JP2006157307A - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電基板上に、複数の電極指と一対のバスバー電極とを有するIDTを形成するとともに、該IDTの弾性表面波の伝搬方向の両側に、一対の反射器を形成してなる弾性表面波装置において、バスバー電極のそれぞれに、少なくとも一本のスリットを電極指と垂直に形成したことを特徴とする弾性表面波装置。
【選択図】図1
Description
これは、スリット23、33に対して斜めに入射して来る弾性表面波を効率よく反射させるためである。例えば、スリット23、33に垂直な方向に対して角度Aで入射する弾性表面波をブラッグ反射させるためには、スリット23、33の配列ピッチは電極指31の配列ピッチの1/cosA、スリット23、33の幅は電極指31の配列ピッチの1/(2cosA)とすればよい。弾性表面波はスリット23、33に対して様々な角度で入射して来るために全ての弾性表面波をブラッグ反射させる事は不可能であるが、スリット23、33の配列ピッチを電極指31の配列ピッチよりも小さくしておくことにより、ある特定の角度で入射して来る弾性表面波をブラッグ反射させることができ、弾性表面波を効率的に反射することが可能となる。
20・・・反射器
21・・・反射電極
22・・・共通電極
30・・・IDT
31・・・電極指
32・・・バスバー電極
23、33・・・スリット
33a・・・スリット片
40・・・パッド電極
Claims (5)
- 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って等間隔に配設した複数の電極指の一端をバスバー電極で接続してなる一対の櫛歯状電極を、前記電極指が互いに噛み合うように対向させてなるIDTを形成するとともに、該IDTの弾性表面波の伝搬方向の両側に、弾性表面波の伝搬方向に沿って等間隔に配設した複数の反射電極の両端を共通電極で接続してなる一対の反射器を形成してなる弾性表面波装置において、
前記一対のバスバー電極のそれぞれに、少なくとも一本のスリットを、前記複数の電極指と垂直に形成したことを特徴とする弾性表面波装置。 - 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って等間隔に配設した複数の電極指の一端をバスバー電極で接続してなる一対の櫛歯状電極を、前記電極指が互いに噛み合うように対向させてなるIDTを形成するとともに、該IDTの弾性表面波の伝搬方向の両側に、弾性表面波の伝搬方向に沿って等間隔に配設した複数の反射電極の両端を共通電極で接続してなる一対の反射器を形成してなる弾性表面波装置において、
前記一対の共通電極のそれぞれに、少なくとも一本のスリットを、前記複数の電極指と垂直に形成したことを特徴とする弾性表面波装置。 - 圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って等間隔に配設した複数の電極指の一端をバスバー電極で接続してなる一対の櫛歯状電極を、前記電極指が互いに噛み合うように対向させてなるIDTを形成するとともに、該IDTの弾性表面波の伝搬方向の両側に、弾性表面波の伝搬方向に沿って等間隔に配設した複数の反射電極の両端を共通電極で接続してなる一対の反射器を形成してなる弾性表面波装置において、
前記一対のバスバー電極と前記一対の共通電極のそれぞれに、少なくとも一本のスリットを、前記複数の電極指と垂直に形成したことを特徴とする弾性表面波装置。 - 前記スリットの幅が前記電極指の配列ピッチの1/2より小さくされていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の弾性表面波装置。
- 前記スリットがそれぞれの前記バスバー電極及び/又は前記共通電極に複数本形成されており、その配列ピッチが前記電極指の配列ピッチより小さくされていることを特徴とする請求項1乃至4に記載の弾性表面波装置。
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