JP6626904B2 - 弾性波素子および通信装置 - Google Patents
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Description
以下、本開示の実施形態に係る弾性波素子について、図面を参照して説明する。この例では、弾性波素子としてSAWを用いたSAW素子を用いて説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。
図1は、本発明の実施形態に係る弾性波素子1(SAW素子1)の構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線における要部断面図である。
ここで、電極部5について詳述する。SAW素子1において、電極部5は、結晶面の法線角度が、第1面7aの法線a0(D3軸)からずれた第1方向a1および第2方向a2に配向している第1領域5a,第2領域5bからなる。言い換えると、電極部5は結晶方位が異なる2領域を備えるものである。さらに言い換えると、電極部5は、ロッキングカーブ測定でダブルピークとなるような結晶性を備えている。
(カット角)46.3°
電極部5 :(材料)1重量%Cuを添加したAl
(厚み)1540Å
(下地層)60Å厚のTi層
(製膜方法)スパッタリング法
実施例の電極部と比較例の電極部とでは、成膜条件、成膜方法を異ならせた。例えば、実施例の電極部は比較例に比べて成膜速度・成膜温度を早く、高くしたりすることで結晶性を制御することができる。また、下地層に傾斜をもたせてその上の成長させる結晶の成長方向を制御することもできる。このような実施例、比較例の電極部について、ロッキングカーブ測定および極点図測定を行った。その結果を、図3(a),(b)に示す。図3(a)は比較例にかかる電極部のロッキングカーブ測定の結果であり、図3(b)は実施例にかかる電極部のAl(111)面のピーク近傍におけるロッキングカーブ測定結果である。図の横軸はΩ(°)を表し、縦軸は強度を表す。
図2に示す例では、電極部5の断面形状は矩形状となっていたが、この例に限定されない。例えば、図5に示すように、1つの材料系からなる1層の電極部5が段差部5cを有してもよい。より具体的には、図5において、段差部5cの側面はテーパー状となっており、段差部の下側に位置する土台部分の側面もテーパー状となっている。
以下、SAW素子1の利用例として、分波器および通信装置について説明する。
図7は、SAW素子1の利用例としての分波器101を示す模式図である。
図8は、SAW素子1の利用例としての通信装置151の要部を示すブロック図である。
Claims (8)
- 第1面と第2面とを有する圧電基板と、
前記第1面に配置された、弾性波を励振する電極部と、
前記圧電基板の前記第2面に接合されるとともに、前記圧電基板を構成する材料に比べて線膨張係数の小さい材料からなり、前記圧電基板の厚みよりも厚みが厚い支持基板と、を備え、
前記電極部は、ロッキングカーブ測定でダブルピークとなるように、
結晶面の法線が、前記第1面の法線からずれた第1方向である第1領域と、
結晶面の法線が、前記第1面の法線からずれ、前記第1方向と異なる第2方向である第2領域とを含み、
前記第1方向を前記第1面に投影したときの第1投影方向と、前記第2方向を前記第1面に投影したときの第2投影方向とは、前記弾性波が伝搬する方向である、弾性波素子。 - 前記電極部はAlを主成分とし、前記第1領域の前記第1方向および前記第2領域の前記第2方向は、Al(111)面が、前記第1面の法線から0°を超え、4°未満の角度で傾いている、請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記第1方向と前記第1面の法線とでなす角度の絶対値と、前記第2方向と前記第1面の法線とでなす角度の絶対値とが略同一である、請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記電極部は、前記圧電基板の側において、前記圧電基板から離れる側よりも結晶粒界が少ない、請求項1乃至3のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記電極部は、Alを主成分としてMgが添加されている、請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記電極部は、段差部を備えている、請求項1乃至5のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記段差部は、1つの結晶粒中に構成されている、請求項6に記載の弾性波素子。
- アンテナと、
前記アンテナに接続されたアンテナ端子と、請求項1乃至7のいずれかの弾性波素子を備える受信フィルタおよび送信フィルタと、を備える分波器と、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタに接続されているICと、
を有している通信装置。
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