JP6818148B2 - 弾性波素子 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係るSAW素子1の構成を示す平面図である。図2は図1のII−II線における要部拡大断面図である。
複合基板60は、図2に示すように、いわゆる貼り合せ基板であり、第1基板10と第2基板20とが接合されている。そして、複合基板60の厚みの途中には低抵抗領域50が位置している。
上述の低抵抗領域50の具体的実現方法について説明する。上述の通り、低抵抗領域50は、バルク波が到達する領域に設けられ、かつ、第1基板10のうち、バルク波がそれまでに通ってきた領域に比べてシート抵抗を変化させることが必要である。
上述の例では第1基板10の厚みについては特に限定していないが、1λを超える厚みとしてもよい。この場合には、SAWの波長に比べ厚くなっているため、低抵抗領域50にSAWが伝搬することにより生じるSAWの損失を減少させることができる。これにより、SAW素子1のロスを減少させることができる。言い換えると、低抵抗領域50により、使う電気信号であるSAWは減衰させることなく。不要な電気信号であるバルク波のみを減衰させることができる。
モデル2:1.5×104Ω
モデル3:5×102Ω
図7から明らかなように、減衰率が大きくなる第1基板10の厚みと、減衰の効果が少なくなる第1基板10の厚みがあることが分かる。具体的には、第1基板10の厚みがλの整数倍の場合には減衰率が小さくなっている。このため、第1基板10の厚みは、λの整数倍からずらしてもよい。また、図4において位相比率(減衰率)が大きくなっているシート抵抗(例えば、1.5×105Ω以上1.5×106Ω以下)とした場合には、減衰率の絶対値を大きくできるとともに、減衰率を大きくできる第1基板10の厚みの範囲が大きくすることができる。
上述の各構成において低抵抗領域50の厚みは、低抵抗領域50の抵抗率に応じて所望のシート抵抗を実現できるように適宜設計すればよい。
第1基板10:LT基板 42°Yカット―X伝搬
第1基板10の厚み:2.2μm(すなわち、0.4λ)
IDT電極3の電極指32のピッチ:2.7μm(λ=5.4μm)
IDT電極3の材料:Al
IDT電極3の電極指32の厚み:0.08λ
第2基板20:Si単結晶基板
実施例1として、図3(b)に示すように、第1基板10と第2基板20との間に低抵抗領域50として、厚み2nm、抵抗率0.05Ω・cmの層を設けた。すなわちシート抵抗は2.5×105Ωとなっている。
10:第1基板
20:第2基板
40:中間層
3:IDT電極
32:電極指
50:低抵抗領域
50x:第1領域
50y:第2領域
Claims (9)
- 複数の電極指を備え、弾性表面波を励振するIDT電極と、
上面に前記IDT電極が位置しており、圧電結晶からなる第1基板と、
前記第1基板の下面の側に接合された第2基板と、を備え、
前記複数の電極指の繰り返し間隔の2倍で定義される波長をλとしたときに、前記第1基板の厚さが0.4λ以上20λ以下であり、
前記第1基板の下面から上面の側にむけて連続する第1領域または前記第1基板の下面から前記第2基板の側に向けて連続する第2領域のいずれかが、シート抵抗が5×103Ω以上5×107Ω以下である低抵抗領域となっている、弾性波素子。 - 前記第1領域が前記低抵抗領域の場合には前記第1基板の厚みから前記第1領域の厚みを差し引いた厚みが、前記第2領域が前記低抵抗領域の場合には前記第1基板の厚みが、1.3λ以上である、請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記第1基板は、X伝搬回転Yカットのタンタル酸リチウム単結晶基板である、請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記第1基板は、36°〜50°Yカット−X伝播の基板である、請求項3に記載の弾性波素子。
- 前記低抵抗領域は、前記第1基板と前記第2基板との間に介在する中間層で構成される前記第2領域からなり、
前記中間層は、前記第1基板または前記第2基板を構成する元素と金属とを含んでいる、請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性波素子。 - 前記低抵抗領域は、前記第1領域からなり、
前記第1領域は、前記第1基板を構成する元素の比率がその他の領域に比べ異なるか、前記第2基板を構成する元素がその他の領域に比べ多く含まれている、請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性波素子。 - 前記低抵抗領域は、前記第2基板の前記第1基板の側の面から続く領域に形成された前記第2領域からなり、
前記第2領域は、前記第2基板の前記第2領域以外に比べて、前記第1基板を構成する元素を多く含む、請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性波素子。 - 前記低抵抗領域は、前記第2基板の前記第1基板の側の面から続く領域に形成された前記第2領域からなり、
前記第2基板は半導体材料からなり、前記第2領域は前記第2基板におけるドーパント濃度を異ならせてなる、請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性波素子。 - 前記低抵抗領域は、厚みが2nm〜200nmである、請求項1乃至8のいずれかに記載の弾性波素子。
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