JP2008103954A - 弾性表面波素子片 - Google Patents

Abstract

【課題】高次横モードに基づく中心周波数の近傍におけるディップを低減する。
【解決手段】弾性表面波素子片４０は、圧電基板１２に一対のすだれ状電極部であるＩＤＴ４２、４４と、一対の反射器５６（５６ａ、５６ｂ）が設けてある。ＩＤＴ４２、４４と反射器５６とは、圧電基板１２に励振された弾性表面波の導波路を形成している。ＩＤＴ４２のＩＤＴ導波路部の中心線６４と、ＩＤＴ４４のＩＤＴ導波路部の中心線６６とは、弾性表面波の伝播方向と直交した方向において相互にずれている。反射器５６の反射器導波路部の中心線６８、７０は、隣接するＩＤＴ導波路部の中心線に対して弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれている。ＩＤＴ４２、４４のＩＤＴ導波路部の中心線６４、６６と反射器５６の反射器導波路部の中心線６８、７０とは、千鳥に位置する。したがって、ＩＤＴ４２、４４と反射器５６とが形成する導波路は、ほぼ蛇行した形状に形成される。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧電基板に励振した弾性表面波を利用する弾性表面波デバイスを形成する弾性表面波素子片に関する。

弾性表面波（Surface Acoustic Wave：ＳＡＷ）デバイスに用いられる弾性表面波素子片は、水晶やタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）などの圧電の基板にＩＤＴ（Interdigital Transducer）と呼ばれるすだれ状電極を形成し、すだれ状電極によって圧電基板に弾性表面波を励振する。そして、弾性表面波デバイスである弾性表面波フィルタ用の弾性表面波素子片は、通常、弾性表面波の伝播方向に沿って複数のすだれ状電極が形成してある。

図７は、従来のフィルタ用表面波素子片の一例を模式的に示した平面図である。図７において、弾性表面波素子片１０は、圧電基板１２の中央部に一対のＩＤＴ１４、１６が設けてある。圧電基板１２は、例えば水晶やタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）などの圧電体からなり、平面視矩形状に形成してある。一対のＩＤＴ１４、１６は、圧電基板１２の弾性表面波の伝播方向に沿って配置してある。ＩＤＴ１４は、一対の櫛型電極１８（１８ａ、１８ｂ）からなっていて、櫛型電極の櫛歯に相当する電極指２０（２０ａ、２０ｂ）が噛み合うように配置されてすだれ状をなしている。そして、電極指２０ａと電極指２０ｂとは、対応するバスバー２４（２４ａ、２４ｂ）に一端が接続してある。他方のＩＤＴ１６は、一対の櫛型電極２２（２２ａ、２２ｂ）からなっていて、ＩＤＴ１４と同様に、電極指２０が相互に噛み合うように配置してある。これらの電極指２０は、櫛型電極１８と同様に、一端が対応するバスバー２４に接続してある。

バスバー２４は、ワイヤボンディング部（ボンディングパッド）を兼ねていて、バスバー２４にボンディングワイヤ２６が接合される。なお、バスバー２４にボンディングワイヤ２６を接合しない場合、電極指２０の長手方向となるバスバー２４の外側に、バスバー２４と電気的に接続した２００μｍ×２００μｍ程度のボンディングパッド（ワイヤボンディング部）を形成する。そして、このボンディングパッドにボンディングワイヤ２６を接合するようにしている。また、一対のＩＤＴ１４、１６のいずれか一方（例えば、ＩＤＴ１４）は、入力側となっていて、櫛型電極１８ａ、１８ｂとの間にボンディングワイヤ２６を介して信号電圧が印加され、圧電基板１２の表層部に所定周波数の弾性波（弾性表面波）を励振する。他方のＩＤＴ１６は、出力側となっていて、圧電基板１２を伝播してきた弾性表面波の振幅に比例した電圧を得ることができる。

ＩＤＴ１４、１６の弾性表面波の伝播方向外側には、ＩＤＴ１４、１６を挟んで一対の反射器２８（２８ａ、２８ｂ）が設けてある。各反射器２８は、電極指２０と平行に形成した複数の導体ストリップ３０から形成されていて格子状をなしている。各反射器２８は、複数の導体ストリップ３０の両端が接続バー３２によって相互に接続してある。これらのＩＤＴ１４、１６および反射器２８は、圧電基板１２に励振された弾性表面波の伝送路である導波路を構成している。反射器２８の開口幅、すなわち反射器２８の導体ストリップ３０が形成する導波路の幅ＢがＩＤＴ１４、１６の電極指２０の形成する電極交差部３４、３６の幅Ｗより広くしてある。すなわち、反射器導波路部の幅Ｂが、ＩＤＴ１４、１６を構成している電極指２０の弾性表面波の伝播方向における重なり部の幅Ｗより広くしてある。また、反射器２８の開口幅（反射器導波路部の幅）Ｂは、ＩＤＴ１４、１６の電極指２０によって形成された導波路の幅、すなわちバスバー２４ａ、２４ｂ間の幅Ｗ０とほぼ同じにしてある。
このような弾性表面波素子片１０は、ＲＦフィルタ、デュープレクサ、ＩＦフィルタ等に利用されている。

ところが、このように形成した弾性表面波素子片１０は、反射器２８の開口幅（反射器導波路部の幅）ＢがＩＤＴ１４、１６の導波路（ＩＤＴ導波路部）の幅Ｗ０とほぼ等しく形成してある。したがって、ＩＤＴ１４、１６に閉じ込められる高次横モードのパターンと反射器２８に閉じ込められる高次横モードのパターンとが同じとなる。このため、弾性表面波素子片１０は、フィルタとした場合に、高次横モードに基づくスプリアスが発生し、図８にαとして示したように、通過帯域ＰＢ内にディップを生ずる。なお、図８は、周波数と挿入損失との関係を示したものである。図８の横軸は、周波数であって、フィルタの中心周波数Ｆ０からの周波数偏差をＭＨｚで示し、縦軸は挿入損失をｄＢで示している。そして、中心周波数Ｆ０は、約１００ＭＨｚである。

そこで、特許文献１、２は、反射器の開口幅Ｂを電極交差部の交差幅Ｗより小さくし、反射器において高次横モードの一部を反射しないようにして、高次横モードに基づくスプリアスを抑圧するようにしている。
特開平７−８６８６９号公報 特開平８−２２２９８９号公報

特許文献１、２に記載のように、反射器の開口幅をＩＤＴの電極交差幅より小さくすると、反射器が高次横モードの一部しか反射しないため、高次横モードに基づく中心周波数Ｆ０近傍に生ずるディップαを抑圧することができる。しかし、特許文献１、２に記載の弾性表面波素子片は、反射器の開口幅（反射器導波路部の幅）を電極交差部の交差幅より狭くしてあるため、反射器が電極交差部において励振した弾性表面波の一部のみしか反射しない。すなわち、電極交差部で励振した弾性表面波のエネルギーの一部を反射せずにロスすることになり、挿入損失を増大させ、クリスタルインピーダンスが高くなる。

本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、高次横モードに基づく中心周波数の近傍におけるディップを低減することを目的としている。

上記の目的を達成するために、本発明に係る弾性表面波素子片は、圧電基板にすだれ状電極部が設けてある弾性表面波素子片であって、励振された弾性表面波が伝播する前記圧電基板に形成した導波路の少なくとも一部が蛇行している、ことを特徴としている。

弾性表面波は、直進性が大きいので、伝播する導波路が蛇行しているため、導波路の各部分における幅が同じであったとしても、導波路の各部分において高次横モードの一部を反射しない。このため、導波路内に閉じ込められる高次横モードのエネルギーが全体として小さくなり、高次横モードに基づいたスプリアスが抑制され、中心周波数近傍のディップを低減することができる。

すだれ状電極部を構成している電極指が形成する電極交差部は、蛇行させないことが望ましい。電極交差部を蛇行させないで形成することにより、大きなエネルギーをもって弾性表面波を励振できる。

導波路の蛇行は、すだれ状電極部が形成するＩＤＴ導波路部自体を蛇行させてもよい。また、すだれ状電極部に隣接して反射器を有する場合、導波路の蛇行は、反射器が形成する反射器導波路部を、ＩＤＴ波路部の隣接部分に対して、弾性表面波の伝播方向と直交した方向に変位させて行なってもよい。ＩＤＴ導波路部は、すだれ状電極部を構成する櫛型電極の複数の電極指と、電極指の長手方向側方に設けたグレーティング部とから構成することにより、蛇行の程度を大きくしても、電極指が形成する電極交差部を容易に蛇行させないようにすることができる。

本発明に係る弾性表面波素子片の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。なお、背景技術において説明した部分に対応した部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る弾性表面波フィルタとして用いられる弾性表面波素子片の模式的に示した平面図である。図１において、弾性表面波素子片４０は、圧電基板１２の中央部にすだれ状電極部である一対のＩＤＴ４２、４４が弾性表面波の伝播方向に沿って設けてある。各ＩＤＴ４２、４４は、それぞれ櫛型電極４６（４６ａ、４６ｂ）から構成してある。各櫛型電極４６は、櫛歯となる複数の電極指２０（２０ａ、２０ｂ）を有する。櫛型電極４６ａ、４６ｂは、それぞれの電極指２０が相互に噛み合うように配置してある。そして、それぞれのＩＤＴ４２、４４は、電極指２０が電極交差部３４、３６を形成している。

ＩＤＴ４２、４４を構成している一方の櫛型電極４６ａは、電極指２０ａの一端がバスバー４８によって相互に接続されている。他方の櫛型電極４６ｂは、櫛型電極４６ａのバスバー４８に相当した部分、すなわち電極指２０ｂの長手方向側方にグレーティング部５０を有している。グレーティング部５０は、電極指２０ｂの一端を相互に接続している。グレーティング部５０は、図２に示したように、グリッド５２とショートバー５４とから形成してある。グリッド５２は、電極指２０に対応して設けてあって、実施形態の場合、電極指２０と同軸に形成してある。ショートバー５４は、グリッド５２に直交して設けてあり、各グリッド５２を相互に接続している。ショートバー５４は、複数形成してあって、グレーティング部５０におけるオーミック抵抗が小さくなるようにしている。

また、櫛型電極４６ｂのグレーティング部５０の長手方向一端には、ワイヤボンディング部５５が設けてあり、このワイヤボンディング部５５に本図に図示しないボンディングワイヤ２６を接合するようになっている。ワイヤボンディング部５５は、グレーティング部５０を形成している金属と同じ導電性金属によって形成してあり、グリッド５２とショートバー５４とが形成したグレーティング部５０の升目を埋めて設けてある。

なお、櫛型電極４６ｂは、実施形態の場合、太さが５μｍのショートバー５４を３本設けた場合を示しているが、ショートバー５４の太さと数は、弾性表面波素子片４０の特性を考慮して、適宜に設定することができる。また、ワイヤボンディング部５５は、グレーティング部５０の他端側、すなわち反射器５６と反対側の隣接したＩＤＴ側に形成してもよい。

弾性表面波素子片４０は、弾性表面波の伝播方向にＩＤＴ４２、４４を挟んで一対の反射器５６（５６ａ、５６ｂ）を有する（図１参照）。反射器５６は、電極指２０に平行な複数の導体ストリップ３０を有している。そして、反射器５６は、複数の導体ストリップ３０の長手方向一端側、すなわち櫛型電極４６ａのバスバー４８側が、図２に詳細を示したように、ショートバー５４と同様の複数のショートバー５８によって相互に接続され、格子部６０となっている。反射器５６を構成している複数の導体ストリップ３０の他端は、連結バー６２によって相互に接続してある。

弾性表面波素子片４０は、圧電基板１２が例えばＳＴカット水晶板によって形成され、ＩＤＴ４２、４４と反射器５６とがアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミ合金によって形成してある。このため、圧電基板１２を伝播する弾性表面波は、ＩＤＴ４２、４４の電極指２０とグレーティング部５０および反射器５６の部分において伝播速度が遅くなっている。また、圧電基板１２を伝播する弾性表面波は、ＩＤＴ４２、４４のバスバー４８およびＩＤＴ４２、４４と反射器５６との外側の部分で伝播速度が速くなっている。すなわち、ＩＤＴ４２、４４の電極指２０を配置した部分とグレーティング部５０および反射器５６が弾性表面波を閉じ込めて伝播させる導波路を形成している。

弾性表面波素子片４０は、実施形態の場合、バスバー４８の幅Ｗ１がグレーティング部５０の幅Ｗ２と同じに形成してある。また、反射器５６の格子部６０の幅Ｗ３は、バスバー４８の幅Ｗ１、グレーティング部の幅Ｗ２にほぼ等しくしてある。反射器５６の形成する反射器導波路部の幅（反射器の開口幅）Ｂは、ＩＤＴ４２、４４の電極交差部３４、３６の交差幅Ｗより広くなっていて、ＩＤＴ４２、４４に電極指２０とグレーティング部５０とによって形成されるＩＤＴ導波路部の幅Ｗ０とほぼ等しくしてある。

そして、図１に示してあるように、ＩＤＴ４２の電極指２０とグレーティング部５０とによって形成したＩＤＴ導波路部と、ＩＤＴ４４の電極指２０とグレーティング部５０とによって形成したＩＤＴ導波路部とが、弾性表面波の伝播する方向と直交する方向において、相互に位置がずれている。すなわち、ＩＤＴ４２のＩＤＴ導波路部の中心線６４は、ＩＤＴ４４のＩＤＴ導波路部の中心線６６に対して弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれている。また、反射器５６ａが形成する反射器導波路部の中心線６８が隣接するＩＤＴ４２のＩＤＴ導波路部の中心線６４に対して、弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれていて、中心線６６とほぼ対応した位置となっている。さらに、反射器５６ｂが形成する反射器導波路部の中心線７０が隣接するＩＤＴ４４のＩＤＴ導波路部の中心線６６に対して弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれていて、中心線６４とほぼ対応した位置となっている。すなわち、反射器５６ａの反射器導波路部の中心線６８、ＩＤＴ４２のＩＤＴ導波路部の中心線６４、ＩＤＴ４４のＩＤＴ導波路部の中心線６６、反射器５６ｂの反射器導波路部の中心線７０が千鳥状に位置し、これらの導波路部によって形成される導波路が、ほぼ蛇行して形成されている。なお、反射器５６は、格子部６０の弾性表面波の伝播方向に直交した方向の外縁が、バスバー４８の弾性表面波の伝播方向に直交した方向の外縁を超えないようにしてある。

このようになっている弾性表面波素子片４０は、導波路が各ＩＤＴ４２、４４のＩＤＴ導波路部と、反射器５６ａ、５６ｂの反射器導波路部とが千鳥状に配置され、いわゆる蛇行した状態に形成してある。すなわち、弾性表面波素子片４０は、ＩＤＴ４２のＩＤＴ導波路部とＩＤＴ４４のＩＤＴ導波路部、反射器５６ａの反射器導波路部とが弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれている。このため、例えばＩＤＴ４２において弾性表面波を励振した場合、ＩＤＴ４２において生じた高次横モードがＩＤＴ４４側、または反射器５６ａ伝播すると、ＩＤＴ４４のＩＤＴ導波路部と反射器５６ａの反射器導波路部とは、伝播してくる高次横モードの一部を反射しない。さらに、ＩＤＴ４２のＩＤＴ導波路部は、ＩＤＴ４４のＩＤＴ導波路部と反射器５６ａの反射器導波路部とが反射した高次横モードの一部を反射しない。ＩＤＴ４４と反射器５６ｂとの間においても同様である。このため、弾性表面波素子片４０を用いてフィルタを形成した場合、高次横モードに基づくスプリアスが抑圧され、中心周波数の近傍に生じていたディップを改善することができる。

図３は、弾性表面波素子片４０を用いた弾性表面波フィルタの周波数に対する挿入損失を示したものである。図３の横軸は周波数であって、中心周波数Ｆ０に対する周波数偏差をＭＨｚで示している。縦軸は、挿入損失をｄＢで示している。なお、中心周波数Ｆ０は約１００ＭＨｚである。また、用いた弾性表面波素子片４０は、電極交差部３４、３６の交差幅Ｗが７００μｍ、電極交差部３４、３６とグレーティング部５０との距離が約１０μｍ、バスバー４８の幅Ｗ１とグレーティング部５０の幅Ｗ２とが１２５μｍである。図３に示してあるように、図８のαに対応したディップβが大きく改善されている。

しかも、第１実施形態における弾性表面波素子片４０は、ボンディングワイヤを接合するワイヤボンディング部５５がＩＤＴ４２、４４のグレーティング部５０の端部に設けてある。このため、弾性表面波素子片４０は、ボンディングワイヤを接合するために、幅が約２００μｍの幅の広いバスバーを設けたり、バスバーの弾性表面波の伝播方向と直交した方向の側方に約２００μｍ×２００μｍ程度のボンディングパッドを設ける必要がない。したがって、弾性表面波素子片４０の小型化を図ることができる。

図４は、第２実施の形態に係る弾性表面波素子片の模式的に示した平面図である。この実施形態に係る弾性表面波素子片７２は、反射器７４（７４ａ、７４ｂ）の弾性表面波の伝播方向と直交した方向における寸法が前記実施形態に係る弾性表面波素子片４０の反射器５６の寸法と異なっている。すなわち、弾性表面波素子片７２は、反射器７４の弾性表面波の伝播方向と直交した方向における外径寸法が、この方向におけるＩＤＴ４２、４４の外径寸法とほぼ等しくなっている。そして、反射器７４は、複数の導体ストリップ３０の、格子部６０と反対側の端部が、ＩＤＴ４２、４４のグレーティング部５０の幅にほぼ等しい太い連結バー７６によって相互に接続してある。他の構成は、前記実施形態とほぼ同様である。

この実施形態においても、反射器７４ａが形成する反射器導波路部の中心線６８が隣接するＩＤＴ４２の形成するＩＤＴ導波路部の中心線６４に対して弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれている。そして、中心線６８の位置が、ＩＤＴ４４の形成するＩＤＴ導波路部の中心線６６とほぼ対応した位置となっている。反射器７４ｂも同様であって、反射器導波路部の中心線７０の位置が隣接するＩＤＴ４４のＩＤＴ導波路部の中心線６６に対して弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれていて、ＩＤＴ４２のＩＤＴ導波路部の中心線６４と対応した位置となっている。すなわち、反射器導波路部の中心線６８、７０とＩＤＴ導波路部の中心線６４、６６とが千鳥状となっていて、これらの導波路部によって形成された導波路がいわゆる蛇行している。
このようになっている弾性表面波素子片７２においても、前記実施形態と同様の効果を得ることができる。

図５は、第３実施形態に係る弾性表面波素子片の模式的に示した平面図である。この弾性表面波素子片８０は、ＩＤＴ４２、４４が一対の櫛型電極８２（８２ａ、８２ｂ）から構成してある。各櫛型電極８２ａ、８２ｂは、同一構造に形成してある。すなわち、櫛型電極８２は、各電極指２０の長手方向の一端を相互に接続した連結部８４（８４ａ、８４ｂ）を備えている。これらの連結部８４は、それそれバスバー部８６（８６ａ、８６ｂ）と、グレーティング部８８（８８ａ、８８ｂ）とからなっている。バスバー部８６とグレーティング部８８とは、実施形態の場合、連結部８４の長手方向において連結部８４の半分ずつ形成してある。そして、連結部８４ａと連結部８４ｂとでは、弾性表面波の伝播方向における位置が相互に逆になっている。

すなわち、連結部８４ｂを形成しているグレーティング部８８ｂの弾性表面波の伝播方向における位置が、連結部８４ａのバスバー８６ａの位置に対応している。また、連結部８４ｂのバスバー８６ｂの位置が連結部８４ａのグレーティング部８８ａの位置に対応している。このため、ＩＤＴ４２、４４は、それぞれ弾性表面波の伝播方向と直交した方向に相互にずれた２つのＩＤＴ導波路部を形成している。そして、反射器５６ａの形成する反射器導波路部に隣接したＩＤＴ４２の、グレーティング部８８ｂを有するＩＤＴ導波路部は、反射器５６ａの反射器導波路部と弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれている。したがって、グレーティング部８８ｂを有するＩＤＴ導波路部の中心線９０の位置が反射器５６ａの反射器導波路部の中心線６８に対して弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれ、反射器５６ｂの反射器導波路部の中心線７０と対応した位置となっている。また、ＩＤＴ４２のグレーティング部８８ａを有する導波路部の中心線９２は、中心線９０と弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれ、反射器５６ａが形成する反射器導波路部の中心線６８の位置と対応した位置となっている。

ＩＤＴ４４が形成するＩＤＴ導波路部も同様になっていて、ＩＤＴ４４のグレーティング部８８ａを有する導波路部の中心線９４と、グレーティング部８８ｂを有する導波路部の中心線９６とが弾性表面波の伝播方向と直交した方向に相互にずれている。そして、ＩＤＴ４４のグレーティング部８８ａを有する導波路部の中心線９４の位置は、ＩＤＴ４２のグレーティング部８８ｂを有するＩＤＴ導波路部の中心線９０と、反射器５６ｂの反射器導波路部の中心線７０と対応した位置となっている。さらに、ＩＤＴ４４のグレーティング部８８ｂを有する導波路部の中心線９６の位置は、ＩＤＴ４２のグレーティング部８８ａを有するＩＤＴ導波路部の中心線９２と、反射器５６ａの反射器導波路部の中心線６８と対応した位置となっている。すなわち、弾性表面波素子片８０は、導波路を構成しているＩＤＴ４２、４４と反射器５６の各導波路部の中心線が、隣接する導波路部の中心線同士で弾性表面波の伝播する方向と直交する方向に相互にずれていて、中心線の位置が千鳥状となる。したがって、弾性表面波素子片８０は、導波路が全体として蛇行状をなしている。この第３実施形態に係る弾性表面波素子片８０においても、前記実施形態と同様の効果を得ることができる。

図６は、第４実施の形態に係る弾性表面波素子片の模式的に示した平面図である。第４実施形態に係る弾性表面波素子片１００は、ＩＤＴ４２、４４がいずれも櫛型電極４６ａ、４６ｂによって構成してある。そして、各ＩＤＴ４２、４４の櫛型電極４６ａは、バスバー４８が弾性表面波の伝播方向に対して同じ側となるように配置してある。したがって、ＩＤＴ４２の形成するＩＤＴ導波路部の中心線１０２と、ＩＤＴ４４の形成する中心線１０４との弾性表面波伝播方向と直交した方向における位置が一致している。

また、弾性表面波素子片１００は、反射器１０６（１０６ａ、１０６ｂ）が、複数の導体ストリップ３０と、複数の導体ストリップ３０の両端に設けた連結バー６２とから構成してある。連結バー６２は、各導体ストリップ３０の端部を相互に連結している。そして、反射器１０６は、ＩＤＴ４２、４４のバスバー４８側に寄せて形成してある。このため、反射器１０６は、反射器導波路部の中心線１０８がＩＤＴ導波路部の中心線１０２、１０４に対して、弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずれている。この弾性表面波素子片１００においても前記実施形態と同様の効果をえることができる。

前記各実施形態においては、すだれ状電極部であるＩＤＴを弾性表面波の伝播方向に２つ設けた場合について説明したが、ＩＤＴは３つ以上であってもよい。また、前記実施形態においては、フィルタ用の弾性表面波素子片について説明したが、弾性表面波素子片はＩＤＴが１つの共振子用であってもよい。そして、前記実施形態においては、１つのＩＤＴにおいて、ＩＤＴ導波路部を２つに分割して、各導波路部を相互に弾性表面波の伝播方向と直交した方向にずらした場合について説明したが、１つのＩＤＴにおいて、ＩＤＴ導波路部を３つ以上に分割し、隣接した部分同士において、弾性表面波の伝播方向と直交した方向に相互にずらしてもよい。さらに、前記実施形態においては、ＩＤＴを挟んで反射器を設けた共振型の弾性表面波素子片について説明したが、弾性表面波素子片は反射器を有しないトランスバーサル型であってもよい。

本発明の第１実施形態に係る弾性表面波素子片の模式的に示した平面図である。 図１の一部拡大図である。 第１実施形態の弾性表面波素子片を用いた弾性表面波フィルタの周波数に対する挿入損失を示す図である。 第２実施形態に係る弾性表面波素子片の模式的に示した平面図である。 第３実施形態に係る弾性表面波素子片の模式的に示した平面図である。 第４実施形態に係る弾性表面波素子片の模式的に示した平面図である。 従来のフィルタ用表面波素子片の一例を模式的に示した平面図である。 従来のフィルタ用表面波素子片を用いたフィルタの周波数と挿入損失との関係を示す図である。

符号の説明

１２………圧電基板、３４、３６………電極交差部、４０………弾性表面波素子片、４２、４４………すだれ状電極部（ＩＤＴ）、４６ａ、４６ｂ………櫛型電極、４８………バスバー、５０………グレーティング部、５６ａ、５６ｂ………反射器、６０………格子部、６４、６６、６８、７０………中心線、７２、８０………弾性表面波素子片、７４ａ、７４ｂ………反射器、８２ａ、８２ｂ………櫛型電極、８４ａ、８４ｂ………連結部、８６ａ、８６ｂ………バスバー部、８８ａ、８８ｂ………グレーティング部、９０、９２、９４、９６………中心線、１００………弾性表面波素子片、１０２、１０４，１０８………中心線、１０６ａ、１０６ｂ………反射器。

Claims (5)

1. 圧電基板にすだれ状電極部が設けてある弾性表面波素子片であって、
   励振された弾性表面波が伝播する前記圧電基板に形成した導波路の少なくとも一部が蛇行している、
   ことを特徴とする弾性表面波素子片。
2. 請求項１に記載の弾性表面波素子片において、
   前記すだれ状電極部を構成している電極指が形成する電極交差部は、蛇行していないことを特徴とする弾性表面波素子片。
3. 請求項１または２に記載の弾性表面波素子片において、
   前記すだれ状電極部の形成するＩＤＴ導波路部が蛇行していることを特徴とする弾性表面波素子片。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載の弾性表面波素子において、
   前記圧電基板には、前記すだれ状電極部に隣接して反射器が形成され、
   前記反射器の形成する反射器導波路部は、前記すだれ状電極部が形成するＩＤＴ波路部の隣接部分に対して、前記弾性表面波の伝播方向と直交した方向に変位している、
   ことを特徴とする弾性表面波素子片。
5. 請求項１ないし４のいずれかに記載の弾性表面波素子片において、
   前記すだれ状電極部の形成するＩＤＴ導波路部は、前記すだれ状電極部を構成する櫛型電極の複数の電極指と、前記電極指の長手方向側方に設けたグレーティング部とからなることを特徴とする弾性表面波素子片。

Images