JPH0685597A - 弾性表面波装置 - Google Patents

弾性表面波装置

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JPH0685597A
JPH0685597A JP4234535A JP23453592A JPH0685597A JP H0685597 A JPH0685597 A JP H0685597A JP 4234535 A JP4234535 A JP 4234535A JP 23453592 A JP23453592 A JP 23453592A JP H0685597 A JPH0685597 A JP H0685597A
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acoustic wave
surface acoustic
input
wave device
substrate
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Yoshiko Tera
佳子 寺
Koji Morishima
宏司 森島
Atsushi Sakai
淳 酒井
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 安易に安価で小型化でき、特性劣化を引き起
こさない弾性表面波装置を供する事を目的とする。 【構成】 弾性表面波を伝播する基板上に形成された複
数の交互に配列された入力・出力トランスデューサを持
つ弾性表面波装置が弾性表面波の伝播路の延長線上にあ
り、かつ伝播方向に対して角度θ（５°＜θ＜85°＜又
は−85°＜θ＜−５°）をなす傾斜面を少なくとも１つ
は含む金属パターンをトランスデューサの外部に有する
事を特徴とした弾性表面波装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波装置に関する
ものである。特に低損失で帯域内特性のリップルの少な
い弾性表面波装置を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、低損失で帯域外特性の優れた弾性
表面波装置を実現する方法として両端部の入出力トラン
スデューサの外側に金属薄膜によるパターンを作り、そ
れを接地する方法がよく用いられている。例えば1981年
７月20日発行の電子通信学会技術研究報告［電子部品・
材料］Vol.81,No78 中のCPM81-20に示されている。この
種の弾性表面波装置の第１の発明に対応する従来例の構
成を図３を参照しながら説明する。図３は上記文献中の
写真を参考に３電極構成で簡単に示したものである。図
３において、従来の弾性表面波フィルタは、弾性表面波
を伝播する基板１に２個の入力トランスデューサ２と１
個の出力トランスデューサ３とを弾性表面波の伝搬方向
に沿って交互に配列し、入力トランスデューサ２を入力
端子４に接続するとともに出力トランスデューサ３を出
力端子５に接続し、入力トランスデューサ２の外側に接
地された金属パターン６を配置して構成されている。な
お説明を簡単にするため、電極数と電極指数を減らして
いるが、これは基本的な構造を取り出した為であり外部
の金属パターン６の役割については同じである。
【０００３】また例えば実開平2-28125 で提案された弾
性表面波装置の図を簡単に示すと、図５のようになる。
１は弾性表面波を伝播する基板であり、平行四辺形をし
ている。この上に２個の入力トランスデューサ２と１個
のトランスデューサ３とを弾性表面波の伝搬方向に沿っ
て交互に配列し入力トランスデューサ２を入力端子４に
接続するとともに、出力トランスデューサ３を出力端子
５に接続して構成されている。
【０００４】次に上述した従来例の動作を説明する。入
力端子４に供給された入力信号の電力は、入力トランス
デューサ２に２分の１ずつ分配され、入力トランスデュ
ーサ２より弾性表面波に変換される。変換された弾性表
面波は図３又は図５中矢印で示すように入力トランスデ
ューサ２の両側に向かって伝播する。出力トランスデュ
ーサ３は弾性表面波を受信し、電気信号に変換する。変
換された電気信号は出力トランスデューサ５から出力電
気信号として出力される。
【０００５】ここで入力トランスデューサ２から基板１
の両端部に向かって伝播した弾性表面波は、出力トラン
スデューサ３により受信されない。これにより弾性表面
波を伝播する基板１の両端に向かった合計２分の１の電
力を捨てる事になる。
【０００６】一般に両端に漏れた弾性表面波が弾性表面
波伝播路の延長上にある基板１の端部において金属パタ
ーンで構成される入力トランスデューサから金属パター
ンの存在しない両端部に伝播する際、金属パターンの有
無による音響インピーダンスの不整合により反射をおこ
し、振幅周波数特性、位相周波数特性等にリップルを生
ずる特性劣化がある。そこで、図３のように伝播路の延
長線上に金属パターン６を作成する。すると音響インピ
ーダンスの不整合が少なく反射が生じにくい。そこで両
端に漏れた弾性表面波による基板１の端部での反射によ
る影響を小さくする事ができる。一方、基板端部の乱反
射を利用したのが図５である。
【０００７】図２７は例えば特開平1-292908号公報に示
された第２の発明に対応する従来の弾性表面波素子を示
す平面図である。また図２８は例えば特開昭62-12206号
公報に示された従来のグレーティング反射器を備えた弾
性表面波素子を示す平面図である。また図２９は例えば
特開昭62-31212号公報に示された従来のマルチストリッ
プカプラを備えた弾性表面波を示す平面図である。
【０００８】それぞれの素子の構成を説明すると２及び
３はそれぞれ電気信号を弾性表面波にまたは弾性表面波
を電気信号に変換する入力側及び出力側のインターデジ
タルトランスデューサ（以下、ＩＤＴと記述する）、７
は弾性表面波を反射するグレーティング反射器、８はマ
ルチストリップカプラ（以下、ＭＳＣと記述する）であ
る。２、３、７、８の各部は基板表面上に構成されてお
り、これらの図においては基板は省略している。
【０００９】入力側及び出力側ＩＤＴはそれぞれ互いに
くし歯状の部分が入り込む電極指２aと２b及び電極指３
aと３bから構成されている。またグレーティング反射器
及びＭＳＣはそれぞれ複数のストリップラインから構成
されている。
【００１０】これら従来例の弾性表面波素子をパターニ
ングする際に電子線露光方式を用いることがある。電子
線露光方式はフォトマスクのパターンを光により転写す
るフォトリソグラフィと違い電子線を感光剤に照射する
ことによって感光させるものであり、線源波長の短さか
ら特に微細なパターニングに有効な露光方法である。
【００１１】また前記フォトリソグラフィによるパター
ニングに用いられるフォトマスクの製作においても電子
線露光がおこなわれる。そしてフォトマスクのパターン
構成は弾性表面波素子とまったく同じである。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第１の
発明に対応する従来の弾性表面波装置では以上のように
構成されているので図３の構成では、入力トランスデュ
ーサ２の端部から漏れた弾性表面波は、金属パターン６
と入力トランスデューサ２の境界においては反射が生じ
にくいが、金属パターン６の端部から基板端部に伝播す
る際金属パターンの有無による同様の構成で音響インピ
ーダンスの不整合のため、この部分において反射が生じ
る。これは、金属パターン６と入力トランスデューサ２
の境界においては、入力トランスデューサ２から伝播す
る弾性表面波は、所定の基板上を伝播するので入力トラ
スデューサ２・金属パターン６間の距離を調整すること
により反射の影響を低減することができるのに対して、
金属パターン６と基板端部の境界においては、弾性表面
波は金属パターンを配置した領域を伝播するためこのよ
うな調節が難しいことに基づくものである。同様の構造
により、Ｙ回転Ｘ伝搬ニオブ酸リチウム基板上に入出力
トランスデューサ13個を交互に配置したもので、実際に
試作したところ図４のように、やはり反射の影響が大き
く表れる事がわかった。ここで、Ｙ回転Ｘ伝搬ニオブ酸
リチウム基板とは、ニオブ酸リチウムの弾性表面波が伝
播する基板表面の法線方向が結晶軸のＹ軸より５９゜以
上６９゜以下Ｚ軸に向けて傾いており、弾性表面波が伝
播する方向が結晶軸のＸ軸に対し、ー５゜以上５゜又は
１７５゜以上１８５゜以下の角度をなす基板を意味し、
弾性表面波を伝播させる基板では特に性能のよいもので
ある。
【００１３】図４のｔ1 はフィードスルー(直接波)、ｔ
2 は主信号、ｔ3 ，ｔ4 が図３の金属パターン６による
反射、ｔ5 は図３の基板１の端面反射である。これによ
る周波数特性が図６である。一方図５の構成での周波数
特性は図７である。とちらも、リップルは小さいもの
の、やはり、かなり残っている。また、図５の構成は基
板１が大きくなる為、小型化には不向きであった。
【００１４】第１の発明は上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、入力あるいは出力トランスデ
ューサを形成する方法と同じ方法で形成できる為構成が
簡単であり、トランスデューサの両端から漏れた弾性表
面波の反射波による特性劣化を防止する事を目的とする
とともに、装置の小型化を可能とした弾性表面波装置を
得る事を目的とする。
【００１５】第２の発明に対応する従来の弾性表面波素
子は以上のように構成されているので、電子線露光方式
によるパターニングを行なった場合、線源から感光剤中
のある１点に照射された電子は感光剤中で運動をするた
め周囲の感光剤に影響を及ぼす。その結果、各部で感光
状態が異なり近接効果と呼ばれるライン幅の変化が生じ
ることがあった。
【００１６】つまり、図３０のように電極指の交差部分
より交差しない根本部分の幅が細くなり時には一部根本
部分が切れる、あるいは図３１に代表されるように１番
端あるいはすぐ隣にパターンがない電極指や、グレーテ
ィング反射器やＭＳＣのストリップラインの幅が他の電
極指や、グレーティング反射器やＭＳＣのストリップラ
インよりも細くなる、といった問題点があった。同時に
フォトマスクにおいても同様の問題があった。
【００１７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、近接効果によるパターニング不
良を防止できる弾性表面波素子を得ることを目的とす
る。
【００１８】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係る弾性表
面波装置は、弾性表面波を伝播する基板表面上に形成さ
れた入出力トランスデューサの配列の両端の入力又は出
力トランスデューサの外側であって弾性表面波の伝播方
向の延長線上に配置された金属パターンが弾性表面波の
伝播方向に対して傾斜した面を持つものである。
【００１９】第２の発明に係る弾性表面波素子は、入力
側及び出力側ＩＤＴにおいて、電極指の交差する部分よ
りも交差しない根本部分を太くしたものである。また、
入力側及び出力側ＩＤＴにおいて、パターン間距離が他
よりも充分広い電極指を、すぐ隣の電極指よりも太くし
たものである。それぞれグレーティング反射器及びマル
チストリップカプラにおいて、パターン間距離が他より
も充分広いグレーティング反射器またはマルチストリッ
プカプラのストリップラインを、すぐ隣のストリップラ
インよりも太くしてもよい。マルチストリップカプラに
おいて、ストリップラインのパターン間距離が他よりも
充分広い部分の幅を、そうでない部分の幅よりも太くし
たものである。
【００２０】
【作用】第１の発明における弾性表面波装置は、両端部
のトランスデューサかつ外部へ漏れた弾性表面波が両端
のトランスデューサと金属パターンの境界において反射
することなく伝播し、更にインピーダンスギャップによ
り屈折して進行するため、トランスデューサ内部の弾性
表面波の伝播方向から免れる。その結果大半のトランス
デューサの両端から漏れた波は、トランスデューサ内部
へ戻らないので、基板端部による反射の影響は小さく特
性劣化が除去される。
【００２１】第２の発明は電子線露光の際に電子による
近接効果のため、細くなるあるいは無くなってしまう傾
向のあった部分のパターン幅をあらかじめ太く設定する
ことによりパターニング不良を防止することができる。
【００２２】
【実施例】実施例１．以下、第１の発明の実施例を図１
と図２(ａ)(ｂ)について説明する。図１，図２(ａ)(ｂ)
は、１の圧電体基板に２個の入力トランスデューサ２
と、１個の出力トランスデューサ３とを弾性表面波の伝
播方向に沿って交互に配列し、入力トランスデューサ２
を入力端子４に接続するとともに出力トランスデューサ
３を出力端子５に接続し、入力トランスデューサ２の外
側に金属薄膜による金属パターン6a，6bを配置した構成
である。ここで、この金属薄膜はＡｌ、Ａｕ、Ｃｕ等を
スパッタリングしたものである。図１と図２(ａ)は両端
のトランスデューサ２に対して金属パターン6a, 6bが半
波長分だけ離れている。また図２(ｂ)は入射波と反射波
の波の変位を模式図で表したものである。本実施例で
は、入力トランスデューサ２と出力トランスデューサ３
の両隣りの金属パターン6aと6bを従来の図３の金属パタ
ーン６の長方形に対し、台形で作成した。上記の構成に
より本実施例の図１と図２(ａ)の弾性表面波装置は、両
端の入力トランスデューサ２から損失された弾性表面波
が台形の金属パターン6a，6bの中を伝播して各々の端部
でインピーダンス不整合により、反射・屈折される。こ
の為、再び端部の入力トランスデューサ２へ戻って来る
弾性表面波はわずかな為、従って基板端部での反射の影
響もわずかになる。また、図１の場合では、両端の入力
トランスデューサ２と金属パターン6a，6bの間にある金
属のないわずかなスリットの部分で生じる反射について
特に考慮していないが、これを考慮し、例えば図２ａの
様に間隔を半波長にする。すると、図２(ｂ)の様に、金
属パターン6a,6bで反射される波は、両端部の入力トラ
ンスデューサ２から外部へ漏れる波と位相が３πだけず
れる為互いに弱め合い、端面による反射の影響を更に小
さくする事ができる。
【００２３】実施例２．また、上記実施例では、トラン
スデューサ端部の外にある金属パターン6a，6bを台形に
していたが、図９の様な５角形，図１０のような台形の
変形，更に図１１の様に金属パターン6a, 6bの一部を金
属で覆わない多角形やその変形にする事も考えられる。
また図１２の様に金属パターン6a, 6bの一部を波形にし
てもよく、これらは上記実施例と同様の効果を奏する。
【００２４】なお、上記の金属パターン6a，6bは上記実
施例のように一部に設ける必要はなく、図１３のように
全面を覆っていても同様の効果を奏する。
【００２５】なお、上記実施例では金属パターン6a，6b
を浮遊電極として扱ってきたが、図１４の様に金属パタ
ーン6a，6bを共に接地してもよい。また、図１５の様に
隣接するトランスデューサと金属パターン6a，6bが連続
一体となっていてもよい。
【００２６】また、上記実施例は、両端部のトランスデ
ューサの外部に金属パターン6a，6bを配していたが図１
６の様に上記実施例のパターンをグレーティング反射器
７の外部に配置してもよく上記実施例と同様の効果を奏
する。
【００２７】実施例３．以下、第２の発明の一実施例を
図について説明する。図１７，図１８，図１９，図２０
は弾性表面波素子の平面図である。図１７，図１８，図
１９，図２０において前記図２７と同一部分には同一符
号を付して重複説明を省略する。
【００２８】まず図１７について請求項１記載の弾性表
面波素子を説明する。入力側ＩＤＴ２のくし歯状の電極
指２a，２b及び出力側ＩＤＴ３のくし歯状の電極指３
a，３ｂが互いに入り込むように形成されており、各電
極指２ａ，２b及び３a，３bについて、それぞれ対向す
る電極指（２aと２b、３aと３b）と交差する部分と交差
しない根本部分とに分けて考える。
【００２９】図２７のような弾性表面波素子を電子線露
光方式によりパターニングした場合、電子による近接効
果の結果、電極指の交差しない根本部分は交差する部分
よりも細くなり、時には一部消えてしまう傾向があっ
た。そこで電極指の交差しない根本部分をあらかじめ太
く設定しておくことによって、たとえ近接効果によりそ
の部分が細くなったとしても従来のように一部消えてし
まうといったことはなくなりパターン不良は防止され
る。
【００３０】なお、図１８，図１９は図１７において、
電極指根本部分の幅を交差する部分よりも太くする際の
形状を変化させたものであり、上記実施例と同様の効果
を奏する。また図２０は図１７において、電極指の一部
について根本部分の幅を太くしたものであり、上記実施
例と同様の効果を奏する。
【００３１】実施例４．図２１，図２２はこの発明の弾
性表面波素子の平面図である。図２１，図２２において
前記図１１と同一部分には同一符号を付して重複説明を
省略する。
【００３２】図２７のような弾性表面波素子を電子線露
光方式によりパターニングした場合、電子による近接効
果の結果、パターン間距離が他よりも充分広い電極指が
他の電極指よりも細くなってしまう傾向があった。そこ
でパターン間距離が他よりも充分広い電極指をあらかじ
め太く設定しておくことで、近接効果によって電極指が
細くなってしまうという現象を防止することが出来る。
【００３３】図２１においてパターン間距離が他よりも
充分広い電極指は弾性表面波素子の最外部パターンであ
る２c及び３cである。また図２２において、パターン間
距離が他よりも充分広い電極指は、弾性表面波素子の最
外部パターンである電極指２c及び３c、ならびに入力側
ＩＤＴと出力側ＩＤＴの間の空間に面した電極指２d及
び３dである。
【００３４】なお、上記実施例において、入力側及び出
力側ＩＤＴによってのみ構成される弾性表面波素子につ
いて記述したが、ＩＤＴ以外にも例えばグレーティング
反射器などを備えた弾性表面波素子についても適用で
き、同様の効果を奏する。
【００３５】実施例５．図２３，図２４はこの発明の弾
性表面波素子の平面図である。図２３，図２４において
前記図２８と同一部分には同一符号を付して重複説明を
省略する。
【００３６】図２８のような弾性表面波素子を電子線露
光方式によりパターニングした場合、電子による近接効
果の結果、パターン間距離が他よりも充分広いグレーテ
ィング反射器のストリップラインが他のストリップライ
ンよりも細くなってしまう傾向があった。そこでパター
ン間距離が他よりも充分広いストリップラインをあらか
じめ太く設定しておくことで、近接効果によってストリ
ップラインが細くなってしまうという現象を防止するこ
とが出来る。
【００３７】図２３においてパターン間距離が他よりも
充分広いストリップラインは弾性表面波素子の最外部パ
ターンであるストリップライン７aである。また図２４
において、パターン間距離が他よりも充分広いストリッ
プラインは、弾性表面波素子の最外部パターンであるス
トリップライン７a，ならびにＩＤＴに面したストリッ
プライン７bである。
【００３８】なお、上記実施例において入力側及び出力
側ＩＤＴとグレーティング反射器によってのみ構成され
る弾性表面波素子について記述したが、ＩＤＴと反射器
以外にも例えばマルチストリップカプラなどを備えた弾
性表面波素子についても適用でき、同様の効果を奏す
る。
【００３９】実施例６．図２５はこの発明の弾性表面波
素子の平面図である。図２５において前記図２９と同一
部分には同一符号を付して重複説明を省略する。図２９
のような弾性表面波素子を電子線露光方式によりパター
ニングした場合、電子による近接効果の結果、パターン
間距離が他よりも充分広いマルチストリップカプラのス
トリップラインが他のストリップラインよりも細くなっ
てしまう傾向があった。そこでパターン間距離が他より
も充分広いストリップラインをあらかじめ太く設定して
おくことで、近接効果によってストリップラインが細く
なってしまうという現象を防止することが出来る。図２
５においてパターン間距離が他よりも充分広いストリッ
プラインはＭＳＣの外部パターンであるストリップライ
ン８aである。
【００４０】実施例７．図２６は請求項５記載の弾性表
面波素子の平面図である。図２６において前記図２９と
同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。図
２９のような弾性表面波素子を電子線露光方式によりパ
ターニングした場合、電子による近接効果の結果、マル
チストリップカプラのストリップラインの、パターン間
距離が他よりも充分広い部分が他の部分より細くなって
しまう傾向があった。そこでストリップラインのパター
ン間距離が他よりも充分広い部分をあらかじめ太く設定
しておくことで、近接効果によってストリップラインの
一部が細くなってしまうという現象を防止することが出
来る。図２６においてマルチストリップカプラのストリ
ップラインの、パターン間距離が他よりも充分広い部分
はＭＳＣの最外部パターンであるストリップライン８a
の一部である。
【００４１】なお、上記の各発明では弾性表面波素子の
パターニングについて説明したが、弾性表面波素子に用
いられるフォトマスクのパターニングについても前述の
ように適用することができ、上記実施例と同様の効果を
奏する。
【００４２】また、上記の各発明では入力側ＩＤＴ，出
力側ＩＤＴがそれぞれ１つずつで構成される弾性表面波
素子について説明したが、複数の入力側及び出力側ＩＤ
Ｔから成る弾性表面波素子についても適用でき、同様の
効果を奏する。
【００４３】
【発明の効果】以上のように第１の発明によれば、トラ
ンスデューサ両端の外部に設けた金属パターンを弾性表
面波が散乱するような形状で構成したので、装置が安易
で安価にでき、更に小型化を実施しても、特性の劣化を
招かないという効果がある。
【００４４】以上のように第２の発明によれば電極指の
交差しない根本部分の幅を交差する部分より太くするこ
とで、従来の製造工程を変更することなく電子線露光の
際のパターン不良を防止でき、安定した弾性表面波素子
を製造することができる。また、パターン間距離が他よ
りも充分広い電極指・グレーティング反射器のストリッ
プライン・マルチストリップカプラのストリップライン
の幅を、それぞれ隣接する電極指・ストリップラインよ
り太くすることで、従来の製造工程を変更することなく
電子線露光の際、パターン幅が細くなることを防止で
き、安定した弾性表面波素子を製造することができる。
さらにマルチストリップラインのストリップラインのパ
ターン間距離が他よりも充分広い部分の幅を他の部分よ
りも太くすることで、従来の製造工程を変更することな
く電子線露光の際、ストリップラインの幅が一部細くな
ることを防止でき、安定した弾性表面波素子を製造する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例による弾性表面波装置の構
成図である。
【図２】この発明の一実施例による弾性表面波装置の他
の構成図である。
【図３】従来の弾性表面波装置の一例の構成図である。
【図４】従来の弾性表面波装置の一例の周波数特性図で
ある。
【図５】従来の弾性表面波装置の他の例の構成図であ
る。
【図６】図３の構成による弾性表面波装置の特性図にお
ける主信号の拡大図である。
【図７】図５の構成による弾性表面波装置の特性図にお
ける主信号の拡大図である。
【図８】図２(ａ)に示された構成による弾性表面波装置
の特性図における主信号の拡大図である。
【図９】この発明の他の実施例による弾性表面波装置の
構成図である。
【図１０】この発明の他の実施例による弾性表面波装置
の構成図である。
【図１１】この発明の他の実施例による弾性表面波装置
の構成図である。
【図１２】この発明の他の実施例による弾性表面波装置
の構成図である。
【図１３】この発明の他の実施例による弾性表面波装置
の構成図である。
【図１４】この発明の他の実施例による弾性表面波装置
の構成図である。
【図１５】この発明の他の実施例による弾性表面波装置
の構成図である。
【図１６】この発明の他の実施例による弾性表面波装置
の構成図である。
【図１７】実施例１による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図１８】実施例１による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図１９】実施例１による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図２０】実施例１による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図２１】実施例２による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図２２】実施例２による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図２３】実施例３による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図２４】実施例３による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図２５】実施例４による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図２６】実施例５による弾性表面波素子の平面図であ
る。
【図２７】従来の弾性表面波素子の平面図である。
【図２８】従来の弾性表面波素子の平面図である。
【図２９】従来の弾性表面波素子の平面図である。
【図３０】従来の弾性表面波素子を電子線露光した場合
に発生する問題を示した平面図である。
【図３１】従来の弾性表面波素子を電子線露光した場合
に発生する問題を示した平面図である。
【符号の説明】
１ 弾性表面波を伝播する基板 ２ 入力トランスデューサ ３ 出力トランスデューサ ４ 入力端子 ５ 出力端子 ６ 金属薄膜によって形成された金属パターン 6a 金属薄膜によって形成された第１の金属パターン 6b 金属薄膜によって形成された第２の金属パターン ７ グレーティング反射器 ８ マルチストリップカプラ ｔ1 フィードスルーによる信号到達時間 ｔ2 主信号到達時間 ｔ3 金属パターン端部での反射による信号到達時間 ｔ4 金属パターン端部での反射による信号到達時間 ｔ5 基板端面反射による信号到達時間

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 弾性表面波を伝播する基板と、この基板
    表面上に形成された電気・音響変換ための入力トランス
    デューサと、この基板表面上に形成され、前記入力トラ
    ンスデューサとともに弾性表面波の伝播方向に複数交互
    に配列された音響・電気変換のための出力トランスデュ
    ーサと、前記複数のトランスデューサの配列の両端の入
    力又は出力トランスデューサの外側であって弾性表面波
    の伝播方向の延長線上に配置された金属パターンとを備
    えた弾性表面波装置において、前記金属パターンは、表
    面波の伝播方向に対して傾斜した面を持つことを特徴と
    する弾性表面波装置。
  2. 【請求項２】 弾性表面波を伝播する基板と、この基板
    表面上に形成された電気・音響変換ための入力トランス
    デューサと、この基板表面上に形成され、前記入力トラ
    ンスデューサとともに弾性表面波の伝播方向に複数交互
    に配列された音響・電気変換のための出力トランスデュ
    ーサと、前記複数のトランスデューサの配列の両端の入
    力又は出力トランスデューサの外側であって弾性表面波
    の伝播方向の延長線上に配置されたグレーティング反射
    器と、当該グレーティング反射器の外側であって弾性表
    面波の伝播方向の延長線上に配置された金属パターンと
    を備えた弾性表面波装置において、前記金属パターン
    は、表面波の伝播方向に対して傾斜した面を持つことを
    特徴とする弾性表面波装置。
  3. 【請求項３】 前記金属パターンは、金属パターンと基
    板との境界に構成される面であって、前記トランスデュ
    ーサから伝播する弾性表面波が最初に到達する第１の面
    と、当該弾性表面波が前記金属パターンの配置された領
    域を伝播した後に到達する第２の面とを有し、弾性表面
    波の伝播方向に対して前記第１の面は垂直に、また前記
    第２の面は傾斜して配置されていることを特徴とする請
    求項１又は２記載の弾性表面波装置。
  4. 【請求項４】 前記金属パターンは、両端部の入力トラ
    ンスデューサから励振または出力トランスデューサで受
    信される弾性表面波の位相に対し、前記第１の面によっ
    て反射される弾性表面波の位相が（２ｎ＋１）π（但し
    ｎは０を含む自然数）だけ異なるように配置されている
    ことを特徴とする請求項３記載の弾性表面波装置。
  5. 【請求項５】 前記金属パターンは、グレーティング反
    射器で反射される弾性表面波の位相に対し、前記第１の
    面によって反射される弾性表面波の位相が（２ｎ＋１）
    π（但しｎは０を含む自然数）だけ異なるように配置さ
    れていることを特徴とする弾性表面波装置。
  6. 【請求項６】 前記金属パターンは隣接する入力または
    出力トランスデューサと連続一体となった金属薄膜で形
    成されていることを特徴とする請求項１、２、３、４、
    ５記載の弾性表面波装置。
  7. 【請求項７】 前記金属パターンは接地されていること
    を特徴とする請求項１、２、３、４、５、６記載の弾性
    表面波装置。
  8. 【請求項８】 弾性表面波を伝播する前記基板にニオブ
    酸リチウムLiNbO3を用いたことを特徴とする請求項１、
    ２、３、４、５、６、７記載の弾性表面波装置。
  9. 【請求項９】 ニオブ酸リチウムの弾性表面波が伝播す
    る基板表面の法線方向が結晶軸のＹ軸より59°以上69°
    以下Ｚ軸に向けて傾いており、弾性表面波が伝播する方
    向が結晶軸のＸ軸に対し−５°以上５°以下又は、175
    °以上185°以下の角度をなすことを特徴とする請求項
    ８の弾性表面波装置。
  10. 【請求項１０】 弾性表面波を伝播する基板と、この基
    板表面上に形成された電気・音響変換又は音響・電気変
    換のための入出力トランスデューサであって相対向する
    異なる電極から伸びた互いに入り込み交差する部分をも
    つ電極指から構成されている入出力トランスデューサか
    らなる弾性表面波素子とを有する弾性表面波装置におい
    て、前記電極指の、対向する電極から伸びた電極指と交
    差しない根本部分を対向する電極から伸びた電極指と交
    差する部分より太くしたことを特徴とする弾性表面波装
    置。
  11. 【請求項１１】 弾性表面波を伝播する基板と、この基
    板表面上に形成された電気・音響変換又は音響・電気変
    換のための入出力トランスデューサであって相対向する
    異なる電極から伸びた互いに入り込み交差する部分をも
    つ電極指から構成されている入出力トランスデューサか
    らなる弾性表面波素子とを有する弾性表面波装置におい
    て、隣接するパターンとの間隔が充分広い電極指の幅
    を、前記の充分広い間隔と反対側に隣接する電極指の幅
    よりも太くしたことを特徴とする弾性表面波装置。
  12. 【請求項１２】 弾性表面波を伝播する基板と、この基
    板表面上に形成された電気・音響変換又は音響・電気変
    換のための入出力トランスデューサであって相対向する
    異なる電極から伸びた互いに入り込み交差する部分をも
    つ電極指から構成されている入出力トランスデューサか
    らなる弾性表面波素子と、弾性表面波を反射するグレー
    ティング反射器とを有する弾性表面波装置において、反
    射器を構成するストリップラインのうち隣接するパター
    ンとの間隔が充分広いストリップラインの幅を、前記の
    充分広い間隔と反対側に隣接するストリップラインの幅
    よりも太くしたことを特徴とした弾性表面波装置。
  13. 【請求項１３】 弾性表面波を伝播する基板と、この基
    板表面上に形成された電気・音響変換又は音響・電気変
    換のための入出力トランスデューサであって相対向する
    異なる電極から伸びた互いに入り込み交差する部分をも
    つ電極指から構成されている入出力トランスデューサか
    らなる弾性表面波素子と、マルチストリップカプラとを
    備えた弾性表面波装置において、マルチストリップカプ
    ラを構成するストリップラインのうち隣接するパターン
    との間隔が充分広いストリップラインの幅を前記の充分
    広い間隔と反対側に隣接するストリップラインの幅より
    も太くしたことを特徴とした弾性表面波装置。
  14. 【請求項１４】 弾性表面波を伝播する基板と、この基
    板表面上に形成された電気・音響変換又は音響・電気変
    換のための入出力トランスデューサであって相対向する
    異なる電極から伸びた互いに入り込み交差する部分をも
    つ電極指から構成されている入出力トランスデューサか
    らなる弾性表面波素子と、マルチストリップカプラとを
    備えた弾性表面波装置において、マルチストリップカプ
    ラを構成するストリップラインの隣接するパターンとの
    間隔が充分広い部分の幅を隣接するパターンとの間隔が
    広くない部分の幅よりも太くしたことを特徴とした弾性
    表面波装置。
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