JPWO2017111170A1 - 弾性波素子および通信装置 - Google Patents
弾性波素子および通信装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2017111170A1 JPWO2017111170A1 JP2017558334A JP2017558334A JPWO2017111170A1 JP WO2017111170 A1 JPWO2017111170 A1 JP WO2017111170A1 JP 2017558334 A JP2017558334 A JP 2017558334A JP 2017558334 A JP2017558334 A JP 2017558334A JP WO2017111170 A1 JPWO2017111170 A1 JP WO2017111170A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric substrate
- saw
- elastic wave
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
以下、本開示の実施形態に係る弾性波素子について、図面を参照して説明する。この例では、弾性波素子としてSAWを用いたSAW素子を用いて説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。
図1は、本発明の実施形態に係る弾性波素子1(SAW素子1)の構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線における要部断面図である。
ここで、電極部5について詳述する。SAW素子1において、電極部5は、結晶面の法線角度が、第1面7aの法線a0(D3軸)からずれた第1方向a1および第2方向a2に配向している第1領域5a,第2領域5bからなる。言い換えると、電極部5は結晶方位が異なる2領域を備えるものである。さらに言い換えると、電極部5は、ロッキングカーブ測定でダブルピークとなるような結晶性を備えている。
(カット角)46.3°
電極部5 :(材料)1重量%Cuを添加したAl
(厚み)1540Å
(下地層)60Å厚のTi層
(製膜方法)スパッタリング法
実施例の電極部と比較例の電極部とでは、成膜条件、成膜方法を異ならせた。例えば、実施例の電極部は比較例に比べて成膜速度・成膜温度を早く、高くしたりすることで結晶性を制御することができる。また、下地層に傾斜をもたせてその上の成長させる結晶の成長方向を制御することもできる。このような実施例、比較例の電極部について、ロッキングカーブ測定および極点図測定を行った。その結果を、図3(a),(b)に示す。図3(a)は比較例にかかる電極部のロッキングカーブ測定の結果であり、図3(b)は実施例にかかる電極部のAl(111)面のピーク近傍におけるロッキングカーブ測定結果である。図の横軸はΩ(°)を表し、縦軸は強度を表す。
図2に示す例では、電極部5の断面形状は矩形状となっていたが、この例に限定されない。例えば、図5に示すように、1つの材料系からなる1層の電極部5が段差部5cを有してもよい。より具体的には、図5において、段差部5cの側面はテーパー状となっており、段差部の下側に位置する土台部分の側面もテーパー状となっている。
以下、SAW素子1の利用例として、分波器および通信装置について説明する。
図7は、SAW素子1の利用例としての分波器101を示す模式図である。
図8は、SAW素子1の利用例としての通信装置151の要部を示すブロック図である。
Claims (8)
- 第1面と第2面とを有する圧電基板と、
前記第1面に配置された、弾性波を励振する電極部と、
前記圧電基板の前記第2面に接合されるとともに、前記圧電基板を構成する材料に比べて線膨張係数の小さい材料からなる支持基板と、を備え、
前記電極部は、ロッキングカーブ測定でダブルピークとなるように、前記第1面の法線からずれた第1方向および第2方向の2方向に配向している第1領域と第2領域とを含む、弾性波素子。 - 前記電極部はAlを主成分とし、前記第1領域の前記第1方向および前記第2領域の前記第2方向は、Al(111)面が、前記第1面の法線から0°を超え、4°未満の角度で傾いている、請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記第1方向と前記第1面の法線とでなす角度の絶対値と、前記第2方向と前記第1面の法線とでなす角度の絶対値とが略同一である、請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記第1方向と前記第2方向とを前記第1面に投影したときの第1投影方向と第2投影方向とは、前記弾性表面波が伝搬する方向である、請求項1乃至3のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記電極部は、Alを主成分としてMgが添加されている、請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記電極部は、段差部を備えている、請求項1乃至5のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記段差部は、1つの結晶粒中に構成されている、請求項6に記載の弾性波素子
- アンテナと、
前記アンテナに前記アンテナ端子が接続されており、請求項1乃至7のいずれかの弾性波素子を備える受信フィルタおよび送信フィルタを備える分波器と、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタに接続されているICと、
を有している通信装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015254208 | 2015-12-25 | ||
JP2015254208 | 2015-12-25 | ||
PCT/JP2016/088749 WO2017111170A1 (ja) | 2015-12-25 | 2016-12-26 | 弾性波素子および通信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017111170A1 true JPWO2017111170A1 (ja) | 2018-10-18 |
JP6626904B2 JP6626904B2 (ja) | 2019-12-25 |
Family
ID=59090509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017558334A Active JP6626904B2 (ja) | 2015-12-25 | 2016-12-26 | 弾性波素子および通信装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6626904B2 (ja) |
WO (1) | WO2017111170A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110800213B (zh) | 2017-07-06 | 2023-11-07 | 京瓷株式会社 | 弹性波元件、滤波器元件及通信装置 |
US11070193B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-07-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device, radio-frequency front-end circuit, and communication device |
WO2019181087A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日本碍子株式会社 | 圧電性材料基板と支持基板との接合体 |
JP6524369B1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-06-05 | 日本碍子株式会社 | 圧電性材料基板と支持基板との接合体 |
US20210152153A1 (en) * | 2018-04-11 | 2021-05-20 | Kyocera Corporation | Acoustic wave element, acoustic wave filter, multiplexer, and communication apparatus |
EP3849081B1 (en) * | 2018-09-06 | 2023-08-16 | Kyocera Corporation | Composite substrate, piezoelectric element, and method for manufacturing composite substrate |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000024123A1 (fr) * | 1998-10-16 | 2000-04-27 | Seiko Epson Corporation | Dispositif a ondes acoustiques de surface |
JP2002151998A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-24 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2006339941A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Alps Electric Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
JP2007134932A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
JP2014158138A (ja) * | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Panasonic Corp | 弾性波装置とそれを用いたアンテナ共用器 |
JP2014229916A (ja) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子 |
JP2015029233A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | 太陽誘電株式会社 | 電子回路 |
-
2016
- 2016-12-26 WO PCT/JP2016/088749 patent/WO2017111170A1/ja active Application Filing
- 2016-12-26 JP JP2017558334A patent/JP6626904B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000024123A1 (fr) * | 1998-10-16 | 2000-04-27 | Seiko Epson Corporation | Dispositif a ondes acoustiques de surface |
JP2002151998A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-24 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2006339941A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Alps Electric Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
JP2007134932A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
JP2014158138A (ja) * | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Panasonic Corp | 弾性波装置とそれを用いたアンテナ共用器 |
JP2014229916A (ja) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子 |
JP2015029233A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | 太陽誘電株式会社 | 電子回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6626904B2 (ja) | 2019-12-25 |
WO2017111170A1 (ja) | 2017-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109075763B (zh) | 弹性波元件以及通信装置 | |
JP6856825B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
WO2017111170A1 (ja) | 弾性波素子および通信装置 | |
CN113169722A (zh) | 弹性波装置、分波器以及通信装置 | |
WO2016017730A1 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JP6453913B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
JP2016140110A (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
CN109075770B (zh) | 复合基板以及使用其的弹性波元件 | |
JP6487458B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
WO2017073425A1 (ja) | 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器、通信装置および弾性波共振子の設計方法 | |
JP7278305B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
JP6994855B2 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
CN110710106B (zh) | 弹性波装置、分波器及通信装置 | |
WO2019022236A1 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
JP6530494B2 (ja) | 弾性表面波素子 | |
US20240030891A1 (en) | Elastic wave element and communication device | |
CN111937305A (zh) | 弹性波元件、弹性波滤波器、分波器以及通信装置 | |
JP2018014715A (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JP7117880B2 (ja) | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 | |
JP2018207371A (ja) | 弾性波素子および通信装置 | |
JP7037439B2 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
JP2019192994A (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7213747B2 (ja) | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190917 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191031 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6626904 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |