JP6487458B2 - 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る弾性波素子の構成を示す平面図である。この例では、弾性波のうち弾性表面波(SAW:Surface Acoustic Wave)を用いた、SAW素子1の構成を示す。図2(a)は図1のIc−Ic線における要部拡大断面図であり、図2(b)は、図2(a)のIDT電極3をさらに拡大した図である。SAW素子1は、図1に示すように、圧電基板2、圧電基板2の上面(第1主面)2Aに設けられた励振(IDT:Interdigital Transducer)電極3および反射器4を有している。
図1〜3に示す例では、断面視して、電極指32の上面から、第1の位置D1までは一様な幅となっている例を用いて説明したが、一様でなくてもよい。特に、電極指32の幅が、図4に示すように、第1の位置D1における幅よりも小さいような、第1の位置D1を挟んで第2の位置D2と反対側に位置する第3の位置(第3の高さ)D3を有するように形成されていてもよい。
図1〜4に示す例では、IDT電極3の電極指32が圧電基板2の上面2Aに直接配置されている例を用いて説明したが、図5に示すように、圧電基板2の上面2Aと電極指32との間に下地層6を備えてもいてもよい。下地層6は、例えば、Ti、Cr、あるいはこれらの合金等からなる。下地層6を介してIDT電極3を圧電基板2の上面2Aに配置する場合は、このIDT電極3と別の部材からなる下地層6の厚みはIDT電極3の電気特性に殆ど影響を与えない程度の厚み(例えば、Tiの場合はIDT電極3の厚みの5%の厚み)に設定される。
図1〜5に示す例では、電極指32の上面と下面との幅が略同一の場合を例に説明した。この場合には、第3の位置D3における電極指32の幅が、第2の位置D2における幅に比べ大きいか、略同一となる。これに対し、図11に示すように、第3の位置D3における電極指32の幅が、第2の位置D2における幅に比べて小さくなるようにしてもよい。図11において、電極指の上面の端部から上面2Aに垂直におとした垂線L2を2点鎖線で示している。
図6は、本発明の実施形態に係る通信装置101の要部を示すブロック図である。通信装置101は、電波を利用した無線通信を行うものである。分波器7は、通信装置101において送信周波数の信号と受信周波数の信号とを分波する機能を有している。
材料:42°YカットX伝搬LiTaO3基板
[IDT電極3]
材料:Al−Cu合金
(ただし、圧電基板2と導電層15との間には6nmのTiからなる下地層6がある。)
厚さ(Al−Cu合金層):154nm
IDT電極3の電極指32:
(本数)200本
(ピッチPt1)1.06μm
(デューティー:w1/Pt1)0.5
(交差幅W)20λ (λ=2×Pt1)
[反射器4]
材料:Al−Cu合金
(ただし、圧電基板2と導電層15との間には6nmのTiからなる下地層がある)
厚さ(Al−Cu合金層):154nm
反射電極指42の本数:30本
反射電極指42のピッチPt2:1.06μm
反射電極指42の交差幅:20λ (λ=2×Pt1)
IDT電極3との間隔G:Pt1
[保護層5]
材料:SiO2
厚さ:15nm
P1〜P3 並列共振子
Claims (10)
- 第1主面を備える圧電基板と、
前記第1主面に配置された、複数の電極指を有する励振電極とを有し、
前記電極指は、前記第1主面に直交する方向に断面視して、前記第1主面から離れた第1の高さにおける幅が、最も前記第1主面の側に位置する第2の高さにおける幅よりも広く、前記第1の高さを挟んで前記第2の高さと反対側に位置する第3の高さにおける幅が、前記第1の高さにおける幅よりも小さくなっている、弾性波素子。 - 前記電極指は、前記第3の高さにおける幅が、前記第2の高さにおける幅よりも小さくなっている、請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記第1主面と前記電極指との間に導電性を有する下地層を備え、
該下地層は、前記第1主面に直交する方向に断面視して、前記電極指に接する幅よりも前記圧電基板に接する幅が広い、請求項1または2に記載の弾性波素子。 - 第1主面を備える圧電基板と、
前記第1主面に配置された、複数の電極指を有する励振電極と、
前記第1主面と前記電極指との間に導電性を有する下地層と、
を有し、
前記電極指は、前記第1主面に直交する方向に断面視して、前記第1主面から離れた第1の高さにおける幅が、最も前記第1主面の側に位置する第2の高さにおける幅よりも広く、
前記下地層は、前記第1主面に直交する方向に断面視して、前記電極指に接する幅よりも前記圧電基板に接する幅が広い、弾性波素子。 - 第1主面を備える圧電基板と、
前記第1主面に配置された、複数の電極指を有する励振電極とを有し、
前記電極指は、前記第1主面に直交する方向に断面視して、前記第1主面から離れた第1の高さにおける幅が、最も前記第1主面の側に位置する第2の高さにおける幅よりも広く
前記電極指のうち最も前記第1主面の側から離れた面の端を第1端部として、
前記電極指は、断面視で、前記第1端部から前記第2の高さにおける端である第2端部までを直線でつなぐ仮想線よりも外側に位置する拡幅部を有し、
該拡幅部は、前記電極指の厚みの半分よりも小さい厚みである、弾性波素子。 - 前記電極指は、断面視して、前記第1の高さから前記第2の高さに向かうにつれて幅が小さくなっている、請求項1乃至5のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記電極指の材料は、1つの材料系である、請求項1乃至6に記載の弾性波素子。
- 前記電極指は、側面が、前記第1の高さから前記第2の高さにかけて曲面となっている、請求項1乃至7のいずれかに記載の弾性波素子。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の弾性波素子と、前記圧電基板上に配置された少なくとも1つの共振子とがラダー型に接続されているフィルタ素子。
- アンテナと、
該アンテナに電気的に接続された請求項9に記載のフィルタ素子と、
該フィルタ素子に電気的に接続されたRF−ICとを備える通信装置。
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