電価交差−と電極間隔を変化させた重み付きｗｔ極を用
い、いずれの電極もα５μ虞のアルミニウム蒸着膜をフ
ォトエツチングすることにより圧電性基板１上に形成し
た。
また、薄膜４としては、二酸化シリコンｔ−ＣＶＤ法に
より基板上に３０μｍ形成した。しかる後、基板をチッ
プ分割し、第５図に示す様に弾性境界波の伝搬方向に面
する二つの基板端面８，９にサウンドペーパーを用いて
、弾性境界波の波長６４μ鶏程度の不規則な凹凸を形成
した。
より基板上に３０μｍ形成した。しかる後、基板をチッ
プ分割し、第５図に示す様に弾性境界波の伝搬方向に面
する二つの基板端面８，９にサウンドペーパーを用いて
、弾性境界波の波長６４μ鶏程度の不規則な凹凸を形成
した。
第４図は、第３図に示す実施例の周波数ｑ！ｌ性【示す
図である。第４図に示す様に、従来の弾性境界波装置で
生じていたリップル１０は、本発明では曲線１１に示さ
れる様にほとんど抑制され、この時の反射信号のレベル
は主信号に対して一３５ｄＢ以下となった。
図である。第４図に示す様に、従来の弾性境界波装置で
生じていたリップル１０は、本発明では曲線１１に示さ
れる様にほとんど抑制され、この時の反射信号のレベル
は主信号に対して一３５ｄＢ以下となった。
第５図は、本発明の第２の実施例を示すもので、薄膜４
の端面だけを粗くしたものである。
の端面だけを粗くしたものである。
この場合にも、弾性境界波が反射される境界面端部が粗
く構成されるため、上記第１の実施例と全く同様の反射
波抑制効果が得られる。この場合において、薄膜端面の
不規則な凹凸は、薄膜４を圧電性基板１上に一様に形成
した後、フォトエツチング技術を用いて形成した。
く構成されるため、上記第１の実施例と全く同様の反射
波抑制効果が得られる。この場合において、薄膜端面の
不規則な凹凸は、薄膜４を圧電性基板１上に一様に形成
した後、フォトエツチング技術を用いて形成した。
尚、以上の実施例は、弾性境界波装置に関するものであ
り九が、弾性境界波のかわシに弾性表面波を励受信する
弾性表面波装置においても、全く同様に応用でき、反射
弾性表面波を抑制することが可能になる。
り九が、弾性境界波のかわシに弾性表面波を励受信する
弾性表面波装置においても、全く同様に応用でき、反射
弾性表面波を抑制することが可能になる。
以上の説明から明らかな様に本発明によれば、弾性波の
端面反射信号が著しく抑圧され、良好な周波数特性を有
する弾性波装置を提供することが可能となる。
端面反射信号が著しく抑圧され、良好な周波数特性を有
する弾性波装置を提供することが可能となる。
第１図（ａ）は従来の弾性境界波装置を示す平面図、第
１図Ｃｂ）は従来の弾性境界波装置を示す側面断面図、
第２図は従来の弾性境界波装置の弾性境界波の端面反射
の状１ｍｍ来示説明図、第５図は本発明の第１の実施例
を示す平面図、第４図は第３図に示した第１の実施例の
周波数特性を示す図、第５図は本発明の第２の実施例を
示す図である。 １・・・圧電性基板 ２．３・・・すだれ状電極４
・・・薄膜 ５・・・境界面６、７．８．９
．１２．１５・・・境界面の端部箋玉 １ 図
（ｃＬ） ＜ｂ） 茶 ２図 第−５乏 第４図 ５２ ５４ 、！；ｂ ５ｅｊ
６０ ６２）巳１うｌ２＃ ＜Ｍ Ｈｌ） 第 ５ 図
１図Ｃｂ）は従来の弾性境界波装置を示す側面断面図、
第２図は従来の弾性境界波装置の弾性境界波の端面反射
の状１ｍｍ来示説明図、第５図は本発明の第１の実施例
を示す平面図、第４図は第３図に示した第１の実施例の
周波数特性を示す図、第５図は本発明の第２の実施例を
示す図である。 １・・・圧電性基板 ２．３・・・すだれ状電極４
・・・薄膜 ５・・・境界面６、７．８．９
．１２．１５・・・境界面の端部箋玉 １ 図
（ｃＬ） ＜ｂ） 茶 ２図 第−５乏 第４図 ５２ ５４ 、！；ｂ ５ｅｊ
６０ ６２）巳１うｌ２＃ ＜Ｍ Ｈｌ） 第 ５ 図
Claims (2)
- （１） 電気信号を弾性波に変換する第１のすだれ状
電極と、該弾性波を再び電気信号に変換する第２のすだ
れ状電極と、該弾性波が伝搬する伝搬路とを備えてなシ
、かつ該弾性波の伝搬路端部を粗く形成して、伝搬路端
部で蚊弾性ｆＩｌＹｒ乱反射させることを特徴とする弾
性波装置。 - （２） 上記弾性波が、弾性境界波であること１に％
黴とする特許請求の範囲第（１）項記載の弾性波装置。 （８１上記弾性波が、弾性表面波であることｔ′特徴と
する特許請求の範囲第（１）項記載の弾性波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12780381A JPS5830217A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12780381A JPS5830217A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | 弾性波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5830217A true JPS5830217A (ja) | 1983-02-22 |
Family
ID=14969057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12780381A Pending JPS5830217A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | 弾性波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830217A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005036744A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| WO2005036743A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| JP2006270398A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Sony Corp | 微小振動子、半導体装置及び通信装置 |
| WO2006123518A1 (ja) | 2005-05-16 | 2006-11-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| US7411473B2 (en) | 2005-05-20 | 2008-08-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic boundary wave device |
| US7456544B2 (en) | 2005-05-26 | 2008-11-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave device |
| JPWO2007097151A1 (ja) * | 2006-02-23 | 2009-07-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
| JPWO2007138844A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2009-10-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| US7876020B2 (en) | 2007-03-06 | 2011-01-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave device including idt electrodes including a plurality of conductive layers with different densities |
-
1981
- 1981-08-17 JP JP12780381A patent/JPS5830217A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005036744A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| WO2005036743A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| JP2006270398A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Sony Corp | 微小振動子、半導体装置及び通信装置 |
| WO2006123518A1 (ja) | 2005-05-16 | 2006-11-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| US7394336B2 (en) | 2005-05-16 | 2008-07-01 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Elastic boundary wave apparatus |
| US7411473B2 (en) | 2005-05-20 | 2008-08-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic boundary wave device |
| US7456544B2 (en) | 2005-05-26 | 2008-11-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave device |
| JPWO2007097151A1 (ja) * | 2006-02-23 | 2009-07-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
| JPWO2007138844A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2009-10-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| JP4692629B2 (ja) * | 2006-05-30 | 2011-06-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| US7876020B2 (en) | 2007-03-06 | 2011-01-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave device including idt electrodes including a plurality of conductive layers with different densities |
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