JP6767497B2 - 弾性波素子 - Google Patents
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Description
(SAW素子の構成)
(基本構成)
図1は、本開示の実施形態に係るSAW素子1の基本構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線における要部断面図である。SAW素子1は、弾性波としてSAWを利用し、図1に示すように、圧電基板2、圧電基板2の上面2Aに設けられた励振電極3(以下、IDT電極3と記載する)を有している。IDT電極3は、互いに対向する2本のバスバー31と、各バスバー31から他のバスバー31側へ延びる複数の電極指32と、それぞれの電極指32に対向するダミー電極33を有している。各電極指32のうちダミー電極33と対向する部分を先端部34とする。
ここで、端部領域A1,A2におけるIDT電極3の電極指32とダミー電極33との形状について詳述する。ここで、端部領域A1は、中央領域Acより第1バスバー31a側の領域をさし、端部領域A2は、中央領域Acより第2バスバー31b側の領域をさすものとする。
圧電基板材料:42°YカットX伝搬LiTaO3
圧電基板厚み:∞(通常LT基板を想定)
電極指材料 :Al
電極指厚み :121nm
電極指本数 :無限本数(周期境界条件)
電極指ピッチ:0.77μm
電極指幅 :0.385μm(Duty 0.5)
交差幅 :30.8μm
ギャップ長 :0.3μm
ダミー電極長:3.08μm
次に、上述の共振周波数低周波数側のロスを低減するために電極幅をどの部分で細くする必要があるかについて検証する。まず、厚みを厚くしたのみで電極幅を変更していない比較例2に加え、比較例3〜5のモデルについてシミュレーションを行なった。図5にこれら比較例2〜5のモデルを示す。比較例3は、ダミー電極33のみについて電極幅を細くしている。比較例4は、ダミー電極33に加え、ダミー電極33と重なる領域に位置する電極指32の電極幅も細くしている。比較例5は、ダミー電極33に加え、端部領域A1,A2に位置する電極指32の根本側(バスバー31に接続される側)の電極幅を細くしている。言い換えると、端部領域A1,A2に位置する電極指32のうち、先端部34を除く部分の線幅を細くしている。図5において、図3と同様に、厚みの厚い部分に斜線を付している。
上述の例では、端部領域A1,A2の両方において、電極厚みを厚くし、電極幅を細くした場合について説明したが、どちらか一方の領域のみしてもよい。
2・・・圧電基板
3・・・IDT電極
30・・櫛歯電極
31・・バスバー
32・・電極指
33・・ダミー電極
34・・先端部
7・・・支持基板
A1・・第1端部領域
A2・・第2端部領域
Ac・・・・中央領域
Claims (5)
- 圧電基板と、前記圧電基板の上面に配置されたIDT電極と、を備え、
前記IDT電極は、
互いに異なる電位に接続され、互いに間隔を開けて配置された第1バスバーおよび第2バスバーと、
弾性波伝搬方向に沿って隣り合うように配置された、前記第1バスバーに接続され前記第2バスバー側に延びる第1電極指および前記第2バスバーに接続され前記第1バスバー側に延びる第2電極指と、
前記第2バスバーに接続され、前記第1電極指と第1ギャップを介して対向する第2ダミー電極と、
前記第1バスバーに接続され、前記第2電極指と第2ギャップを介して対向する第1ダミー電極と、を備え、
前記第1電極指および前記第2電極指のそれぞれの先端に位置し、前記第1電極指および前記第2電極指の長さのうち、5%未満の部分である先端部と、
前記第1電極指および前記第2電極指の前記先端部を含まず、前記第1電極指と前記第2電極指とが互いに交差する部分を含み、弾性波伝搬方向に沿って延びる中央領域と、
を仮定したときに、
前記第1電極指、前記第2電極指、および前記第2ダミー電極は、前記中央領域よりも第2バスバー側において、前記中央領域の前記第1電極指および前記第2電極指に比べ、厚みが厚く、太さが細い、弾性波素子。 - 前記第1電極指、前記第2電極指、および前記第1ダミー電極は、前記中央領域の前記第1電極指および前記第2電極指に比べ、前記中央領域よりも第1バスバー側において、厚みが厚く、太さが細い、請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記第1ギャップは、前記第1電極指と前記第2電極指との幅の中心間隔の0.2倍以上である、請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板の下面には、前記圧電基板よりも線膨張係数の小さい材料からなる支持基板が配置されている、請求項1乃至3のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記第2バスバーは、前記中央領域の前記第1電極指よりも厚みが厚い、請求項1乃至
4のいずれかに記載の弾性波素子。
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