JP6681380B2 - 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Description
Δ[%]=|a1−a2|/{(1/2)×(a1+a2)}×100
格子不整合度Δが大きいほど第2領域12aが形成されやすいと考えられる。
図5(a)は、実施例1の変形例1における電極指の断面図である。図5(a)に示すように、金属膜12と圧電基板10との間に中間膜13が設けられている。中間膜13は、金属膜12と圧電基板10との密着層であり、例えばCr(クロム)、Ni(ニッケル)およびTiの少なくとも1つを主成分とする。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図5(b)は、実施例1の変形例2における電極指の断面図である。図5(b)に示すように、金属膜12上に上膜13aが設けられている。上膜13aは例えばCr(クロム)、Ni(ニッケル)およびTiの少なくとも1つを主成分とする。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
12 金属膜
12a 第2領域
12b 第1領域
13 中間膜
14 電極指
18 櫛型電極
20 IDT
22 反射器
24 弾性波共振器
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
Claims (9)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、結晶粒が柱状である第1領域と、前記第1領域の積層方向に設けられたアモルファスである第2領域と、を有する、融点がPtの融点以上の金属であり、Mo、Ir、Pt、Re、Rh、Ru、TaおよびWのいずれか1つを主成分とする金属膜を備え、弾性表面波を励振する一対の櫛型電極と、
を備え、
前記第1領域内の粒界の少なくとも一部は前記積層方向において前記第1領域の両端部間を連続して延伸する弾性波デバイス。 - 電子顕微鏡で断面を観察したとき、前記第1領域における結晶粒のうち柱状の結晶粒の個数は50%以上である請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2領域は前記第1領域と前記圧電基板との間に設けられている請求項1または2に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2領域は前記圧電基板に接している請求項3に記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板と前記第2領域との間に設けられPtより密度の低い金属を主成分とする中間膜を備える請求項3に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1領域の積層方向の厚さは前記第2領域の積層方向の厚さより大きい請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記金属膜はMo膜である請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
- 請求項8に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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